CN216585178U - 一种高度集成的真空蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本申请提出一种高度集成的真空蒸镀机，包括架台、主腔体、主阀、冷泵、电控柜、电源、压缩机和油泵，主腔体与主阀固定并且主腔体与主阀的连接处设置有一个排气通口，主腔体内的空气通过排气通口进入主阀，主阀与冷泵和油泵连接，油泵用于抽真空，冷泵与压缩机7连接，主腔体、主阀、冷泵、电控柜、电源、压缩机和油泵均设置在架台的内部，架台为正方体或长方体的金属框架，主腔体设置在架台的前端，主阀的后壁与主阀固定，冷泵与主阀的下表面固定，电控柜、电源、压缩机和油泵设置在架台的后端，并且，电控柜设置在电源、压缩机和油泵的上方，电源、压缩机和油泵设置在一排并且按照从左到右的顺序依次设置，油泵通过粗抽管与主阀连接。

Description

一种高度集成的真空蒸镀机

技术领域

本实用新型涉及蒸镀机技术领域，较为具体的，涉及到一种高度集成的真空蒸镀机。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，先采用粗抽泵和精抽泵对真空镀膜机的腔室内抽真空，然后在真空条件下，采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。目前的真空蒸镀机，油泵设置在架台的外面，很多管道及线路也在架台的外面，使得整个真空蒸镀机在厂房里面比较杂乱也不方便运输，并且，真空蒸镀机的占地面积大，各部件的布局、构造及连接方式不太合理。

有鉴于此，本实用新型提供一种高度集成的真空蒸镀机，占地面积小，方便运输。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种高度集成的真空蒸镀机，占地面积小，方便运输。

一种高度集成的真空蒸镀机，包括架台1、主腔体2、主阀3、冷泵4、电控柜5、电源6、压缩机7和油泵8，所述主腔体2和主阀3均为中空结构，主腔体2内用于对被镀膜工件进行镀膜，主腔体2与主阀3固定并且主腔体2与主阀3的连接处设置有一个排气通口21，主腔体2内的空气通过排气通口21进入主阀3，主阀3与冷泵4和油泵8连接，油泵8用于抽真空，冷泵4与压缩机7连接，冷泵4和压缩机7用于制冷，电源6用于对真空蒸镀机提供电能，电控柜5用于，其特征在于，所述主腔体2、主阀3、冷泵4、电控柜5、电源6、压缩机7和油泵8均设置在架台1的内部，架台1为正方体或长方体的金属框架，主腔体2设置在架台1的前端，主阀3的后壁与主阀3固定，冷泵4与主阀3的下表面固定，电控柜5、电源6、压缩机7和油泵8设置在架台1的后端，并且，电控柜5设置在电源6、压缩机7和油泵8的上方，电源6、压缩机7和油泵8设置在一排并且按照从左到右的顺序依次设置，油泵8通过粗抽管81与主阀3连接。

在一些实施方式中，所述电控柜5与电源6、压缩机7和油泵8之间具有间距，电源6、压缩机7和油泵8相互之间也具有间距，主阀3和冷泵4设置在电源6和压缩机7的前方，并且主阀3和冷泵4与电源6和压缩机7之间具有间距。

在一些实施方式中，所述粗抽管81的一端与主阀3连接、另一点与油泵8连接，粗抽管81与油泵8的上表面连接，粗抽管81与主阀3的上表面或者侧面连接。

进一步的，所述主阀3包括连接部31和主阀部32，连接部31与主阀部32均为中空的结构并且连接部31与主阀部32相通，连接部31的左侧面与主腔体2的排气通口21相对应的位置一体式连接，连接部31的右侧面与主阀部32连接，连接部31的横截面为梯形，连接部31的左侧面的高度大于右侧面的高度，所述粗抽管81与主阀3的主阀部32的上表面或者侧面连接。

进一步优选的，所述粗抽管81与主阀3的主阀部32的上表面连接，粗抽管81与主阀部32的上表面的左方、右方或者后方连接。

在一些实施方式中，所述主腔体2还包括镀锅22、镀锅旋转结构23、加热灯24、水冷隔热机构25、坩埚26和离子源27，镀锅22和镀锅旋转结构23设置在主腔体2内部的上部，加热灯24、水冷隔热机构25、坩埚26和离子源27设置在主腔体2内部的下部，加热灯24、坩埚26和离子源27固定在主腔体2的底板上，水冷隔热机构25设置在排气通口21内。

进一步的，所述镀锅22有一个或者多个，镀锅旋转结构23与镀锅22连接，镀锅旋转结构23为镀锅22提供旋转的动能并且控制镀锅22的旋转轨迹，镀锅22上固定有被镀膜工件。

