CN214193432U - 一种新型蒸镀机 - Google Patents
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Abstract
为了解决如何提高真空镀膜的问题，本实用新型提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及蒸镀机技术领域，较为具体的，涉及到一种新型蒸镀机。
背景技术
传统光学真空镀膜工艺原理是通过高温方式使得材料从固态转化成气态，真空环境中的气态分子最终沉积到样品表面，这种成膜方式，材料粒子的能量一般只有几个电子伏或者更低，这种粒子在材料表面成膜的时候没有足够的能量，以致粒子在基底表面成膜的时候不能形成致密排列，为了提高材料分子在沉积的过程中有更高的能量，生成更致密的薄膜，过去我们通过基片加热的方式，当基底温度足够高，薄膜质量还是能够保证的，但是这种方式局限了很多其他领域的应用，特别是低温材料的应用。
真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
近年来，市场对真空镀膜的需求越来越大，效果要求也越来越高，故如何提高真空镀膜的效果成了当下需要解决的问题。
实用新型内容
有鉴于此，为了解决如何提高真空镀膜的问题，本实用新型提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。
一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体1、加热灯结构4、镀锅7、控制机构17、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构，其特征在于：所述蒸镀机本体1内部分为第一中空腔体2和第二中空腔体3，加热灯结构4、镀锅7、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构均设置于蒸镀机本体1的第一中空腔体2内，控制机构17位于蒸镀机本体1的第二中空腔体3内，第一中空腔体2和第二中空腔体3相邻，驱动机构包括：马达15、抽真空泵组16、旋转气缸29，所述驱动机构与控制机构17电性连接，所述第一中空腔体2的顶部设有镀锅7，所述镀锅7的顶端连接马达15，所述镀锅7下部设有加热灯结构4、坩埚11和离子源12，所述加热灯结构4、坩埚11和离子源12固定在第一中空腔体2的底板上，所述第一中空腔体2的一侧面设有主阀腔18，主阀腔18与第一中空腔体2连通，所述主阀腔18上设有水冷隔热机构8，主阀腔18的下部设有与主阀腔18通过真空管连通的抽真空泵组16，抽真空泵组16位于蒸镀机本体1外部的支架上，所述第一中空腔体2的与主阀腔18相对面设有腔门19，腔门19与第一中空腔体2铰接，腔门19前端设有视窗结构20。
进一步的,第一中空腔体2底板的上部设有防着板21，防着板21与底板设有间隙，防着板21上设有坩埚11孔和遮板23装置孔，所述坩埚11位于间隙处且坩埚11的开口于坩埚11孔套接，坩埚11的开口上方设有遮板23，所述遮板23与坩埚11的开口设有间隙，所述遮板23旁设有遮条24，遮条24固定安装在防着板21上，通过旋转气缸29带动遮板23旋转，遮板23的功能为蒸发在淀积开始之前将遮板23移至坩埚11上方，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板23，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板23和遮条24的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，自动化程度高。
进一步的,防着板21与底板之间设有多根立柱25，立柱25作为防着板21与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚11孔与坩埚11的开口位于同一水平面上。
进一步的，镀锅7为公转镀锅或者行星转镀锅的一种。
进一步的，当镀锅7为公转镀锅，修正机构包括两个修正板26和支杆27，所述支杆27位于公转镀锅和坩埚11之间，所述支杆27平行于所述公转镀锅，两个修正板26可拆卸的连接在支杆27的上端且两个修正板26关于所述公转镀锅的轴线对称，所述修正板26为柳叶形薄板，所述两个修正板26间隔平行设置，两个修正板26的上表面与镀锅7平行，两个修正板26的下表面与蒸发源平行。
进一步的，视窗结构20从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和安装板，安装板固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴22，回转轴22与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴22同步旋转，安装板上设置有观察孔。
进一步的，加热灯结构4包括：固定杆5和加热灯6，加热灯6通过调节件连接在固定杆5的一端，固定杆5的另一端连接加热灯6变压器，加热灯6变压器与第一中空腔体2的的底板固定。
进一步的，所述离子源12安装在离子源安装架上，所述离子源安装架位于蒸镀机本体1底板上部，离子源安装架包括第一支架13和第二支架14，第一支架13和第二支架14通过螺母或者螺栓连接，第一支架13和第二支架14角度可调节。
