TWM559502U - 自動搖盤機 - Google Patents

Abstract

本創作係一種自動搖盤機，其包含基座及搖盤組，搖盤組設置於基座上並包含有擺動裝置、震動組件、底板及一搖盤，震動組件可受擺動裝置的帶動相對基座擺動，底板可受震動組件的驅動而震動，搖盤上成形有篩選槽、擋板及晶粒孔，擋板設置於搖盤頂面並延伸至篩選槽上方，晶粒孔貫穿成形於篩選槽的底面並貫通至搖盤的底面，本創作透過擺動組件及震動裝置分別產生大幅度的擺動及小幅度的震動，使放置於篩選槽內的晶粒能夠透過震動及擺動以正確的面向進入到相對應的晶粒孔內，藉此達到自動化篩選之功用，進一步節省在加工流成上的人力資源。

Description

自動搖盤機

本創作係一種半導體加工機械，尤指一種篩選晶粒(Die)的自動搖盤機。

半導體產業中，關於晶圓加工完成後切割成之晶粒，該些晶粒為微小的板體結構，並板體結構的相對兩側面分別為一P面及一N面，由於該兩側面之特性不同，故在將晶粒進行後續加工至如電路基板等其他元件上時，需以一正確的面向放置才能產生正確的效能。

而現有技術中，關於此種辨識晶粒兩側面並將其翻至正確面的加工流程，係透過一搖盤，該搖盤上具有複數晶粒孔，使用者透過手持搖盤並將晶粒灑在搖盤上後開始輕微晃動，由於該些晶粒孔內具有特殊的凹槽形狀，因此當晶粒在晃動的過程中落入晶粒孔中，如果係以正確的面向(N面朝下)進入晶粒孔中，則便能夠與該凹槽形狀相配合，並穩固地設置於晶粒孔內，但如果係以不正確的面向(P面朝下)進入晶粒孔，則會因為其形狀與晶粒孔內的形狀不合，因此無法穩固地設置於晶粒孔內，進而會在持續晃動的過程中再度被搖晃出晶粒孔，現有技術即透過此一手動搖晃晶粒的過程，使其搖晃完成後能夠使晶粒皆以正確的方向設置於晶粒孔內，達到將晶粒翻轉至正確面向之功能。

然而，現有技術中此種利用人力來搖晃搖盤之過程，其不僅耗時且對於科技逐漸傾向全自動化的概念有所衝突，也無法有效地提高製造過程的效率，因此現有技術的此種篩選晶粒的過程，有其缺陷存在。

有鑑於現有技術的缺點及不足，本創作提供一種自動搖盤機，其透過將篩選晶粒的過程自動化，進一步節省加工人力並提供生產時之效率。

為達上述之創作目的，本創作所採用的技術手段為一種自動搖盤機，其包含 一基座； 至少一搖盤組，其設置於該基座上，各該至少一搖盤組包含有 一擺動裝置，其設置於該基座上； 一震動組件，其設置於該擺動裝置上，並該震動組件可受該擺動裝置的帶動而相對該基座擺動； 一底板，其設置於該擺動裝置上，並可受該震動組件的驅動產生震動； 一搖盤，其設置於該底板上，並該搖盤上設有一篩選槽及兩擋板，該篩選槽上成形有複數晶粒孔，該等晶粒孔貫穿該篩選槽的底面並連通至該搖盤的底面，該兩擋板分別設置於該搖盤頂面上，並係沿該擺動裝置的擺動方向設置於其相對兩側，且該兩擋板延伸至該篩選板的上方。

本創作的優點在於，透過裝設於底座上的該至少一搖盤組，使用者可實現以下兩點特徵。

第一，各該搖盤組的擺動裝置以及震動裝置可分別對搖盤組進行擺動及震動，進而模擬現有技術中利用人手晃動之流程，同時由於透過該些自動化機器之震動及晃動，本創作相較於利用人手篩選晶粒，在流程上可更加快速、精準且穩固，並亦可降低人力上的成本。

