CN117699432A - 一种探针台及探针台的上下料方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种探针台及探针台的上下料方法。探针台包括机架、检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件，X轴驱动组件用于驱动承载工作台沿X轴移动，Y轴驱动组件用于驱动承载工作台沿Y轴移动，探针台还包括：料盒升降组件，设置于机架上，用于将装有待检测物料的料盒运输至抓手组件的工作位置处；抓手组件，设置于承载工作台上，用于在X轴驱动组件和Y轴驱动组件的作用下抓取待检测物料；托手组件，设置于抓手组件上方，用于将待检测物料放置于承载工作台上。通过X轴驱动组件和Y轴驱动组件带动抓手组件抓取物料，并配合托手组件和料盒升降组件可以实现探针台上待检测物料的自动上下料，无需设置副机台，节省占地面积。

Description

一种探针台及探针台的上下料方法

技术领域

本申请涉及半导体检测设备技术领域，尤其涉及一种探针台及探针台的上下料方法。

背景技术

探针台主要用于在芯片生产过程中对芯片进行检测。探针台一般包括检测工作台和承载工作台，检测时需要将待检测的芯片放置于承载工作台上，然后承载工作台带动待检测的芯片移动到检测工作台对应的检测位对芯片进行检测。

为实现探针台的自动上下料，现有技术中一般都是在探针台侧边增加副机台，在副机台上设置上下料机构来抓取待检测的芯片放置于探针台的承载工作台上，并在检测后将芯片从承载工作台取下。

但是，现有技术中，通过设置副机台来实现探针台上芯片自动上下料的方案，会导致探针台的检测所用设备的占地面积大幅增加，同时增加整体设备成本。

发明内容

本申请提供一种探针台及探针台的上下料方法，以解决现有技术中探针台的检测所用设备的占地面积大幅增加，同时会增加整体设备成本的技术问题。

为解决上述问题，本申请提供一种探针台，所述探针台包括机架以及设置于所述机架上的检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件，所述检测工作台固定设置于所述机架上，所述承载工作台设置于所述检测工作台的下方，所述X轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿X轴移动，所述Y轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿Y轴移动，所述探针台还包括料盒升降组件、抓手组件和托手组件；

所述料盒升降组件，设置于所述机架上，所述料盒升降组件用于将装有待检测物料的料盒运输至所述抓手组件的工作位置处；

所述抓手组件，设置于所述承载工作台上，用于在所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件的作用下抓取待检测物料，并将待检测物料运输至所述托手组件的工作位置处；

所述托手组件，设置于所述抓手组件上方，用于将待检测物料放置于所述承载工作台上。

在一些实施例中，所述料盒升降组件包括：

升降滑轨，设置于所述机架上；

固定座，可移动设置于所述升降滑轨，用于固定待检测物料的料盒；所述固定座包括基板、载板和夹紧机构；所述载板沿Y轴可移动设置于所述基板，用于支撑所述料盒；所述夹紧机构设置于所述载板上，用于夹紧固定所述料盒。

