CN117406069B - 一种用于芯片测试的设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及芯片测试的技术领域，公开了一种用于芯片测试的设备，其结构包括检测台，检测台的顶部设置有固定架，固定架的顶部设置有步进电机，固定架上设置有检测机构，检测机构包括设置于固定架正面的推进检测部件，设置于推进检测部件上的伸缩保护部件，以及设置于推进检测部件一侧的辅助吸尘部件，推进检测部件上设置有芯片托盘。通过启动步进电机，使得检测器带动延长板同步向下移动，使得转动件的底端插入最近的一个通槽内，转动件的底端沿着斜块的外壁转动，将芯片托盘整体移动一个通槽的距离，便于自动化的将芯片进行上料检测，不需要操作人员逐个将芯片放置到测试区域，提高了设备测试的速度和总生产能力。

Description

一种用于芯片测试的设备

技术领域

本发明涉及芯片测试的技术领域，尤其涉及一种用于芯片测试的设备。

背景技术

芯片测试是在芯片制造过程中至关重要的一步，其中的电性能测试是通过探针插入芯片的引脚以进行各种电气测试，评估芯片在不同电压、电流和工作条件下的性能，以确定芯片的电气特性是否符合设计要求，通过电性能测试，可以确保芯片在各种工作条件下都能正常运行，并满足设计要求。

目前，芯片测试时的上料操作通常采用人工方式，人工上料通常需要较多的人力资源和劳动强度，操作人员需要逐个将芯片放置到测试区域中，限制了设备测试的速度和总生产能力，且放置芯片时手背容易撞到探针，可能会使探针受到损坏，导致测试结果不准确或不可靠，因此，现有技术需要进一步改进和完善。

发明内容

鉴于上述现有技术中存在的问题，提出了本发明。

本申请的一方面，提供了一种用于芯片测试的设备，其目的在于：解决操作人员需要逐个将芯片放置到测试区域中进行测试，且放置芯片时手背容易撞到探针、损坏探针的问题。

本发明的技术方案为：一种用于芯片测试的设备，包括检测台，所述检测台的顶部设置有固定架，所述固定架的顶部设置有步进电机，且固定架的正面设置有控制主机，所述固定架上设置有检测机构，所述检测机构包括设置于固定架正面的推进检测部件，设置于推进检测部件上的伸缩保护部件，以及设置于推进检测部件一侧的辅助吸尘部件，所述推进检测部件上设置有芯片托盘，所述芯片托盘上呈阵列开设有若干个芯片槽，且芯片槽内均放置有待测试的芯片；

所述推进检测部件包括与步进电机输出轴相连接的偏心轮，设置于偏心轮底部的检测器，设置于检测器底部的探针，设置于检测器背部的延长板，通过扭簧转动设置于延长板外壁上的转动件，设置于转动件一侧的挡杆，且挡杆的一端与延长板的外壁相连接，设置于检测器底部的承载座，且承载座用于承载芯片托盘，设置于承载座上的导向组件，以及设置于检测器背部的限位组件；

所述导向组件包括开设于芯片托盘上的若干个通槽，且通槽的数量比芯片槽多一个，设置于承载座上的斜块，且斜块位于通槽的底部；

所述推进检测部件用于步进电机驱动偏心轮转动，使得检测器向下移动以便测试芯片，当需要测试下一个芯片时，自动将芯片托盘向一侧推进，使得芯片托盘上的芯片依次上料至测试；

所述伸缩保护部件用于在测试时自动将探针从底部伸出，便于探针与芯片相接触，在单个芯片测试完成后，又将伸出的探针收回。

采用上述技术方案，通过启动步进电机，使得检测器带动延长板同步向下移动，使得转动件的底端插入最近的一个通槽内，转动件的底端沿着斜块的外壁转动，将芯片托盘整体移动一个通槽的距离，便于自动化的将芯片进行上料检测。