第二，搖盤上的擋板可避免使晶粒在自動化的晃動過程中飛出搖盤的可能。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其中各該搖盤組中，該底板上成形有複數震動孔，該些震動孔貫穿該底板的頂面及底面；該震動組件進一步包含有一震動動力裝置；一震動基座，該震動基座與該震動動力裝置相連接；複數震動轉軸，該等震動轉軸設置於該震動基座上，並與該震動動力裝置電相連，且該等震動轉軸可受該震動動力裝置驅動而轉動，該等震動轉軸的數量及位置與該底板上的該等震動孔的數量及位置相對應，且各該震動轉軸的頂端進一步設有一偏心塊，各該偏心塊向上突伸於該底板上相對應的該震動孔內，並可貼靠該震動孔的內壁面相對該震動孔轉動，當該等震動轉軸受該震動動力裝置的驅動而轉動時，各該偏心塊會貼靠相對應的該震動孔的內壁面轉動並使該底板相對該震動組件震動。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組上進一步包含有兩敲擊裝置，其分別設置於該底板上的相對兩側邊，該兩敲擊裝置可相對該底板產生震動。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其中各該敲擊裝置包含有一外殼體；一撞錘，其可滑動地設置於該外殼體內，且該撞錘的相對兩端選擇性地撞擊該外殼體的內壁面；兩彈性元件，該兩彈性元件分別設置於該撞錘的相對兩端，並各該彈性元件的一端抵靠於該撞錘，其另一端抵靠於該外殼體的內壁面上，使該撞錘夾設於該兩彈性元件之間。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組中，該底板的側壁面上設置有複數底板扣件；該搖盤的側壁面上設置有複數搖盤扣件，該等搖盤扣件可拆卸地與該等底板扣件相結合。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組中，該底板上進一步成形有一抽引孔，該抽引孔與該搖盤的該等晶粒孔相連通，並該抽引孔係用於與一負壓裝置相連接。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組的該搖盤的該篩選槽的底面上進一步凹設成形有兩暫存槽，該兩暫存槽凹設成形於該篩選槽沿該擺動裝置的擺動方向的相對兩側，並該兩暫存槽的位置與該兩擋板的位置相對應。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其進一步包含有一橫向移動組件，其設置於該基座上，各該至少一搖盤組與該橫向移動組件相連接，並可受該橫向移動組件的帶動沿一橫向於該基座上移動；各該至少一搖盤組上進一步包含有一縱向移動組件，該擺動裝置設置於該縱向移動組件上，並該縱向移動組件可驅動該擺動裝置沿一縱向移動。

進一步而言，前述之自動搖盤機，其中各該搖盤組的該擺動裝置的一擺動軸係沿該縱向延伸地設置。

以下配合圖式以及本創作之較佳實施例，進一步闡述本創作為達成預定創作目的所採取的技術手段。

請參閱圖1所示，本創作之自動搖盤機包含有一基座10及至少一搖盤組20。

請參閱圖1、圖2及圖3所示，本實施例中，該至少一搖盤組20的數量為兩組，並該兩搖盤組20係彼此間隔且可移動地設置於基座10上，但不以此為限，搖盤組20的數量可隨使用者的需求進行調整。

更精確地說，本實施例中，基座10上進一步設有一橫向移動組件11及兩縱向移動組件12，該橫向移動組件11包含有一橫向驅動馬達111及一橫向滾珠螺桿112，該兩搖盤組20係分別設置於該橫向滾珠螺桿112上，並可受該橫向驅動馬達111的帶動，沿一橫向L1於該橫向滾珠螺桿112上來回移動，但不以此為限，搖盤組20亦可透過其他方式沿橫向L1地於基座10上移動。

此外，本實施例中，由於該兩搖盤組20係共同受到該橫向移動組件11的帶動，換言之，當橫向驅動馬達111開始驅動時，該兩搖盤組20會同步地沿該橫向L1移動，但不以此為限，該兩搖盤組20亦為獨立地沿該橫向L1移動。