进一步的，所述坩埚26设置在主腔体2的底板的中部，通过电流加热和电子束轰击加热，将蒸发镀膜材料气化，气化后的粒子飞至镀锅22上的被镀膜工件的表面形成镀膜；所述加热灯24有一个或多个，加热灯24设置在主腔体2的底板的边角，加热灯24的角度能够调节，加热灯24用于使得主腔体2内的温度均匀。

进一步的，所述离子源27有一个，设置在主腔体2的底板的边角位置，位于坩埚26的左边或者右边，离子源27通过氩气分子被电离后产生的氩气离子对被镀膜工件表面进行物理方式的轰击，起到清洁和增加表面粗糙度的作用，增加后续镀膜的粘附性。

进一步的，所述水冷隔热机构25包括多个散热片和水冷管，多个散热片呈百叶型排列，散热片的两端通过水冷管串接，水冷管的一端为进水口另一端为出水口。

附图说明

图1为本申请的高度集成的真空蒸镀机的结构示意图。

图2为本申请的高度集成的真空蒸镀机的另一结构示意图。

图3为本申请的高度集成的真空蒸镀机的主腔体内部的结构示意图。

主要元件符号说明：

架台1、主腔体2、主阀3、冷泵4、电控柜5、电源6、压缩机7、油泵8、排气通口21、镀锅22、镀锅旋转结构23、加热灯24、水冷隔热机构25、坩埚26、离子源27、连接部31、主阀部32、粗抽管81。

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

一种高度集成的真空蒸镀机，如图1-图3所示，包括架台1、主腔体2、主阀3、冷泵4、电控柜5、电源6、压缩机7和油泵8，所述主腔体2和主阀3均为中空结构，主腔体2内用于对被镀膜工件进行镀膜，主腔体2与主阀3固定并且主腔体2与主阀3的连接处设置有一个排气通口21，主腔体2内的空气通过排气通口21进入主阀3，主阀3与冷泵4和油泵8连接，油泵8用于抽真空，冷泵4与压缩机7连接，冷泵4和压缩机7用于制冷，电源6用于对真空蒸镀机提供电能，电控柜5用于，所述主腔体2、主阀3、冷泵4、电控柜5、电源6、压缩机7和油泵8均设置在架台1的内部，架台1为正方体或长方体的金属框架，主腔体2设置在架台1的前端，主阀3的后壁与主阀3固定，冷泵4与主阀3的下表面固定，电控柜5、电源6、压缩机7和油泵8设置在架台1的后端，并且，电控柜5设置在电源6、压缩机7和油泵8的上方，电源6、压缩机7和油泵8设置在一排并且按照从左到右的顺序依次设置，油泵8通过粗抽管81与主阀3连接。

所述电控柜5与电源6、压缩机7和油泵8之间具有间距，电源6、压缩机7和油泵8相互之间也具有间距，主阀3和冷泵4设置在电源6和压缩机7的前方，并且主阀3和冷泵4与电源6和压缩机7之间具有间距。所述粗抽管81的一端与主阀3连接、另一点与油泵8连接，粗抽管81与油泵8的上表面连接，粗抽管81与主阀3的上表面连接。所述主阀3包括连接部31和主阀部32，连接部31与主阀部32均为中空的结构并且连接部31与主阀部32相通，连接部31的左侧面与主腔体2的排气通口21相对应的位置一体式连接，连接部31的右侧面与主阀部32连接，连接部31的横截面为梯形，连接部31的左侧面的高度大于右侧面的高度，所述粗抽管81与主阀3的主阀部32的上表面连接，粗抽管81与主阀部32的上表面的右方连接。

