CN117524946B - 一种双线式裸晶芯片测试分选机 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及芯片生产线技术领域，具体提供了一种双线式裸晶芯片测试分选机，包括机台，机台上设置有直线模组；机台上还设置有第一分选线和第二分选线，第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧；所述第一分选线和第二分选线为相同的结构，均包括：摇盘供料机构、第一动子平台、检测机构、第二动子平台、摇盘收料机构；本发明通过第一夹爪机构将摇盘供料机构上承载裸晶芯片的摇盘逐一夹取移料至第一动子平台上，经第一动子平台移料至检测机构上，经检测后的裸晶芯片通过中转夹爪机构夹取并移料至第二动子平台上，第二夹爪机构将第二动子平台上承载合格裸晶芯片的摇盘夹取至摇盘收料机构上，以便于后续加工使用。

Description

一种双线式裸晶芯片测试分选机
技术领域
本发明涉及芯片生产线技术领域，具体涉及一种双线式裸晶芯片测试分选机。
背景技术
裸晶芯片在生产过程中存在一定不良率，若流入后续工段会导致成品不合格造成物料浪费。
传统技术中多采用人工对裸晶芯片逐一测试，然后分选出不合格裸晶芯片，此方式工作效率极低。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种双线式裸晶芯片测试分选机，用于解决现有技术中采用人工测试分选裸晶芯片工作效率低的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种双线式裸晶芯片测试分选机，包括机台，在所述机台上设置有直线模组；
在所述机台上设置有第一分选线和第二分选线，第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧，用于同时分选不同规格的芯片；
所述第一分选线和第二分选线为相同的结构，均包括：
摇盘供料机构，用于堆叠储料；
第一动子平台，用于未检测裸晶芯片的输送；
检测机构，用于检测裸晶芯片IR值，以筛选不合格品；
第二动子平台，用于检测后的合格裸晶芯片的输送；
摇盘收料机构，用于合格裸晶芯片堆叠收料；
所述直线模组包括第一直线模组和第二直线模组，所述第一直线模组和第二直线模组上均设置有支架，第一直线模组的支架两端分别装配有第一夹爪机构，单个所述第一夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的摇盘供料机构与第一动子平台之间，用于第一分选线和第二分选线同时上料；第二直线模组的支架两端分别装配有第二夹爪机构，单个所述第二夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的第二动子平台与摇盘收料机构之间，用于第一分选线和第二分选线同时下料；
所述摇盘供料机构和摇盘收料机构为相同的机构，均包括：
装配在机台的下端的第三直线模组，第三直线模组的活动端连接有顶板，顶板可活动的延伸至机台上端；顶板上堆叠有摇盘，裸晶芯片置于摇盘上；
在所述机台的上端设置有围栏，围栏环设在顶板外侧以防护堆叠的摇盘。
于本发明的一实施例中，述围栏上端设置有对射式检测传感器，用于检测顶板上端摇盘的堆叠状态。
于本发明的一实施例中，所述第一动子平台和第二动子平台为相同的结构，均包括：
磁板，配合在磁板上行走的直线电机；
在所述直线电机上端设置移栽座，所述移栽座上设置有摇盘检知开关。
于本发明的一实施例中，所述检测机构包括：
第一支撑架，在所述第一支撑架上装配有第四直线模组；
第四直线模组的活动端上设置有探针座，探针座具有若干探针，用于接触摇盘上的待裸晶芯片通电以检测裸晶芯片IR值；
在所述探针座上还设置有热电偶，热电偶中穿接有加热棒；
在所述热电偶上设置有若干喷头，用于吹热风以干燥探针与裸晶芯片的接触位置。
于本发明的一实施例中，在所述第一支撑架上还设置有中转夹爪机构，用于在裸晶芯片检测后在第一动子平台与第二动子平台之间进行上下料。