在一些实施例中，所述料盒升降组件还包括：

第一在位传感器，用于检测所述料盒是否在位；

第二在位传感器，用于检测所述料盒中的待检测物料是否在位。

在一些实施例中，所述抓手组件包括：

底板；

夹爪机构，沿Y轴可移动设置于所述底板上，用于夹持待检测物料；

位移检测部，设置于所述夹爪机构背向所述料盒升降组件的一侧，用于检测所述夹爪机构是否相对所述底板沿Y轴向远离所述料盒升降组件的方向移动。

在一些实施例中，所述抓手组件还包括：

缓冲部，设置于所述夹爪机构背向所述料盒升降组件的一侧，用于缓解所述夹爪机构相对所述底板沿Y轴向远离所述料盒升降组件的方向移动的撞击。

在一些实施例中，所述抓手组件还包括：

柔性滑台板，沿Y轴可移动设置于所述底板上，所述夹爪机构设置于所述柔性滑台板上；

柔性推块，设置于所述柔性滑台板；

柔性调节基座，设置于所述柔性推块用于背向所述料盒升降组件的一侧，所述缓冲部设置于所述柔性调节基座与所述柔性推块之间。

在一些实施例中，所述托手组件包括相对设置的第一托手和第二托手；

所述第一托手和所述第二托手均包括托板和托手驱动机构，所述托手驱动机构用于驱动所述托板支撑所述待检测物料。

在一些实施例中，所述探针台还包括：

数片传感器，设置于所述承载工作台上，用于识别所述料盒中待检测物料的数量和位置。

本申请还提供一种探针台的上下料方法，应用于任一如上所述的探针台，所述探针台的上下料方法包括：

将装有待检测物料的料盒放置于所述料盒升降组件，并控制所述料盒升降组件将所述料盒输送至所述抓手组件的工作位置处；

控制所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件带动所述抓手组件移动至待检测物料对应位置处，并控制所述抓手组件夹持待检测物料；

控制所述Y轴驱动组件带动所述抓手组件向远离所述料盒的方向移动，以使待检测物料抽离所述料盒，并控制所述料盒升降组件带动所述料盒回复至初始位置；

控制所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件带动所述抓手组件将待检测物料输送至所述托手组件的工作位置处；

控制所述托手组件夹持待检测物料，并带动待检测物料上升至指定位置；

控制所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件带动所述承载工作台运动到上料位置处，并控制所述托手组件下降以将待检测物料放置于所述承载工作台上。

在一些实施例中，当所述抓手组件包括底板、夹爪机构和位移检测部，所述探针台的上下料方法还包括：

当所述位移检测部检测到所述夹爪机构相对所述底板沿Y轴向远离所述料盒升降组件的方向移动，控制所述探针台停机。

本申请实施方式的有益效果是：本申请提供的探针台除机架以及设置于机架上的检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件外，还包括料盒升降组件、抓手组件和托手组件，其中，料盒升降组件设置于机架上，抓手组件设置于承载工作台上，托手组件设置于抓手组件的上方。探针台工作时，通过使料盒升降组件将装有待检测物料的料盒运输至抓手组件的工作位置处，由于抓手组件设置于承载工作台上，可以利用探针台中用于驱动承载工作台移动的X轴驱动组件和Y轴驱动组件带动抓手组件在X轴方向和Y轴方向移动以将待检测物料从料盒中取出，抓手组件将待检测物料从料盒取出后，运输至托手组件的工作位置处，使托手组件带动待检测物料上移，然后通过X轴驱动组件和Y轴驱动组件带动承载工作台移动至上料位置处，控制托手组件下降，将待检测物料放置于承载工作台上，完成自动上料；检测完成后，承载工作台上检测完成的物料先被托手组件抓取，然后由抓手组件从托手组件接过物料，并将其放置于料盒，完成自动下料。可见，本申请提供的探针台通过在承载工作台上设置抓手组件，并设置配合物料中转的托手组件，在不另外设置副机台的情况下，即可完成探针台的自动上下料，可以有效减少半导体检测设备的占地面积，提高对探针台中移动驱动机构的利用率，降低整体设备成本。

抓手组件在将检测后的物料放回取料盒的过程中，当出现抓手组件上的物料碰到料盒的情况，抓手组件的夹爪机构沿Y轴相对抓手组件的底板向远离料盒的方向移动，进而触发位移检测部，然后可以根据位移检测部的感应信息控制探针台停机，同时抓手组件的缓冲部可以缓解夹爪机构沿Y轴向远离料盒方向移动的撞击，避免物料受损，保障探针台使用的安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是本申请一实施例提供的探针台的立体结构示意图；

