CN117650091A - 一种可调节的旋转升降设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种可调节的旋转升降机构，包括升降机构、连接件、调整组件和旋转机构；所述升降机构与所述连接件的第一侧壁连接，所述升降机构用于带动所述连接件升降；所述调整组件设于所述连接件上并与所述旋转机构连接，所述调整组件用于带动所述旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整。本发明提供的可调节的旋转升降机构通过设置X轴调整部、Y轴调整部和Z轴调整部，实现对旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整，从而提高了旋转升降设备装配的精准度，保证了旋转升降设备与外部设备连接的同心度，大大提高了旋转升降设备的使用寿命。

Description

一种可调节的旋转升降设备

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种可调节的旋转升降机构。

背景技术

在半导体的加工工艺中，晶圆一般采用机械手抓取转移至各个工艺腔体中进行处理。其中，机械手包括旋转升降机构，目前旋转升降机构还大多数为单轴的调节方式，有的甚至没有调节空间只是靠机械加工和产品材料刚度来保障旋转升降机构的精准度。现有的这种调节方式使旋转升降机构的垂直度和水平度很难得到保障，并且在装配的时候需要靠零部件的加工精度和技术要求来保证我们所需的精度，大大提高了生产加工的成本。另外，如果旋转升降机构的精准度无法调节，旋转升降机构在旋转升降的过程中会存在不同心的风险，导致其在运行的过程中就会存在摩擦产生粉尘(particle)污染，大大减少机构的使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可调节的旋转升降设备，实现了对旋转升降设备自身位置的调整，保证了其自身的装配精准度，大大提高了使用寿命。

为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种可调节的旋转升降设备，包括升降机构、连接件、调整组件和旋转机构；

所述升降机构与所述连接件的第一侧壁连接，所述升降机构用于带动所述连接件升降；

所述调整组件设于所述连接件上并与所述旋转机构连接，所述调整组件用于带动所述旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整。

在一些实施例中，所述调整组件包括X轴调整部、Y轴调整部和Z轴调整部；

所述X轴调整部设于所述连接件的第二侧壁，所述Y轴调整部设于所述X轴调整部，所述Z轴调整部设于所述Y轴调整部，所述旋转机构与所述Z轴调整部连接；

当所述X轴调整部调节时，可带动所述Y轴调整部、所述Z轴调整部和所述旋转机构在X轴所在的方向进行位置调整；

当所述Y轴调整部调节时，可带动所述Z轴调整部和所述旋转机构在Y轴所在的方向进行位置调整；

当所述Z轴调整部调节时，可带动所述旋转机构在Z轴所在的方向进行位置调整。

在一些实施例中，所述X轴调整部包括X轴调整器和固定件；

所述固定件固定设于所述第二侧壁的底部；

所述X轴调整器活动的设于所述固定件，且所述X轴调整器的一端为第一抵接端，所述第一抵接端与所述Y轴调整部连接；

当所述X轴调整器活动时，所述第一抵接端可带动所述Y轴调整部沿X轴方向移动。

在一些实施例中，所述Y轴调整部包括Y轴调整器、活动件和调整件；

所述活动件和所述调整件依次设于所述固定件的底部，且所述调整件与所述固定件连接，以夹紧固定所述活动件；

所述第一抵接端的部分位于所述活动件和所述调整件之间，并抵接所述活动件和所述调整件；

所述Y轴调整器活动的设于所述调整件，所述Y轴调整器的一端为第二抵接端，所述第二抵接端的部分位于所述固定件和所述活动件之间，并抵接所述活动件和所述调整件；

当所述X轴调整器活动时，所述第一抵接端带动所述活动件和所述调整件沿X轴方向移动，当所述Y轴调整器活动时，所述第二抵接端抵接所述固定件和所述活动件，以使所述调整件沿Y轴方向移动。