于本发明的一实施例中，所述第一夹爪机构、第二夹爪机构、中转夹爪机构为相同的结构，均包括：
第五直线模组，在所述第五直线模组的活动端上设置有夹爪气缸，夹爪气缸的输出端上设置有一对能够相对分离聚合配合的夹爪，在所述夹爪的夹持端上设置有勾爪，用于嵌入摇盘的侧端。
于本发明的一实施例中，所述第一直线模组、第二直线模组、第三直线模组、第四直线模组、第五直线模组为相同的结构，均包括：
直线导轨，所述直线导轨上配合有滑块；
在所述直线导轨的一端装配有驱动电机，驱动电机的输出端设置有丝杆，丝杆啮合穿接滑块。
于本发明的一实施例中，所述机台上还设置有NG料下料机构，包括第二支撑架，在所述第二支撑架的上端设置有第二磁板，第二磁板上设置有第二直线电机，在第二直线电机上装配有连接座；
在所述连接座上装配有旋转电机，旋转电机的输出端上设置有偏心轮，偏心轮上套接有提拉板，提拉板的下端设置有NG料取放机构；
所述第二支撑架的一侧设置有NG料分BIN盒。
于本发明的一实施例中，所述NG料取放机构包括第二立架，第二立架上设置有吸笔杆，单个吸笔杆的上端设置有独立气缸、下端设置有复位弹簧。
如上所述，本发明的双线式裸晶芯片测试分选机，具有以下有益效果：
1、通过设置双分选线，同一直线模组能够对两条分选线进行同步传送，一个结构多用，节省成本；单个所述分选线上的摇盘供料机构、第一动子平台、检测机构、第二动子平台、摇盘收料机构连续配合，并且能够进行独立动作，配合分选线传送的直线模组上对应设置动作可独立的夹爪机构，可以同时且独立的测试两种不同尺寸的芯片，极大的提高了芯片的测试分选效率。
2、通过设置NG料下料机构，能够将测试不合格产品及时分选出来，代替人工分拣，避免不合格产品流入后续工段影响后续产品的成型效果。
3、本发明通过摇盘供料机构和摇盘收料机构对裸晶芯片进行自动上下料，第一夹爪机构将摇盘供料机构上承载裸晶芯片的摇盘逐一夹取移料至第一动子平台上，经第一动子平台移料至检测机构上，经检测后的裸晶芯片通过中转夹爪机构夹取并移料至第二动子平台上，此时，NG料下料机构对于摇盘上检测不合格的裸晶芯片进行吸取并置于NG料分BIN盒中，第二夹爪机构将第二动子平台上承载合格裸晶芯片的摇盘夹取至摇盘收料机构上，以便于后续加工使用；因此，本发明能够实现自动化和机械化的裸晶芯片测试分选，极大的取代了人工作业，自动化程度高。
附图说明
图1显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机的结构示意图。
图2显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机另一视角的结构示意图。
图3显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机的摇盘供料机构的结构示意图。
图4显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机同一分选线的第一动子平台和第二动子平台的结构示意图。
图5显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机的检测机构的结构示意图。
图6显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机的检测机构另一视角的结构示意图。
图7显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机的检测机构的第一夹爪机构的局部分解结构示意图。
图8显示为图7中A处的放大图。
图9显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机的NG料下料机构的结构示意图。
图10显示为图9中B处的放大图。
图11显示为本发明实施例2公开的直线模组的结构示意图。
图12显示为本发明公开的双线式裸晶芯片测试分选机实际应用的结构示意图。
元件标号说明