图2是图1中A处的放大图；

图3是本申请一实施例提供的探针台中料盒升降组件的结构示意图；

图4是本申请一实施例提供的探针台中料盒升降组件与料盒配合的结构示意图；

图5是本申请一实施例提供的探针台中抓手组件第一视角的结构示意图；

图6是本申请一实施例提供的探针台中抓手组件第二视角的结构示意图；

图7是本申请一实施例提供的探针台中托手组件的第一托手的结构示意图；

图8是本申请一实施例提供的探针台中料盒升降组件带动料盒运输至抓手组件的工作位置处的局部结构示意图；

图9是本申请一实施例提供的探针台中抓手组件抓取载环的局部结构示意图；

图10是本申请一实施例提供的探针台中托手组件夹持载环的局部结构示意图；

图11是本申请一实施例提供的探针台中托手组件将载环放置于承载工作台的结构示意图；

图中：100、探针台；10、机架；20、检测工作台；30、承载工作台；31、θ轴驱动台；40、X轴驱动组件；50、Y轴驱动组件；60、料盒升降组件；61、升降滑轨；62、固定座；621、基板；622、载板；6221、定位块；623、夹紧机构；6231、挡板；6232、夹紧气缸；63、第一在位传感器；64、第二在位传感器；70、抓手组件；71、底板；72、夹爪机构；721、夹爪气缸；722、夹爪活动板；723、夹爪固定板；73、位移检测部；74、遮挡部；75、缓冲部；76、柔性滑台板；77、柔性推块；78、柔性调节基座；80、托手组件；81、第一托手；811、托板；812、托手驱动机构；82、第二托手；90、数片传感器；200、料盒；300、载环。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

请参阅图1和图2，探针台100包括机架10以及设置于机架10上的检测工作台20、承载工作台30、X轴驱动组件40、Y轴驱动组件50，检测工作台20固定设置于机架10上，承载工作台30设置于检测工作台20的下方，X轴驱动组件40用于驱动承载工作台30沿X轴移动，Y轴驱动组件50用于驱动承载工作台30沿Y轴移动。本申请提供的探针台100还包括料盒升降组件60、抓手组件70和托手组件80。其中，料盒升降组件60设置于机架10上，料盒升降组件60用于将装有待检测物料的料盒200运输至抓手组件70的工作位置处；抓手组件70设置于承载工作台30上，用于在X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50的作用下抓取待检测物料，并将待检测物料运输至托手组件80的工作位置处；托手组件80设置于抓手组件70上方，用于将待检测物料放置于承载工作台30上。

如图8和图11所示，需要说明的是，探针台100中承载工作台30设置于检测工作台20的下方，是指单在竖直方向上承载工作台30位于检测工作台20的下方，承载工作台30可在X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50的驱动下在水平方向上移动，以移出检测工作台20的正下方装卸载物料和移动至检测工作台20的正下方对物料进行检测。其中X轴和Y轴为水平面内相互垂直的两个方向。

检测工作台20固定设置于机架10上，用于对承载工作台30上的物料进行检测。本申请实施例对检测工作台20的具体结构不做限制，可以理解，检测工作台20上设置有对应检测仪器设备。

承载工作台30可在X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50的驱动下在水平方向上移动。例如，如图1所示，探针台100中承载工作台30可以移动设置于X轴驱动组件40，X轴驱动组件40移动设置于Y轴驱动组件50。其中X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50为直线驱动机构，例如可以为气缸组件或电动伸缩杆组件，但并不限于此。本申请实施例中以待检测物料为芯片为例进行说明，芯片在探针台100上进行检测时，一般是装载在载环300上，检测时载环300放置于承载工作台30上，然后承载工作台30上的θ轴驱动台31带动载环300转动以实现载环300上芯片的检测。

料盒升降组件60设置于机架10上，承载工作台30通过沿Y轴移动可以移出检测工作台20的正下方，以完成上下料。当承载工作台30移动到检测工作台20的正下方对芯片进行检测，在Y轴方向上，机架10上承载工作台30的一侧具有一定的空间，如图1所示，从而可以使料盒升降组件60在Y轴方向上设置于Y轴驱动组件50的一端，并在X轴方向上位于Y轴驱动组件50的两滑轨之间。但是，料盒升降组件60在探针台100中相对检测工作台20的设置位置并不限于此，例如，料盒升降组件60也可以在沿X轴方向上设置于检测工作台20的一侧。

料盒升降组件60用于将装有待检测物料的料盒200运输至抓手组件70的工作位置处。抓手组件70设置于承载工作台30上，可在X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50的驱动下实现水平方向的移动，所以料盒升降组件60主要在竖直方向上实现对料盒200的运输。抓手组件70的工作位置处，即，抓手组件70能够抓取料盒200中载环300的高度。需要说明的是，料盒200可以在竖直方向上装载多个载环300，可以理解，抓手组件70抓取料盒200中不同位置的载环300时，料盒200的上升位置不同。

