CN117413178A - 基板的毛发检查装置以及基板的毛发检查方法 - Google Patents

Abstract

提供一种基板的毛发检查装置等，不将包含电路图案的区域排除在检查对象之外，能够更可靠地防止将电路图案、高低差、损伤误检测为毛发，并且能够高精度地检测包含金发、棕发的毛发。在焊料印刷后检查装置(13)中，获取与被检查基板相关的彩色图像，并且使用彩色图像得到色相图像及彩度图像。然后，在所得到的色相图像的至少抗蚀剂区域中，利用相对于该抗蚀剂区域的色相差来检测包含棕发和/或金发的毛发作为第一毛发。另外，在所得到的彩度图像的至少抗蚀剂区域中，利用相对于该抗蚀剂区域的彩度差来检测包含黑发和/或白发的毛发作为第二毛发。第一毛发和第二毛发的检测不使用被检查基板的明度图像而仅基于色相图像和彩度图像来进行。

Description

基板的毛发检查装置以及基板的毛发检查方法

技术领域

本发明涉及用于检查印刷基板的抗蚀剂区域有无毛发的装置以及方法。

背景技术

印刷基板具备平板状的基底基板、形成于该基底基板的表面的电路图案及焊盘、以及涂覆基底基板的表面上且除了焊盘等之外的部分的绝缘性的抗蚀剂等。

通常，在印刷基板上安装部件(例如电子部件)的基板生产线中，首先在焊盘上印刷膏状焊料(焊料印刷工序)。接着，基于该膏状焊料的粘性在印刷基板上临时固定部件(安装工序)。然后，将该印刷基板向回流炉引导，通过将膏状焊料加热熔融进行焊接(回流工序)。

通常，在这样的基板生产线中，基于对印刷有膏状焊料的印刷基板进行拍摄而得到的图像数据，来检查印刷基板中有无异物。作为异物，例如可以举出毛发。如果毛发附着于印刷基板中的设置有抗蚀剂的区域(以下，称为“抗蚀剂区域”)，则在利用所述回流炉进行加热时毛发会碳化，有可能因该碳化后的毛发而在多个焊盘之间产生短路。

因此，作为用于检测毛发等异物的方法，例如提出了利用明度及彩度来检测第一异物质(明属性的异物)及第二异物质(暗属性的异物)的方法(例如，参照专利文献1等)。

对专利文献1所涉及的异物的检测方法进行更详细的说明，首先，使用多个彩色光，获取与主基板相关的多个按颜色区分的主图像，并且将这些按颜色区分的主图像的明度值按像素进行合并来获取主基板图像。另外，使用多个彩色光获取与检查对象的印刷基板(测定基板)相关的多个按颜色区分的测定图像，并且将这些按颜色区分的测定图像的明度值按像素进行合并而获取测定基板图像。即，分别获取与主基板及测定基板的明度相关的图像。然后，基于主基板图像及测定基板图像的差异(即明度的差异)来检测第一异物质。

另外，使用按颜色区分的主图像形成与主基板相关的彩度映射，并且使用按颜色区分的测定图像形成与测定基板相关的彩度映射。即，分别获取与主基板和测定基板的彩度相关的图像。然后，基于这些彩度映射的差异来检测第二异物质。

另外，在专利文献1中与上述方法一起记载了将印刷基板中的包含孔的区域和包含电路图案的区域从检查对象中排除的内容。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-125861号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在上述专利文献1所记载的方法中，作为主基板图像及测定基板图像的差异(即，与明度相关的图像的差异)，不仅检测与毛发的有无相关的差异，还有可能检测与电路图案、高低差或损伤相关的差异。因此，有可能将电路图案、高低差、损伤误检测为毛发。另外，一般来说，抗蚀剂是半透明的，因此不仅抗蚀剂上表面的高低差，而且抗蚀剂下的高低差也会被误检测为毛发。

与此相对，考虑将包含电路图案的区域从检查对象中排除。然而，在该情况下，无法检查被排除的区域中有无毛发。另外，即使能够防止将电路图案或由此引起的高低差误检测为毛发，也依然会产生将损伤误检测为毛发的情况。并且，用于将包含电路图案的区域从检查对象中排除的处理有可能变得非常繁杂。

此外，在存在黑发、棕发、白发、金发等各种颜色的毛发时，特别是棕发、金发与抗蚀剂区域的明度差、彩度差容易变得比较小。因此，在如上述那样利用了明度、彩度的方法中，附着于抗蚀剂区域的棕发、金发的检测精度有可能变得不充分。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种基板的毛发检查装置等，能够在不将包含电路图案的区域排除在检查对象之外的情况下，更可靠地防止将电路图案、高低差、损伤误检测为毛发，并且能够高精度地检测包含金发、棕发的毛发。

用于解决问题的手段

以下，对适于解决上述目的的各方案进行分项说明。另外，根据需要对相应的方案附记特有的作用效果。

方案1.一种基板的毛发检查装置，针对设置有绿色的抗蚀剂区域并且印刷有膏状焊料的印刷基板，至少检查所述抗蚀剂区域中有无毛发，其特征在于，具备：

彩色图像获取单元，使用多个彩色光获取与被检查基板相关的彩色图像，所述被检查基板是成为检查对象的所述印刷基板；

色相图像获取单元，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的色相图像；

彩度图像获取单元，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的彩度图像；

第一毛发检测单元，在所述色相图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的色相差检测至少包含棕发和/或金发的毛发作为第一毛发；以及

第二毛发检测单元，在所述彩度图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的彩度差检测至少包含黑发和/或白发的毛发作为第二毛发，

所述第一毛发检测单元构成为，能够不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述色相图像检测所述第一毛发，

所述第二毛发检测单元构成为，能够不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述彩度图像检测所述第二毛发。

根据上述方案1，在色相图像的至少抗蚀剂区域中，能够利用与该抗蚀剂区域的色相差，检测至少包含棕发和/或金发的毛发作为第一毛发。即，着眼于棕发、金发这样的第一毛发相对于绿色的抗蚀剂区域在色相方面特别容易产生差异这一点，构成为利用色相差来检测第一毛发。因此，能够高精度地检测位于抗蚀剂区域的棕发、金发这样的第一毛发。

