CN218534081U - 基于晶圆片倒角的自动进料定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，涉及半导体加工技术领域，包括联动齿条，联动齿条底端固定连接有固定座，固定座底部固定连接有环架，环架底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬，通过控制真空发生器停止工作后，控制电动推杆B伸缩部向上收缩后，再控制电动推杆B伸缩部带动真空吸盘垂直向下平移接触晶圆片顶面后，再次启动真空发生器，可以使真空吸盘对晶圆片顶面圆心处进行定位吸附，对晶圆片进行放置后依次控制伺服电机反向转动使两组环架左右两侧解除夹持后，解除真空吸盘对晶圆顶部圆心处的吸附，可以使晶圆片放置位置进行限定控制，解决了现有装置不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定的问题。

Description

基于晶圆片倒角的自动进料定位装置

技术领域

本实用新型属于晶圆加工技术领域，更具体地说，特别涉及基于晶圆片倒角的自动进料定位装置。

背景技术

硅片倒角工艺是用具有特定形状的砂轮磨去硅片边缘锋利的崩边、棱角和裂缝等，对硅片倒角可使硅片边缘获得平滑的半径周线，在硅片边缘的裂痕和小裂缝会在硅片上产生机械应力并会产生位错，尤其是在硅片制备的高温过程中，小裂缝会在生产过程中成为有害沾污物的聚集地并产生颗粒脱落，平滑的边缘半径可以将这些影响降到最小，现有装置在对晶圆片倒角运输时，不便于对晶圆片固定位置进行限定，不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定，不便于多组晶圆片加工时进行往复运输堆叠。

基于上述，现需要一种基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，通过对晶圆片中心位置的固定，以此限定晶圆片放置位置。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，以解决现有装置不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定的问题。

本实用新型基于晶圆片倒角的自动进料定位装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，包括往复丝杠；所述往复丝杠丝杆内侧通过滑动连接设置有滚珠螺母座，滚珠螺母座底部固定连接有电动推杆A；所述电动推杆A伸缩部底端固定连接有连接台；所述连接台底部固定连接有真空发生器；所述真空发生器底部固定连接有连接管；所述连接台底部固定连接有电动推杆B，电动推杆B伸缩部底端固定连接有支撑管，连接管位于支撑管内侧，连接管底端固定连接有真空吸盘，真空吸盘顶部与支撑管底端固定连接。

进一步的，所述连接台底端固定连接有固定架，固定架底端固定连接有固定仓，固定仓数量设置为二组。

进一步的，所述固定仓底部垂直贯穿有底滑槽，底滑槽数量设置为四组。

进一步的，所述固定仓内部左右两侧通过转动连接设置有侧支撑轮，固定仓内侧通过转动连接设置有联动齿轮。

进一步的，所述联动齿轮顶部通过同轴连接设置有蜗轮，蜗轮位于固定仓顶部，固定仓顶部通过转动连接设置有蜗杆，蜗杆与蜗轮相啮合，两组固定仓顶部的两组蜗杆同轴连接，固定仓顶部固定连接有伺服电机，伺服电机转轴与蜗杆同轴连接。

进一步的，所述固定仓内侧通过滑动连接设置有联动齿条，联动齿条滑动连接于底滑槽内侧，联动齿条数量设置为四组，联动齿条内侧与联动齿轮相啮合。

进一步的，所述联动齿条底端固定连接有固定座，固定座底部固定连接有环架，环架底部开设有凹槽，环架底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬。

本实用新型至少包括以下有益效果：

1、本实用新型通过设置环架，通过启动伺服电机，可以使伺服电机，可以使其转轴带动与其同轴的两组固定仓顶部的蜗杆进行转动，可以使蜗杆带动与其啮合的蜗轮进行转动，可以使蜗轮带动其底端同轴的联动齿轮进行转动，可以使联动齿轮带动固定仓内侧的两组联动齿条进行同步相反方向的平移，通过联动齿条侧端底部的固定座进行反方向平移，可以使固定座底部的两组环架进行反方向平移，可以使环架对吸附在真空吸盘底部的晶圆片边缘进行夹持固定，通过与真空吸盘配合，可以提高晶圆片运输时的稳定性。

2、本实用新型通过设置真空吸盘与环架配合，可以使环架对吸附在真空吸盘底部的晶圆片边缘进行夹持固定，通过控制真空发生器停止工作后，控制电动推杆B伸缩部向上收缩后，再控制电动推杆B伸缩部带动真空吸盘垂直向下平移接触晶圆片顶面后，再次启动真空发生器，可以使真空吸盘对晶圆片顶面圆心处进行定位吸附，对晶圆片进行放置后依次控制伺服电机反向转动使两组环架左右两侧解除夹持后，解除真空吸盘对晶圆顶部圆心处的吸附，可以使晶圆片放置的位置进行限定控制。