请一并参阅图3和图4，在一些实施例中，料盒升降组件60可以包括升降滑轨61和固定座62。其中，升降滑轨61设置于机架10上；固定座62可移动设置于升降滑轨61上，固定座62用于固定待检测物料的料盒200。其中，升降滑轨61可以丝杆，固定座62可以通过螺纹套设置于丝杆上。固定座62可以包括基板621、载板622和夹紧机构623。使载板622沿Y轴可移动设置于基板621上，载板622用于支撑料盒200；夹紧机构623设置于载板622上，以夹紧固定载板622上的料盒200。其中夹紧机构623可以包括设置于载板622相对两侧的挡板6231和夹紧气缸6232，通过夹紧气缸6232带动两挡板6231相互靠近实现对料盒200的夹紧。

通过使固定座62中载板622沿Y轴可移动设置，在将料盒200装载或卸载时，可以使载板622相对基板621沿Y轴向远离承载工作台30的方向移动，如图11所示，可以避免两侧机架10妨碍操作，提高料盒200的装载效率。

如图3所示，在一些实施例中，料盒升降组件60还可以包括第一在位传感器63和第二在位传感器64。第一在位传感器63用于检测料盒200是否在位，第二在位传感器64用于检测料盒200中的待检测物料是否在位。需要说明的是，当待检测物料为芯片，芯片也以装载于载环300的形式装载于料盒200中，第二在位传感器64检测料盒200中的待检测物料是否在位，即检测料盒200中的载环300是否在位。

料盒200放置于固定座62的载板622上，第一在位传感器63检测料盒200是否在位，可以理解，是检测载板622上是否有放置料盒200，以方便检测到料盒200被放置于载板622后控制夹紧机构623夹紧料盒200。第一在位传感器63可以为设置于载板622的压力传感器或者光电传感器，但并不限于此。

为保障料盒200放置到位以方便夹紧，载板622上还可以设置有定位块6221，方便判断料盒200在载板622上的放置位置是否到位。

第二在位传感器64可以为对射光电传感器，但并不限于此。通过设置第二在位传感器64，在抓手组件70从料盒200中抓取载环300时，可以通过第二在位传感器64判断载环300是否已经脱离料盒200，以方便控制探针台100进行下一步动作。

抓手组件70设置于承载工作台30上。如图2所示，为方便抓手组件70从料盒200中抓取载环300，可以理解，抓手组件70设置于承载工作台30朝向料盒升降组件60的一侧。抓手组件70用于在X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50的作用下抓取待检测物料，并将待检测物料运输至托手组件80的工作位置处。其中，托手组件80的工作位置处指托手组件80能够夹持载环300的对应位置。

请一并参阅图5和图6，在一些实施例中，抓手组件70可以包括底板71、夹爪机构72和位移检测部73。其中，夹爪机构72沿Y轴可移动设置于底板71上，用于夹持待检测物料；位移检测部73设置于夹爪机构72背向料盒升降组件60的一侧，用于检测夹爪机构72是否相对底板71沿Y轴向远离所述料盒升降组件60的方向移动。通过使夹爪机构72沿Y轴可移动设置于底板71上，并设置位移检测部73，抓手组件70在将载环300放回料盒200时，当出现没有对应的放料槽的情况时，抓手组件70上的物料会碰到料盒200的边缘，从而抓手组件70的夹爪机构72沿Y轴相对抓手组件70的底板71向远离料盒200的方向移动，进而触发位移检测部73，可以根据位移检测部73的感应信息控制探针台100停机，以使工作人员能够及时解决问题，避免出现载环300没回到位，或者载环300错位强行回位，导致载环300或料盒200出现损坏的情况。

其中位移检测部73可以为光电传感器或红外传感器，但并不限于此。例如，当位移检测部73为光电传感器，夹爪机构72上可以设置有遮挡部74，夹爪机构72移动时通过遮挡部74遮挡位光电传感器，检测夹持机构的位移。