另外，根据上述方案1，在彩度图像的至少抗蚀剂区域中，能够利用与该抗蚀剂区域的彩度差，检测至少包含黑发和/或白发的毛发作为第二毛发。即，着眼于黑发、白发这样的第二毛发相对于绿色的抗蚀剂区域在彩度方面特别容易产生差异这一点，构成为利用彩度差来检测第二毛发。因此，能够高精度地检测位于抗蚀剂区域的黑发、白发这样的第二毛发。这样，根据上述方案1，能够分别高精度地检测黑发、白发、棕发或金发这样的一般常见的颜色的毛发。

另外，不使用被检查基板的明度图像而仅利用色相图像、彩度图像来进行各毛发的检测。因此，能够更可靠地防止伴随着利用明度图像而将电路图案、高低差、损伤误检测为毛发。而且，由于不使用明度图像，因此能够进一步减轻与检查处理相关的负担。

此外，如上所述，由于能够防止因电路图案、高低差等而引起的误检测，所以不需要为了防止误检测而进行将包含电路图案的区域排除在检查对象之外这样的繁杂处理。由此，能够进一步减轻与检查相关的处理负担，能够实现检查的高速化，抑制与检查相关的成本增大。

方案2.根据方案1所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，

具备抗蚀剂区域信息获取单元，获取用于确定所述被检查基板中的所述抗蚀剂区域所占的范围的抗蚀剂区域信息，

所述第一毛发检测单元和所述第二毛发检测单元构成为，能够至少将由所述抗蚀剂区域信息获取单元得到的所述抗蚀剂区域信息确定的所述抗蚀剂区域作为检查对象，检测所述第一毛发和所述第二毛发。

根据上述方案2，关于毛发的有无，能够选择性地检查抗蚀剂区域。因此，能够更可靠地避免位于因抗蚀剂区域的毛发的碳化而引起的风险。

方案3.根据方案2所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，所述抗蚀剂区域信息获取单元构成为，基于所述印刷基板的设计信息和/或制造信息获取所述抗蚀剂区域信息。

此外，作为设计信息，能够举出印刷基板的CAD数据等，作为制造信息，能够举出印刷基板的格柏数据等。

根据上述方案3，能够使用设计信息、制造信息，根据与被检查基板的关系容易地获取足够准确的抗蚀剂区域信息。

方案4.根据方案2所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，

具备主彩色图像获取单元，使用多个彩色光获取与主基板相关的主彩色图像，所述主基板是理想的所述印刷基板，

所述抗蚀剂区域信息获取单元构成为，通过使用所述主彩色图像得到所述主基板的色相图像并且从该色相图像中提取与所述抗蚀剂区域的色相一致的区域、和/或使用所述主彩色图像得到所述主基板的彩度图像并且从该彩度图像中提取与所述抗蚀剂区域的彩度一致的区域，获取所述抗蚀剂区域信息。

根据上述方案4，使用主基板获取抗蚀剂区域信息。因此，能够不使用设计信息或制造信息，而根据与被检查基板的关系得到足够准确的抗蚀剂区域信息。

此外，在想要通过从明度图像中提取与抗蚀剂区域的明度一致的区域来获取抗蚀剂区域信息的情况下，有可能将位于与抗蚀剂区域重叠的位置的电路图案、高低差等误判定为非抗蚀剂区域。关于这一点，在上述方案4中，通过从色相图像、彩度图像中提取与抗蚀剂区域的色相、彩度一致的区域来获取抗蚀剂区域信息，因此能够更准确地确定主基板中的抗蚀剂区域，进而能够获取更准确的抗蚀剂区域信息。其结果，能够更适当地进行对被检查基板的抗蚀剂区域的检查。

方案5.根据方案2所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，所述抗蚀剂区域信息获取单元构成为，通过从所述被检查基板的色相图像中提取与所述抗蚀剂区域的色相一致的区域、和/或从所述被检查基板的彩度图像中提取与所述抗蚀剂区域的彩度一致的区域，获取所述抗蚀剂区域信息。

根据上述方案5，与上述方案4同样，能够更可靠地防止将位于与抗蚀剂区域重叠的位置的高低差、损伤等误判定为非抗蚀剂区域。因此，能够更准确地确定抗蚀剂区域，进而能够获取更准确的抗蚀剂区域信息。

另外，根据上述方案5，由于基于成为检查对象的被检查基板的图像来获取抗蚀剂区域信息，因此基于所获取的抗蚀剂区域信息的区域与被检查基板中的实际的抗蚀剂区域更准确地一致，能够获取对于被检查基板来说最佳的抗蚀剂区域信息。因此，能够更高精度地进行以被检查基板的抗蚀剂区域为对象的毛发检查。

方案6.一种基板的毛发检查方法，针对设置有绿色的抗蚀剂区域并且印刷有膏状焊料的印刷基板，至少检查所述抗蚀剂区域中有无毛发，其特征在于，包括：

彩色图像获取工序，使用多个彩色光获取与被检查基板相关的彩色图像，所述被检查基板是成为检查对象的所述印刷基板；

色相图像获取工序，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的色相图像；

彩度图像获取工序，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的彩度图像；

第一毛发检测工序，在所述色相图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的色相差检测至少包含棕发和/或金发的毛发作为第一毛发；以及

第二毛发检测工序，在所述彩度图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的彩度差检测至少包含黑发和/或白发的毛发作为第二毛发，

在所述第一毛发检测工序中，不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述色相图像进行所述第一毛发的检测处理，

在所述第二毛发检测工序中，不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述彩度图像进行所述第二毛发的检测处理。

根据上述方案6，起到与上述方案1相同的作用效果。

方案7.根据方案6所述的基板的毛发检查方法，其特征在于，

包括抗蚀剂区域信息获取工序，获取用于确定所述被检查基板中的所述抗蚀剂区域所占的范围的抗蚀剂区域信息，

在所述第一毛发检测工序和所述第二毛发检测工序中，至少将由在所述抗蚀剂区域信息获取工序中得到的所述抗蚀剂区域信息确定的所述抗蚀剂区域作为检查对象，进行所述第一毛发和所述第二毛发的检测处理。

