CN216410091U - 一种芯片翘曲测试装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种芯片翘曲测试装置，涉及芯片测试领域。包括支撑台、翘曲测量组件、工位板和连接组件，支撑台顶端的中部开设有嵌放槽，嵌放槽内设置有旋转电机；翘曲测量组件设置在支撑台的顶端；工位板设置在支撑台顶端的中部，工位板的底端固定连接有连接套管；连接组件设置在旋转电机的输出端，连接组件包括连接杆，连接杆顶部的两侧均设置有锁定机构，锁定机构包括移动滑杆。该实用新型，通过连接组件的设计，使得工位板与旋转电机的连接能够进行自由和轻松的拆卸，这样就能欧方便直接更换工位板，此时就节省了大量在工位板处记性芯片的拆装时间，使得整个检测装置能够实现快速检测。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体为一种芯片翘曲测试装置。
背景技术
在芯片生产的检测过程中，有一个重要的测量步骤就是对于芯片翘曲度的测试，现有的设备对于芯片翘曲的测试都是采用激光扫描仪进行扫描测试，这样的测试方式快捷且准确。
现有的一种转盘式的输送扫描设备是采用一个旋转的工位板，将待检测的芯片夹定在工位板的顶端，然后再依次旋转至激光扫描仪的下方进行扫描，这样的能够进行连续多个的测试，但是由于现有设备工位板都是固定在旋转电机的输出端，且芯片需要夹定在工位板的顶端，因此在进行芯片更换检测时，还需要停机拆卸和补装芯片，这个过程就比耽误时间，不能够是设备形成快速的多个芯片的检测。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种芯片翘曲测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种芯片翘曲测试装置，包括：
支撑台，所述支撑台顶端的中部开设有嵌放槽，所述嵌放槽内设置有旋转电机；
翘曲测量组件，所述翘曲测量组件设置在支撑台的顶端，且位于靠近背面的边侧；
工位板，所述工位板设置在支撑台顶端的中部，所述工位板的底端固定连接有连接套管；
连接组件，所述连接组件设置在旋转电机的输出端，所述连接组件包括连接杆，所述连接杆顶部的两侧均设置有锁定机构，所述锁定机构包括移动滑杆，所述移动滑杆的其中一端固定连接有锁定凸块。
优选的，所述翘曲测量组件包括支撑柱，所述支撑柱顶部的正面固定连接有支撑板，所述支撑板的其中一端设置有激光扫描仪。
优选的，所述连接杆顶部的两侧均开设有调节滑槽，两个所述移动滑杆分别和两个调节滑槽滑动穿插连接，两个所述调节滑槽顶端和底端的内壁均开设有导向滑槽。
优选的，两个所述移动滑杆的顶端和底端均固定连接有导向滑杆，四个所述导向滑杆分别和四个导向滑槽滑动穿插连接。
优选的，四个所述导向滑槽内均设置有控制弹簧，且四个所述控制弹簧的其中一端分别和四个导向滑槽其中一侧的内壁固定连接。
优选的，所述工位板的底端开设有连接槽，所述连接套管的顶端和连接槽顶端的内壁固定连接，所述工位板的顶端设置有多个固定槽。
优选的，所述连接套管两侧内壁的底部均开设有引导槽，所述连接套管两侧内壁的中部均开设有锁定孔，两个所述锁定孔的底部分别和两个引导槽的顶部相互贯通，两个所述锁定凸块分别与两个引导槽和两个锁定孔滑动穿插连接。
本实用新型公开了一种芯片翘曲测试装置，其具备的有益效果如下：
1、该实用新型，通过连接组件的设计，使得工位板与旋转电机的连接能够进行自由和轻松的拆卸，这样就能欧方便直接更换工位板，此时就节省了大量在工位板处记性芯片的拆装时间，使得整个检测装置能够实现快速检测。
2、该实用新型，连接组件同构可调节的锁定机构实现连接杆和连接套管之间的连接，同时利用控制弹簧的弹力特性，使得在能够完成连接杆和连接套管连接的同时，又方便进行两者连接的解除，这样就使得工位板的更加快捷方便。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型支撑台和工位板连接处的剖视图；
图3为本实用新型图2中A处的结构放大示意图。
图中：1、支撑台；101、嵌放槽；2、支撑柱；3、支撑板；4、激光扫描仪；5、工位板；6、旋转电机；7、连接杆；701、调节滑槽；8、连接套管；801、引导槽；9、移动滑杆；901、锁定凸块；902、导向滑杆；10、控制弹簧。
具体实施方式
本实用新型实施例公开一种芯片翘曲测试装置，如图1-3所示，包括：
支撑台1，支撑台1顶端的中部开设有嵌放槽101，嵌放槽101内设置有旋转电机6；
翘曲测量组件，翘曲测量组件设置在支撑台1的顶端，且位于靠近背面的边侧；
翘曲测量组件包括支撑柱2，支撑柱2顶部的正面固定连接有支撑板3，支撑板3的其中一端设置有激光扫描仪4；
激光扫描仪4通过红外测距技术完成芯片翘曲度的检测，通过测量芯片顶端各点的距离，通过距离的变化来测量芯片的翘曲度。
工位板5，工位板5设置在支撑台1顶端的中部，工位板5的底端固定连接有连接套管8；
工位板5的底端开设有连接槽，连接套管8的顶端和连接槽顶端的内壁固定连接，工位板5的顶端设置有多个固定槽；
连接套管8两侧内壁的底部均开设有引导槽801，连接套管8两侧内壁的中部均开设有锁定孔，两个锁定孔的底部分别和两个引导槽801的顶部相互贯通，两个锁定凸块901分别与两个引导槽801和两个锁定孔滑动穿插连接；
连接组件，连接组件设置在旋转电机6的输出端，连接组件包括连接杆7，连接杆7顶部的两侧均设置有锁定机构，锁定机构包括移动滑杆9，移动滑杆9的其中一端固定连接有锁定凸块901；
连接杆7顶部的两侧均开设有调节滑槽701，两个移动滑杆9分别和两个调节滑槽701滑动穿插连接，两个调节滑槽701顶端和底端的内壁均开设有导向滑槽；
两个移动滑杆9的顶端和底端均固定连接有导向滑杆902，四个导向滑杆902分别和四个导向滑槽滑动穿插连接；
四个导向滑槽内均设置有控制弹簧10，且四个控制弹簧10的其中一端分别和四个导向滑槽其中一侧的内壁固定连接。
工作原理：参考图1至图3，在进行芯片翘曲度检测时；
实施第一步操作，首先将待检测的芯片卡放在工位板5顶端的固定槽内。