进一步的，所述导向组件还包括对称设置于斜块远离检测器一侧的固定块，通过扭簧转动设置于两个固定块之间的导向块，且导向块位于通槽的底部，以及设置于导向块顶部的弧面。

采用上述技术方案，通过设置导向块和弧面，使得芯片托盘在被推进时只能朝着一个方向移动，提高了测试芯片时的上料稳定性。

进一步的，所述限位组件包括开设于固定架外壁上的T形滑槽，设置于T形滑槽内的T形滑块，且T形滑块的外壁与检测器的外壁相连接，以及设置于T形滑槽外壁与T形滑块外壁之间的第一复位件。

采用上述技术方案，通过T形滑块在T形滑槽内滑动，使得检测器为垂直下降或者上升，不会出现晃动，而第一复位件可以为弹簧，便于检测器下降后能复位到初始高度，提高了检测器工作时的稳定性。

进一步的，所述伸缩保护部件包括设置于检测器底部的固定筒，设置于探针外壁上的第一移动块，开设于第一移动块外壁上的第一移动槽，设置于转动件外壁上的连接板，设置于连接板外壁上的连接杆，且连接杆的一端滑动连接于第一移动槽内。

采用上述技术方案，转动件带动连接板呈弧形转动，连接板带动连接杆的端部同步转动，连接杆的端部在第一移动槽向一侧移动。

进一步的，所述伸缩保护部件还包括开设在固定筒外壁上的第二移动槽，且第二移动槽呈弧形，以及开设于第二移动槽一侧的第三移动槽，且第一移动块位于第三移动槽内。

采用上述技术方案，连接杆的端部在第二移动槽内转动，使得第一移动块在第三移动槽内向下移动，实现探针向下伸出。

进一步的，所述辅助吸尘部件包括设置于检测器一侧的吸尘盒，且吸尘盒的底部开设有开口，设置于偏心轮一侧的第一锥齿轮，且第一锥齿轮与固定架的外壁通过转轴连接，并且第一锥齿轮与偏心轮之间通过皮带传动连接，设置于吸尘盒顶部的第二锥齿轮，且第二锥齿轮与第一锥齿轮相啮合，设置于吸尘盒内的抽吸组件。

采用上述技术方案，偏心轮转动带动第一锥齿轮同步转动，从而使得第二锥齿轮转动。

进一步的，所述抽吸组件包括设置于第二锥齿轮底部的旋转筒，开设于旋转筒外壁上的引导槽，套设于旋转筒外壁上的第二移动块，设置于第二移动块上的接触杆，且接触杆的一端位于引导槽内，设置于第二移动块两侧的限位杆，设置于第二移动块外壁与吸尘盒内壁之间的第二复位件，且第二复位件套设在限位杆的外壁上。

采用上述技术方案，第二锥齿轮带动旋转筒转动，使得接触杆沿着引导槽先向上移动，使得第二移动块在限位杆上向上移动，第二复位件可以为弹簧，以便后续第二移动块复位。

进一步的，所述辅助吸尘部件还包括设置于第二移动块底部的活塞，设置于活塞底部的集尘罩，以及设置于吸尘盒背部的集尘袋。

采用上述技术方案，第二移动块向上移动使得活塞抽吸，通过将集尘罩芯片表面的灰尘吸入集尘袋内。

进一步的，本申请还提供了一种测试设备的使用方法，包括以下步骤，

操作人员开启步进电机使得偏心轮转动一周，使得检测器朝芯片托盘移动；

转动件插入底部最近的一个通槽内，转动件的底端沿着斜块的外壁转动，使得芯片槽移动一个通槽的距离，探针逐渐靠近芯片槽内芯片准备测试；

转动件转动使得连接杆整体沿着第二移动槽转动，且连接杆的端部在第一移动槽内向一侧移动，探针插入芯片的引脚进行测试；

偏心轮转动带动第一锥齿轮转动，使得第二锥齿轮转动，接触杆沿着引导槽的路径先向上移动，在限位杆的限位作用下，带动第二移动块向上移动；

第二移动块带动活塞整体向上移动，活塞对吸尘盒底部的开口处进行抽吸，通过集尘罩将待测试芯片上的灰尘吸入，最后收集至集尘袋内；

测试完其中一个芯片槽内的芯片后，重复以上步骤，实现芯片托盘自动化上料将每个芯片推进到探针的底部进行测试。

进一步的，所述检测器朝芯片托盘移动时，T形滑块在T形滑槽内向下移动，并压缩第一复位件以便后续检测器复位。

本发明的有益效果：

通过启动步进电机，使得检测器带动延长板同步向下移动，使得转动件的底端插入最近的一个通槽内，转动件的底端沿着斜块的外壁转动，将芯片托盘整体移动一个通槽的距离，便于自动化的将芯片进行上料检测，不需要操作人员逐个将芯片放置到测试区域，提高了设备测试的速度和总生产能力。