根据上述方案7，起到与上述方案2相同的作用效果。

附图说明

图1是表示印刷基板的概略结构的俯视示意图。

图2是印刷基板的局部放大剖面图。

图3是表示印刷基板的生产线的结构的框图。

图4是示意性地表示焊料印刷后检查装置的概略结构图。

图5是表示焊料印刷后检查装置的功能结构的框图。

图6是简易地表示HSV颜色空间的色相环的图。

图7是表示与附着有金发的被检查基板相关的色相图像的图。

图8是表示与附着有棕发的被检查基板相关的色相图像的图。

图9是表示与附着有黑发的被检查基板相关的彩度图像的图。

图10是表示与附着有白发的被检查基板相关的彩度图像的图。

具体实施方式

以下，参照附图对一个实施方式进行说明。首先，对印刷基板1的结构进行说明。

如图1、图2所示，印刷基板1是在由玻璃环氧树脂等构成的平板状的基底基板2上形成有由铜箔构成的电路图案3a及焊盘3b、贯通设置于基底基板2的表面和背面的焊盘3b的通孔3c等而成的基板。在焊盘3b上、通孔3c上印刷有用焊剂搅拌焊料颗粒而形成的膏状焊料5。例如未图示的规定的部件(例如电子部件)中的电极部与焊盘3b经由膏状焊料5电连接。

另外，在基底基板2的表面且除了焊盘3b以外的部位设置有绿色的抗蚀剂区域4(在图1中附加了散点图案的区域)。抗蚀剂区域4由绝缘性的抗蚀剂构成，涂覆了基底基板2、电路图案3a。此外，有时在抗蚀剂区域4的上表面、抗蚀剂区域4之下存在由电路图案3a等引起的高低差。

接着，参照图3对制造印刷基板1的生产线(制造工序)进行说明。如图3所示，在生产线10中，从其上游侧(图3上侧)起依次设置有焊料印刷机12、焊料印刷后检查装置13、部件安装机14、回流装置15以及回流后检查装置16。印刷基板1被设定为相对于这些装置以所述顺序被输送。在本实施方式中，焊料印刷后检查装置13构成“基板的毛发检查装置”。

焊料印刷机12进行在印刷基板1的各焊盘3b上等印刷膏状焊料5的焊料印刷工序。例如，通过丝网印刷进行膏状焊料5的印刷。在丝网印刷中，首先，在使丝网掩模的下表面与印刷基板1接触的状态下，向该丝网掩模上表面供给膏状焊料5。在所述丝网掩模上形成有与印刷基板1的各焊盘3b对应的多个开口部。接着，使规定的刮板与所述丝网掩模的上表面接触并移动，从而在所述开口部内填充膏状焊料5。之后，通过使印刷基板1从所述丝网掩模的下表面分离，从而在焊盘3b上涂布膏状焊料5，并且在贯通孔3c中填充膏状焊料5。

焊料印刷后检查装置13进行焊料印刷后检查工序，该焊料印刷后检查工序检查印刷后的膏状焊料5的状态、印刷有膏状焊料5的印刷基板1中有无异物。另外，在焊料印刷后检查工序中，对印刷有膏状焊料5的印刷基板1至少进行与抗蚀剂区域4中有无毛发相关的检查。后面更详细地说明焊料印刷后检查装置13。

部件安装机14进行在印刷有膏状焊料5的焊盘3b等搭载所述部件的部件安装工序(安装工序)。由此，所述部件的电极部分别被临时固定于规定的膏状焊料5。

回流装置15进行使膏状焊料5加热熔融而将焊盘3b与所述部件的所述电极部焊料接合(钎焊)的回流工序。

回流后检查装置16进行回流后检查工序，在该回流后检查工序中，检测在回流工序中是否适当地进行了焊料接合等。例如，使用回流工序后的印刷基板1的图像数据等来检查所述部件有无位置偏移等。

这样，在生产线10中，依次输送印刷基板1，并且进行焊料印刷工序→焊料印刷后检查工序→部件安装工序(安装工序)→回流工序→回流后检查工序。

此外，虽然省略了图示，但生产线10在焊料印刷机12与焊料印刷后检查装置13之间等所述各装置之间具备用于移送印刷基板1的输送机等。另外，在焊料印刷后检查装置13与部件安装机14之间、回流后检查装置16的下游侧设置有分支装置。然后，由焊料印刷后检查装置13、回流后检查装置16判定为合格品的印刷基板1直接向下游侧引导，另一方面，由检查装置13、16判定为不合格品的印刷基板1通过分支装置向不合格品储存部(未图示)排出。

接下来，对焊料印刷后检查装置13的结构进行说明。如图4、图5所示，焊料印刷后检查装置13具备：输送机构31，进行印刷基板1的输送、定位等；检查单元32，用于进行印刷基板1的检查；以及控制装置33，以输送机构31、检查单元32的驱动控制为首，执行焊料印刷后检查装置13中的各种控制、图像处理、运算处理。

输送机构31具备沿着印刷基板1的搬入搬出方向配置的一对输送导轨31a和相对于各输送导轨31a能够旋转地配设的环状传送带31b。另外，虽然省略了图示，但在输送机构31设置有驱动所述传送带31b的马达等驱动单元和用于将印刷基板1定位于规定位置的卡盘机构。输送机构31由控制装置33(后述的输送机构控制部341)进行驱动控制。

在所述结构下，向焊料印刷后检查装置13搬入的印刷基板1的与搬入搬出方向正交的宽度方向的两侧缘部分别插入输送导轨31a，并且载置在传送带31b上。接着，传送带31b开始动作，将印刷基板1输送至规定的检查位置。当印刷基板1到达检查位置时，传送带31b停止，并且所述卡盘机构工作。通过该卡盘机构的动作，传送带31b被上推，成为由传送带31b和输送导轨31a的上边部夹持印刷基板1的两侧缘部的状态。由此，将印刷基板1定位固定于检查位置。当检查结束时，解除卡盘机构的固定，并且传送带31b开始动作。由此，印刷基板1从焊料印刷后检查装置13搬出。当然，输送机构31的结构并不限定于所述方式，也可以采用其他结构。

检查单元32配设在输送导轨31a(印刷基板1的输送路径)的上方。检查单元32具备照明装置321及相机322。另外，检查单元32还具备能够进行X轴方向(图4左右方向)的移动的X轴移动机构323、以及能够进行Y轴方向(图4前后方向)的移动的Y轴移动机构324。两个移动机构323、324由控制装置33(后述的移动机构控制部340)驱动控制。在本实施方式中，照明装置321以及相机322构成“彩色图像获取单元”。

