CN117577566B - 一种便于夹取的晶圆传送机械臂 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种便于夹取的晶圆传送机械臂，包括底座，所述底座的外壁上通过螺栓连接有支座，所述支座的外壁上通过螺栓连接有电机，所述电机的主轴上焊接有悬臂，所述悬臂的端部外壁上焊接有电推杆，所述电推杆的输出端焊接有安装架。本发明中通过设置的限位柱和拦截块，使得避位槽内的晶圆能够进入限位柱之间，实现对晶圆的框选，限位柱端部的拦截块能够转动，从而能够将晶圆兜住，进而使得安装架能够携带晶圆进行转运，避免了传统吸盘吸附方式的一系列问题，通过设置的分片机构，使得转动块带动第一个晶圆相对第二个晶圆进行转动，使得晶圆之间出现间隙，避免晶圆之间吸附过紧而无法分开的情况。
Description
技术领域
本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种便于夹取的晶圆传送机械臂。
背景技术
晶圆是制作硅半导体电路所用的硅晶片，硅晶片是通过硅晶棒在经过研磨，抛光，清洗，切片后得到的片状硅晶，通常为圆形，也就是晶圆，而从晶圆到成品中间还需要经过多道加工工序，因此需要传送机械臂将晶圆从料盒中转运至输送带或者工作台上。
现有的传送机械臂通常采用吸盘吸附方式，但是经过清洗后的晶圆表面上残留有液体，使得吸盘吸附困难，甚至会导致晶圆发生脱落的情况，并且晶圆表面上产留的液体会导致堆叠的晶圆吸附在一起，需要手动分片，十分影响工作效率。
发明内容
本发明的目的是为了解决背景技术中的问题，而提出的一种便于夹取的晶圆传送机械臂。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种便于夹取的晶圆传送机械臂，包括底座，所述底座的外壁上通过螺栓连接有支座，所述支座的外壁上通过螺栓连接有电机，所述电机的主轴上焊接有悬臂，所述悬臂的端部外壁上焊接有电推杆，所述电推杆的输出端焊接有安装架，所述安装架位于悬臂两侧的外壁上焊接有两对对称分布的限位柱，所述安装架靠近限位柱的一侧外壁上转动插接有调节架，所述调节架的外壁上焊接有若干个调节柱，每个所述限位柱的端部外壁上转动插接有拦截块，每个所述拦截块的外壁上开设有行程槽，每个所述拦截块与调节柱一一对应，每个所述调节柱滑动插接在行程槽内，所述底座的底部外壁上焊接有料盒，所述底座的外壁上设置有输送带，所述安装架上设置有调节机构，所述料盒内设置有分片机构。
在上述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂中，所述底座的外壁上设置有限位框和避位槽，所述料盒延伸至限位框内，所述限位框的外壁上开设有拨槽，所述避位槽与限位柱相适配，所述避位槽和输送带对称分布在电机的两侧，所述避位槽与电机的距离与悬臂的长度相适配。
在上述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂中，所述调节机构包括调节齿轮，所述安装架的顶部外壁上焊接有支架，所述支架的外壁上通过转轴转动插接有调节齿轮，所述调节齿轮两侧的转轴上焊接有一对对称分布的绞盘，每个所述绞盘的外壁上均缠绕有软绳，两个所述软绳的缠绕方向相反，每个所述软绳的端部均粘接在调节架远离绞盘的一侧外壁上。
在上述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂中，所述支座靠近料盒和输送带的两侧外壁上均滑动插接有调节齿条，每个所述调节齿条的外壁与支座的外壁之间均设置有弹簧一，每个所述调节齿条均与调节齿轮单向啮合，所述调节齿轮与靠近输送带一侧的调节齿条向下啮合，所述调节齿轮与靠近料盒一侧的调节齿条向上啮合。