在一些实施例中，所述固定件上开设有贯穿其表面的第一调节口；

所述X轴调整器包括第一转动杆、第一传动块和第一抵接块；其中，

所述第一转动杆沿X轴方向延伸并可转动的穿设于所述固定件，且一端延伸至所述第一调节口；

所述第一传动块位于所述第一调节口内并与所述第一转动杆的一端螺纹连接；

所述第一抵接块位于所述活动件和所述调整件之间，并抵接所述活动件和所述调整件，且所述第一抵接块与所述第一传动块连接；

当转动所述第一转动杆时，所述第一传动块移动以带动所述活动件和所述调整件移动。

在一些实施例中，所述活动件和所述调整件相对的表面均开设有第一安装槽，以形成第一容纳腔，所述第一抵接块设于所述第一容纳腔内。

在一些实施例中，所述调整件上开设有贯穿其表面的第二调节口；

所述Y轴调整器包括第二转动杆、第二传动块和第二抵接块；其中，

所述第二转动杆沿Y轴方向延伸并可转动的穿设于所述调整件，且一端延伸至所述第二调节口；

所述第二传动块位于所述第二调节口内并与所述第二转动杆的一端螺纹连接；

所述第二抵接块位于所述活动件和所述固定件之间，并抵接所述活动件和所述固定件，且所述第二抵接块与所述第二传动块连接；

当转动所述第二转动杆时，所述第二传动块带动所述第二抵接块抵接所述活动件和所述固定件，以使所述调整件沿Y轴方向移动。

在一些实施例中，所述活动件和所述固定件相对的表面均开设有第二安装槽，以形成第二容纳腔，所述第二抵接块设于所述第二容纳腔内。

在一些实施例中，所述Z轴调整部包括Z轴调整器和连接板；

所述连接板设于所述调整件的底部与所述调整件连接，且所述Z轴调整器设于所述连接板上，用于调节所述连接板与所述调整件之间的间距；

所述旋转机构设于所述连接板。

在一些实施例中，所述Z轴调整器包括若干第一螺栓和若干第二螺栓；

所述连接板上开设有第一通孔和第一螺纹孔，所述调整件对应所述第一通孔开设有第二螺纹孔，所述第一螺栓穿过所述第一通孔与所述第二螺纹孔螺纹连接；

所述第二螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接，且所述第二螺栓的一端抵接所述调整件。

在一些实施例中，所述连接板、所述调整件、所述活动件、所述固定件、所述第二侧壁均同轴设置有第二通孔；

所述旋转机构包括旋转轴，所述旋转轴依次穿设于所述第二通孔，并延伸出所述第二侧壁。

在一些实施例中，还包括连接架，所述连接架包括相邻且垂直设置的第一连接板和第二连接板；

所述升降机构设于所述第一连接板且靠近所述第二连接板的一侧；

所述第二连接板上开设有第三通孔，所述旋转轴延伸出所述第三通孔。

在一些实施例中，还包括具有弹性的防护套；

所述防护套位于所述第二连接板和所述第二侧壁之间套设于所述旋转轴。

本发明提供的一种可调节的旋转升降设备的有益效果如下：

1、通过设置X轴调整部、Y轴调整部和Z轴调整部，实现对旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整，从而提高了旋转升降设备装配的精准度，保证了旋转升降设备与外部设备连接的同心度，大大提高了旋转升降设备的使用寿命。

2、结构简单，体积较小。

附图说明

图1为本发明提供的实施例可调节的旋转升降设备的正视图；

图2为本发明提供的实施例调整组件的结构示意图；

图3为本发明提供的实施例调整组件的爆炸图；

图4为本发明提供的实施例可调节的旋转升降设备的仰视图。

附图标记：

升降机构1、连接件2、第一侧壁21、第二侧壁22、调整组件3、X轴调整部31、X轴调整器311、第一转动杆3112、第一传动块3111、第一抵接块3113、固定件312、第一调节口3121、第一安装孔3122、Y轴调整部32、Y轴调整器321、第二转动杆3211、第二传动块3212、第二抵接块3213、活动件322、调整件323、第二调节口3231、第二安装孔3232、Z轴调整部33、Z轴调整器331、第一螺栓3311、第二螺栓3312、连接板332、第一容纳腔34、第二容纳腔35、第二通孔36、旋转机构4、旋转轴41、防护套42、连接架5、第一连接板51、第二连接板52。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

图1为本发明提供的实施例可调节的旋转升降设备的正视图。

参考图1所示，本发明实施例提供了一种可调节的旋转升降设备，包括连接架5、升降机构1、连接件2、调整组件3和旋转机构4。其中，所述连接架5包括相邻且垂直设置的第一连接板51和第二连接板52，所述升降机构1与所述第一连接板51固定连接，且所述升降机构1位于所述第一连接板51远离所述第二连接板52的一侧。所述连接件2的第一侧壁21与所述升降机构1的升降部连接，所述升降机构1用于带动所述连接件2朝所述第二连接板52的方向进行升降运动。所述调整组件3设于所述连接件2上并与所述旋转机构4连接，所述旋转机构4的旋转轴41朝所述第二连接板52延伸，并穿过所述第二连接板52上开设的第三通孔，用于与外部设备进行连接。所述调整组件3用于带动所述旋转机构4在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整，以保证所述旋转机构4与所述外部设备连接的同心度。