照明装置321对作为焊料印刷后检查装置13的检查对象的印刷基板1(以下，称为“被检查基板1a”)照射规定的光。更详细地说明，照明装置321具备第一环形灯321a、第二环形灯321b以及第三环形灯321c(参照图4)。

第一环形灯321a从大致水平方向对被检查基板1a进行光的照射。第二环形灯321b配置在比第一环形灯321a靠上方的位置，从斜上方对被检查基板1a进行光的照射。第三环形灯321c配置在第二环形灯321b的内侧，从大致铅垂上方对被检查基板1a进行光的照射。

各环形灯321a、321b、321c分别对被检查基板1a照射白色光。即，各环形灯321a、321b、321c一次向被检查基板1a照射红色光、蓝色光以及绿色光这样的多个彩色光。

相机322配置成其光轴沿着上下方向(Z轴方向)，从正上方对被检查基板1a中的规定的被检查区域进行拍摄。另外，被检查基板1a的“被检查区域”是以相机322的拍摄视野(拍摄范围)的大小为1单位而预先设定在被检查基板1a上的多个区域中的一个区域。

相机322由彩色相机构成，由控制装置33(后述的相机控制部333)进行动作控制。通过控制装置33(相机控制部333)的动作控制，相机322在从各环形灯321a、321b、321c对被检查基板1a进行同时照射的状态下，进行来自该被检查基板1a的反射光的拍摄。由此，获取与被检查基板1a的被检查区域相关的彩色图像。该彩色图像至少包含抗蚀剂区域4的图像。另外，该彩色图像具有多个像素，与各像素对应地分别设定与R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)相关的3种参数值。在本实施方式中，这些参数值用0至1的范围表现。

由相机322拍摄而获取的彩色图像被传送到控制装置33(后述的彩色图像取入部334)。然后，控制装置33基于该彩色图像执行检查处理。在本实施方式中，在通过照明装置321照亮被检查基板1a的状态下，通过相机322获取彩色图像的工序相当于“彩色图像获取工序”。

控制装置33由包含执行规定的运算处理的CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、存储各种程序、固定值数据等的ROM(Read Only Memory：只读存储器)、在执行各种运算处理时暂时存储各种数据的RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)以及它们的周边电路等的计算机构成。

控制装置33通过CPU按照各种程序进行动作，作为主控制部331、照明控制部332、相机控制部333、彩色图像取入部334、色相图像获取部335、彩度图像获取部336、抗蚀剂区域信息获取部337、第一毛发检测部338、第二毛发检测部339、移动机构控制部340、输送机构控制部341等各种功能部发挥功能。在本实施方式中，色相图像获取部335构成“色相图像获取单元”，同样地，彩度图像获取部336构成“彩度图像获取单元”，抗蚀剂区域信息获取部337构成“抗蚀剂区域信息获取单元”，第一毛发检测部338构成“第一毛发检测单元”，第二毛发检测部339构成“第二毛发检测单元”。

但是，所述各种功能部是通过所述CPU、ROM、RAM等各种硬件协作而实现的，不需要明确地区分通过硬件或软件实现的功能，这些功能的一部分或全部也可以通过IC等硬件电路来实现。此外，控制装置33具备用于检查膏状焊料5的状态、印刷基板1中有无异物的功能部，但在本实施方式中，省略了该功能部。

并且，在控制装置33设置有由键盘、鼠标、触摸面板等构成的输入部342、由液晶显示器等构成的具备显示画面的显示部343、能够存储各种数据、程序、运算结果、检查结果等的存储部344、能够与外部收发各种数据的通信部345等。首先，对存储部344和通信部345进行说明。

存储部344由HDD(Hard Disk Drive，硬盘驱动器)、SSD(Solid State Drive，固态驱动器)等构成，存储各种信息。存储部344具备图像存储部344a、检查用信息存储部344b、抗蚀剂区域信息存储部344c以及检查结果存储部344d。

图像存储部344a存储由相机322拍摄而获取的彩色图像。另外，在图像存储部344a中还存储有由色相图像获取部335或彩度图像获取部336获取的后述的色相图像及彩度图像等。存储于图像存储部344a的彩色图像、色相图像以及彩度图像等能够适当地显示于显示部343。

检查用信息存储部344b存储用于被检查基板1a的检查的各种信息。例如，在检查用信息存储部344b中存储有用于对色相图像实施二值化处理的阈值(色相阈值)、用于对彩度图像实施二值化处理的阈值(彩度阈值)、用于判定是否为抗蚀剂区域4的基准值(区域确定用基准值)等。另外，在检查用信息存储部344b中还存储有用于判定是否为毛发的面积阈值及长度阈值。

抗蚀剂区域信息存储部344c存储由抗蚀剂区域信息获取部337获取的抗蚀剂区域信息。

检查结果存储部344d存储毛发检测部338、339的检查结果数据。另外，在检查结果存储部344d中还存储有与膏状焊料5的状态、印刷基板1中有无异物相关的检查结果数据、对各种检查结果数据进行了概率统计处理的统计数据等。这些检查结果数据、统计数据能够适当地显示于显示部343。

通信部345例如具备基于有线LAN(Local Area Network：局域网)、无线LAN等通信标准的无线通信接口等，构成为能够与外部收发各种数据。例如，经由通信部345向外部输出由毛发检测部338、339进行的检查的结果等，或者经由通信部345输入由回流后检查装置16进行的检查的结果。

接着，对构成控制装置33的所述各种功能部进行详细说明。首先，对移动机构控制部340及输送机构控制部341进行说明，之后，对主控制部331等进行说明。

移动机构控制部340是对X轴移动机构323及Y轴移动机构324进行驱动控制的功能部，基于来自主控制部331的指令信号控制检查单元32的位置。移动机构控制部340通过对X轴移动机构323和Y轴移动机构324进行驱动控制，能够使检查单元32向定位固定于检查位置的被检查基板1a中的任意的被检查区域的上方位置移动。然后，一边使检查单元32依次移动至设定于被检查基板1a的多个被检查区域，一边执行与该被检查区域相关的检查，从而执行被检查基板1a整个区域的检查。

