KR20100053365A - 하향 증착이 가능한 증착원 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 하측이 막혀 있는 원통형의 일정 깊이의 물질을 담는 공간이 형성되어 있는 원기둥;상기 공간과 상기 원기둥 외경의 사이에 상기 원기둥을 관통하는 일정 지름의 다수의 분출구;상기 공간의 상측에서 하측으로 분출구들의 외접원보다 크고 상기 원기둥의 외경보다 작은 지름으로 일정 깊이의 나사 산이 형성된 반사 홈; 및상기 나사 산에 결합하는 나사 산이 형성되어 있으며, 상기 반사 홈의 깊이보다 얇은 두께의 원판형태의 뚜껑을 포함하는 도가니와,상기 도가니의 외 측에 위치하며 상기 도가니를 가열하기 위한 가열부;상기 가열부의 외 측에 위치하며 상기 가열부에서 발생한 열이 외부로 방출되는 것을 방지하기 위한 열 반사판;상기 열 반사판의 외 측에 위치하며 원통형으로 구성되고 상기 도가니를 고정하는 고정부가 하측에 형성되어 있는 외피; 및상기 측면 외피의 내경에 결합하는 일정 두께의 원판 형태의 상측 외피로 구성되어 상기 도가니 하측에 위치한 기판에 증착 가능한 하향식 증착원.
- 제 1항에 있어서, 상기 분출구를 형성함에 있어 분출구 간의 간격을 유지하 여 상기 가열부에서 발생한 열이 상기 도가니 내부에 물질이 충진되는 공간에 효과적으로 전달되도록 하는 하향식 도가니를 포함하는 하향식 증착원.
- 제 1항에 있어서, 도가니의 하측에 분출구의 내접원과 외접원 간격의 홈이 분출구의 방향과 상기 도가니의 중심에서 멀어지는 각도로 일정 각도를 유지하며 형성된 분출 방향 조절 노즐이 형성된 도가니.
- 제 1항에 있어서, 도가니를 구성함에 있어 하측이 막혀 있는 직 육면체 형의 일정 깊이의 물질을 담는 공간이 형성되어 있는 직육면체에;상기 공간과 상기 직육면체의 간격 사이에 상기 직육면체를 관통하는 일정 지름의 다수의 분출구;상기 공간의 상측에서 하측으로 분출구들에 외접하는 직사각형보다 크고 상기 직육면체의 외 측보다 작은 간격의, 일정 깊이의 홈이 형성된 반사 홈; 및상기 일정 깊이 홈에 결합하는, 상기 반사 홈의 깊이보다 얇은 두께의 직육면체의 뚜껑을 포함하는 선형 도가니.
- 제 5항에 있어서, 상기 관통하는 분출구를 구성함에 있어, 상기 선형 도가니 의 장 측의 중심에서 양끝부분으로 갈수록 상기 분출구의 지름을 크게 형성한 선형도가니.
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