进一步的，水冷隔热机构8包括多片散热片9和水冷管10，多个散热片9固定安装在主阀腔18的底板上，所述多个散热片9呈百叶型排列，相邻的两片散热片9相互间隔平行，所述散热片9设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热片9的两端通过水冷管10串接，所述水冷管10的一端为进水口，水冷管10的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒，第一螺栓套筒和第二螺栓套筒分别与主阀腔18的底板可拆卸连接。
进一步的，抽真空泵组16包括初抽泵和主泵，初抽泵为钢泵或者油泵的一种，主泵为低温泵，主泵的管路上连接有真空计，当初抽泵抽至满足主泵的工作条件后启动主泵进行抽真空。
进一步的，控制机构17下方设有电控柜28。
本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体1、加热灯结构4、镀锅7、控制机构17、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构，将镀锅7安装至蒸镀机本体1内部，抽真空泵组16进行抽真空处理，控制机构17启动驱动机构，加热灯结构4除去蒸镀机本体1内部水分、离子源12对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚11启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构8降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。
附图说明
图1为本实用新型的新型蒸镀机的结构图。
图2为本实用新型的新型蒸镀机的侧面结构图。
图3为本实用新型的新型蒸镀机的水冷隔热机构结构图。
图4为本实用新型的新型蒸镀机的离子源结构图。
图5为本实用新型的新型蒸镀机的后视图。
图6为本实用新型的新型蒸镀机的局部结构图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式1
如图1所示，为本实用新型的新型蒸镀机的结构图；如图2所示，为本实用新型的新型蒸镀机的侧面结构图；如图3所示，为本实用新型的新型蒸镀机的水冷隔热机构结构图；如图4所示，为本实用新型的新型蒸镀机的离子源结构图；如图5所示，为本实用新型的新型蒸镀机的后视图；如图6所示，为本实用新型的新型蒸镀机的局部结构图。
一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体1、加热灯结构4、镀锅7、控制机构17、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构，其特征在于：所述蒸镀机本体1内部分为第一中空腔体2和第二中空腔体3，加热灯结构4、镀锅7、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构均设置于蒸镀机本体1的第一中空腔体2内，控制机构17位于蒸镀机本体1的第二中空腔体3内，第一中空腔体2和第二中空腔体3相邻，驱动机构包括：马达15、抽真空泵组16、旋转气缸29，所述驱动机构与控制机构17电性连接，所述第一中空腔体2的顶部设有镀锅7，所述镀锅7的顶端连接马达15，所述镀锅7下部设有加热灯结构4、坩埚11和离子源12，所述加热灯结构4、坩埚11和离子源12固定在第一中空腔体2的底板上，所述第一中空腔体2的一侧面设有主阀腔18，主阀腔18与第一中空腔体2连通，所述主阀腔18上设有水冷隔热机构8，主阀腔18的下部设有与主阀腔18通过真空管连通的抽真空泵组16，抽真空泵组16位于蒸镀机本体1外部的支架上，所述第一中空腔体2的与主阀腔18相对面设有腔门19，腔门19与第一中空腔体2铰接，腔门19前端设有视窗结构20。
所述第一中空腔体2底板的上部设有防着板21，防着板21与底板设有间隙，防着板21上设有坩埚11孔和遮板23装置孔，所述坩埚11位于间隙处且坩埚11的开口于坩埚11孔套接，坩埚11的开口上方设有遮板23，所述遮板23与坩埚11的开口设有间隙，所述遮板23旁设有遮条24，遮条24固定安装在防着板21上，通过旋转气缸29带动遮板23旋转，遮板23的功能为蒸发在淀积开始之前将遮板23移至坩埚11上方，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板23，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板23和遮条24的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，自动化程度高。
所述防着板21与底板之间设有多根立柱25，立柱25作为防着板21与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚11孔与坩埚11的开口位于同一水平面上。
所述镀锅7为行星转镀锅。
所述视窗结构20从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和安装板，安装板固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴22，回转轴22与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴22同步旋转，安装板上设置有观察孔。