所述主腔体2还包括镀锅22、镀锅旋转结构23、加热灯24、水冷隔热机构25、坩埚26和离子源27，镀锅22和镀锅旋转结构23设置在主腔体2内部的上部，加热灯24、水冷隔热机构25、坩埚26和离子源27设置在主腔体2内部的下部，加热灯24、坩埚26和离子源27固定在主腔体2的底板上，水冷隔热机构25设置在排气通口21内。所述镀锅22有一个或者多个，镀锅旋转结构23与镀锅22连接，镀锅旋转结构23为镀锅22提供旋转的动能并且控制镀锅22的旋转轨迹，镀锅22上固定有被镀膜工件。所述坩埚26设置在主腔体2的底板的中部，通过电流加热和电子束轰击加热，将蒸发镀膜材料气化，气化后的粒子飞至镀锅22上的被镀膜工件的表面形成镀膜；所述加热灯24有一个或多个，加热灯24设置在主腔体2的底板的边角，加热灯24的角度能够调节，加热灯24用于使得主腔体2内的温度均匀。所述离子源27有一个，设置在主腔体2的底板的边角位置，位于坩埚26的左边或者右边，离子源27通过氩气分子被电离后产生的氩气离子对被镀膜工件表面进行物理方式的轰击，起到清洁和增加表面粗糙度的作用，增加后续镀膜的粘附性。所述水冷隔热机构25包括多个散热片和水冷管，多个散热片呈百叶型排列，散热片的两端通过水冷管串接，水冷管的一端为进水口另一端为出水口。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种高度集成的真空蒸镀机，包括架台(1)、主腔体(2)、主阀(3)、冷泵(4)、电控柜(5)、电源(6)、压缩机(7)和油泵(8)，所述主腔体(2)和主阀(3)均为中空结构，主腔体(2)内用于对被镀膜工件进行镀膜，主腔体(2)与主阀(3)固定并且主腔体(2)与主阀(3)的连接处设置有一个排气通口(21)，主腔体(2)内的空气通过排气通口(21)进入主阀(3)，主阀(3)与冷泵(4)和油泵(8)连接，油泵(8)用于抽真空，冷泵(4)与压缩机(7)连接，冷泵(4)和压缩机(7)用于制冷，电源(6)用于对真空蒸镀机提供电能，电控柜(5)用于，其特征在于，所述主腔体(2)、主阀(3)、冷泵(4)、电控柜(5)、电源(6)、压缩机(7)和油泵(8)均设置在架台(1)的内部，架台(1)为正方体或长方体的金属框架，主腔体(2)设置在架台(1)的前端，主阀(3)的后壁与主阀(3)固定，冷泵(4)与主阀(3)的下表面固定，电控柜(5)、电源(6)、压缩机(7)和油泵(8)设置在架台(1)的后端，并且，电控柜(5)设置在电源(6)、压缩机(7)和油泵(8)的上方，电源(6)、压缩机(7)和油泵(8)设置在一排并且按照从左到右的顺序依次设置，油泵(8)通过粗抽管(81)与主阀(3)连接。

2.如权利要求1所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述电控柜(5)与电源(6)、压缩机(7)和油泵(8)之间具有间距，电源(6)、压缩机(7)和油泵(8)相互之间也具有间距，主阀(3)和冷泵(4)设置在电源(6)和压缩机(7)的前方，并且主阀(3)和冷泵(4)与电源(6)和压缩机(7)之间具有间距。

3.如权利要求1所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述粗抽管(81)的一端与主阀(3)连接、另一点与油泵(8)连接，粗抽管(81)与油泵(8)的上表面连接，粗抽管(81)与主阀(3)的上表面或者侧面连接。

4.如权利要求3所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述主阀(3)包括连接部(31)和主阀部(32)，连接部(31)与主阀部(32)均为中空的结构并且连接部(31)与主阀部(32)相通，连接部(31)的左侧面与主腔体(2)的排气通口(21)相对应的位置一体式连接，连接部(31)的右侧面与主阀部(32)连接，连接部(31)的横截面为梯形，连接部(31)的左侧面的高度大于右侧面的高度，所述粗抽管(81)与主阀(3)的主阀部(32)的上表面或者侧面连接。

5.如权利要求1所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述主腔体(2)还包括镀锅(22)、镀锅旋转结构(23)、加热灯(24)、水冷隔热机构(25)、坩埚(26)和离子源(27)，镀锅(22)和镀锅旋转结构(23)设置在主腔体(2)内部的上部，加热灯(24)、水冷隔热机构(25)、坩埚(26)和离子源(27)设置在主腔体(2)内部的下部，加热灯(24)、坩埚(26)和离子源(27)固定在主腔体(2)的底板上，水冷隔热机构(25)设置在排气通口(21)内。

6.如权利要求5所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述镀锅(22)有一个或者多个，镀锅旋转结构(23)与镀锅(22)连接，镀锅旋转结构(23)为镀锅(22)提供旋转的动能并且控制镀锅(22)的旋转轨迹，镀锅(22)上固定有被镀膜工件。

7.如权利要求5所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述坩埚(26)设置在主腔体(2)的底板的中部，通过电流加热和电子束轰击加热，将蒸发镀膜材料气化，气化后的粒子飞至镀锅(22)上的被镀膜工件的表面形成镀膜；所述加热灯(24)有一个或多个，加热灯(24)设置在主腔体(2)的底板的边角，加热灯(24)的角度能够调节，加热灯(24)用于使得主腔体(2)内的温度均匀。

8.如权利要求5所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述离子源(27)有一个，设置在主腔体(2)的底板的边角位置，位于坩埚(26)的左边或者右边，离子源(27)通过氩气分子被电离后产生的氩气离子对被镀膜工件表面进行物理方式的轰击，起到清洁和增加表面粗糙度的作用，增加后续镀膜的粘附性。

9.如权利要求5所述的高度集成的真空蒸镀机，其特征在于，所述水冷隔热机构(25)包括多个散热片和水冷管，多个散热片呈百叶型排列，散热片的两端通过水冷管串接，水冷管的一端为进水口另一端为出水口。

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