CN117443808A - 一种陶瓷吸盘清洁机构及划片机 - Google Patents

一种陶瓷吸盘清洁机构及划片机 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种陶瓷吸盘清洁机构及划片机,该陶瓷吸盘清洁机构包括气缸固定架,所述气缸固定架上设置有手指气缸,所述手指气缸上具有两个能相向和反向运动的滑块,两个滑块上连接有活动架,所述活动架上连接有自清洁毛刷;所述自清洁毛刷上设置有喷水结构和喷气结构,所述自清洁毛刷包括刷板和毛体,所述毛体连接于刷板底部中间位置,所述喷水结构和喷气结构分别设置于毛体上方的刷板上,所述喷水结构设置有喷水口,所述喷气结构设置有吹气口,所述喷水口、吹气口分别成排设置于毛体顶部两侧的刷板底部。本发明能够使毛体与陶瓷吸盘之间充分贴合,保证清洁效果,可以实现自清洁毛刷的自动清洁效果;本发明还可以实时监控自清洁毛刷的毛体损耗量。

Description

一种陶瓷吸盘清洁机构及划片机
技术领域
本发明属于清洁装置技术领域,具体地是涉及一种陶瓷吸盘清洁机构及划片机。
背景技术
划片机对晶圆工件的切割过程是在切割工作台上完成的,切割工作台上有用于固定晶圆工件的工作盘即陶瓷吸盘,通过陶瓷吸盘对晶圆工件固定,能够保证晶圆工件的切割精度,对晶圆工件切割完成后,需要对陶瓷吸盘进行清洁。
目前,陶瓷吸盘的清洁工具为设置于陶瓷吸盘上方的单一结构的毛刷,毛刷由升降机构控制,可以下降和归位,但是毛刷每次下降所到达陶瓷吸盘的位置是固定不变的,且不能调节,下降后的毛刷依靠陶瓷吸盘的前后运动来实现陶瓷吸盘的清洁;这样长时间清洁运行后,毛刷受到损耗,毛刷的毛体长度就会变短,或者会出现毛刷的毛体左右高度不均匀的情况,对陶瓷吸盘清洁的洁净度就会受到影响,造成清洁效果下降。
另外,此种单一结构的毛刷不具有自清洁的功能,每次定期清洁时,都需要人工拆卸下毛刷,进行人工清洁毛体,然后再将毛刷安装回去;这样费时费力,影响生产效率。
发明内容
本发明就是针对上述问题,弥补现有技术的不足,提供一种陶瓷吸盘清洁机构及划片机。
为实现上述目的,本发明采用如下技术方案。
一种陶瓷吸盘清洁机构,该陶瓷吸盘清洁机构包括气缸固定架,所述气缸固定架上设置有手指气缸,所述手指气缸上具有两个能相向和反向运动的滑块,两个滑块上连接有活动架,所述活动架上连接有自清洁毛刷;所述自清洁毛刷上设置有喷水结构和喷气结构,所述自清洁毛刷包括刷板和毛体,所述毛体连接于刷板底部中间位置,所述喷水结构和喷气结构分别设置于毛体上方的刷板上,所述喷水结构设置有喷水口,所述喷气结构设置有吹气口,所述喷水口、吹气口分别成排设置于毛体顶部两侧的刷板底部。
作为本发明的一种优选方案,所述两个滑块上均设置有转接板,两个滑块通过转接板与活动架连接。
作为本发明的另一种优选方案,所述活动架包括两个毛刷固定连杆,两个毛刷固定连杆均由上斜杆、直连杆构成,毛刷固定连杆的上斜杆与直连杆一体成型,上斜杆上设置有第一滑槽连接孔,直连杆端部设置有第二滑槽连接孔;两个毛刷固定连杆的直连杆的中心处通过固定轴铰接,分别通过固定轴穿过两个毛刷固定连杆的直连杆端部的第二滑槽连接孔与刷板连接,分别通过固定轴穿过两个毛刷固定连杆的上斜杆上的第一滑槽连接孔与转接板相连。
作为本发明的另一种优选方案,所述刷板两端上方立设有定位挡片,定位挡片上固定安装有光栅传感器,光栅传感器与划片机显示屏相连。
作为本发明的另一种优选方案,所述手指气缸上方罩设有外罩板,外罩板固定连接于气缸固定架上。
作为本发明的另一种优选方案,所述喷水结构包括水路接头、水路腔体,水路腔体设置于刷板内一侧,水路接头立设于刷板中部,水路接头的进水口连接供水管路,进水口与水路腔体连通,水路腔体与设置于毛体顶部一侧的刷板底部成排的喷水口连通。