实施第二步操作，将卡放好芯片的工位板5底端的连接套管8对齐旋转电机6输出端连接杆7的顶部；
对齐之后竖直向下压动工位板5，工位板5带动连接套管8向下移动，连接套管8的两个引导槽801内壁挤压两个锁定凸块901，使得两个锁定凸块901向着相向的方向移动，两个锁定凸块901的移动会带动两个移动滑杆9在两个调节滑槽701内相向移动，两个移动滑杆9的移动会带动其所连接的导向滑杆902在导向滑槽内同步移动，导向滑杆902移动的过程中会不断地挤压控制弹簧10，使其受力收缩；
当两个锁定凸块901沿着引导槽801滑动至两个锁定孔内时，在控制弹簧10回复力的作用下，导向滑杆902带动移动滑杆9向着远离连接杆7的方向移动，此时两个锁定凸块901由两个移动滑杆9推入两个锁定孔内，连接套管8和连接杆7的连接完成。
实施第三步操作，启动旋转电机6，旋转电机6通过输出端带动连接杆7进行同步转动，连接杆7带动连接套管8同步转动，连接套管8再带动工位板5进行旋转，当工位板5顶端卡放的待检测芯片旋转至激光扫描仪4的下方时，由激光扫描仪4进行芯片翘曲度的扫描检测。
一个工位板5顶端的芯片检测结束后，竖直向上拿起该工位板5，此时连接套管8在带动下向上移动，锁定孔和引导槽801连接处的内壁挤压锁定凸块901，使其带着锁定机构向着调节滑槽701内滑动，然后随着继续向上拉动工位板5，锁定凸块901沿着引导槽801滑动，直到完全从引导槽801内滑出，连接杆7和连接套管8的连接解除，这时便可以向连接杆7处安放连接下一个卡放有待检测芯片的工位板5。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种芯片翘曲测试装置，其特征在于，包括：
支撑台(1)，所述支撑台(1)顶端的中部开设有嵌放槽(101)，所述嵌放槽(101)内设置有旋转电机(6)；
翘曲测量组件，所述翘曲测量组件设置在支撑台(1)的顶端，且位于靠近背面的边侧；
工位板(5)，所述工位板(5)设置在支撑台(1)顶端的中部，所述工位板(5)的底端固定连接有连接套管(8)；
连接组件，所述连接组件设置在旋转电机(6)的输出端，所述连接组件包括连接杆(7)，所述连接杆(7)顶部的两侧均设置有锁定机构，所述锁定机构包括移动滑杆(9)，所述移动滑杆(9)的其中一端固定连接有锁定凸块(901)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片翘曲测试装置，其特征在于：所述翘曲测量组件包括支撑柱(2)，所述支撑柱(2)顶部的正面固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的其中一端设置有激光扫描仪(4)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片翘曲测试装置，其特征在于：所述连接杆(7)顶部的两侧均开设有调节滑槽(701)，两个所述移动滑杆(9)分别和两个调节滑槽(701)滑动穿插连接，两个所述调节滑槽(701)顶端和底端的内壁均开设有导向滑槽。
4.根据权利要求3所述的一种芯片翘曲测试装置，其特征在于：两个所述移动滑杆(9)的顶端和底端均固定连接有导向滑杆(902)，四个所述导向滑杆(902)分别和四个导向滑槽滑动穿插连接。
5.根据权利要求3所述的一种芯片翘曲测试装置，其特征在于：四个所述导向滑槽内均设置有控制弹簧(10)，且四个所述控制弹簧(10)的其中一端分别和四个导向滑槽其中一侧的内壁固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种芯片翘曲测试装置，其特征在于：所述工位板(5)的底端开设有连接槽，所述连接套管(8)的顶端和连接槽顶端的内壁固定连接，所述工位板(5)的顶端设置有多个固定槽。
7.根据权利要求1所述的一种芯片翘曲测试装置，其特征在于：所述连接套管(8)两侧内壁的底部均开设有引导槽(801)，所述连接套管(8)两侧内壁的中部均开设有锁定孔，两个所述锁定孔的底部分别和两个引导槽(801)的顶部相互贯通，两个所述锁定凸块(901)分别与两个引导槽(801)和两个锁定孔滑动穿插连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123145014.7U CN216410091U (zh) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | 一种芯片翘曲测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123145014.7U CN216410091U (zh) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | 一种芯片翘曲测试装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216410091U true CN216410091U (zh) | 2022-04-29 |
Family
ID=81283147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202123145014.7U Active CN216410091U (zh) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | 一种芯片翘曲测试装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN216410091U (zh) |
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2021
- 2021-12-14 CN CN202123145014.7U patent/CN216410091U/zh active Active
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