請進一步參閱圖4所示，該兩縱向移動組件12分別設置於該兩搖盤組20的底端，並本實施例中，該兩縱向移動組件12係設置於該橫向移動組件11的上方，且各該縱向移動組件12包含有一縱向驅動馬達121及一縱向滾珠螺桿122，該兩搖盤組係分別可沿一縱向L2移動地設置於該兩縱向滾珠螺桿122上，並且係透過縱向驅動馬達121驅動該兩搖盤組20沿該縱向L2來回移動。

更精確地說，本實施例中對於橫向L1及縱向L2的移動方式為，橫向L1方面係兩搖盤組20一同移動，而縱向L2方面則是該兩搖盤組20可各自移動，但不以此為限，該兩搖盤組20於基座10上的移動方式可隨使用者的需求進行調整，例如該兩搖盤組20皆可獨立地於基座10上沿橫向L1或縱向L2地移動。

請參閱圖4及圖5所示，各該搖盤組20上包含有一擺動裝置21、一底板22、一搖盤23及一震動組件30，且本實施例中，搖盤組20的結構由下而上分別為擺動裝置21、震動組件30、底板22及搖盤23，但不以此為限，其亦可根據不同機構特性進行調整。

請參閱圖4及圖8所示，擺動裝置21係設置於基座10上，更精確地說，本實施例中，該擺動裝置21包含有一擺動馬達211及一擺動軸212，該擺動馬達211設置於縱向移動組件12上，且該擺動馬達211可驅動該擺動軸212轉動，並且擺動軸212係沿該縱向L2延伸地設置，換言之，本實施例中，擺動裝置21(或其擺動軸212)的擺動方向為沿橫向L1地來回擺動，但不以此為限，擺動裝置21的擺動方向亦可隨使用者需求進行變更。

請參閱圖1、圖4及圖5所示，震動組件30設置於擺動裝置21的上方，換言之，震動組件30係可受擺動裝置21的帶動而相對基座10擺動，並該震動組件30包含有一震動動力裝置31、一震動基座32、複數震動轉軸33及複數偏心塊34，震動動力裝置31及震動基座32皆設置於擺動裝置21的上方且彼此相連接，而該些震動轉軸33則係彼此間隔地設置於震動基座32上，並與該震動動力裝置31電相連，本實施例中，該些震動轉軸33的數量為三個，且僅要其中一震動轉軸33與震動動力裝置31電相連即可。

該震動動力裝置31可驅動該等震動轉軸33相對震動基座32轉動，該些偏心塊34的數量與該些震動轉軸33相同，且一個震動轉軸33的頂端會設置有一偏心塊34。

請進一步參閱圖7及圖8所示，底板22設置於擺動裝置21上，更精確地說，其係設置於震動組件30的上方並可受震動組件30的驅動而產生震動，而底板22上設置有複數震動孔221、一抽引孔222及複數底板扣件223，該些震動孔221貫穿底板22的頂面及底面，且該些震動孔221的數量及位置與前述震動基座32上的該些震動轉軸33的數量及位置相對應，更精確地說，當底板22設置於震動組件上時，該些震動轉軸33的該些偏心塊34會貫穿設置於底板22上的該些震動孔221內，並當偏心塊34設置於震動孔221內時，偏心塊34中與軸心較遠的側邊(即其較為突出的部分)會抵靠於震動孔221的內壁面上，因此當震動動力裝置31驅動震動轉軸33轉動時，該些偏心塊34貼靠該震動孔221內壁面的轉動便會驅使底板22相對震動組件30產生震動。

請參閱圖5及圖9所示，抽引孔222貫穿底板22的頂面及底面，並該抽引孔222係可用於與一負壓裝置(圖中未示)的連接管91相連接，使該負壓裝置能對底板22頂面的區域產生負壓。

該些底板扣件223彼此間隔地成形於該底板22的側壁面上。

請參閱圖4及圖5所示，搖盤23設置於底板22的上方，並搖盤23上設置有一篩選槽231、兩擋板232、複數晶粒孔233、複數搖盤扣件234及兩暫存槽235，搖盤23係透過該些搖盤扣件234與底板22上的該些底板扣件233彼此可拆卸地相扣合，使搖盤23可拆卸地與底板22相連接，但不以此為限，搖盤23亦可透過其他方式與底板22可拆卸地相結合。