在上述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂中，所述分片机构包括拨杆，所述拨杆转动插接在底座的外壁上，所述拨杆与拨槽相适配，所述拨杆与悬臂始终保持垂直状态，所述拨杆的端部外壁上焊接有带轮二，所述电机的主轴端部外壁上焊接有带轮一，所述带轮一与带轮二直径大小相同，所述带轮一与带轮二的外壁上套装有传动带。
在上述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂中，所述拨杆远离带轮二的一侧外壁上焊接有半齿轮一，所述料盒靠近限位框的一端内壁上开设有安装槽，所述安装槽内转动插接有齿圈，所述齿圈与半齿轮一相互啮合。
在上述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂中，所述齿圈的内环壁上焊接有四个等距圆周分布的凸块一，所述齿圈的内环壁上滑动插接有一对对称分布的滑柱，每个所述滑柱的外壁上均焊接有转动块，每个所述转动块的外壁与齿圈的内环壁之间设置有弹簧三，所述弹簧三套装在滑柱的外壁上，每个所述转动块的外壁上均开设有滑槽，所述安装槽的内壁上滑动插接有四个等距圆周分布的夹持块，每个所述夹持块的外壁均焊接有滑杆，每个所述滑杆均与滑槽相适配，每个所述夹持块的外壁上均焊接有凸块二，所述凸块二与凸块一相适配。
在上述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂中，所述拨杆靠近带轮二的一侧外壁上焊接有半齿轮二，所述料盒的底部外壁上焊接有凸台，所述凸台的外壁上转动插接有丝杆，所述丝杆的外壁上焊接有传动齿轮，所述传动齿轮与半齿轮二相互啮合，所述半齿轮二的直径大于传动齿轮的直径，所述丝杆的外壁上通过螺纹套装有上料架，所述上料架滑动插接在料盒内。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、通过设置的限位柱和拦截块，使得当限位柱插入避位槽时，避位槽内的晶圆能够进入限位柱之间，实现对晶圆的框选，限位柱端部的拦截块能够转动，从而能够将晶圆兜住，进而使得安装架能够携带晶圆进行转运，避免了传统吸盘吸附方式的一系列问题；
2、通过设置的分片机构，使得当电机带动悬臂从输送带向避位槽逆时针转动一百八十度时，在传动带的作用下，拨杆也随之同向转动半周，此时半齿轮一与齿圈啮合，从而使得齿圈带动转动块和凸块一转动，当凸块一与凸块二抵接时，凸块一向内推动凸块二，使得凸块二带动夹持块向晶圆靠近，实现对料盒内顶部第二个晶圆进行夹持的效果，同时夹持块通过滑杆带动转动块向晶圆靠近，实现对料盒内顶部第一个晶圆进行夹持的效果，从而使得转动块带动第一个晶圆相对第二个晶圆进行转动，使得晶圆之间出现间隙，从而使得空气进入间隙中，避免晶圆之间存在负压导致吸附过紧而无法分开的情况，当电机带动悬臂从避位槽向输送带逆时针转动一百八十度时，在传动带的作用下，拨杆也随之同向转动半周，此时半齿轮二与传动齿轮啮合，从而使得传动齿轮带动丝杆转动，在螺纹配合的作用下，进而使得上料架在料盒内上升一个晶圆厚度，从而将料盒内顶部第一个晶圆推进限位框内，实现向限位框内上料的效果；
3、通过设置的调节机构，使得当电机带动安装架转动至避位槽上方时，控制电推杆伸展，使得安装架带动限位柱下移，从而使得避位槽内的晶圆插接在限位柱之间，当安装架下降至底部后，控制电推杆收缩，安装架带动支架上的调节齿轮向上移动，使得调节齿轮与调节齿条向上啮合，从而使得两个绞盘转动，由于两个软绳的缠绕方向相反，使得一个绞盘收卷软绳，另一个绞盘释放软绳，从而使得收卷的软绳能够拉动调节架转动，调节架上的调节柱拨动拦截块转动，实现将限位柱之间的晶圆兜住，当电机带动安装架转动至输送带上方时，控制电推杆伸展，安装架带动调节齿轮向下移动，使得调节齿轮与调节齿条向下啮合，从而使得两个绞盘反向转动，进而使得软绳带动调节架反向转动，调节架带动调节柱反向拨动拦截块，使得拦截块收纳起来，从而使得限位柱之间的晶圆能够落下；