通过转动件带动连接板呈弧形转动，连接板带动连接杆的端部同步转动使，连接杆的端部在第一移动槽向一侧移动，连接杆的端部在第二移动槽内转动，使得第一移动块在第三移动槽内向下移动，实现检测器向下移动时探针也向下伸出，检测器向上移动时探针也向上缩回，避免在探针未工作时受损。

通过偏心轮转动时，第一锥齿轮和第二锥齿轮同步转动，接触杆沿着引导槽的路径向上移动，使得第二移动块带动活塞整体向上移动，活塞对吸尘盒底部的开口处进行抽吸，通过集尘罩将待测试芯片上的灰尘吸入，最后收集至集尘袋内，避免灰尘导致探针与芯片引脚之间的电气连接不良，从而影响探针对芯片的测试。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的推进检测部件的结构示意图；

图3为本发明的芯片托盘的结构示意图；

图4为本发明的承载座的结构示意图；

图5为本发明的导向块的结构示意图；

图6为本发明的限位组件的结构立体图；

图7为本发明的伸缩保护部件的结构示意图；

图8为本发明的探针的结构示意图；

图9为本发明的图8中A处放大示意图；

图10为本发明的第三移动槽的结构示意图；

图11为本发明的伸缩保护部件的结构示意图；

图12为本发明的吸尘盒的剖视结构示意图；

图13为本发明的引导槽的结构示意图。

图中：1、检测台；2、固定架；3、步进电机；4、推进检测部件；41、偏心轮；42、检测器；43、探针；44、延长板；45、转动件；46、挡杆；47、承载座；48、导向组件；481、通槽；482、斜块；483、固定块；484、导向块；485、弧面；49、限位组件；491、T形滑槽；492、T形滑块；493、第一复位件；5、伸缩保护部件；51、固定筒；52、第一移动块；53、第一移动槽；54、连接板；55、连接杆；56、第二移动槽；57、第三移动槽；6、辅助吸尘部件；61、吸尘盒；62、第一锥齿轮；63、第二锥齿轮；64、抽吸组件；641、旋转筒；642、引导槽；643、第二移动块；644、接触杆；645、限位杆；646、第二复位件；65、活塞；66、集尘罩；67、集尘袋；7、芯片托盘；8、芯片槽。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

实施例1，参照图1-6，为本发明第一个实施例，提供了一种用于芯片测试的设备，包括检测台1，检测台1的顶部安装有固定架2，固定架2的顶部安装有步进电机3，且固定架2的正面设置有控制主机，控制主机采用现有技术中的计算机，具体结构组成和工作原理在此不作特别限定，只要能够完成程序控制、接收信号、处理分析数据作业等基本测试操作即可，控制主机包括控制器、接收模块和处理模块；

具体的，步进电机3可以通过控制主机的控制器输入程序进行控制，控制器是一种电子元件，用于控制步进电机3的旋转步长、速度和方向，通过编写程序控制步进电机3，可以实现各种运动模式，如旋转、定位、加减速、逆时针/顺时针旋转等，控制器会根据程序的指令来驱动步进电机3进行相应的运动；

具体的，控制器通常通过接口或者连接线与探针43进行物理连接，这个连接可以是并行连接、串行连接、USB连接、无线连接等，具体取决于探针43和控制器的接口类型；控制主机通过控制器向步进电机3和探针43发送控制指令，这些指令可以是预定义的命令，用于控制探针43的动作、参数设置等，指令通常通过控制器与探针43之间的通信协议进行传输，如SPI、I2C、UART等；一旦步进电机3或探针43接收到控制指令，它会执行相应的操作，涉及到对芯片引脚的测试、测量或操控，以满足特定的需求，探针43可以通过其内部电路和逻辑来控制和监控芯片的状态；最后，控制主机通过控制器从探针43中获取芯片的检测结果，这些结果可以是电气参数、数据读取、故障诊断等，控制器将接收到的结果传输给控制主机进行处理和分析。