請進一步參閱圖8及圖9所示，篩選槽231凹設成形於搖盤23的頂面，並篩選槽231上成形有該些晶粒孔233，該些晶粒孔233分別貫穿於篩選槽231的底面並連通至搖盤23的底面，且本實施例中，當搖盤23裝設於底板22上時，搖盤23的底部會與底板22的頂部之間形成一空隙，並該空隙與搖盤23的晶粒孔233以及底板22的抽引孔222相連通，換言之，當抽引孔222連接一負壓裝置後，該負壓裝置可使晶粒孔233的頂面進而產生一負壓。

請參閱圖4及圖8所示，該兩擋板232分別設置於搖盤23的頂面，並係沿擺動裝置21的擺動方向(本實施例中即為該橫向L1)設置於搖盤23頂面的相對兩側，且該兩擋板232延伸至篩選槽231的上方(本實施例中，各該擋板232約延伸並遮罩篩選槽231的1/4的面積)，但該兩擋板232延伸於篩選槽231的程度可依據使用者的需求進行微調，並不限於於此。

該兩暫存槽235分別凹設於篩選槽231的底面上，並係與該兩擋板232的位置相對應，換言之，其係沿擺動裝置21的擺動方向凹設於篩選槽231的相對兩側，且前述之該些晶粒孔233係成形於該兩暫存槽235之間。

請參閱圖10及圖11所示，各該搖盤組20上進一步包含有兩敲擊裝置40，該兩敲擊裝置40分別設置於底板22上的相對兩側邊，本實施例中，該兩敲擊裝置40係沿該橫向L1設置於底板22上的相對兩側，但不以此為限，例如其亦可設置於沿縱向L2的相對兩側，僅要該兩敲擊裝置40彼此設置的位置對稱即可。

敲擊裝置40可相對底板22產生一獨立於該震動組件30所產生的震動，更精確地說，各該敲擊裝置40包含有一外殼體41、一撞錘42及兩彈性元件43，外殼體41設置於底板22上，撞錘42可滑動地設置於外殼體41內，且撞錘42的相對兩端選擇性地撞擊外殼體41的內壁面，該兩彈性元件43分別設置於外殼體41內，且係設置於該撞錘42的相對兩端，並各該彈性元件43的一端抵靠於該撞錘42，其另一端抵靠於外殼體41的內壁面上，使撞錘42夾設於兩彈性元件43之間，此一結構特徵在於，當撞錘42滑動的力道不夠大時，該兩彈性元件43會推動撞錘42使其固定在外殼體41內部的中間而不會撞擊到外殼體41相對兩側的內壁面，而當撞錘42滑動的力道夠大時，其超過該兩彈性元件43推抵的力道，該撞錘42便會撞擊到外殼體41的內壁面並產生一震動傳遞至底板22及搖盤23。

以下為本創作之使用狀態及其優點。

請參閱圖2及圖3所示，本創作的使用，係配合一系列晶粒自動加工之加工過程，使晶粒(圖中未示)在搖盤上區分正反面的過程能夠一併自動化並移動至下一加工流程，更精確地說，一般而言本創作的前一加工流程為一基板(圖中未示)的錫膏塗佈，接著本創作在進行搖盤後，會自動移動至該電路基板處，並透過機械裝置(圖中未示)將透過本創作翻轉至正確面向的晶粒吸取並放置於基板上，接著在晶粒的表面進行錫膏塗佈，因此，本創作係透過該橫向移動組件11及縱向移動組件12來進行本創作的移動，使本創作能夠順暢地配合其自動化產線的前後加工步驟。

請參閱圖8、圖9及圖10所示，而關於本創作搖動之操作過程，其首先會將未分類的晶粒放置於搖盤23的篩選槽後，透過擺動裝置21的擺動，使擺動裝置21以上的所有元件(搖盤組20、震動組件30、敲擊裝置40)能相對基座10沿橫向L1進行擺動，因此該些晶粒便會在擺動的過程中，由一側的暫存槽235滾動至另一側的暫存槽235。