所述加热灯结构4包括：固定杆5和加热灯6，加热灯6通过调节件连接在固定杆5的一端，固定杆5的另一端连接加热灯6变压器，加热灯6变压器与第一中空腔体2的的底板固定。
所述所述离子源12安装在离子源安装架上，所述离子源安装架位于蒸镀机本体1底板上部，离子源安装架包括第一支架13和第二支架14，第一支架13和第二支架14通过螺母或者螺栓连接，第一支架13和第二支架14角度可调节。
所述水冷隔热机构8包括多片散热片9和水冷管10，多个散热片9固定安装在主阀腔18的底板上，所述多个散热片9呈百叶型排列，相邻的两片散热片9相互间隔平行，所述散热片9设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热片9的两端通过水冷管10串接，所述水冷管10的一端为进水口，水冷管10的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒，第一螺栓套筒和第二螺栓套筒分别与主阀腔18的底板可拆卸连接。
所述抽真空泵组16包括初抽泵和主泵，初抽泵为钢泵或者油泵的一种，主泵为低温泵，主泵的管路上连接有真空计，当初抽泵抽至满足主泵的工作条件后启动主泵进行抽真空。
所述控制机构17下方设有电控柜28。
本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体1、加热灯结构4、镀锅7、控制机构17、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构，将镀锅7安装至蒸镀机本体1内部，抽真空泵组16进行抽真空处理，控制机构17启动驱动机构，加热灯结构4除去蒸镀机本体1内部水分、离子源12对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚11启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构8降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。
具体实施方式2
如图1所示，为本实用新型的新型蒸镀机的结构图；如图2所示，为本实用新型的新型蒸镀机的侧面结构图；如图3所示，为本实用新型的新型蒸镀机的水冷隔热机构结构图；如图4所示，为本实用新型的新型蒸镀机的离子源结构图；如图5所示，为本实用新型的新型蒸镀机的后视图；如图6所示，为本实用新型的新型蒸镀机的局部结构图。
一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体1、加热灯结构4、镀锅7、控制机构17、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构，其特征在于：所述蒸镀机本体1内部分为第一中空腔体2和第二中空腔体3，加热灯结构4、镀锅7、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构均设置于蒸镀机本体1的第一中空腔体2内，控制机构17位于蒸镀机本体1的第二中空腔体3内，第一中空腔体2和第二中空腔体3相邻，驱动机构包括：马达15、抽真空泵组16、旋转气缸29，所述驱动机构与控制机构17电性连接，所述第一中空腔体2的顶部设有镀锅7，所述镀锅7的顶端连接马达15，所述镀锅7下部设有加热灯结构4、坩埚11和离子源12，所述加热灯结构4、坩埚11和离子源12固定在第一中空腔体2的底板上，所述第一中空腔体2的一侧面设有主阀腔18，主阀腔18与第一中空腔体2连通，所述主阀腔18上设有水冷隔热机构8，主阀腔18的下部设有与主阀腔18通过真空管连通的抽真空泵组16，抽真空泵组16位于蒸镀机本体1外部的支架上，所述第一中空腔体2的与主阀腔18相对面设有腔门19，腔门19与第一中空腔体2铰接，腔门19前端设有视窗结构20。
所述第一中空腔体2底板的上部设有防着板21，防着板21与底板设有间隙，防着板21上设有坩埚11孔和遮板23装置孔，所述坩埚11位于间隙处且坩埚11的开口于坩埚11孔套接，坩埚11的开口上方设有遮板23，所述遮板23与坩埚11的开口设有间隙，所述遮板23旁设有遮条24，遮条24固定安装在防着板21上，通过旋转气缸29带动遮板23旋转，遮板23的功能为蒸发在淀积开始之前将遮板23移至坩埚11上方，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板23，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板23和遮条24的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，自动化程度高。
所述防着板21与底板之间设有多根立柱25，立柱25作为防着板21与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚11孔与坩埚11的开口位于同一水平面上。
所述镀锅7为公转镀锅。
所述当镀锅7为公转镀锅，修正机构包括两个修正板26和支杆27，所述支杆27位于公转镀锅和坩埚11之间，所述支杆27平行于所述公转镀锅，两个修正板26可拆卸的连接在支杆27的上端且两个修正板26关于所述公转镀锅的轴线对称，所述修正板26为柳叶形薄板，所述两个修正板26间隔平行设置，两个修正板26的上表面与镀锅7平行，两个修正板26的下表面与蒸发源平行。