3、本实用新型通过设置往复丝杠，通过控制往复丝杠，可以使往复丝杠带动滚珠螺母座进行平行滑动，通过控制电动推杆A运转，可以使电动推杆A水平滑动至晶圆片正上方，通过控制电动推杆A运转，可以使电动推杆A伸缩部带动其底端的连接台垂直向下平移，可以使连接台底部的电动推杆B向下平移，可以使电动推杆A伸缩部底端的支撑管底部的真空吸盘向下平移至晶圆片顶部，通过启动真空发生器，可以通过连接管对真空吸盘底部形成负压区域，可以使真空吸盘对晶圆片顶面进行负压吸附，通过往复丝杠与两组电动推杆配合，可以对多组晶圆片加工时进行往复运输堆叠。

附图说明

图1是本实用新型整体的仰视立体结构示意图。

图2是本实用新型图1中A的局部放大示意图。

图3是本实用新型环架的立体拆解结构示意图。

图4是本实用新型固定仓的剖面立体结构示意图。

图5是本实用新型整体的俯视的立体结构示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

1、往复丝杠；

2、电动推杆A；

3、连接台；

301、真空发生器；3011、连接管；3012、真空吸盘；302、固定架；

4、电动推杆B；

401、支撑管；

5、固定仓；

501、底滑槽；502、侧支撑轮；503、联动齿轮；5031、蜗轮；5032、蜗杆；504、联动

齿条；505、固定座；506、伺服电机；

6、环架；

601、橡胶内衬。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如附图1至附图5所示：本实用新型提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置包括往复丝杠1；往复丝杠1丝杆内侧通过滑动连接设置有滚珠螺母座，滚珠螺母座底部固定连接有电动推杆A2；电动推杆A2伸缩部底端固定连接有连接台3；连接台3底部固定连接有真空发生器301；真空发生器301底部固定连接有连接管3011；连接台3底部固定连接有电动推杆B4，电动推杆B4伸缩部底端固定连接有支撑管401，连接管3011位于支撑管401内侧，连接管3011底端固定连接有真空吸盘3012，真空吸盘3012顶部与支撑管401底端固定连接，连接台3底端固定连接有固定架302，通过控制往复丝杠1，可以使往复丝杠1带动滚珠螺母座进行平行滑动，通过控制电动推杆A2运转，可以使电动推杆A2水平滑动至晶圆片正上方，通过控制电动推杆A2运转，可以使电动推杆A2伸缩部带动其底端的连接台3垂直向下平移，可以使连接台3底部的电动推杆B4向下平移，可以使电动推杆A2伸缩部底端的支撑管401底部的真空吸盘3012向下平移至晶圆片顶部，通过启动真空发生器301，可以通过连接管3011对真空吸盘3012底部形成负压区域，可以使真空吸盘3012对晶圆片顶面进行负压吸附，通过往复丝杠1与两组电动推杆配合，可以对晶圆片进行运输。

如图2至图5所示，固定架302底端固定连接有固定仓5，固定仓5数量设置为二组，固定仓5底部垂直贯穿有底滑槽501，底滑槽501数量设置为四组，固定仓5内部左右两侧通过转动连接设置有侧支撑轮502，固定仓5内侧通过转动连接设置有联动齿轮503，联动齿轮503顶部通过同轴连接设置有蜗轮5031，蜗轮5031位于固定仓5顶部，固定仓5顶部通过转动连接设置有蜗杆5032，蜗杆5032与蜗轮5031相啮合，两组固定仓5顶部的两组蜗杆5032同轴连接，固定仓5顶部固定连接有伺服电机506，伺服电机506转轴与蜗杆5032同轴连接，固定仓5内侧通过滑动连接设置有联动齿条504，联动齿条504滑动连接于底滑槽501内侧，联动齿条504数量设置为四组，联动齿条504内侧与联动齿轮503相啮合，联动齿条504底端固定连接有固定座505，固定座505底部固定连接有环架6，环架6底部开设有凹槽，环架6底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬601，通过启动伺服电机506，可以使伺服电机506，可以使其转轴带动与其同轴的两组固定仓5顶部的蜗杆5032进行转动，可以使蜗杆5032带动与其啮合的蜗轮5031进行转动，可以使蜗轮5031带动其底端同轴的联动齿轮503进行转动，可以使联动齿轮503带动固定仓5内侧的两组联动齿条504进行同步相反方向的平移，通过联动齿条504侧端底部的固定座505进行反方向平移，可以使固定座505底部的两组环架6进行反方向平移，可以使环架6对吸附在真空吸盘3012底部的晶圆片边缘进行夹持固定，通过控制真空发生器301停止工作后，控制电动推杆B4伸缩部向上收缩后，再控制电动推杆B4伸缩部带动真空吸盘3012垂直向下平移接触晶圆片顶面后，再次启动真空发生器301，可以使真空吸盘3012对晶圆片顶面圆心处进行定位吸附，对晶圆片进行放置后依次控制伺服电机506反向转动使两组环架6左右两侧解除夹持后，解除真空吸盘3012对晶圆顶部圆心处的吸附，可以使晶圆片放置位置进行限定控制。

