CN219260170U - 一种干法镀膜设备腔体 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种干法镀膜设备腔体；本实用新型通过水泵将水箱内的冷却液输送至水冷管，使水冷管对真空镀膜机腔体进行降温冷却，同时通过导热层和多个散热条的相互配合进一步加强了冷却降温效果，通过电机使扇叶转动，使外部的冷气体进入到安装腔内，冷气体对水冷管、导热层和多个散热条进行降温，通过扇叶转动使安装腔内的热气体排出，从而提高了真空镀膜机腔体的冷却效率，而且采用水冷以及风冷两者方式对真空镀膜机腔体进行冷却降温，具有降温速度快、降温效率高的优点，进一步实现该真空镀膜机腔体可以长时间保持低温状态，有利于提高真空镀膜机的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种干法镀膜设备腔体。
背景技术
气相沉积技术包括物理气相沉积技术和化学气相沉积技术，对于要求产生特性形状的镀膜层时一般采用掩膜工艺。干法镀膜机采用真空镀膜的方式，现有技术中的真空镀膜机还存在一些不足，例如专利申请号为：202022466428.9的专利，一种干法镀膜设备腔体，包括真空室，所述真空室内部两侧对称设有磁控溅射机，所述磁控溅射机之间设有夹持装置，所述夹持装置包括底座、旋转电机、支撑架、突出块、弹簧、夹持板和保护垫，所述真空室内底部设有底座，所述底座内部设有旋转电机，所述旋转电机贯穿底座固定连接有支撑架；该干法镀膜设备腔体虽然有利于磁控溅射机对支撑架上的基材进行均匀的喷涂，但是该干法镀膜设备腔体不具有冷却的功能，镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效地进行冷却，以确保其正常工作，如果不及时冷却，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。
本实用新型的目的在于提供一种干法镀膜设备腔体，以解决上述背景技术中提到的问题。
实用新型内容
为实现上述目的，本实用新型提供一种干法镀膜设备腔体，包括真空室，所述真空室内部两侧对称设有磁控溅射机，所述磁控溅射机之间设有夹持装置，所述真空室侧壁内设有安装腔，所述安装腔内侧壁设有导热层，所述导热层外壁盘绕设有水冷管，所述导热层外壁环绕设有多个散热条，所述水冷管下端连接出水管，所述真空室一侧设有冷凝器，所述冷凝器通过导管与水箱相连，所述出水管贯穿安装腔与冷凝器相连，所述水箱上端设有水泵，所述水泵的抽水端与水箱相连，且出水端连接进水管，所述进水管远离水泵的一端贯穿安装腔上侧与水冷管上端相连，所述安装腔外壁上侧环绕贯穿设有多个进气孔，所述安装腔外壁下侧环绕贯穿设有多个安装框，多个所述安装框内分别设有安装架，多个所述安装架上分别安装有电机，多个所述电机的输出轴分别连接有扇叶。
优选的，多个所述安装框外侧内壁设有防尘网。
优选的，多个所述进气孔内壁设有防尘网。
优选的，所述水箱内部填充有冷却液。
优选的，多个所述散热条与水冷管交错设置。
优选的，所述真空室、水箱和冷凝器设置在底座上端。
优选的，多个安装框位于多个进气孔下侧。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过水泵将水箱内的冷却液输送至水冷管，使水冷管对真空镀膜机腔体进行降温冷却，同时通过导热层和多个散热条的相互配合进一步加强了冷却降温效果，通过电机使扇叶转动，使外部的冷气体进入到安装腔内，冷气体对水冷管、导热层和多个散热条进行降温，通过扇叶转动使安装腔内的热气体排出，从而提高了真空镀膜机腔体的冷却效率，而且采用水冷以及风冷两者方式对真空镀膜机腔体进行冷却降温，具有降温速度快、降温效率高的优点，进一步实现该真空镀膜机腔体可以长时间保持低温状态，有利于提高真空镀膜机的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的图2中A处局部放大图；
图3为本实用新型的安装框剖面图。
图中：1、真空室；2、磁控溅射机；3、夹持装置；4、安装腔；5、导热层；6、水冷管；7、散热条；8、出水管；9、冷凝器；10、导管；11、水箱；12、水泵；13、进水管；14、进气孔；15、安装框；16、安装架；17、电机；18、扇叶；19、防尘网；20、底座。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更加全面的描述，附图中给出了本实用新型的若干实施例，但是本实用新型可以通过不同的形式来实现，并不限于文本所描述的实施例，相反的，提供这些实施例是为了使对本实用新型公开的内容更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上也可以存在居中的元件，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件，本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常连接的含义相同，本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型，本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
以下结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