請進一步參閱圖6及圖7所示此外，在擺動的過程中，震動組件30亦會一併開始啟動，並使震動轉軸33轉動，進而驅使偏心塊34相對震動孔221轉動，使底板22以及搖盤23產生輕微的震動，此一震動以及擺動，可使晶粒在兩暫存槽235之間移動的過程中，較為容易落入其中間的晶粒孔233中。

此外，在此震動過程中，為避免晶粒彈出本創作外，該兩擋板232可阻止該些晶粒在移動至篩選槽231的兩側時，因撞擊力道過大而彈出本創作外。

請進進一步參閱圖9、圖10及圖11所示，請參閱圖隨著擺動及震動的時間越長，越多晶粒會以正確面向進入到晶粒孔233內，而當擺動裝置21停止擺動後，由於有可能有部分晶粒停留在篩選槽231上的晶粒孔233與晶粒孔233之間的區域，因此此時震動組件30會持續產生一較大的震動，使該兩敲擊裝置40的撞錘42產生較大的滑動力道，進而能夠撞擊到外殼體41的內壁面並產生震動，該些震動可使未正確進入晶粒孔233的該些晶粒能夠被彈出並移動至兩側的暫存槽235內，換言之，在先前的篩選期間的震動，其震動能力不足以使該兩敲擊裝置40相對產生震動，以避免在篩選過程中產生過大的震動，進而使正確進入晶粒孔233的晶粒被震出來。

在敲擊裝置40產生進一步的震動的同時，本創作會透過該連接管91接上負壓裝置，並透過該負壓裝置的吸引，使正確進入晶粒孔233的該些晶粒被吸附住，避免在此一震動過程中被震動至脫離晶粒孔233，而為正確進入晶粒孔233的該些晶粒，由於其受到吸附的力道不夠大，因此依舊會受到震動的影響而被彈開。

本創作透過上述之操作過程，使晶粒篩選的流程能夠自動化，其不僅降低人力上的需求，同時也透過機械式的震動，產生較為一致且規律的震動頻率，進而使晶粒能夠更快速地進入到晶粒孔233內，同時也使本創作能夠在加工完成後，自動移動至下一加工流程，繼續其自動化之製程，簡言之，本創作使晶粒加工的過程更加快速且精確。

以上所述僅是本創作之較佳實施例而已，並非對本創作做任何形式上的限制，雖然本創作已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本創作技術方案的範圍內，當可利用上述揭示的技術內容做出些許更動或修飾做為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本創作技術方案的內容，依據本創作的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本創作技術方案的範圍內。

10‧‧‧基座
11‧‧‧橫向移動組件
111‧‧‧橫向驅動馬達
112‧‧‧橫向滾珠螺桿
12‧‧‧縱向移動組件
121‧‧‧縱向驅動馬達
122‧‧‧縱向滾珠螺桿
20‧‧‧搖盤組
21‧‧‧擺動裝置
211‧‧‧擺動馬達
212‧‧‧擺動軸
22‧‧‧底板
221‧‧‧震動孔
222‧‧‧抽引孔
223‧‧‧底板扣件
23‧‧‧搖盤
231‧‧‧篩選槽
232‧‧‧擋板
233‧‧‧晶粒孔
234‧‧‧搖盤扣件
235‧‧‧暫存槽
30‧‧‧震動組件
31‧‧‧震動動力裝置
32‧‧‧震動基座
33‧‧‧震動轉軸
34‧‧‧偏心塊
40‧‧‧敲擊裝置
41‧‧‧外殼體
42‧‧‧撞錘
43‧‧‧彈性元件
91‧‧‧連接管
L1‧‧‧橫向
L2‧‧‧縱向

圖1係本創作之立體外觀圖。 圖2係本創作之俯視動作圖。 圖3係本創作之另一俯視動作圖。 圖4係本創作搖盤組之立體分解圖。 圖5係本創作搖盤組另一視角立體分解圖。 圖6係本創作底板及搖盤之震動動作示意圖。 圖7係本創作底板及搖盤之另一震動動作示意圖。 圖8係本創作之擺動動作示意圖。 圖9係本創作之另一擺動動作示意圖。 圖10係本創作敲擊裝置之俯視示意圖。 圖11係本創作敲擊裝置之剖面側視圖。