机台1；摇盘供料机构2；第一动子平台3；检测机构4；第二动子平台5；摇盘收料机构6；第一直线模组7；第二直线模组8；支架9；第一夹爪机构10；第二夹爪机构11；第三直线模组12；顶板13；围栏14；对射式检测传感器15；磁板16；直线电机17；移栽座18；摇盘检知开关19；第一支撑架20；第四直线模组21；探针座22；探针23；热电偶24；加热棒25；喷头26；中转夹爪机构27；第五直线模组28；夹爪气缸29；夹爪30；勾爪31；保压缓冲块32；NG料下料机构33；第二支撑架34；第二磁板35；第二直线电机36；连接座37；旋转电机38；偏心轮39；提拉板40；第二立架41；吸笔杆42；独立气缸43；复位弹簧44；NG料分BIN盒45；直线导轨46；滑块47；驱动电机48；丝杆49。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
请参阅图1至图12。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
实施例1，请参阅图1-12，本发明提供一种双线式裸晶芯片测试分选机，包括机台1，在所述机台1上设置有直线模组；在所述机台1上设置有第一分选线和第二分选线，第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧，用于同时分选不同规格的芯片；所述第一分选线和第二分选线为相同的结构，均包括：用于堆叠储料的摇盘供料机构2、用于未检测裸晶芯片输送的第一动子平台3、用于检测裸晶芯片IR值以筛选不合格品的检测机构4、用于检测后的合格裸晶芯片输送的第二动子平台5、用于合格裸晶芯片堆叠收料的摇盘收料机构6；所述直线模组包括第一直线模组7和第二直线模组8，所述第一直线模组7和第二直线模组8上均设置有支架9，第一直线模组7的支架9两端分别装配有第一夹爪机构10，单个所述第一夹爪机构10活动在对应侧的同一分选线的摇盘供料机构2与第一动子平台3之间，用于第一分选线和第二分选线同时上料；第二直线模组8的支架9两端分别装配有第二夹爪机构11，单个所述第二夹爪机构11活动在对应侧的同一分选线的第二动子平台5与摇盘收料机构6之间，用于第一分选线和第二分选线同时下料；本发明通过第一夹爪机构10将摇盘供料机构2上承载裸晶芯片的摇盘逐一夹取移料至第一动子平台3上，经第一动子平台3移料至检测机构4上，经检测后的裸晶芯片通过中转夹爪机构夹取并移料至第二动子平台5上，此时，NG料下料机构对于摇盘上检测不合格的裸晶芯片进行吸取并置于NG料分BIN盒中，第二夹爪机构11将第二动子平台5上承载合格裸晶芯片的摇盘夹取至摇盘收料机构6上，以便于后续加工使用。
请参阅图3，所述摇盘供料机构2和摇盘收料机构6为相同的机构，均包括：装配在机台1的下端的第三直线模组12，第三直线模组12的活动端连接有顶板13，顶板13可活动的延伸至机台1上端；顶板13上堆叠有摇盘，裸晶芯片置于摇盘上；在所述机台1的上端设置有围栏14，围栏14环设在顶板13外侧以防护堆叠的摇盘；随着堆叠在顶板13上的最上面的摇盘被夹取后，第三直线模组12的活动端向上顶起顶板13，以便靠近顶板13底部的摇盘被夹取出来；所述围栏14上端设置有对射式检测传感器15，用于检测顶板13上端摇盘的堆叠状态；当摇盘数量较少时，便于及时补充储料。
请参阅图4，所述第一动子平台3和第二动子平台5为相同的结构，均包括：磁板16，配合在磁板16上行走的直线电机17；在所述直线电机17上端设置移栽座18；第一动子平台3和第二动子平台5分别通过各自的直线电机17在磁板16上行走，带动移栽座18对裸晶芯片进行移料；所述移栽座18上设置有摇盘检知开关19，用于检测移栽座18上是否放置有摇盘，避免动子平台空载活动。
请参阅图5，所述检测机构4包括：第一支撑架20，在所述第一支撑架20上装配有第四直线模组21；第四直线模组21的活动端上设置有探针座22，探针座22具有若干探针23；当载有裸晶芯片的第一动子平台3移动至检测机构4下方，第四直线模组21带动探针座22下移，使探针23接触摇盘上的待裸晶芯片通电以检测裸晶芯片IR值；同时，在所述探针座22上还设置有热电偶24，热电偶24中穿接有加热棒25；在所述热电偶24上设置有若干喷头26，用于吹热风以干燥探针23与裸晶芯片的接触位置，减少测试过程中的打火现象，提高对于裸晶芯片的性能检测效果。