需要说明的是，由于载环300一般为薄片状结构，夹爪机构72包括上下对应设置夹爪固定板723和夹爪活动板722，夹爪气缸721带动夹爪活动板722向夹爪固定板723移动实现夹爪机构72对载环300的抓取，然后通过Y轴驱动机构带动抓手组件70向远离料盒200的方向移动，可以使载环300脱离料盒200。

在一些实施例中，抓手组件70还包括缓冲部75。缓冲部75设置于夹爪机构72背向料盒升降组件60的一侧，用于缓解夹爪机构72相对底板71沿Y轴向远离料盒升降组件60的方向移动的撞击。

需要说明的是，在抓手组件70抓住载环300将载环300放回料盒200的过程中，抓手组件70上的载环300与料盒200可能发生碰撞，由于料盒200是固定的，抓手组件70中夹爪机构72沿Y轴可移动设置于底板71，抓手组件70上的载环300与料盒200发生碰撞后，会使载环300推动夹爪机构72相对底板71沿Y轴移动，通过在夹爪机构72背向料盒升降组件60的一侧设置缓冲部75，缓冲部75在能够限制夹爪机构72相对底板71的移动距离外，还能够缓解夹爪机构72相对底板71沿Y轴向远离料盒升降组件60的方向移动而与缓冲部75发生的撞击，有效避免载环300以及载环300上的物料受损。

其中缓冲部75可以为弹簧或橡胶件，但并不限于此。在一些实施例中，为保障对载环300的缓冲效果，抓手组件70还可以包括柔性滑台板76、柔性推块77和柔性调节基座78。其中，柔性滑台板76沿Y轴可移动设置于底板71上，夹爪机构72设置于柔性滑台板76上；柔性推块77设置于柔性滑台板76上；柔性调节基座78设置于柔性推块77用于背向料盒升降组件60的一侧，缓冲部75设置于柔性调节基座78与柔性推块77之间。从而夹爪机构72沿Y轴向远离料盒200的方向移动时，柔性托块会撞击到缓冲部75上。柔性滑台板76和柔性推块77可以为橡胶材质，夹爪机构72设置于柔性滑台板76上，进一步全方位实现对载环300的缓冲，提高缓冲效果。

当缓冲部75为弹簧，柔性调节基座78可以包括螺杆和基座，基座设置有与螺杆配合的螺纹孔，缓冲部75一端与螺杆连接，另一端与柔性推块77连接，通过转动螺杆可以调节弹簧的伸出量，相当于调节夹爪机构72相对底板71移动以触发位移检测部73所需克服的阻力。

如图10和图11所示，托手组件80设置于抓手组件70上方，用于将待检测物料放置于承载工作台30上。可以理解，在探针台100的自动上下料过程中，托手组件80主要在承载工作台30和抓手组件70之间起到中转待检测物料的作用。其中，托手组件80位于抓手组件70的上方，可以使托手组件80设置于机架10上或者检测工作台20上。

如图2和图7所示，在一些实施例中，托手组件80包括相对设置的第一托手81和第二托手82。第一托手81和第二托手82均包括托板811和托手驱动机构812，托手驱动机构812用于驱动托板811支撑待检测物料。可以理解，托手驱动机构812包括竖直方向的直线驱动机构和水平方向上的直线驱动机构，竖直方向的直线驱动机构用于带动托板811上下移动，水平方向的直线驱动机构用于带动第一托手81的托板811和第二托手82的托板811在水平方向上相互靠近或相互远离移动，以实现对载环300的夹持。其中竖直方向的直线驱动机构和水平方向上的直线驱动机构可以选用笔型气缸、小型自由气缸，但并不限于此。

如图8所示，在一些实施例中，探针台100还可以包括数片传感器90。数片传感器90，设置于承载工作台30上，用于识别料盒200中待检测物料的数量和位置。料盒升降组件60带动料盒200上升过程中使料盒200中的载环300依次经过数片传感器90，从而数片传感器90可以实现对料盒200中载环300的数量和位置的识别。需要说明的是，由于载环300在料盒200中层叠放置，数片传感器90识别料盒200中待检测物料在竖直方向的的位置。