参照图1-6，固定架2上安装有检测机构，检测机构包括安装在固定架2正面的推进检测部件4，安装在推进检测部件4上的伸缩保护部件5，伸缩保护部件5可以为选择高质量的探针43，例如导电硅胶或金属，确保探针43能够承受测试过程中的压力和摩擦，但会增加测试成本，且仍然可能使得探针43受损，以及安装在推进检测部件4一侧的辅助吸尘部件6，辅助吸尘部件6可以为无尘布，轻轻清除芯片表面的灰尘，但需要多出另外擦若干个芯片的步骤，推进检测部件4上放置有芯片托盘7，芯片托盘7上呈阵列开设有若干个芯片槽8，且芯片槽8内均放置有待测试的芯片；

推进检测部件4包括与步进电机3输出轴相连接的偏心轮41，位于偏心轮41底部的检测器42，滑动连接在检测器42底部的探针43，连接在检测器42背部的延长板44，通过扭簧转动连接在延长板44外壁上的转动件45，连接在转动件45一侧的挡杆46，且挡杆46的一端与延长板44的外壁相连接，位于检测器42底部的承载座47，且承载座47用于承载芯片托盘7，安装在承载座47上的导向组件48，以及安装在检测器42背部的限位组件49；

导向组件48包括开设在芯片托盘7上的若干个通槽481，且通槽481的数量比芯片槽8多一个，连接在承载座47上的斜块482，且斜块482位于通槽481的底部。

具体地，通过启动步进电机3，使得检测器42带动延长板44同步向下移动，使得转动件45的底端插入最近的一个通槽481内，转动件45的底端沿着斜块482的外壁转动，将芯片托盘7整体移动一个通槽481的距离，便于自动化的将芯片进行上料检测。

参照图4和图5，导向组件48还包括对称连接在斜块482远离检测器42一侧的固定块483，通过扭簧转动连接在两个固定块483之间的导向块484，且导向块484位于通槽481的底部，以及设置在导向块484顶部的弧面485。

具体地，设置导向块484和弧面485，使得芯片托盘7在被推进时只能朝着一个方向移动，提高了测试芯片时的上料稳定性。

参照图6，限位组件49包括开设在固定架2外壁上的T形滑槽491，滑动连接在T形滑槽491内的T形滑块492，且T形滑块492的外壁与检测器42的外壁相连接，以及连接在T形滑槽491外壁与T形滑块492外壁之间的第一复位件493。

具体地，T形滑块492在T形滑槽491内滑动，使得检测器42为垂直下降或者上升，不会出现晃动，而第一复位件493可以为弹簧，便于检测器42下降后能复位到初始高度，提高了检测器42工作时的稳定性。

使用过程中，操作人员将放置有若干个待测试的芯片的芯片托盘7放置在承载座47上，通过控制主机开启步进电机3使得偏心轮41转动一周，偏心轮41的外壁挤压检测器42，使得检测器42朝芯片托盘7移动，同时T形滑块492在T形滑槽491内向下移动，并压缩第一复位件493以便后续检测器42复位；与检测器42相连接的延长板44同步向下移动，使得转动件45插入底部最近的一个通槽481内，随着转动件45的继续下移，转动件45的底端沿着斜块482的外壁转动，转动件45的外壁带动芯片托盘7向一侧移动，且挤压弧面485使导向块484转动，使得芯片槽8移动一个通槽481的距离，探针43逐渐靠近芯片槽8内芯片准备测试。