输送机构控制部341是对输送机构31进行驱动控制的功能部，基于来自主控制部331的指令信号控制被检查基板1a的输送位置。

接着，对主控制部331等进行说明。主控制部331是负责焊料印刷后检查装置13整体的控制的功能部，构成为能够与照明控制部332、相机控制部333等其他功能部收发各种信号。

照明控制部332是对照明装置321进行驱动控制的功能部。照明控制部332基于来自主控制部331的指令信号进行与从照明装置321对被检查基板1a的光的照射或照射停止相关的定时控制等。

相机控制部333是对相机322进行驱动控制的功能部。相机控制部333基于来自主控制部331的指令信号来控制相机322对被检查基板1a的拍摄定时等。

彩色图像取入部334是用于取入由相机322拍摄而获取的彩色图像的功能部。由彩色图像取入部334取入的彩色图像被存储在图像存储部344a中。

色相图像获取部335使用存储于图像存储部344a的与被检查基板1的被检查区域相关的彩色图像来获取与被检查基板1a的被检查区域相关的色相图像。色相图像是表示彩色图像中的各像素在HSV颜色空间的色相环中的色相的图像。图7、图8表示色相图像的一例。色相图像获取部335求出将0°(360°)设为红、将60°设为黄、将120°设为(严格的)绿、将180°设为青、将240°设为蓝、将300°设为品红的HSV颜色空间的色相环(参照图6)中的各像素的色相Hue(以下，记载为“色相H”)，获取将各像素与其色相H建立关联而成的色相图像。在本实施方式中，通过色相图像获取部335得到被检查基板1a的色相图像的工序相当于“色相图像获取工序”。色相图像存储于图像存储部344a。

色相H使用以下的数学式1、数学式2或者数学式3计算。另外，数学式1在与RGB相关的各参数值中的B的参数值最大的情况下使用。数学式2在与RGB相关的各参数值中的R的参数值最大的情况下使用。数学式3在与RGB相关的各参数值中的G的参数值最大的情况下使用。但是，在与RGB相关的各参数值的最大值和最小值相等的情况下，不定义色相H。

<数学式1＞H＝60×(G-R)/(MAX-MIN))+60

<数学式2＞H＝60×(B-G)/(MAX-MIN))+180

<数学式3＞H＝60×(R-B)/(MAX-MIN))+300

另外，在数学式1至数学式3中，R、G、B分别表示与RGB相关的各参数值，MAX表示各参数值中的最大值，MIN表示各参数值中的最小值。

彩度图像获取部336使用存储于图像存储部344a的与被检查基板1a的被检查区域相关的彩色图像获取与被检查基板1a的被检查区域相关的彩度图像。彩度图像是表示彩色图像中的各像素的彩度的图像。图9、图10表示彩度图像的一例。彩度图像获取部336使用以下的数学式4来计算彩色图像中的各像素的彩度S(HSV形式的彩度)，获取各像素与该彩度S相关联而成的彩度图像。在本实施方式中，通过彩度图像获取部336得到被检查基板1a的彩度图像的工序相当于“彩度图像获取工序”。彩度图像存储于图像存储部344a。

<数学式4＞S＝(1-3×MIN/(R+G+B))

此外，与数学式1至数学式3同样地，在数学式4中，R、G、B分别表示与RGB相关的各参数值，MIN表示各参数值中的最小值。另外，彩度图像中的各像素的彩度S由0至1表示，像素的彩度S越接近1则该像素的颜色越接近原色。另外，也可以代替数学式4，根据下面的数学式4a求出彩度S。

<数学式4a＞S＝(MAX-MIN))/MAX

抗蚀剂区域信息获取部337获取用于确定被检查基板1a中的抗蚀剂区域4所占的范围的抗蚀剂区域信息。在本实施方式中，抗蚀剂区域信息获取部337基于检查对象的印刷基板1即被检查基板1a来获取抗蚀剂区域信息。

更详细来说，抗蚀剂区域信息获取部337基于彩色图像获取与上述同样的色相图像。另外，也可以使用由色相图像获取部335获取的色相图像。

接着，抗蚀剂区域信息获取部337进行确定色相图像中的色相H成为规定范围(在本实施方式中例如为70°以上且160°以下)的像素的连结分量的处理，并且计算确定出的连结分量(块部分)的面积(在本实施方式中为像素数)。即，抗蚀剂区域信息获取部337计算彩色图像中的成为绿色或接近绿色的颜色的块部分的面积。

在此基础上，抗蚀剂区域信息获取部337将块部分的面积与预先存储于检查用信息存储部344b的区域确定用基准值进行比较，将面积超过区域确定用基准值的块部分判定为抗蚀剂区域4。然后，抗蚀剂区域信息获取部337获取用于确定该抗蚀剂区域4的信息(例如，表示抗蚀剂区域4的位置的坐标信息等)作为抗蚀剂区域信息。所获取的抗蚀剂区域信息存储于抗蚀剂区域信息存储部344c。在本实施方式中，通过抗蚀剂区域信息获取部337获取抗蚀剂区域信息的工序相当于“抗蚀剂区域信息获取工序”。

第一毛发检测部338在由色相图像获取部335获取的色相图像的至少抗蚀剂区域4中，利用相对于该抗蚀剂区域4的色相差来检测至少包含棕发和金发的毛发作为第一毛发。在此，对第一毛发的检测方法进行详细说明。

首先，第一毛发检测部338得到将色相图像的各像素用色相分量进行二值化而得到的二值化色相图像。在本实施方式中，二值化色相图像通过将预先存储于检查用信息存储部344b的色相阈值与色相图像中的各像素的色相H进行比较，将色相图像中的各像素进行二值化而得到。所得到的二值化色相图像成为具备0(明部分)及1(暗部分)的黑白图像。二值化色相图像存储于图像存储部344a。

另外，作为参考，示出与附着有金发X1的被检查基板1a相关的色相图像(参照图7)和与附着有棕发X2的被检查基板1a相关的色相图像(参照图8)。如这些所示，在色相图像中，金发X1及棕发X2的各色相与抗蚀剂区域4的色相在进行检查方面是充分不同的。因此，在二值化色相图像中，例如，金发X1及棕发X2由暗部分表示，抗蚀剂区域4由明部分表示。