在本实施例中，通过设置所述X轴调整部31、所述Y轴调整部32和所述Z轴调整部33，实现对所述旋转机构4在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整，提高了旋转升降设备装配的精准度，从而保证了所述旋转升降设备与外部设备连接的同心度，避免其在运行的过程中存在摩擦产生粉尘污染，大大提高了旋转升降设备的使用寿命。

需要说明的是，在本实施例中，X轴表示旋转升降设备左右方向，Y轴表示为旋转升降设备前后方向，Z轴表示为旋转升降设备上下方向。

在一些实施例中，所述调整组件3包括X轴调整部31、Y轴调整部32和Z轴调整部33，所述X轴调整部31设于所述连接件2的第二侧壁22，所述第二侧壁22与所述第一侧壁21垂直设置。所述Y轴调整部32设于所述X轴调整部31，所述Z轴调整部33设于所述Y轴调整部32，所述旋转机构4与所述Z轴调整部33连接。

所以，当所述X轴调整部31调节时，可带动所述Y轴调整部32、所述Z轴调整部33和所述旋转机构4在X轴所在的方向进行位置调整。当所述Y轴调整部32调节时，可带动所述Z轴调整部33和所述旋转机构4在Y轴所在的方向进行位置调整。当所述Z轴调整部33调节时，可带动所述旋转机构4在Z轴所在的方向进行位置调整。从而实现了对所述旋转机构4在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整。

图2为本发明提供的实施例调整组件的结构示意图。

图3为本发明提供的实施例调整组件的爆炸图。

参考图1至图3所示，在一些实施例中，所述X轴调整部31包括X轴调整器311和固定件312，所述固定件312为板状结构，所述固定件312固定设于所述第二侧壁22的底部。所述X轴调整器311活动的设于所述固定件312，且所述X轴调整器311的一端为第一抵接端，所述第一抵接端与所述Y轴调整部32连接。当所述X轴调整器311活动时，可带动所述第一抵接端和所述Y轴调整部32沿X轴方向移动。

进一步地，所述Y轴调整部32包括Y轴调整器321、活动件322和调整件323。其中，所述活动件322和所述调整件323均为板状结构，所述活动件322和所述调整件323依次设于所述固定件312的底部，且所述调整件323与所述固定件312采用螺纹固定连接，以夹紧固定所述活动件322。所述第一抵接端的部分位于所述活动件322和所述调整件323之间，并抵接所述活动件322和所述调整件323。所述Y轴调整器321活动的设于所述调整件323，所述Y轴调整器321的一端为第二抵接端，所述第二抵接端的部分位于所述固定件312和所述活动件322之间，并抵接所述活动件322和所述调整件323。

当所述X轴调整器311活动时，所述第一抵接端沿X轴方向移动并带动所述活动件322和所述调整件323沿X轴方向移动。其中，X轴方向与所述X轴调整器311的轴向平行。当所述Y轴调整器321活动时，所述第二抵接端抵接所述固定件312和所述活动件322，由于所述固定件312固定不动，以使所述调整件323沿Y轴方向移动。其中，Y轴方向与所述Y轴调整器321的轴向平行。

具体的，所述固定件312上开设有贯穿其表面的第一调节口3121，所述固定件312靠近所述第一调节口3121的侧壁开设有第一安装孔3122，且所述第一安装孔3122导通至所述第一调节口3121。所述X轴调整器311包括第一转动杆3112、第一传动块3111和第一抵接块3113。其中，所述第一转动杆3112沿X轴方向延伸并可转动的穿设于所述固定件312上的安装孔内，且所述第一转动杆3112的一端延伸至所述第一调节口3121。所述第一传动块3111位于所述第一调节口3121内并与所述第一转动杆3112的一端螺纹连接。所述活动件322和所述调整件323相对的表面均开设有第一安装槽，以形成第一容纳腔34，所述第一容纳腔34对应所述第一调节口3121。所述第一抵接块3113设于所述第一容纳腔34内，以使所述第一抵接块3113位于所述活动件322和所述调整件323之间，并抵接所述活动件322和所述调整件323，所述活动件322对应所述第一调节口3121开设有第二连接孔(图中未示出)，螺栓可穿过所述第二连接孔使所述第一抵接块3113与所述第一传动块3111固定连接。需要说明的是，所述第一抵接块3113即为所述第一抵接端。

当转动所述第一转动杆3112时，所述第一传动块3111移动以带动所述第一抵接块3113移动，并且所述第一抵接块3113抵接所述活动件322和所述调整件323，以带动所述活动件322和所述调整件323沿所述第一转动杆3112的轴向移动调节。