作为本发明的另一种优选方案,所述喷气结构包括气路接头、气路腔体,气路腔体设置于刷板内另一侧,气路接头立设于刷板中部,气路接头的进气口连接供气管路,进气口与气路腔体连通,气路腔体与设置于毛体顶部另一侧的刷板底部成排的吹气口连通。
一种划片机,包括所述的陶瓷吸盘清洁机构、陶瓷吸盘,所述的陶瓷吸盘清洁机构安装于陶瓷吸盘的上方。
本发明有益效果:
1、本发明在活动架的配合下,利用自清洁毛刷的自身重力来进行毛体和陶瓷吸盘之间的压紧,在毛体受磨损后,可以利用自清洁毛刷的自身重力自动补偿高度,能够使毛体与陶瓷吸盘之间充分贴合,保证清洁效果;同样地,在不需要调节自清洁毛刷上下位置时,自清洁毛刷也不会对陶瓷吸盘造成压紧力过大而损伤陶瓷吸盘。
2、本发明的自清洁毛刷上设置的喷水结构和喷气结构,可以实现自清洁毛刷的自动清洁效果。
3、本发明的自清洁毛刷上设置的光栅传感器,可以判断自清洁毛刷的所处位置状态,在长时间清洁运行中,还可以实时监控自清洁毛刷的毛体损耗量。
附图说明
图1是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的立体结构示意图。
图2是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的拆解结构示意图。
图3是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的自清洁毛刷的立体结构示意图之一。
图4是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的自清洁毛刷的立体结构示意图之二。
图5是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的自清洁毛刷的立体结构示意图之三。
图6是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的自清洁毛刷的主视结构示意图。
图7是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的自清洁毛刷的俯视结构示意图。
图8是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的自清洁毛刷的仰视结构示意图。
图9是本发明一种陶瓷吸盘清洁机构的自清洁毛刷的侧视结构示意图。
图10是本发明划片机的结构示意图。
图中标记:1为自清洁毛刷、2为毛刷固定连杆、3为固定轴、4为转接板、5为手指气缸、6为气缸固定架、7为外罩板、8为光栅传感器、9为陶瓷吸盘清洁机构、10为陶瓷吸盘、11为划片机、12为定位挡片、13为上斜杆、14为滑块、15为直连杆、16为吹气口、17为喷水口、18为进气口、19为进水口、20为毛体、21为刷板、22为气路腔体、23为水路腔体、24为气路接头、25为水路接头、26为第一滑槽连接孔、27为第二滑槽连接孔。
具体实施方式
为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及具体实施方式,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
结合图1至图9所示,本发明实施例提供了一种陶瓷吸盘清洁机构9,该陶瓷吸盘清洁机构9包括气缸固定架6,所述气缸固定架6上设置有手指气缸5,所述手指气缸5上方罩设有外罩板7,外罩板7固定连接于气缸固定架6上;所述手指气缸5上具有两个能相向和反向运动的滑块14,两个滑块14上连接有活动架,所述活动架上连接有自清洁毛刷1;所述自清洁毛刷1上设置有喷水结构和喷气结构,所述自清洁毛刷1包括刷板21和毛体20,所述毛体20连接于刷板21底部中间位置,所述喷水结构和喷气结构分别设置于毛体20上方的刷板21上,所述喷水结构设置有喷水口17,所述喷气结构设置有吹气口16,所述喷水口17、吹气口16分别成排设置于毛体20顶部两侧的刷板21底部。