所述视窗结构20从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和安装板，安装板固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴22，回转轴22与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴22同步旋转，安装板上设置有观察孔。
所述加热灯结构4包括：固定杆5和加热灯6，加热灯6通过调节件连接在固定杆5的一端，固定杆5的另一端连接加热灯6变压器，加热灯6变压器与第一中空腔体2的的底板固定。
所述所述离子源12安装在离子源安装架上，所述离子源安装架位于蒸镀机本体1底板上部，离子源安装架包括第一支架13和第二支架14，第一支架13和第二支架14通过螺母或者螺栓连接，第一支架13和第二支架14角度可调节。
所述水冷隔热机构8包括多片散热片9和水冷管10，多个散热片9固定安装在主阀腔18的底板上，所述多个散热片9呈百叶型排列，相邻的两片散热片9相互间隔平行，所述散热片9设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热片9的两端通过水冷管10串接，所述水冷管10的一端为进水口，水冷管10的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒，第一螺栓套筒和第二螺栓套筒分别与主阀腔18的底板可拆卸连接。
所述抽真空泵组16包括初抽泵和主泵，初抽泵为钢泵或者油泵的一种，主泵为低温泵，主泵的管路上连接有真空计，当初抽泵抽至满足主泵的工作条件后启动主泵进行抽真空。
所述控制机构17下方设有电控柜28。
本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体1、加热灯结构4、镀锅7、控制机构17、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构，将镀锅7安装至蒸镀机本体1内部，抽真空泵组16进行抽真空处理，控制机构17启动驱动机构，加热灯结构4除去蒸镀机本体1内部水分、离子源12对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚11启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构8降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体(1)、加热灯结构(4)、镀锅(7)、控制机构(17)、水冷隔热机构(8)、坩埚(11)、离子源(12)和驱动机构，其特征在于：所述蒸镀机本体(1)内部分为第一中空腔体(2)和第二中空腔(3)，加热灯结构(4)、镀锅(7)、水冷隔热机构(8)、坩埚(11)、离子源(12)和驱动机构均设置于蒸镀机本体(1)的第一中空腔体(2)内，控制机构(17)位于蒸镀机本体(1)的第二中空腔(3)内，第一中空腔体(2)和第二中空腔(3)相邻，驱动机构包括：马达(15)、抽真空泵组(16)、旋转气缸(29)，所述驱动机构与控制机构(17)电性连接，所述第一中空腔体(2)的顶部设有镀锅(7)，所述镀锅(7)的顶端连接马达(15)，所述镀锅(7)下部设有加热灯结构(4)、坩埚(11)和离子源(12)，所述加热灯结构(4)、坩埚(11)和离子源(12)固定在第一中空腔体(2)的底板上，所述第一中空腔体(2)的一侧面设有主阀腔(18)，主阀腔(18)与第一中空腔体(2)连通，所述主阀腔(18)上设有水冷隔热机构(8)，主阀腔(18)的下部设有与主阀腔(18)通过真空管连通的抽真空泵组(16)，抽真空泵组(16)位于蒸镀机本体(1)外部的支架上，所述第一中空腔体(2)的与主阀腔(18)相对面设有腔门(19)，腔门(19)与第一中空腔体(2)铰接，腔门(19)前端设有视窗结构(20)。
2.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：第一中空腔体(2)底板的上部设有防着(21)，防着(21)与底板设有间隙，防着(21)上设有坩埚(11)孔和遮板(23)装置孔，所述坩埚(11)位于间隙处且坩埚(11)的开口于坩埚(11)孔套接，坩埚(11)的开口上方设有遮板(23)，所述遮板(23)与坩埚(11)的开口设有间隙，所述遮板(23)旁设有遮条(24)，遮条(24)固定安装在防着(21)上，通过旋转气缸(29)带动遮板(23)旋转，遮板(23)的功能为蒸发在淀积开始之前将遮板(23)移至坩埚(11)上方，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板(23)。
3.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：防着(21)与底板之间设有多根立柱(25)，立柱(25)作为防着(21)与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚(11)孔与坩埚(11)的开口位于同一水平面上。
4.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：镀锅(7)为公转镀锅或者行星转镀锅的一种。