实施例一
请参阅图1-3，本实用新型提供一种干法镀膜设备腔体，包括真空室1，所述真空室1内部两侧对称设有磁控溅射机2，所述磁控溅射机2之间设有夹持装置3，所述真空室1侧壁内设有安装腔4，所述安装腔4内侧壁设有导热层5，所述导热层5外壁盘绕设有水冷管6，所述导热层5外壁环绕设有多个散热条7，所述水冷管6下端连接出水管8，所述真空室1一侧设有冷凝器9，所述冷凝器9通过导管10与水箱11相连，所述出水管8贯穿安装腔4与冷凝器9相连，所述水箱11上端设有水泵12，所述水泵12的抽水端与水箱11相连，且出水端连接进水管13，所述进水管13远离水泵12的一端贯穿安装腔4上侧与水冷管6上端相连，所述安装腔4外壁上侧环绕贯穿设有多个进气孔14，所述安装腔4外壁下侧环绕贯穿设有多个安装框15，多个所述安装框15内分别设有安装架16，多个所述安装架16上分别安装有电机17，多个所述电机17的输出轴分别连接有扇叶18。
请着重参考图1、图3，多个所述安装框15外侧内壁设有防尘网19，起到保护扇叶18的作用，也起到防尘的作用。
请着重参考图1、图2，多个所述进气孔14内壁设有防尘网19，起到防尘的作用。
请着重参考图1，所述水箱11内部填充有冷却液，多个所述散热条7与水冷管6交错设置，能够更好地进行冷却降温，所述真空室1、水箱11和冷凝器9设置在底座20上端，多个安装框15位于多个进气孔14下侧。
本实用新型实施例一的具体操作方式如下：
工作时，开启多个电机17和水泵12，通过水泵12将水箱11内的冷却液输送至水冷管6，使水冷管6对真空镀膜机腔体进行降温冷却，冷凝器9对水冷管6内的冷却液进行降温，再通过导管10导入水箱11内部，水泵12再将冷却液从水箱11内部导入水冷管6内部，对真空镀膜机腔体进行降温冷却，同时通过导热层5和多个散热条7的相互配合进一步加强了冷却效果，通过电机17使扇叶18转动，使外部的冷气体进入到安装腔4内，冷气体对水冷管6、导热层5和多个散热条7进行降温，通过扇叶18转动使安装腔4内的热气体排出。
上述结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的这种非实质改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种干法镀膜设备腔体，包括真空室(1)，所述真空室(1)内部两侧对称设有磁控溅射机(2)，所述磁控溅射机(2)之间设有夹持装置(3)，其特征在于：所述真空室(1)侧壁内设有安装腔(4)，所述安装腔(4)内侧壁设有导热层(5)，所述导热层(5)外壁盘绕设有水冷管(6)，所述导热层(5)外壁环绕设有多个散热条(7)，所述水冷管(6)下端连接出水管(8)，所述真空室(1)一侧设有冷凝器(9)，所述冷凝器(9)通过导管(10)与水箱(11)相连，所述出水管(8)贯穿安装腔(4)与冷凝器(9)相连，所述水箱(11)上端设有水泵(12)，所述水泵(12)的抽水端与水箱(11)相连，且出水端连接进水管(13)，所述进水管(13)远离水泵(12)的一端贯穿安装腔(4)上侧与水冷管(6)上端相连，所述安装腔(4)外壁上侧环绕贯穿设有多个进气孔(14)，所述安装腔(4)外壁下侧环绕贯穿设有多个安装框(15)，多个所述安装框(15)内分别设有安装架(16)，多个所述安装架(16)上分别安装有电机(17)，多个所述电机(17)的输出轴分别连接有扇叶(18)。
2.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个所述安装框(15)外侧内壁设有防尘网(19)。
3.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个所述进气孔(14)内壁设有防尘网(19)。
4.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：所述水箱(11)内部填充有冷却液。
5.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个所述散热条(7)与水冷管(6)交错设置。
6.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：所述真空室(1)、水箱(11)和冷凝器(9)设置在底座(20)上端。
7.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个安装框(15)位于多个进气孔(14)下侧。
Priority Applications (1)
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| CN202223544537.3U Active CN219260170U (zh) | 2022-12-29 | 2022-12-29 | 一种干法镀膜设备腔体 |
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2022
- 2022-12-29 CN CN202223544537.3U patent/CN219260170U/zh active Active
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