在一些实施例中，所述调整件323上开设有贯穿其表面的第二调节口3231，且所述所述调整件323靠近所述第二调节口3231的侧壁开设有第二安装孔3232。所述Y轴调整器321包括第二转动杆3211、第二传动块3212和第二抵接块3213。其中，所述第二转动杆3211沿Y轴方向延伸并可转动的穿设于所述调整件323上的第二安装孔3232内，且所述第二转动杆3211的一端延伸至所述第二调节口3231。所述第二传动块3212位于所述第二调节口3231内并与所述第二转动杆3211的一端螺纹连接。所述活动件322和所述固定件312相对的表面均开设有第二安装槽，以形成第二容纳腔35，且所述第二容纳腔35对应所述第二调节口3231，所述第二抵接块3213设于所述第二容纳腔35内，以使所述第二抵接块3213位于所述活动件322和所述固定件312之间，并抵接所述活动件322和所述固定件312。所述活动件322上还开设有第二连接孔，螺栓可穿过所述第二连接孔将所述第二抵接块3213与所述第二传动块3212固定连接。其中，所述第二抵接块3213即为所述第二抵接端。

当转动所述第二转动杆3211时，所述第二传动块3212带动所述第二抵接块3213抵接所述活动件322和所述固定件312，由于所述固定件312与所述第二侧壁22固定连接，所以使所述调整件323沿Y轴方向移动调节，以靠近或远离所述第一连接板51。

图4为本发明提供的实施例可调节的旋转升降设备的仰视图。

参考图1至图4所示，在一些实施例中，所述Z轴调整部33包括Z轴调整器331和连接板332，所述连接板332设于所述调整件323的底部与所述调整件323连接，且所述Z轴调整器331设于所述连接板332上，用于调节所述连接板332与所述调整件323之间的间距，所述旋转机构4设于所述连接板332。通过调节所述Z轴调整器331，以带动所述旋转机构4沿Z轴方向移动调节。其中，Z轴方向与所述Z轴调整器331的轴向平行，通过转动所述Z轴调整器331，以使所述旋转机构4沿所述Z轴调整器331的轴向移动调节位置。

具体的，所述Z轴调整器331包括若干第一螺栓3311和若干第二螺栓3312，所述连接板332上间隔的开设有若干第一通孔和若干第一螺纹孔。所述调整件323对应所述第一通孔开设有第二螺纹孔，所述第一螺栓3311穿过所述第一通孔与所述第二螺纹孔螺纹连接。所述第二螺栓3312与所述第一螺纹孔螺纹连接，且所述第二螺栓3312的一端抵接所述调整件323。

在本实施例中，通过所述第二螺栓3312限定所述调整件323和所述连接板332之间的距离，以实现对所述旋转机构4在Z轴方向上的调节。并且通过对每个所述第二螺栓3312上下相对调节就能调节所述连接板332的水平度，以实现对所述旋转机构4的水平调节，最后采用所述第一螺栓3311固定所述调整件323和所述连接板332。

在一些实施例中，所述连接板332、所述调整件323、所述活动件322、所述固定件312、所述第二侧壁22均同轴设置有第二通孔36，所述旋转机构4的旋转轴41依次穿过所述第二通孔36，并延伸出第三通孔的上方用于与外部设备连接。

在一些实施例中，所述可调节的旋转升降设备还包括具有弹性的防护套42，所述防护套42位于所述第二连接板52和所述第二侧壁22之间套设于所述旋转轴41。

在本实施例中，所述防护套42可以是波纹管，通过采用所述防护套42包裹所述旋转轴41，起到对所述旋转轴41保护的作用。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (13)

1.一种可调节的旋转升降设备，其特征在于，包括升降机构、连接件、调整组件和旋转机构；

所述升降机构与所述连接件的第一侧壁连接，所述升降机构用于带动所述连接件升降；

所述调整组件设于所述连接件上并与所述旋转机构连接，所述调整组件用于带动所述旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整。

2.根据权利要求1所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述调整组件包括X轴调整部、Y轴调整部和Z轴调整部；

所述X轴调整部设于所述连接件的第二侧壁，所述Y轴调整部设于所述X轴调整部，所述Z轴调整部设于所述Y轴调整部，所述旋转机构与所述Z轴调整部连接；

当所述X轴调整部调节时，可带动所述Y轴调整部、所述Z轴调整部和所述旋转机构在X轴所在的方向进行位置调整；

当所述Y轴调整部调节时，可带动所述Z轴调整部和所述旋转机构在Y轴所在的方向进行位置调整；

当所述Z轴调整部调节时，可带动所述旋转机构在Z轴所在的方向进行位置调整。

3.根据权利要求2所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述X轴调整部包括X轴调整器和固定件；