所述两个滑块14上均设置有转接板4,两个滑块14通过转接板4与活动架连接;所述活动架包括两个毛刷固定连杆2,两个毛刷固定连杆2均由上斜杆13、直连杆15构成,毛刷固定连杆2的上斜杆13与直连杆15一体成型,上斜杆13上设置有第一滑槽连接孔26,直连杆端部设置有第二滑槽连接孔27;两个毛刷固定连杆2的直连杆15的中心处通过固定轴3铰接,分别通过固定轴3穿过两个毛刷固定连杆2的直连杆15端部的第二滑槽连接孔27与刷板21连接,分别通过固定轴3穿过两个毛刷固定连杆2的上斜杆13上的第一滑槽连接孔26与转接板4相连。
具体地,由两个毛刷固定连杆2通过固定轴3铰接构成了活动架,通过活动架将自清洁毛刷1与手指气缸5之间连接,由于此种结构的活动架上通过所设置的第一滑槽连接孔26、第二滑槽连接孔27,能够具有一定的上下自由活动行程;因此,可以保证在活动架的配合下,利用自清洁毛刷1的自身重力来进行毛体20和陶瓷吸盘10之间的压紧,在毛体20受磨损后,可以利用自清洁毛刷1的自身重力自动补偿高度。
所述刷板21两端上方立设有定位挡片12,定位挡片12上固定安装有光栅传感器8,光栅传感器8与划片机显示屏相连;通过所设置的光栅传感器8可以判断自清洁毛刷1的所处位置状态,在长时间清洁运行中,还可以实时监控自清洁毛刷1的毛体20损耗量,并将监控数据信息传输到划片机显示屏上,通过划片机显示屏进行显示,以供操作人员了解自清洁毛刷1的使用情况。
所述喷水结构包括水路接头25、水路腔体23,水路腔体23设置于刷板21内一侧,水路接头25立设于刷板21中部,水路接头25的进水口19连接供水管路,进水口19与水路腔体23连通,水路腔体23与设置于毛体20顶部一侧的刷板21底部成排的喷水口17连通;所述喷气结构包括气路接头24、气路腔体22,气路腔体22设置于刷板21内另一侧,气路接头24立设于刷板21中部,气路接头24的进气口18连接供气管路,进气口18与气路腔体22连通,气路腔体22与设置于毛体20顶部另一侧的刷板21底部成排的吹气口16连通。
具体地,通过供水管路接入水流,水流沿着水路接头25的进水口19进入到水路腔体23中,并由喷水口17喷出,直接可以喷射到毛体20上,对毛体20进行清洗;在清洗后,通过供气管路接入气流,气流沿着气路接头24的进气口18进入到气路腔体22中,并由吹气口16吹出,直接可以吹到毛体20上,对毛体20进行吹干;达到了对自清洁毛刷1的自动清洁效果。
结合本发明的技术方案以及附图阐述其工作原理:在每次切割完成后,利用本发明的陶瓷吸盘清洁机构9的自清洁毛刷1对陶瓷吸盘10进行清洁,通过手指气缸5的两个能相向和反向运动的滑块14带动活动架动作,从而使自清洁毛刷1能够上下运动。在不需要自清洁毛刷1清洁时,由手指气缸5控制自清洁毛刷1向上运动并保持在上方,远离陶瓷吸盘10盘面,不进行清洁;在需要自清洁毛刷1清洁时,由手指气缸5控制自清洁毛刷1向下运动,落在陶瓷吸盘10盘面上,此时活动架并未完全展开,陶瓷吸盘10前后运动,由于连接自清洁毛刷1的活动架上通过所设置的第一滑槽连接孔26、第二滑槽连接孔27,能够具有一定的上下自由活动行程;因此,在自清洁毛刷1自身重力的作用下,自清洁毛刷1的毛体20可以完全贴合在陶瓷吸盘10的盘面上,保证陶瓷吸盘10的每个位置都可以被清扫到。自清洁毛刷1上设置的光栅传感器8可以判断自清洁毛刷1的所处位置状态,在长时间清洁运行中,还可以实时监控自清洁毛刷1的毛体20损耗量;自清洁毛刷1上设置的喷水结构和喷气结构,可以实现自清洁毛刷1的自动清洁效果。