在得到二值化色相图像之后，第一毛发检测部338将该二值化色相图像中的至少根据抗蚀剂区域信息获取部337得到的抗蚀剂区域信息确定的抗蚀剂区域4设定为检查对象(检查范围)。因此，从检查对象(检查范围)中去除焊盘3b、通孔3c、附加于被检查基板1a的文字部分、图形部分等。另外，在本实施方式中，由于抗蚀剂区域信息和色相图像分别基于同一被检查基板1a获取，因此设定对于该被检查基板1a最佳的检查对象。

在此基础上，第一毛发检测部338在所述检查对象(检查范围)中进行确定具有与抗蚀剂区域4(例如明部分)的色相不同的色相的像素(例如暗部分)的连结分量的处理，并且计算确定出的连结分量(块部分)的面积(例如像素数)。另外，第一毛发检测部338计算所述连结分量(块部分)的长度(例如X方向长度和Y方向长度)。

接着，第一毛发检测部338对块部分的面积与预先存储于检查用信息存储部344b的面积阈值进行比较。并且，在块部分的面积超过所述面积阈值的情况下，第一毛发检测部338判定为在抗蚀剂区域4存在第一毛发，将被检查基板1a中的被检查区域判定为“不合格”。

另外，第一毛发检测部338对块部分的长度与预先存储于检查用信息存储部344b的长度阈值进行比较。并且，在块部分的长度超过所述长度阈值的情况下，第一毛发检测部338判定为在抗蚀剂区域4存在第一毛发，将被检查基板1a中的被检查区域判定为“不合格”。

另外，第一毛发检测部338也可以在块部分的面积超过所述面积阈值且块部分的长度超过长度阈值的情况下，判定为在抗蚀剂区域4存在第一毛发。另外，也可以利用面积、长度以外的参数(例如粗细、形状等)来判定是否存在第一毛发。

另一方面，在块部分的面积为所述面积阈值以下且块部分的长度为所述长度阈值以下的情况下，第一毛发检测部338判定为在抗蚀剂区域4不存在第一毛发。然后，第一毛发检测部338将被检查基板1a中的被检查区域判定为“合格”。在本实施方式中，由第一毛发检测部338检测第一毛发的工序相当于“第一毛发检测工序”。

然后，第一毛发检测部338以被检查基板1a的全部被检查区域作为对象，进行与第一毛发的有无相关的所述检查处理。即，第一毛发检测部338利用与被检查基板1a相关的全部色相图像进行所述检查处理。全部被检查区域的与第一毛发相关的检查结果被存储于检查结果存储部344d。这样，第一毛发检测部338不使用被检查基板1a的明度图像(表示被检查基板1a的各像素的明度的图像)，而仅基于被检查基板1a的色相图像进行第一毛发的检测处理。

第二毛发检测部339在由彩度图像获取部336获取的彩度图像的至少抗蚀剂区域4中，利用相对于该抗蚀剂区域4的彩度差，将至少包含黑发及白发的毛发检测为第二毛发。在此，更详细地说明第二毛发的检测方法。

首先，第二毛发检测部339得到将彩度图像的各像素用彩度分量进行二值化而得到的二值化彩度图像。在本实施方式中，二值化彩度图像通过对预先存储在检查用信息存储部344b中的彩度图像获取用阈值和彩度图像中的各像素的彩度S进行比较，并对彩度图像中的各像素进行二值化而得到。所获取的二值化彩度图像是具有0(暗部分)和1(明部分)的黑白图像。二值化彩度图像存储于图像存储部344a。

另外，作为参考，示出与附着有黑发X3的被检查基板1a相关的彩度图像(参照图9)和与附着有白发X4的被检查基板1a相关的彩度图像(参照图10)。如这些所示，在彩度图像中，黑发X3及白发X4的各彩度与抗蚀剂区域4的彩度在进行检查方面是充分不同的。因此，在二值化彩度图像中，例如，黑发X3和白发X4用暗部分表示，抗蚀剂区域4用明部分表示。

在得到二值化彩度图像之后，第二毛发检测部339将该二值化彩度图像中的至少由抗蚀剂区域信息获取部337得到的抗蚀剂区域信息确定的抗蚀剂区域4设定为检查对象(检查范围)。

在此基础上，第二毛发检测部339在所述检查对象(检查范围)中进行确定具有与抗蚀剂区域4(例如明部分)不同的彩度的像素(例如暗部分)的连结分量的处理，并且计算确定出的连结分量(块部分)的面积及长度。

接着，第二毛发检测部339对块部分的面积与所述面积阈值进行比较，在块部分的面积超过所述面积阈值的情况下，判定为在抗蚀剂区域4存在第二毛发。另外，第二毛发检测部339对块部分的长度与所述长度阈值进行比较，在块部分的长度超过所述长度阈值的情况下，判定为在抗蚀剂区域4存在第二毛发。并且，第二毛发检测部339在判定为在抗蚀剂区域4存在第二毛发时，将被检查基板1a中的被检查区域判定为“不合格”。

另外，第二毛发检测部339也可以在块部分的面积超过所述面积阈值且块部分的长度超过长度阈值的情况下，判定为在抗蚀剂区域4存在第二毛发。另外，也可以利用面积、长度以外的参数(例如粗细、形状等)来判定是否存在第二毛发。

另一方面，在块部分的面积为所述面积阈值以下且块部分的长度为所述长度阈值以下的情况下，第二毛发检测部339判定为在抗蚀剂区域4不存在第二毛发，将被检查基板1a中的被检查区域判定为“合格”。在本实施方式中，由第二毛发检测部339检测第二毛发的工序相当于“第二毛发检测工序”。

然后，第二毛发检测部339以被检查基板1a的全部被检查区域作为对象，进行与有无第二毛发相关的所述检查处理。即，第二毛发检测部339利用与被检查基板1a相关的全部彩度图像进行所述检查处理。全部被检查区域的与第二毛发相关的检查结果存储于检查结果存储部344d。这样，第二毛发检测部339不使用被检查基板1a的明度图像，而仅基于被检查基板1a的彩度图像进行第二毛发的检测处理。