请参阅图6，在所述第一支撑架20上还设置有中转夹爪机构27，用于在裸晶芯片检测后在第一动子平台3与第二动子平台5之间进行上下料。
请参阅图7-8，所述第一夹爪机构10、第二夹爪机构11、中转夹爪机构27为相同的结构，均包括：第五直线模组28，在所述第五直线模组28的活动端上设置有夹爪气缸29，夹爪气缸29的输出端上设置有一对能够相对分离聚合配合的夹爪30，以便夹取摇盘；在所述夹爪30的夹持端上设置有勾爪31，用于嵌入摇盘的侧端，提高对于摇盘夹取的可靠性；在所述夹爪30的夹持端上还设置有保压缓冲块32，保压缓冲块32位于勾爪31的上方，用于摇盘夹取后抵触在摇盘的上端边缘，进一步提高对于摇盘夹取的可靠性。
请参阅图9-10，所述机台1上还设置有NG料下料机构33，包括第二支撑架34，在所述第二支撑架34的上端设置有第二磁板35，第二磁板35上设置有第二直线电机36，在第二直线电机36上装配有连接座37；第二直线电机36在第二磁板35上行走以带动连接座37活动，进而定位第二支撑架34下方的第二动子平台5上的摇盘上不合格裸晶芯片的位置；所述连接座37上装配有旋转电机38，旋转电机38的输出端上设置有偏心轮39，偏心轮39上套接有提拉板40，提拉板40的下端设置有NG料取放机构；所述NG料取放机构包括第二立架41，第二立架41上设置有吸笔杆42，单个吸笔杆42的上端设置有独立气缸43、下端设置有复位弹簧44；所述第二支撑架34的一侧设置有NG料分BIN盒45，定位摇盘上不合格裸晶芯片的位置后，旋转电机38驱动偏心轮39转动，由于偏心轮39的轮心和轮边之间的距离不同，会产生周期性的上下动力活动，从而带动提拉板40上下活动，通过吸笔杆42完成不合格产品的取料和放料动作；通过设置NG料下料机构33，能够将测试不合格产品及时分选出来，代替人工分拣，避免不合格产品流入后续工段影响后续产品的成型效果。
请参阅图11，实施例2，基于实施例1的基础上，所述第一直线模组7、第二直线模组8、第三直线模组12、第四直线模组21、第五直线模组28为相同的结构，均包括：直线导轨46，所述直线导轨46上配合有可滑动滑块47；在所述直线导轨46的一端装配有驱动电机48，驱动电机48的输出端设置有丝杆49，丝杆49啮合穿接滑块47；通过驱动电机48提供动力使丝杆49转动，带动与丝杆49啮合的滑块47沿直线导轨46活动，以实现直线运动。
综上所述，本发明通过摇盘供料机构2和摇盘收料机构6对裸晶芯片进行自动上下料，第一夹爪机构10将摇盘供料机构2上承载裸晶芯片的摇盘逐一夹取移料至第一动子平台3上，经第一动子平台3移料至检测机构4上，经检测后的裸晶芯片通过中转夹爪机构27夹取并移料至第二动子平台5上，此时，NG料下料机构33对于摇盘上检测不合格的裸晶芯片进行吸取并置于NG料分BIN盒45中，第二夹爪机构11将第二动子平台5上承载合格裸晶芯片的摇盘夹取至摇盘收料机构6上，以便于后续加工使用；因此，本发明能够实现自动化和机械化的裸晶芯片测试分选，极大的取代了人工作业，自动化程度高。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (9)

1.一种双线式裸晶芯片测试分选机，包括机台，在所述机台上设置有直线模组；
其特征在于：在所述机台上设置有第一分选线和第二分选线，第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧，用于同时分选不同规格的芯片；
所述第一分选线和第二分选线为相同的结构，均包括：
摇盘供料机构，用于堆叠储料；
第一动子平台，用于未检测裸晶芯片的输送；
检测机构，用于检测裸晶芯片IR值，以筛选不合格品；
第二动子平台，用于检测后的合格裸晶芯片的输送；