实施例2，参照图1-10，为本发明的第二个实施例，该实施例不同于第一个实施例的是：伸缩保护部件5包括安装在检测器42底部的固定筒51，连接在探针43外壁上的第一移动块52，开设在第一移动块52外壁上的第一移动槽53，连接在转动件45外壁上的连接板54，连接在连接板54外壁上的连接杆55，且连接杆55的一端滑动连接于第一移动槽53内，伸缩保护部件5还包括开设在固定筒51外壁上的第二移动槽56，且第二移动槽56呈弧形，以及开设在第二移动槽56一侧的第三移动槽57，且第一移动块52位于第三移动槽57内。

具体地，转动件45带动连接板54呈弧形转动，连接板54带动连接杆55的端部同步转动，连接杆55的端部在第一移动槽53向一侧移动，连接杆55的端部在第二移动槽56内转动，使得第一移动块52在第三移动槽57内向下移动，实现探针43向下伸出。

使用过程中，转动件45转动带动连接板54同步转动，使得连接杆55整体沿着第二移动槽56转动，且连接杆55的端部在第一移动槽53内向一侧移动，带动第一移动块52在第三移动槽57内向下移动，实现探针43整体向下移动，探针43插入芯片的引脚进行测试。

其余结构与实施例1的结构相同。

实施例3，参照图1-13，为本发明的第三个实施例，该实施例不同于第二个实施例的是：辅助吸尘部件6包括位于检测器42一侧的吸尘盒61，且吸尘盒61安装在固定架2上，并且吸尘盒61的底部开设有开口，位于偏心轮41一侧的第一锥齿轮62，且第一锥齿轮62与固定架2的外壁通过转轴连接，并且第一锥齿轮62与偏心轮41之间通过皮带传动连接，转动连接在吸尘盒61顶部的第二锥齿轮63，且第二锥齿轮63与第一锥齿轮62相啮合，安装在吸尘盒61内的抽吸组件64。

具体地，偏心轮41转动带动第一锥齿轮62同步转动，从而使得第二锥齿轮63转动。

参照图12和图13，抽吸组件64包括连接在第二锥齿轮63底部的旋转筒641，开设在旋转筒641外壁上的引导槽642，套设在旋转筒641外壁上的第二移动块643，安装在第二移动块643上的接触杆644，且接触杆644的一端位于引导槽642内，位于第二移动块643两侧的限位杆645，且限位杆645的端部与吸尘盒61的内壁相连接，连接在第二移动块643外壁与吸尘盒61内壁之间的第二复位件646，且第二复位件646套设在限位杆645的外壁上，辅助吸尘部件6还包括连接在第二移动块643底部的活塞65，连接在活塞65底部的集尘罩66，以及安装在吸尘盒61背部的集尘袋67。

具体地，第二锥齿轮63带动旋转筒641转动，使得接触杆644沿着引导槽642先向上移动，使得第二移动块643在限位杆645上向上移动，第二复位件646可以为弹簧，以便后续第二移动块643复位，第二移动块643向上移动使得活塞65抽吸，通过将集尘罩66芯片表面的灰尘吸入集尘袋67内。

使用过程中，偏心轮41转动时通过皮带传动带动第一锥齿轮62转动，使得与之啮合的第二锥齿轮63转动，从而使得旋转筒641转动一周，接触杆644沿着引导槽642的路径先向上移动旋转筒641的半周，再向下移动旋转筒641的半周，在限位杆645的限位作用下，带动第二移动块643向上移动，并压缩第二复位件646，以便后续第二移动块643复位；第二移动块643带动活塞65整体向上移动，活塞65对吸尘盒61底部的开口处进行抽吸，通过集尘罩66将待测试芯片上的灰尘吸入，最后收集至集尘袋67内，避免灰尘导致探针43与芯片引脚之间的电气连接不良，导致测量信号的失真或干扰，从而影响对芯片的测试，实现辅助探针43更好地对芯片的测试。

其余结构与实施例2的结构相同。

实施例4，参照图1-13，为本发明的第四个实施例，提供了：一种测试设备的使用方法，包括以下步骤，

步骤一：操作人员将放置有若干个待测试的芯片的芯片托盘7放置在承载座47上，通过控制主机开启步进电机3使得偏心轮41转动一周，偏心轮41的外壁挤压检测器42，使得检测器42朝芯片托盘7移动，同时T形滑块492在T形滑槽491内向下移动，并压缩第一复位件493以便后续检测器42复位；