综上所述，通过设置的限位柱和拦截块，使得避位槽内的晶圆能够进入限位柱之间，实现对晶圆的框选，限位柱端部的拦截块能够转动，从而能够将晶圆兜住，进而使得安装架能够携带晶圆进行转运，避免了传统吸盘吸附方式的一系列问题，通过设置的分片机构，使得转动块带动第一个晶圆相对第二个晶圆进行转动，使得晶圆之间出现间隙，避免晶圆之间吸附过紧而无法分开的情况。
附图说明
图1为本发明的整体结构立体示意图。
图2为本发明的整体结构平面示意图。
图3为图2的A处结构放大图。
图4为图2的B处结构放大图。
图5为本发明的料盒立体剖视示意图。
图6为图5的C处结构放大图。
图7为本发明的绞盘立体示意图。
图8为本发明的调节架立体示意图。
图9为本发明的分片机构立体图示意图。
图10为本发明的转动块立体示意图。
图11为本发明的夹持块立体示意图。
图12为本发明的整体结构工作状态立体示意图。
图中：1、底座；11、支座；111、调节齿条；112、弹簧一；12、料盒；121、限位框；122、拨槽；123、避位槽；124、凸台；125、安装槽；13、输送带；2、电机；21、悬臂；22、电推杆；23、安装架；231、支架；232、限位柱；24、调节架；241、调节柱；25、拦截块；251、行程槽；26、调节齿轮；261、绞盘；262、软绳；27、带轮一；3、拨杆；31、带轮二；32、传动带；33、半齿轮一；34、半齿轮二；4、齿圈；41、凸块一；42、转动块；421、滑柱；422、弹簧三；423、滑槽；5、夹持块；51、滑杆；52、凸块二；6、丝杆；61、传动齿轮；62、上料架；9、晶圆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1-图12，本发明提供一种技术方案：包括底座1，底座1的外壁上通过螺栓连接有支座11，支座11的外壁上通过螺栓连接有电机2，电机2的主轴上焊接有悬臂21，悬臂21的端部外壁上焊接有电推杆22，电推杆22的输出端焊接有安装架23，安装架23位于悬臂21两侧的外壁上焊接有两对对称分布的限位柱232，安装架23靠近限位柱232的一侧外壁上转动插接有调节架24，调节架24的外壁上焊接有若干个调节柱241，每个限位柱232的端部外壁上转动插接有拦截块25，每个拦截块25的外壁上开设有行程槽251，每个拦截块25与调节柱241一一对应，每个调节柱241滑动插接在行程槽251内，底座1的底部外壁上焊接有料盒12，底座1的外壁上设置有输送带13，安装架23上设置有调节机构，料盒12内设置有分片机构，底座1的外壁上设置有限位框121和避位槽123，料盒12延伸至限位框121内，限位框121的外壁上开设有拨槽122，避位槽123与限位柱232相适配，避位槽123和输送带13对称分布在电机2的两侧，避位槽123与电机2的距离与悬臂21的长度相适配。
限位柱232与晶圆9相适配，限位框121与晶圆9相适配，电机2为步进电机并且每次转动一百八十度，电推杆22的输出端只能够伸缩而无法转动，拨槽122的高度小于晶圆9的厚度，避免限位框121内的晶圆9从拨槽122滑出，避位槽123的宽度小于晶圆9的直径，避免晶圆9从避位槽123漏出，料盒12所能容纳的晶圆9数量为整数。
具体的，调节机构包括调节齿轮26，安装架23的顶部外壁上焊接有支架231，支架231的外壁上通过转轴转动插接有调节齿轮26，调节齿轮26两侧的转轴上焊接有一对对称分布的绞盘261，每个绞盘261的外壁上均缠绕有软绳262，两个软绳262的缠绕方向相反，每个软绳262的端部均粘接在调节架24远离绞盘261的一侧外壁上，支座11靠近料盒12和输送带13的两侧外壁上均滑动插接有调节齿条111，每个调节齿条111的外壁与支座11的外壁之间均设置有弹簧一112，每个调节齿条111均与调节齿轮26单向啮合，调节齿轮26与靠近输送带13一侧的调节齿条111向下啮合，调节齿轮26与靠近料盒12一侧的调节齿条111向上啮合。