另外，焊料印刷后检查装置13(主控制部331)在对被检查基板1a中的全部被检查区域进行了与第一毛发、第二毛发的有无等相关的检查，作为结果，在全部被检查区域被判定为“合格”的情况下，判定为在被检查基板1a的抗蚀剂区域4没有毛发，并将该判定结果存储于检查结果存储部344d。

另一方面，焊料印刷后检查装置13在即使存在一个判定为“不合格”的被检查区域的情况下，判定为在被检查基板1a有毛发(即不合格部位)，并将该判定结果存储于检查结果存储部344d。另外，这样的判定结果经由显示部343、通信部345等向外部通知。

如以上详述的那样，根据本实施方式，在色相图像的至少抗蚀剂区域4中，利用与该抗蚀剂区域4的色相差，能够将至少包含棕发和金发的毛发检测为第一毛发。即，着眼于棕发、金发这样的第一毛发相对于绿色的抗蚀剂区域4在色相方面特别容易产生差异这一点，构成为利用色相差来检测第一毛发。因此，能够高精度地检测位于抗蚀剂区域4的棕发、金发这样的第一毛发。

另外，在彩度图像的至少抗蚀剂区域4中，利用与该抗蚀剂区域4的彩度差，能够将至少包含黑发及白发的毛发检测为第二毛发。即，着眼于黑发、白发这样的第二毛发相对于绿色的抗蚀剂区域4在彩度方面特别容易产生差异这一点，构成为利用彩度差来检测第二毛发。因此，能够高精度地检测位于抗蚀剂区域4的黑发、白发这样的第二毛发。

这样，根据本实施方式，能够高精度地检测第一毛发和第二毛发。即，能够分别高精度地检测发黑、白发、棕发或金发这样的一般常见的颜色的毛发。

另外，不使用被检查基板1a的明度图像，而仅利用色相图像、彩度图像来进行各毛发的检测。因此，能够更可靠地防止伴随着利用明度图像而将电路图案3a、高低差、损伤误检测为毛发。而且，由于不使用明度图像，因此能够进一步减轻与检查处理相关的负担。

此外，如上所述，能够防止因电路图案3a、高低差等而引起的误检测，因此无需为了防止误检测而进行将包含电路图案3a的区域排除在检查对象之外这样的繁杂处理。由此，能够进一步减轻与检查相关的处理负担，能够实现检查的高速化，抑制与检查相关的成本增大。

并且，两毛发检测部338、339构成为能够至少将由抗蚀剂区域信息获取部337得到的抗蚀剂区域信息确定的抗蚀剂区域4作为检查对象，检测第一毛发和第二毛发。因此，关于毛发的有无，能够选择性地检查抗蚀剂区域4。由此，能够更可靠地避免因位于抗蚀剂区域4的毛发的碳化而引起的风险。

此外，通过从被检查基板1a的色相图像中提取与抗蚀剂区域4的色相一致的区域，能够获取抗蚀剂区域信息。因此，与使用被检查基板1a的明度图像的情况相比，能够更可靠地防止将位于与抗蚀剂区域4重叠的位置的高低差、损伤等误判定为非抗蚀剂区域。因此，能够更准确地确定抗蚀剂区域4，进而能够获取更准确的抗蚀剂区域信息。

另外，由于基于成为检查对象的被检查基板1a的图像来获取抗蚀剂区域信息，因此基于所获取的抗蚀剂区域信息的区域与被检查基板1a中的实际的抗蚀剂区域4更准确地一致，能够获取对于被检查基板1a来说最佳的抗蚀剂区域信息。因此，能够更高精度地进行以被检查基板1a的抗蚀剂区域4为对象的毛发检查。

另外，并不限定于所述实施方式的记载内容，例如也可以如下实施。当然，以下未例示的其他应用例、变更例当然也是可以的。

(a)在所述实施方式中，抗蚀剂区域信息获取部337构成为通过提取与被检查基板1a相关的色相图像中的具有一定范围的色相的部分作为抗蚀剂区域，来获取抗蚀剂区域信息。与此相对，抗蚀剂区域信息获取部337也可以通过提取彩度图像中的具有一定范围的彩度的部分作为抗蚀剂区域，来获取抗蚀剂区域信息。当然，也可以并用这些抗蚀剂区域信息的获取方法。

(b)在所述实施方式中，抗蚀剂区域信息获取部337构成为基于被检查基板1a的图像来获取抗蚀剂区域信息。

与此相对，抗蚀剂区域信息获取部337也可以通过使用主彩色图像得到主基板的色相图像并且从该色相图像中提取与抗蚀剂区域的色相一致的区域、以及使用主彩色图像得到主基板的彩度图像并且从该彩度图像中提取与抗蚀剂区域的彩度一致的区域中的至少一方来获取抗蚀剂区域信息。主彩色图像是作为理想的印刷基板1的主基板(未图示)的彩色图像。主彩色图像例如能够通过在由照明装置321照亮供给到焊料印刷后检查装置13的主基板的状态下由相机322拍摄而获取。在该情况下，照明装置321及相机322构成“主彩色图像获取单元”。

通过构成为基于主彩色图像获取抗蚀剂区域信息，能够不使用后述的设计信息、制造信息而根据与被检查基板1a的关系得到足够准确的抗蚀剂区域信息。

另外，由于通过从色相图像、彩度图像中提取与抗蚀剂区域的色相、彩度一致的区域来获取抗蚀剂区域信息，因此与使用明度图像的情况相比，能够更准确地确定主基板中的抗蚀剂区域4，进而能够获取更准确的抗蚀剂区域信息。其结果，能够更适当地进行对被检查基板1a的抗蚀剂区域4的检查。

(c)抗蚀剂区域信息获取部337也可以基于印刷基板1的设计信息以及制造信息中的至少一方来获取抗蚀剂区域信息。作为设计信息，能够举出印刷基板1的CAD数据等，作为制造信息，能够举出印刷基板1的格柏数据等。

通过构成为使用设计信息、制造信息获取抗蚀剂区域信息，即使在印刷基板1、主基板等不在手边的状态下，也能够根据与被检查基板1a的关系容易地获取足够准确的抗蚀剂区域信息。