综上所述,本发明在活动架的配合下,可以利用自清洁毛刷1的自身重力来进行毛体20和陶瓷吸盘10之间的压紧,在毛体20受磨损后,可以利用自清洁毛刷1的自身重力自动补偿高度;同样地,在不需要调节自清洁毛刷1上下位置时,自清洁毛刷1也不会对陶瓷吸盘10造成压紧力过大而损伤陶瓷吸盘10。自清洁毛刷1上设置的光栅传感器8可以判断自清洁毛刷1的所处位置状态,在长时间清洁运行中,还可以实时监控自清洁毛刷1的毛体20损耗量。自清洁毛刷1上设置的喷水结构和喷气结构,可以实现自清洁毛刷1的自动清洁效果。
如图10所示,本发明实施例还公开了一种划片机11,包括所述的陶瓷吸盘清洁机构9和陶瓷吸盘10,所述的陶瓷吸盘清洁机构9安装于陶瓷吸盘10的上方。
可以理解的是,以上关于本发明的具体描述,仅用于说明本发明而并非受限于本发明实施例所描述的技术方案,本领域的普通技术人员应当理解,仍然可以对本发明进行修改或等同替换,以达到相同的技术效果;只要满足使用需要,都在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种陶瓷吸盘清洁机构,其特征在于:该陶瓷吸盘清洁机构包括气缸固定架,所述气缸固定架上设置有手指气缸,所述手指气缸上具有两个能相向和反向运动的滑块,两个滑块上连接有活动架,所述活动架上连接有自清洁毛刷;所述自清洁毛刷上设置有喷水结构和喷气结构,所述自清洁毛刷包括刷板和毛体,所述毛体连接于刷板底部中间位置,所述喷水结构和喷气结构分别设置于毛体上方的刷板上,所述喷水结构设置有喷水口,所述喷气结构设置有吹气口,所述喷水口、吹气口分别成排设置于毛体顶部两侧的刷板底部。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷吸盘清洁机构,其特征在于:两个所述滑块上均设置有转接板,两个滑块通过转接板与活动架连接。
3.根据权利要求2所述的一种陶瓷吸盘清洁机构,其特征在于:所述活动架包括两个毛刷固定连杆,两个毛刷固定连杆均由上斜杆、直连杆构成,毛刷固定连杆的上斜杆与直连杆一体成型,上斜杆上设置有第一滑槽连接孔,直连杆端部设置有第二滑槽连接孔;两个毛刷固定连杆的直连杆的中心处通过固定轴铰接,分别通过固定轴穿过两个毛刷固定连杆的直连杆端部的第二滑槽连接孔与刷板连接,分别通过固定轴穿过两个毛刷固定连杆的上斜杆上的第一滑槽连接孔与转接板相连。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷吸盘清洁机构,其特征在于:所述刷板两端上方立设有定位挡片,定位挡片上固定安装有光栅传感器,光栅传感器与划片机显示屏相连。
5.根据权利要求1所述的一种陶瓷吸盘清洁机构,其特征在于:所述手指气缸上方罩设有外罩板,外罩板固定连接于气缸固定架上。
6.根据权利要求1所述的一种陶瓷吸盘清洁机构,其特征在于:所述喷水结构包括水路接头、水路腔体,水路腔体设置于刷板内一侧,水路接头立设于刷板中部,水路接头的进水口连接供水管路,进水口与水路腔体连通,水路腔体与设置于毛体顶部一侧的刷板底部成排的喷水口连通。
7.根据权利要求1所述的一种陶瓷吸盘清洁机构,其特征在于:所述喷气结构包括气路接头、气路腔体,气路腔体设置于刷板内另一侧,气路接头立设于刷板中部,气路接头的进气口连接供气管路,进气口与气路腔体连通,气路腔体与设置于毛体顶部另一侧的刷板底部成排的吹气口连通。
8.一种划片机,其特征在于:包括权利要求1至7中任一项所述的陶瓷吸盘清洁机构和陶瓷吸盘,所述的陶瓷吸盘清洁机构安装于陶瓷吸盘的上方。
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