通过设置的弹簧一112，使得当调节齿条111不与调节齿轮26啮合时，调节齿条111能够压缩弹簧一112进行避位，两个调节齿条111上下分布，输送带13一侧的调节齿条111在上方，使得安装架23下移时能够带动调节齿轮26与调节齿条111向下啮合，而靠近料盒12一侧的调节齿条111在下方，使得安装架23上移时能够带动调节齿轮26与调节齿条111向上啮合。
对于上述调节机构进行进一步的阐述：当电机2带动安装架23转动至避位槽123上方时，控制电推杆22伸展，使得安装架23带动限位柱232下移，从而使得避位槽123内的晶圆9插接在限位柱232之间，当安装架23下降至底部后，控制电推杆22收缩，安装架23带动支架231上的调节齿轮26向上移动，使得调节齿轮26与调节齿条111向上啮合，从而使得两个绞盘261转动，由于两个软绳262的缠绕方向相反，使得一个绞盘261收卷软绳262，另一个绞盘261释放软绳262，从而使得收卷的软绳262能够拉动调节架24转动，调节架24上的调节柱241拨动拦截块25转动，实现将限位柱232之间的晶圆9兜住，当电机2带动安装架23转动至输送带13上方时，控制电推杆22伸展，安装架23带动调节齿轮26向下移动，使得调节齿轮26与调节齿条111向下啮合，从而使得两个绞盘261反向转动，进而使得软绳262带动调节架24反向转动，调节架24带动调节柱241反向拨动拦截块25，使得拦截块25收纳起来，从而使得限位柱232之间的晶圆9能够落下。
具体的，分片机构包括拨杆3，拨杆3转动插接在底座1的外壁上，拨杆3与拨槽122相适配，拨杆3与悬臂21始终保持垂直状态，拨杆3的端部外壁上焊接有带轮二31，电机2的主轴端部外壁上焊接有带轮一27，带轮一27与带轮二31直径大小相同，带轮一27与带轮二31的外壁上套装有传动带32，拨杆3远离带轮二31的一侧外壁上焊接有半齿轮一33，料盒12靠近限位框121的一端内壁上开设有安装槽125，安装槽125内转动插接有齿圈4，齿圈4与半齿轮一33相互啮合，齿圈4的内环壁上焊接有四个等距圆周分布的凸块一41，齿圈4的内环壁上滑动插接有一对对称分布的滑柱421，每个滑柱421的外壁上均焊接有转动块42，每个转动块42的外壁与齿圈4的内环壁之间设置有弹簧三422，弹簧三422套装在滑柱421的外壁上，每个转动块42的外壁上均开设有滑槽423，安装槽125的内壁上滑动插接有四个等距圆周分布的夹持块5，每个夹持块5的外壁均焊接有滑杆51，每个滑杆51均与滑槽423相适配，每个夹持块5的外壁上均焊接有凸块二52，凸块二52与凸块一41相适配，拨杆3靠近带轮二31的一侧外壁上焊接有半齿轮二34，料盒12的底部外壁上焊接有凸台124，凸台124的外壁上转动插接有丝杆6，丝杆6的外壁上焊接有传动齿轮61，传动齿轮61与半齿轮二34相互啮合，半齿轮二34的直径大于传动齿轮61的直径，丝杆6的外壁上通过螺纹套装有上料架62，上料架62滑动插接在料盒12内。
转动块42和夹持块5的圆弧面均与晶圆9相适配，半齿轮一33和半齿轮二34对称分布，半齿轮一33和半齿轮二34的对称线与拨杆3垂直，拨杆3与悬臂21垂直，使得当悬臂21从输送带13向避位槽123转动时，半齿轮一33与齿圈4啮合，从而能够对料盒12顶部的晶圆9进行转动分离，当悬臂21从避位槽123向输送带13转动时，半齿轮二34与传动齿轮61啮合，从而将经过转动分离的晶圆9拨进避位槽123内，等待下一次的转运，半齿轮二34的直径大于传动齿轮61的直径，使得丝杆6能够转动多圈，保证上料架62能够上升一个晶圆9厚度的高度。