步骤二：与检测器42相连接的延长板44同步向下移动，使得转动件45插入底部最近的一个通槽481内，随着转动件45的继续下移，转动件45的底端沿着斜块482的外壁转动，转动件45的外壁带动芯片托盘7向一侧移动，且挤压弧面485使导向块484转动，使得芯片槽8移动一个通槽481的距离，探针43逐渐靠近芯片槽8内芯片准备测试；

步骤三：转动件45转动带动连接板54同步转动，使得连接杆55整体沿着第二移动槽56转动，且连接杆55的端部在第一移动槽53内向一侧移动，带动第一移动块52在第三移动槽57内向下移动，实现探针43整体向下移动，探针43插入芯片的引脚进行测试；

步骤四：偏心轮41转动时通过皮带传动带动第一锥齿轮62转动，使得与之啮合的第二锥齿轮63转动，从而使得旋转筒641转动一周，接触杆644沿着引导槽642的路径先向上移动旋转筒641的半周，再向下移动旋转筒641的半周，在限位杆645的限位作用下，带动第二移动块643向上移动，并压缩第二复位件646，以便后续第二移动块643复位；

步骤五：第二移动块643带动活塞65整体向上移动，活塞65对吸尘盒61底部的开口处进行抽吸，通过集尘罩66将待测试芯片上的灰尘吸入，最后收集至集尘袋67内，避免灰尘导致探针43与芯片引脚之间的电气连接不良，导致测量信号的失真或干扰，从而影响对芯片的测试，实现辅助探针43更好地对芯片的测试；

步骤六：测试完其中一个芯片槽8内的芯片后，重复以上步骤，实现芯片托盘7自动化上料将每个芯片推进到探针43的底部进行测试，检测台1上的控制主机通过接收模块从探针43中获取芯片的检测结果，处理模块将接收到的结果传输给控制主机进行处理和分析。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种用于芯片测试的设备，包括检测台（1），其特征在于：所述检测台（1）的顶部设置有固定架（2），所述固定架（2）的顶部设置有步进电机（3），所述固定架（2）上设置有检测机构，所述检测机构包括设置于固定架（2）正面的推进检测部件（4），设置于推进检测部件（4）上的伸缩保护部件（5），以及设置于推进检测部件（4）一侧的辅助吸尘部件（6），所述推进检测部件（4）上设置有芯片托盘（7），所述芯片托盘（7）上呈阵列开设有若干个芯片槽（8），且芯片槽（8）内均放置有待测试的芯片；

所述推进检测部件（4）包括与步进电机（3）输出轴相连接的偏心轮（41），设置于偏心轮（41）底部的检测器（42），设置于检测器（42）底部的探针（43），设置于检测器（42）背部的延长板（44），通过扭簧转动设置于延长板（44）外壁上的转动件（45），设置于转动件（45）一侧的挡杆（46），且挡杆（46）的一端与延长板（44）的外壁相连接，设置于检测器（42）底部的承载座（47），且承载座（47）用于承载芯片托盘（7），设置于承载座（47）上的导向组件（48），以及设置于检测器（42）背部的限位组件（49）；

所述导向组件（48）包括开设于芯片托盘（7）上的若干个通槽（481），且通槽（481）的数量比芯片槽（8）多一个，设置于承载座（47）上的斜块（482），且斜块（482）位于通槽（481）的底部；

所述推进检测部件（4）用于步进电机（3）驱动偏心轮（41）转动，使得检测器（42）向下移动以便测试芯片，当需要测试下一个芯片时，自动将芯片托盘（7）向一侧推进，使得芯片托盘（7）上的芯片依次上料至测试；

所述伸缩保护部件（5）用于在测试时自动将探针（43）从底部伸出，便于探针（43）与芯片相接触，在单个芯片测试完成后，又将伸出的探针（43）收回。

2.根据权利要求1所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：所述导向组件（48）还包括对称设置于斜块（482）远离检测器（42）一侧的固定块（483），通过扭簧转动设置于两个固定块（483）之间的导向块（484），且导向块（484）位于通槽（481）的底部，以及设置于导向块（484）顶部的弧面（485）。