摇盘收料机构，用于合格裸晶芯片堆叠收料；
所述直线模组包括第一直线模组和第二直线模组，所述第一直线模组和第二直线模组上均设置有支架，第一直线模组的支架两端分别装配有第一夹爪机构，单个所述第一夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的摇盘供料机构与第一动子平台之间，用于第一分选线和第二分选线同时上料；第二直线模组的支架两端分别装配有第二夹爪机构，单个所述第二夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的第二动子平台与摇盘收料机构之间，用于第一分选线和第二分选线同时下料；
所述摇盘供料机构和摇盘收料机构为相同的机构，均包括：
装配在机台的下端的第三直线模组，第三直线模组的活动端连接有顶板，顶板可活动的延伸至机台上端；顶板上堆叠有摇盘，裸晶芯片置于摇盘上；
在所述机台的上端设置有围栏，围栏环设在顶板外侧以防护堆叠的摇盘。
2.根据权利要求1所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于：所述围栏上端设置有对射式检测传感器，用于检测顶板上端摇盘的堆叠状态。
3.根据权利要求1所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于：所述第一动子平台和第二动子平台为相同的结构，均包括：
磁板，配合在磁板上行走的直线电机；
在所述直线电机上端设置移栽座，所述移栽座上设置有摇盘检知开关。
4.根据权利要求1所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于：所述检测机构包括：
第一支撑架，在所述第一支撑架上装配有第四直线模组；
第四直线模组的活动端上设置有探针座，探针座具有若干探针，用于接触摇盘上的待裸晶芯片通电以检测裸晶芯片IR值；
在所述探针座上还设置有热电偶，热电偶中穿接有加热棒；
在所述热电偶上设置有若干喷头，用于吹热风以干燥探针与裸晶芯片的接触位置。
5.根据权利要求4所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于：在所述第一支撑架上还设置有中转夹爪机构，用于在裸晶芯片检测后在第一动子平台与第二动子平台之间进行上下料。
6.根据权利要求5所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于，所述第一夹爪机构、第二夹爪机构、中转夹爪机构为相同的结构，均包括：
第五直线模组，在所述第五直线模组的活动端上设置有夹爪气缸，夹爪气缸的输出端上设置有一对能够相对分离聚合配合的夹爪，在所述夹爪的夹持端上设置有勾爪，用于嵌入摇盘的侧端。
7.根据权利要求6所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于：所述第一直线模组、第二直线模组、第三直线模组、第四直线模组、第五直线模组为相同的结构，均包括：
直线导轨，所述直线导轨上配合有滑块；
在所述直线导轨的一端装配有驱动电机，驱动电机的输出端设置有丝杆，丝杆啮合穿接滑块。
8.根据权利要求1所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于：所述机台上还设置有NG料下料机构，包括第二支撑架，在所述第二支撑架的上端设置有第二磁板，第二磁板上设置有第二直线电机，在第二直线电机上装配有连接座；
在所述连接座上装配有旋转电机，旋转电机的输出端上设置有偏心轮，偏心轮上套接有提拉板，提拉板的下端设置有NG料取放机构；
所述第二支撑架的一侧设置有NG料分BIN盒。
9.根据权利要求8所述的双线式裸晶芯片测试分选机，其特征在于：所述NG料取放机构包括第二立架，第二立架上设置有吸笔杆，单个吸笔杆的上端设置有独立气缸、下端设置有复位弹簧。
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