数片传感器90可以为红外传感器或超声波传感器，但并不限于此。通过设置数片传感器90来识别料盒200中待检测物料的数量和位置，探针台100的控制系统可以根据数片传感器90的感应信息控制抓手组件70的移动，以保障抓取载环300位置准确性。

如图8和图11所示，在另一些实施例中，本申请还提供一种探针台100的上下料方法，应用于任一上述实施例的探针台100。探针台100的上下料方法包括以下：

步骤S11，将装有待检测物料的料盒200放置于所述料盒升降组件60，并控制料盒升降组件60将料盒200输送至抓手组件70的工作位置处。

步骤S12，控制X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50带动抓手组件70移动至待检测物料对应位置处，并控制抓手组件70夹持待检测物料。

步骤S13，控制Y轴驱动组件50带动抓手组件70向远离料盒200的方向移动，以使待检测物料抽离料盒200，并控制料盒升降组件60带动料盒200回复至初始位置。

需要说明的是，使待检测物料抽离料盒200，即使载环300完成从料盒200中取出。由于载环300从料盒200中取出后，后续会通过托手组件80放置到承载工作台30的θ轴驱动台31上，这就需要承载工作台30移出检测工作台20的正下方，即需要使承载工作台30在Y轴方向上向靠近料盒升降组件60的方向移动，为避免料盒升降组件60对承载工作台30沿Y轴方向的影响，所以需要控制料盒升降组件60带动料盒200回复至初始位置。料盒200的初始位置可以理解为料盒200的最低位置。如图11所示， 图11中料盒200位于初始位置。

步骤S14，控制X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50带动抓手组件70将待检测物料输送至托手组件80的工作位置处。如图10所示。

步骤S15，控制托手组件80夹持待检测物料，并带动待检测物料上升至指定位置。

需要说明的是，本申请实施例中对托手组件80带动载环300上升的具体距离不做限制，托手组件80带动载环300上升后，不影响承载工作在沿Y轴的移动即可。可以通过预先设置托手组件80竖直方向的移动行程实现将载环300上升至指定位置。

步骤S16，控制X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50带动承载工作台30运动到上料位置处，并控制托手组件80下降以将待检测物料放置于承载工作台30上。如图11所示。

可以理解，承载工作台30得到上料位置处，即使承载工作台30的θ轴驱动台31与托手组件80上的载环300对应位置处，从而托手组件80带动载环300下降后能够将载环300放置于承载工作台30的θ轴驱动台31上。

需要说明的是，可以理解，上述步骤S11至步骤S16为探针台100上载环300自动上料的过程。根据载环300自动上料的过程，可以理解，本申请上述实施例提供的探针台100自动下料的过程为：检测完成后，X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50带动承载工作台30移动至上料位置处，托手组件80下降夹持载环300，并带动载环300上升，然后X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50驱动抓手组件70移动至托手组件80的工作位置处，使载环300从托手组件80上转移到抓手组件70上，然后X轴驱动组件40和Y轴驱动组件50带动抓手组件70将载环300放置回料盒200中，料盒升降组件60带动料盒200回到初始位置，完成载环300的自动下料。

在一些实施例中，当探针台100的抓手组件70包括底板71、夹爪机构72和位移检测部73，探针台100的上下料方法还包括：

当所述位移检测部73检测到所述夹爪机构72相对所述底板71沿Y轴向远离所述料盒升降组件60的方向移动，控制所述探针台100停机。

抓手组件70在将检测后的物料放回取料盒200的过程中，当抓手组件70上的载环300与料盒200中载环300的放置位不对应，抓手组件70上的载环300会与料盒200发生碰撞，进而抓手组件70的夹爪机构72沿Y轴相对抓手组件70的底板71向远离料盒200的方向移动，进而触发位移检测部73，通过根据位移检测部73的感应信息控制探针台100停机，可以使工作人员能够及时被通知并解决问题，避免出现载环300没回到位，或者载环300错位强行回位，导致载环300或料盒200出现损坏的情况。