对于上述分片机构进行进一步的阐述：当电机2带动悬臂21从输送带13向避位槽123逆时针转动一百八十度时，在传动带32的作用下，拨杆3也随之同向转动半周，此时半齿轮一33与齿圈4啮合，从而使得齿圈4带动转动块42和凸块一41转动，当凸块一41与凸块二52抵接时，凸块一41向齿圈4圆心处推动凸块二52，使得凸块二52带动夹持块5向晶圆9靠近，实现对料盒12内顶部第二个晶圆9进行夹持的效果，同时夹持块5通过滑杆51带动转动块42向晶圆9靠近，实现对料盒12内顶部第一个晶圆9进行夹持的效果，从而使得转动块42带动第一个晶圆9相对第二个晶圆9进行转动，使得晶圆9之间相对转动出现间隙而发生分离，避免晶圆9之间吸附过紧而无法分开的情况，同时拨杆3能够将限位框121内的晶圆9拨进避位槽123内，当电机2带动悬臂21从避位槽123向输送带13逆时针转动一百八十度时，在传动带32的作用下，拨杆3也随之同向转动半周，此时半齿轮二34与传动齿轮61啮合，从而使得传动齿轮61带动丝杆6转动，在螺纹配合的作用下，进而使得上料架62在料盒12内上升一个晶圆9厚度的高度，从而将料盒12内顶部第一个晶圆9推进限位框121内，实现向限位框121内上料的效果。
本发明的工作原理及使用流程：将晶圆9码放在料盒12内，初始状态限位框121内没有晶圆9，控制电机2逆时针转动一周，当悬臂21从输送带13向避位槽123逆时针转动一百八十度时，在分片机构的作用下，使得转动块42带动料盒12内顶部第一个晶圆9相对第二个晶圆9进行转动，使得晶圆9之间相对转动出现间隙而发生分离，避免晶圆9之间吸附过紧而无法分开的情况，当悬臂21从避位槽123向输送带13逆时针转动一百八十度时，在分片机构的作用下，上料架62在料盒12内上升一个晶圆9厚度的高度，从而将料盒12内顶部第一个转动分离的晶圆9推进限位框121内，实现向限位框121内上料的效果，当电机2再次带动安装架23转动至避位槽123上方时，在分片机构的作用下，限位框121内的晶圆9被拨进避位槽123内，在调节机构的作用下，限位柱232端部的拦截块25能够将晶圆9兜住，进而使得安装架23能够携带晶圆9进行转运，当安装架23带动晶圆9移动至输送带13上方时，在调节机构的作用下，调节架24带动调节柱241反向拨动拦截块25，使得拦截块25收纳起来，从而使得限位柱232之间的晶圆9能够落下，如此往复，直到将料盒12内的晶圆9全部转运。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种便于夹取的晶圆传送机械臂，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的外壁上通过螺栓连接有支座（11），所述支座（11）的外壁上通过螺栓连接有电机（2），所述电机（2）的主轴上焊接有悬臂（21），所述悬臂（21）的端部外壁上焊接有电推杆（22），所述电推杆（22）的输出端焊接有安装架（23），所述安装架（23）位于悬臂（21）两侧的外壁上焊接有两对对称分布的限位柱（232），所述安装架（23）靠近限位柱（232）的一侧外壁上转动插接有调节架（24），所述调节架（24）的外壁上焊接有若干个调节柱（241），每个所述限位柱（232）的端部外壁上转动插接有拦截块（25），每个所述拦截块（25）的外壁上开设有行程槽（251），每个所述拦截块（25）与调节柱（241）一一对应，每个所述调节柱（241）滑动插接在行程槽（251）内，所述底座（1）的底部外壁上焊接有料盒（12），所述底座（1）的外壁上设置有输送带（13），所述安装架（23）上设置有调节机构，所述料盒（12）内设置有分片机构，所述底座（1）的外壁上设置有限位框（121）和避位槽（123），所述料盒（12）延伸至限位框（121）内，所述限位框（121）的外壁上开设有拨槽（122），所述避位槽（123）与限位柱（232）相适配，所述避位槽（123）和输送带（13）对称分布在电机（2）的两侧，所述避位槽（123）与电机（2）的距离与悬臂（21）的长度相适配；