3.根据权利要求2所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：所述限位组件（49）包括开设于固定架（2）外壁上的T形滑槽（491），设置于T形滑槽（491）内的T形滑块（492），且T形滑块（492）的外壁与检测器（42）的外壁相连接，以及设置于T形滑槽（491）外壁与T形滑块（492）外壁之间的第一复位件（493）。

4.根据权利要求3所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：所述伸缩保护部件（5）包括设置于检测器（42）底部的固定筒（51），设置于探针（43）外壁上的第一移动块（52），开设于第一移动块（52）外壁上的第一移动槽（53），设置于转动件（45）外壁上的连接板（54），设置于连接板（54）外壁上的连接杆（55），且连接杆（55）的一端滑动连接于第一移动槽（53）内。

5.根据权利要求4所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：所述伸缩保护部件（5）还包括开设在固定筒（51）外壁上的第二移动槽（56），且第二移动槽（56）呈弧形，以及开设于第二移动槽（56）一侧的第三移动槽（57），且第一移动块（52）位于第三移动槽（57）内。

6.根据权利要求5所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：所述辅助吸尘部件（6）包括设置于检测器（42）一侧的吸尘盒（61），设置于偏心轮（41）一侧的第一锥齿轮（62），且第一锥齿轮（62）与固定架（2）的外壁通过转轴连接，并且第一锥齿轮（62）与偏心轮（41）之间通过皮带传动连接，设置于吸尘盒（61）顶部的第二锥齿轮（63），且第二锥齿轮（63）与第一锥齿轮（62）相啮合，设置于吸尘盒（61）内的抽吸组件（64）。

7.根据权利要求6所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：所述抽吸组件（64）包括设置于第二锥齿轮（63）底部的旋转筒（641），开设于旋转筒（641）外壁上的引导槽（642），套设于旋转筒（641）外壁上的第二移动块（643），设置于第二移动块（643）上的接触杆（644），且接触杆（644）的一端位于引导槽（642）内，设置于第二移动块（643）两侧的限位杆（645），设置于第二移动块（643）外壁与吸尘盒（61）内壁之间的第二复位件（646），且第二复位件（646）套设在限位杆（645）的外壁上。

8.根据权利要求7所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：所述辅助吸尘部件（6）还包括设置于第二移动块（643）底部的活塞（65），设置于活塞（65）底部的集尘罩（66），以及设置于吸尘盒（61）背部的集尘袋（67）。

9.一种测试设备的使用方法，其应用于权利要求8所述的用于芯片测试的设备，其特征在于：包括以下步骤：

操作人员开启步进电机（3）使得偏心轮（41）转动一周，使得检测器（42）朝芯片托盘（7）移动；

转动件（45）插入底部最近的一个通槽（481）内，转动件（45）的底端沿着斜块（482）的外壁转动，使得芯片槽（8）移动一个通槽（481）的距离，探针（43）逐渐靠近芯片槽（8）内芯片准备测试；

转动件（45）转动使得连接杆（55）整体沿着第二移动槽（56）转动，且连接杆（55）的端部在第一移动槽（53）内向一侧移动，探针（43）插入芯片的引脚进行测试；

偏心轮（41）转动带动第一锥齿轮（62）转动，使得第二锥齿轮（63）转动，接触杆（644）沿着引导槽（642）的路径先向上移动，在限位杆（645）的限位作用下，带动第二移动块（643）向上移动；

第二移动块（643）带动活塞（65）整体向上移动，活塞（65）对吸尘盒（61）底部的开口处进行抽吸，通过集尘罩（66）将待测试芯片上的灰尘吸入，最后收集至集尘袋（67）内；

测试完其中一个芯片槽（8）内的芯片后，重复以上步骤，实现芯片托盘（7）自动化上料将每个芯片推进到探针（43）的底部进行测试。

10.根据权利要求9所述的测试设备的使用方法，其特征在于：所述检测器（42）朝芯片托盘（7）移动时，T形滑块（492）在T形滑槽（491）内向下移动，并压缩第一复位件（493）以便后续检测器（42）复位。