所述固定件固定设于所述第二侧壁的底部；

所述X轴调整器活动的设于所述固定件，且所述X轴调整器的一端为第一抵接端，所述第一抵接端与所述Y轴调整部连接；

当所述X轴调整器活动时，所述第一抵接端可带动所述Y轴调整部沿X轴方向移动。

4.根据权利要求3所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述Y轴调整部包括Y轴调整器、活动件和调整件；

所述活动件和所述调整件依次设于所述固定件的底部，且所述调整件与所述固定件连接，以夹紧固定所述活动件；

所述第一抵接端的部分位于所述活动件和所述调整件之间，并抵接所述活动件和所述调整件；

所述Y轴调整器活动的设于所述调整件，所述Y轴调整器的一端为第二抵接端，所述第二抵接端的部分位于所述固定件和所述活动件之间，并抵接所述活动件和所述调整件；

当所述X轴调整器活动时，所述第一抵接端带动所述活动件和所述调整件沿X轴方向移动，当所述Y轴调整器活动时，所述第二抵接端抵接所述固定件和所述活动件，以使所述调整件沿Y轴方向移动。

5.根据权利要求4所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述固定件上开设有贯穿其表面的第一调节口；

所述X轴调整器包括第一转动杆、第一传动块和第一抵接块；其中，

所述第一转动杆沿X轴方向延伸并可转动的穿设于所述固定件，且一端延伸至所述第一调节口；

所述第一传动块位于所述第一调节口内并与所述第一转动杆的一端螺纹连接；

所述第一抵接块位于所述活动件和所述调整件之间，并抵接所述活动件和所述调整件，且所述第一抵接块与所述第一传动块连接；

当转动所述第一转动杆时，所述第一传动块移动以带动所述活动件和所述调整件移动。

6.根据权利要求5所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述活动件和所述调整件相对的表面均开设有第一安装槽，以形成第一容纳腔，所述第一抵接块设于所述第一容纳腔内。

7.根据权利要求4所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述调整件上开设有贯穿其表面的第二调节口；

所述Y轴调整器包括第二转动杆、第二传动块和第二抵接块；其中，

所述第二转动杆沿Y轴方向延伸并可转动的穿设于所述调整件，且一端延伸至所述第二调节口；

所述第二传动块位于所述第二调节口内并与所述第二转动杆的一端螺纹连接；

所述第二抵接块位于所述活动件和所述固定件之间，并抵接所述活动件和所述固定件，且所述第二抵接块与所述第二传动块连接；

当转动所述第二转动杆时，所述第二传动块带动所述第二抵接块抵接所述活动件和所述固定件，以使所述调整件沿Y轴方向移动。

8.根据权利要求7所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述活动件和所述固定件相对的表面均开设有第二安装槽，以形成第二容纳腔，所述第二抵接块设于所述第二容纳腔内。

9.根据权利要求4至8任一项所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述Z轴调整部包括Z轴调整器和连接板；

所述连接板设于所述调整件的底部与所述调整件连接，且所述Z轴调整器设于所述连接板上，用于调节所述连接板与所述调整件之间的间距；

所述旋转机构设于所述连接板。

10.根据权利要求9所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述Z轴调整器包括若干第一螺栓和若干第二螺栓；

所述连接板上开设有第一通孔和第一螺纹孔，所述调整件对应所述第一通孔开设有第二螺纹孔，所述第一螺栓穿过所述第一通孔与所述第二螺纹孔螺纹连接；

所述第二螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接，且所述第二螺栓的一端抵接所述调整件。

11.根据权利要求9所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述连接板、所述调整件、所述活动件、所述固定件、所述第二侧壁均同轴设置有第二通孔；

所述旋转机构包括旋转轴，所述旋转轴依次穿设于所述第二通孔，并延伸出所述第二侧壁。

12.根据权利要求11所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，还包括连接架，所述连接架包括相邻且垂直设置的第一连接板和第二连接板；

所述升降机构设于所述第一连接板且靠近所述第二连接板的一侧；

所述第二连接板上开设有第三通孔，所述旋转轴延伸出所述第三通孔。

13.根据权利要求12所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，还包括具有弹性的防护套；

所述防护套位于所述第二连接板和所述第二侧壁之间套设于所述旋转轴。