需要说明的是，本申请上述实施例提供的探针台100以及探针台的上下料方法所应用的探针台100中，料盒升降组件60相对检测工作台20的设置位置，在X轴方向上位于检测工作台20的一侧或者在Y轴方向上位于检测工作台20的一侧，均落入本申请的专利保护范围。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所做的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种探针台，包括机架以及设置于所述机架上的检测工作台、承载工作台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件，所述检测工作台固定设置于所述机架上，所述承载工作台设置于所述检测工作台的下方，所述X轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿X轴移动，所述Y轴驱动组件用于驱动所述承载工作台沿Y轴移动，其特征在于，所述探针台还包括料盒升降组件、抓手组件和托手组件；

所述料盒升降组件，设置于所述机架上，所述料盒升降组件用于将装有待检测物料的料盒运输至所述抓手组件的工作位置处；

所述抓手组件，设置于所述承载工作台上，用于在所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件的作用下抓取待检测物料，并将待检测物料运输至所述托手组件的工作位置处；

所述托手组件，设置于所述抓手组件上方，用于将待检测物料放置于所述承载工作台上。

2.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述料盒升降组件包括：

升降滑轨，设置于所述机架上；

固定座，可移动设置于所述升降滑轨，用于固定待检测物料的料盒；所述固定座包括基板、载板和夹紧机构；所述载板沿Y轴可移动设置于所述基板，用于支撑所述料盒；所述夹紧机构设置于所述载板上，用于夹紧固定所述料盒。

3.如权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述料盒升降组件还包括：

第一在位传感器，用于检测所述料盒是否在位；

第二在位传感器，用于检测所述料盒中的待检测物料是否在位。

4.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述抓手组件包括：

底板；

夹爪机构，沿Y轴可移动设置于所述底板上，用于夹持待检测物料；

位移检测部，设置于所述夹爪机构背向所述料盒升降组件的一侧，用于检测所述夹爪机构是否相对所述底板沿Y轴向远离所述料盒升降组件的方向移动。

5.如权利要求4所述的探针台，其特征在于，所述抓手组件还包括：

缓冲部，设置于所述夹爪机构背向所述料盒升降组件的一侧，用于缓解所述夹爪机构相对所述底板沿Y轴向远离所述料盒升降组件的方向移动的撞击。

6.如权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述抓手组件还包括：

柔性滑台板，沿Y轴可移动设置于所述底板上，所述夹爪机构设置于所述柔性滑台板上；

柔性推块，设置于所述柔性滑台板；

柔性调节基座，设置于所述柔性推块用于背向所述料盒升降组件的一侧，所述缓冲部设置于所述柔性调节基座与所述柔性推块之间。

7.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述托手组件包括相对设置的第一托手和第二托手；

所述第一托手和所述第二托手均包括托板和托手驱动机构，所述托手驱动机构用于驱动所述托板支撑所述待检测物料。

8.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针台还包括：

数片传感器，设置于所述承载工作台上，用于识别所述料盒中待检测物料的数量和位置。

9.一种探针台的上下料方法，应用于权利要求1-8任一项所述的探针台，其特征在于，所述探针台的上下料方法包括：

将装有待检测物料的料盒放置于所述料盒升降组件，并控制所述料盒升降组件将所述料盒输送至所述抓手组件的工作位置处；

控制所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件带动所述抓手组件移动至待检测物料对应位置处，并控制所述抓手组件夹持待检测物料；

控制所述Y轴驱动组件带动所述抓手组件向远离所述料盒的方向移动，以使待检测物料抽离所述料盒，并控制所述料盒升降组件带动所述料盒回复至初始位置；

控制所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件带动所述抓手组件将待检测物料输送至所述托手组件的工作位置处；

控制所述托手组件夹持待检测物料，并带动待检测物料上升至指定位置；

控制所述X轴驱动组件和所述Y轴驱动组件带动所述承载工作台运动到上料位置处，并控制所述托手组件下降以将待检测物料放置于所述承载工作台上。

10.如权利要求9所述的探针台的上下料方法，其特征在于，当所述抓手组件包括底板、夹爪机构和位移检测部，所述探针台的上下料方法还包括：

当所述位移检测部检测到所述夹爪机构相对所述底板沿Y轴向远离所述料盒升降组件的方向移动，控制所述探针台停机。