所述调节机构包括调节齿轮（26），所述安装架（23）的顶部外壁上焊接有支架（231），所述支架（231）的外壁上通过转轴转动插接有调节齿轮（26），所述调节齿轮（26）两侧的转轴上焊接有一对对称分布的绞盘（261），每个所述绞盘（261）的外壁上均缠绕有软绳（262），两个所述软绳（262）的缠绕方向相反，每个所述软绳（262）的端部均粘接在调节架（24）远离绞盘（261）的一侧外壁上。
2.根据权利要求1所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂，其特征在于：所述支座（11）靠近料盒（12）和输送带（13）的两侧外壁上均滑动插接有调节齿条（111），每个所述调节齿条（111）的外壁与支座（11）的外壁之间均设置有弹簧一（112），每个所述调节齿条（111）均与调节齿轮（26）单向啮合，所述调节齿轮（26）与靠近输送带（13）一侧的调节齿条（111）向下啮合，所述调节齿轮（26）与靠近料盒（12）一侧的调节齿条（111）向上啮合。
3.根据权利要求1所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂，其特征在于：所述分片机构包括拨杆（3），所述拨杆（3）转动插接在底座（1）的外壁上，所述拨杆（3）与拨槽（122）相适配，所述拨杆（3）与悬臂（21）始终保持垂直状态，所述拨杆（3）的端部外壁上焊接有带轮二（31），所述电机（2）的主轴端部外壁上焊接有带轮一（27），所述带轮一（27）与带轮二（31）直径大小相同，所述带轮一（27）与带轮二（31）的外壁上套装有传动带（32）。
4.根据权利要求3所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂，其特征在于：所述拨杆（3）远离带轮二（31）的一侧外壁上焊接有半齿轮一（33），所述料盒（12）靠近限位框（121）的一端内壁上开设有安装槽（125），所述安装槽（125）内转动插接有齿圈（4），所述齿圈（4）与半齿轮一（33）相互啮合。
5.根据权利要求4所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂，其特征在于：所述齿圈（4）的内环壁上焊接有四个等距圆周分布的凸块一（41），所述齿圈（4）的内环壁上滑动插接有一对对称分布的滑柱（421），每个所述滑柱（421）的外壁上均焊接有转动块（42），每个所述转动块（42）的外壁与齿圈（4）的内环壁之间设置有弹簧三（422），所述弹簧三（422）套装在滑柱（421）的外壁上，每个所述转动块（42）的外壁上均开设有滑槽（423），所述安装槽（125）的内壁上滑动插接有四个等距圆周分布的夹持块（5），每个所述夹持块（5）的外壁均焊接有滑杆（51），每个所述滑杆（51）均与滑槽（423）相适配，每个所述夹持块（5）的外壁上均焊接有凸块二（52），所述凸块二（52）与凸块一（41）相适配。
6.根据权利要求4所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂，其特征在于：所述拨杆（3）靠近带轮二（31）的一侧外壁上焊接有半齿轮二（34），所述料盒（12）的底部外壁上焊接有凸台（124），所述凸台（124）的外壁上转动插接有丝杆（6），所述丝杆（6）的外壁上焊接有传动齿轮（61），所述传动齿轮（61）与半齿轮二（34）相互啮合，所述半齿轮二（34）的直径大于传动齿轮（61）的直径，所述丝杆（6）的外壁上通过螺纹套装有上料架（62），所述上料架（62）滑动插接在料盒（12）内。
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