5.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：当镀锅(7)为公转镀锅，修正机构包括两个修正板(26)和支杆(27)，所述支杆(27)位于公转镀锅和坩埚(11)之间，所述支杆(27)平行于所述公转镀锅，两个修正板(26)可拆卸的连接在支杆(27)的上端且两个修正板(26)关于所述公转镀锅(7)的轴线对称，所述修正板(26)为柳叶形薄板，所述两个修正板(26)间隔平行设置，两个修正板(26)的上表面与镀锅(7)平行，两个修正板(26)的下表面与蒸发源平行。
6.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：视窗结构(20)从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和安装板，安装板固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴(22)，回转轴(22)与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴(22)同步旋转，安装板上设置有观察孔。
7.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：加热灯结构(4)包括：固定杆(5)和加热灯(6)，加热灯(6)通过调节件连接在固定杆(5)的一端，固定杆(5)的另一端连接加热灯(6)变压器，加热灯(6)变压器与第一中空腔体(2)的底板固定。
8.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：所述离子源(12)安装在离子源安装架上，所述离子源安装架位于蒸镀机本体(1)底板上部，离子源安装架包括第一支架(13)和第二支架(14)，第一支架(13)和第二支架(14)通过螺母或者螺栓连接，第一支架(13)和第二支架(14)角度可调节。
9.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：水冷隔热机构(8)包括多片散热(9)和水冷管(10)，多个散热(9)固定安装在主阀腔(18)的底板上，所述多个散热(9)呈百叶型排列，相邻的两片散热(9)相互间隔平行，所述散热(9)设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热(9)的两端通过水冷管(10)串接，所述水冷管(10)的一端为进水口，水冷管(10)的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒，第一螺栓套筒和第二螺栓套筒分别与主阀腔(18)的底板可拆卸连接。
10.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：抽真空泵组(16)包括初抽泵和主泵，初抽泵为钢泵或者油泵的一种，主泵为低温泵，主泵的管路上连接有真空计，当初抽泵抽至满足主泵的工作条件后启动主泵进行抽真空。
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| CN202023304244.9U CN214193432U (zh) | 2020-12-31 | 2020-12-31 | 一种新型蒸镀机 |
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| CN202023304244.9U Active CN214193432U (zh) | 2020-12-31 | 2020-12-31 | 一种新型蒸镀机 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117448750A (zh) * | 2023-10-25 | 2024-01-26 | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 | 基于激光转移技术的超疏水玻璃制备用蒸镀方法及设备 |
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2020
- 2020-12-31 CN CN202023304244.9U patent/CN214193432U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117448750A (zh) * | 2023-10-25 | 2024-01-26 | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 | 基于激光转移技术的超疏水玻璃制备用蒸镀方法及设备 |
| CN117448750B (zh) * | 2023-10-25 | 2024-04-19 | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 | 基于激光转移技术的超疏水玻璃制备用蒸镀方法及设备 |
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| GR01 | Patent grant | ||
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