本实施例的具体使用方式与作用：

本实用新型中，在使用时，通过控制往复丝杠1，可以使往复丝杠1带动滚珠螺母座进行平行滑动，通过控制电动推杆A2运转，可以使电动推杆A2水平滑动至晶圆片正上方，通过控制电动推杆A2运转，可以使电动推杆A2伸缩部带动其底端的连接台3垂直向下平移，可以使连接台3底部的电动推杆B4向下平移，可以使电动推杆A2伸缩部底端的支撑管401底部的真空吸盘3012向下平移至晶圆片顶部，通过启动真空发生器301，可以通过连接管3011对真空吸盘3012底部形成负压区域，可以使真空吸盘3012对晶圆片顶面进行负压吸附，通过往复丝杠1与两组电动推杆配合，可以对晶圆片进行运输，通过启动伺服电机506，可以使伺服电机506，可以使其转轴带动与其同轴的两组固定仓5顶部的蜗杆5032进行转动，可以使蜗杆5032带动与其啮合的蜗轮5031进行转动，可以使蜗轮5031带动其底端同轴的联动齿轮503进行转动，可以使联动齿轮503带动固定仓5内侧的两组联动齿条504进行同步相反方向的平移，通过联动齿条504侧端底部的固定座505进行反方向平移，可以使固定座505底部的两组环架6进行反方向平移，可以使环架6对吸附在真空吸盘3012底部的晶圆片边缘进行夹持固定，通过控制真空发生器301停止工作后，控制电动推杆B4伸缩部向上收缩后，再控制电动推杆B4伸缩部带动真空吸盘3012垂直向下平移接触晶圆片顶面后，再次启动真空发生器301，可以使真空吸盘3012对晶圆片顶面圆心处进行定位吸附，对晶圆片进行放置后依次控制伺服电机506反向转动使两组环架6左右两侧解除夹持后，解除真空吸盘3012对晶圆顶部圆心处的吸附，可以使晶圆片放置的位置进行限定控制。

本实用新型未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (7)

1.基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于：包括往复丝杠(1)；所述往复丝杠(1)丝杆内侧通过滑动连接设置有滚珠螺母座，滚珠螺母座底部固定连接有电动推杆A(2)；所述电动推杆A(2)伸缩部底端固定连接有连接台(3)；所述连接台(3)底部固定连接有真空发生器(301)；所述真空发生器(301)底部固定连接有连接管(3011)；所述连接台(3)底部固定连接有电动推杆B(4)，电动推杆B(4)伸缩部底端固定连接有支撑管(401)，连接管(3011)位于支撑管(401)内侧，连接管(3011)底端固定连接有真空吸盘(3012)，真空吸盘(3012)顶部与支撑管(401)底端固定连接。

2.如权利要求1所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述连接台(3)底端固定连接有固定架(302)，固定架(302)底端固定连接有固定仓(5)，固定仓(5)数量设置为二组。

3.如权利要求2所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述固定仓(5)底部垂直贯穿有底滑槽(501)，底滑槽(501)数量设置为四组。

4.如权利要求2所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述固定仓(5)内部左右两侧通过转动连接设置有侧支撑轮(502)，固定仓(5)内侧通过转动连接设置有联动齿轮(503)。

5.如权利要求4所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述联动齿轮(503)顶部通过同轴连接设置有蜗轮(5031)，蜗轮(5031)位于固定仓(5)顶部，固定仓(5)顶部通过转动连接设置有蜗杆(5032)，蜗杆(5032)与蜗轮(5031)相啮合，两组固定仓(5)顶部的两组蜗杆(5032)同轴连接，固定仓(5)顶部固定连接有伺服电机(506)，伺服电机(506)转轴与蜗杆(5032)同轴连接。

6.如权利要求2所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述固定仓(5)内侧通过滑动连接设置有联动齿条(504)，联动齿条(504)滑动连接于底滑槽(501)内侧，联动齿条(504)数量设置为四组，联动齿条(504)内侧与联动齿轮(503)相啮合。

7.如权利要求4所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述联动齿条(504)底端固定连接有固定座(505)，固定座(505)底部固定连接有环架(6)，环架(6)底部开设有凹槽，环架(6)底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬(601)。

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