(d)在所述实施方式中，各环形灯321a、321b、321c构成为照射白色光，但也可以照射红色光、蓝色光或绿色光(即，分别不同的颜色)。另外，在该情况下，也可以构成为，由单色相机构成相机322，每当依次从各环形灯321a、321b、321c照射时，进行该相机322对印刷基板1的拍摄，得到共计3种图像。并且，也可以基于这3种图像，获取色相图像、彩度图像。另外，3种图像与各像素对应地分别设定与R(红色)相关的参数值、与G(绿色)相关的参数值或与B(蓝色)相关的参数值。因此，可以说这3种图像相当于“彩色图像”。

(e)在所述实施方式中，构成为在检测第一毛发、第二毛发时，对色相图像、彩度图像进行二值化而得到二值化色相图像、二值化彩度图像，但未必需要得到二值化图像。因此，例如也可以构成为直接使用色相图像、彩度图像来检测第一毛发、第二毛发。例如，也可以构成为，求出色相图像或者彩度图像中的具有一定范围的色相或彩度的部位的面积、长度等，基于该面积、长度来检测第一毛发、第二毛发。

(f)在所述实施方式中，构成为基于色相图像检测棕发和金发，但也可以构成为基于色相图像检测棕发和金发中的一方。在该情况下，第一毛发是指仅包含棕发和金发中的一方的毛发。

另外，在所述实施方式中，构成为基于彩度图像来检测黑发及白发，但也可以构成为基于彩度图像来检测黑发和白发中的一方。在该情况下，第二毛发是指仅包含黑发和白发中的一方的毛发。

附图标记说明

1：印刷基板；1a：被检查基板；4：抗蚀剂区域；5：膏状焊料；13：焊料印刷后检查装置(基板的毛发检查装置)；321：照明装置(彩色图像获取单元、主彩色图像获取单元)；322：相机(彩色图像获取单元、主彩色图像获取单元)；335：色相图像获取部(色相图像获取单元)；336：彩度图像获取部(彩度图像获取单元)；337：抗蚀剂区域信息获取部(抗蚀剂区域信息获取单元)；338：第一毛发检测部(第一毛发检测单元)；339：第二毛发检测部(第二毛发检测单元)。

Claims (7)

1.一种基板的毛发检查装置，针对设置有绿色的抗蚀剂区域并且印刷有膏状焊料的印刷基板，至少检查所述抗蚀剂区域中有无毛发，其特征在于，具备：

彩色图像获取单元，使用多个彩色光获取与被检查基板相关的彩色图像，所述被检查基板是成为检查对象的所述印刷基板；

色相图像获取单元，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的色相图像；

彩度图像获取单元，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的彩度图像；

第一毛发检测单元，在所述色相图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的色相差检测至少包含棕发和/或金发的毛发作为第一毛发；以及

第二毛发检测单元，在所述彩度图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的彩度差检测至少包含黑发和/或白发的毛发作为第二毛发，

所述第一毛发检测单元构成为，能够不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述色相图像检测所述第一毛发，

所述第二毛发检测单元构成为，能够不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述彩度图像检测所述第二毛发。

2.根据权利要求1所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，

所述毛发检查装置具备抗蚀剂区域信息获取单元，所述抗蚀剂区域信息获取单元获取用于确定所述被检查基板中的所述抗蚀剂区域所占的范围的抗蚀剂区域信息，

所述第一毛发检测单元和所述第二毛发检测单元构成为，能够至少将由所述抗蚀剂区域信息获取单元得到的所述抗蚀剂区域信息确定的所述抗蚀剂区域作为检查对象，检测所述第一毛发和所述第二毛发。

3.根据权利要求2所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，

所述抗蚀剂区域信息获取单元构成为，基于所述印刷基板的设计信息和/或制造信息获取所述抗蚀剂区域信息。

4.根据权利要求2所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，

所述毛发检查装置具备主彩色图像获取单元，所述主彩色图像获取单元使用多个彩色光获取与主基板相关的主彩色图像，所述主基板是理想的所述印刷基板，

所述抗蚀剂区域信息获取单元构成为，通过使用所述主彩色图像得到所述主基板的色相图像并且从该色相图像中提取与所述抗蚀剂区域的色相一致的区域、和/或使用所述主彩色图像得到所述主基板的彩度图像并且从该彩度图像中提取与所述抗蚀剂区域的彩度一致的区域，来获取所述抗蚀剂区域信息。

5.根据权利要求2所述的基板的毛发检查装置，其特征在于，

所述抗蚀剂区域信息获取单元构成为，通过从所述被检查基板的色相图像中提取与所述抗蚀剂区域的色相一致的区域、和/或从所述被检查基板的彩度图像中提取与所述抗蚀剂区域的彩度一致的区域，来获取所述抗蚀剂区域信息。

6.一种基板的毛发检查方法，针对设置有绿色的抗蚀剂区域并且印刷有膏状焊料的印刷基板，至少检查所述抗蚀剂区域中有无毛发，其特征在于，包括：

彩色图像获取工序，使用多个彩色光获取与被检查基板相关的彩色图像，所述被检查基板是成为检查对象的所述印刷基板；

色相图像获取工序，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的色相图像；

彩度图像获取工序，使用所述彩色图像得到所述被检查基板的彩度图像；

第一毛发检测工序，在所述色相图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的色相差检测至少包含棕发和/或金发的毛发作为第一毛发；以及

第二毛发检测工序，在所述彩度图像的至少所述抗蚀剂区域中，能够利用相对于该抗蚀剂区域的彩度差检测至少包含黑发和/或白发的毛发作为第二毛发，

在所述第一毛发检测工序中，不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述色相图像进行所述第一毛发的检测处理，

在所述第二毛发检测工序中，不使用所述被检查基板的明度图像而仅基于所述彩度图像进行所述第二毛发的检测处理。

7.根据权利要求6所述的基板的毛发检查方法，其特征在于，

所述基板的毛发检查方法包括抗蚀剂区域信息获取工序，在所述抗蚀剂区域信息获取工序中，获取用于确定所述被检查基板中的所述抗蚀剂区域所占的范围的抗蚀剂区域信息，

在所述第一毛发检测工序和所述第二毛发检测工序中，至少将由在所述抗蚀剂区域信息获取工序中得到的所述抗蚀剂区域信息确定的所述抗蚀剂区域作为检查对象，进行所述第一毛发和所述第二毛发的检测处理。