Claims (9)

1. 一種自動搖盤機，其包含 一基座； 至少一搖盤組，其設置於該基座上，各該至少一搖盤組包含有 一擺動裝置，其設置於該基座上； 一震動組件，其設置於該擺動裝置上，並該震動組件可受該擺動裝置的帶動而相對該基座擺動； 一底板，其設置於該擺動裝置上，並可受該震動組件的驅動產生震動； 一搖盤，其設置於該底板上，並該搖盤上設有一篩選槽及兩擋板，該篩選槽上成形有複數晶粒孔，該等晶粒孔貫穿該篩選槽的底面並連通至該搖盤的底面，該兩擋板分別設置於該搖盤頂面上，並係沿該擺動裝置的擺動方向設置於其相對兩側，且該兩擋板延伸至該篩選槽的上方。
2. 如請求項1所述之自動搖盤機，其中各該搖盤組中， 該底板上成形有複數震動孔，該些震動孔貫穿該底板的頂面及底面； 該震動組件進一步包含有 一震動動力裝置； 一震動基座，該震動基座與該震動動力裝置相連接； 複數震動轉軸，該等震動轉軸設置於該震動基座上，並與該震動動力裝置電相連，且該等震動轉軸可受該震動動力裝置驅動而轉動，該等震動轉軸的數量及位置與該底板上的該等震動孔的數量及位置相對應，且各該震動轉軸的頂端進一步設有一偏心塊，各該偏心塊向上突伸於該底板上相對應的該震動孔內，並可貼靠該震動孔的內壁面相對該震動孔轉動，當該等震動轉軸受該震動動力裝置的驅動而轉動時，各該偏心塊會貼靠相對應的該震動孔的內壁面轉動並使該底板相對該震動組件震動。
3. 如請求項1或2所述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組上進一步包含有兩敲擊裝置，其分別設置於該底板上的相對兩側邊，該兩敲擊裝置可相對該底板產生震動。
4. 如請求項3所述之自動搖盤機，其中各該敲擊裝置包含有 一外殼體； 一撞錘，其可滑動地設置於該外殼體內，且該撞錘的相對兩端選擇性地撞擊該外殼體的內壁面； 兩彈性元件，該兩彈性元件分別設置於該撞錘的相對兩端，並各該彈性元件的一端抵靠於該撞錘，其另一端抵靠於該外殼體的內壁面上，使該撞錘夾設於該兩彈性元件之間。
5. 如請求項1或2所述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組中， 該底板的側壁面上設置有複數底板扣件； 該搖盤的側壁面上設置有複數搖盤扣件，該等搖盤扣件可拆卸地與該等底板扣件相結合。
6. 如請求項1或2所述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組中， 該底板上進一步成形有一抽引孔，該抽引孔與該搖盤的該等晶粒孔相連通，並該抽引孔係用於與一負壓裝置相連接。
7. 如請求項1或2所述之自動搖盤機，其中各該至少一搖盤組的該搖盤的該篩選槽的底面上進一步凹設成形有兩暫存槽，該兩暫存槽凹設成形於該篩選槽沿該擺動裝置的擺動方向的相對兩側，並該兩暫存槽的位置與該兩擋板的位置相對應。
8. 如請求項1或2所述之自動搖盤機，其進一步包含有 一橫向移動組件，其設置於該基座上，各該至少一搖盤組與該橫向移動組件相連接，並可受該橫向移動組件的帶動沿一橫向於該基座上移動； 各該至少一搖盤組上進一步包含有一縱向移動組件，該擺動裝置設置於該縱向移動組件上，並該縱向移動組件可驅動該擺動裝置沿一縱向移動。
9. 如請求項8所述之自動搖盤機，其中各該搖盤組的該擺動裝置的一擺動軸係沿該縱向延伸地設置。