CN117394820A - 声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器 - Google Patents

声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器 Download PDF

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Abstract

一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器，声表面波谐振器装置包括：叉指换能器，位于压电基板上，且包括多个叉指电极、第一和第二叉指电极引出部，多个叉指电极包括沿第一方向延伸且沿第二方向交替排列的第一和第二叉指电极；第一和第二叉指电极位于主体区中，且分别延伸跨过第一和第二周边区以连接第一和第二叉指电极引出部；以及导电结构，位于叉指换能器的远离压电基板的一侧，且至少包括主体结构和第一锯齿结构，主体结构沿第二方向连续延伸跨过多个叉指电极，第一锯齿结构在第一方向上位于主体结构的远离周边区的一侧，主体结构的至少部分和第一锯齿结构在垂直于压电基板的第三方向上与多个叉指电极的靠近周边区的末端部分交叠。

Description

声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器
技术领域
本公开的实施例涉及谐振器、滤波器领域，且特别是涉及一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器。
背景技术
随着移动通讯技术快速发展，以谐振器为基本单元的滤波器越来越广泛且大量的应用在智能手机等通讯装置中。声表面波（Surface Acoustic Wave, SAW）滤波器作为一种声波滤波器具有体积小、质量轻等优点，在目前的通讯装置中得到广泛应用。传统声表面波谐振器/滤波器存在杂散模态的杂波，此种杂波会影响谐振器/滤波器的性能。如何提高谐振器装置抑制杂波的能力是该领域的重要研究课题。
发明内容
根据本公开的至少一个实施例提供一种声表面波谐振器装置，具有主体区和周边区，且所述周边区包括在第一方向上位于所述主体区相对两侧的第一周边区和第二周边区，所述声表面波谐振器装置包括：压电基板；叉指换能器，设置于所述压电基板的一侧，且包括多个叉指电极、第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部，所述多个叉指电极包括沿所述第一方向延伸且沿与所述第一方向相交的第二方向交替排列的第一叉指电极和第二叉指电极；其中所述第一叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第一周边区以与所述第一叉指电极引出部连接，所述第二叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第二周边区以与所述第二叉指电极引出部连接；以及导电结构，设置于所述叉指换能器的远离所述压电基板的一侧，且在垂直于所述压电基板的主表面的第三方向上至少与所述多个叉指电极的靠近所述周边区的末端部分交叠，其中所述导电结构至少包括主体结构和第一锯齿结构，所述主体结构沿所述第二方向连续延伸跨过所述多个叉指电极，所述第一锯齿结构在所述第一方向上位于所述主体结构的远离所述周边区的一侧，且所述主体结构的至少部分和所述第一锯齿结构在所述第三方向上与所述多个叉指电极的所述末端部分交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，主体结构在第三方向上与多个叉指电极交叠，且与相邻叉指电极之间的间隙交叠；以及第一锯齿结构在压电基板上的正投影与相邻叉指电极之间的间隙在压电基板上的正投影偏置开。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一锯齿结构在压电基板上的正投影位于多个叉指电极在压电基板上的正投影范围内。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，导电结构包括：第一导电层，包括彼此相连的第一主体部和第一锯齿部，第一锯齿部至少包括第一内锯齿，位于第一主体部的远离第一周边区的一侧；以及第二导电层，在第一方向上与第一导电层并排设置，且包括彼此相连的第二主体部和第二锯齿部，第二锯齿部至少包括第二内锯齿，位于第二主体部的远离第二周边区的一侧，第一主体部和第二主体部构成主体结构，且第一内锯齿和第二内锯齿构成第一锯齿结构，其中第一主体部和第二主体部各自具有在第一方向上彼此相对的第一侧壁和第二侧壁，且第一内锯齿和第二内锯齿各自包括凸出于相应主体部的第一侧壁的多个内延伸部，多个内延伸部沿第二方向间隔排列，且分别与多个叉指电极在第三方向上交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，在第一内锯齿或第二内锯齿中，在彼此交叠的内延伸部和叉指电极中，内延伸部在压电基板上的正投影位于叉指电极在压电基板上的正投影范围内。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，在第一内锯齿或第二内锯齿中，在第二方向上多个内延伸部中相邻内延伸部之间的间距大于或等于多个叉指电极中相邻叉指电极之间的间距。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，在彼此交叠的内延伸部和叉指电极中，内延伸部在第二方向上的宽度小于或等于叉指电极在第二方向上的宽度。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，在彼此交叠的内延伸部和叉指电极中，内延伸部在第二方向上彼此相对的两个侧壁分别与叉指电极在第二方向上彼此相对的两个侧壁在第三方向上对齐。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一叉指电极具有在第一方向上远离第一叉指电极引出部的第一电极边缘；第二叉指电极具有在第一方向上远离第二叉指电极引出部的第二电极边缘，其中第一主体部的第二侧壁和第二电极边缘在第三方向上彼此对齐；第二主体部的第二侧壁和第一电极边缘在第三方向上彼此对齐。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一周边区具有第一周边宽度，第一周边宽度由第二电极边缘与第一叉指电极引出部在第一方向上的间距界定，第二周边区具有第二周边宽度，且第二周边宽度由第一电极边缘与第二叉指电极引出部在第一方向上的间距界定；第一内锯齿在第一方向上的宽度在第一周边宽度的20%以内，第二内锯齿在第一方向上的宽度在第二周边宽度的20%以内。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一主体部的第二侧壁在第一方向上相对于第二叉指电极的第二电极边缘朝向第一叉指电极引出部而偏移，且第一主体部在第三方向上还与第一叉指电极的位于第一周边区的连接部交叠；或者第二主体部的第二侧壁在第一方向上相对于第一叉指电极的第一电极边缘朝向第二叉指电极引出部而偏移，且第二主体部在第三方向上还与第二叉指电极的位于第二周边区的连接部交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，导电结构还包括第二锯齿结构，第二锯齿结构在第一方向上位于主体结构的靠近周边区的一侧，且第二锯齿结构的至少部分与多个叉指电极在第三方向上交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一叉指电极具有在第一方向上远离第一叉指电极引出部的第一电极边缘；第二叉指电极具有在第一方向上远离第二叉指电极引出部的第二电极边缘；其中第二锯齿结构在第一方向上延伸超出第一电极边缘和第二电极边缘中的至少一者，且第二锯齿结构的至少部分位于周边区中；或者第二锯齿结构具有在第三方向上与第一电极边缘或第二电极边缘对齐的侧壁。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第二锯齿结构在第三方向上与多个叉指电极的靠近周边区的末端部分以及位于周边区中的连接部中的至少一者交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一锯齿部还包括第一外锯齿，位于第一主体部的靠近第一周边区的一侧，第二锯齿部还包括第二外锯齿，位于第二主体部的靠近第二周边区的一侧；第二锯齿结构包括第一外锯齿和第二外锯齿中的至少一者。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一外锯齿和第二外锯齿各自包括多个外延伸部，多个外延伸部在第一方向上凸出于相应主体部的第二侧壁且沿第二方向间隔排列；第一外锯齿的多个外延伸部至少包括第一延伸子部，第一延伸子部在第三方向上与第一叉指电极交叠；第二外锯齿的多个外延伸部至少包括第二延伸子部，第二延伸子部在第三方向上与第二叉指电极交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一延伸子部在压电基板上的正投影位于第一叉指电极在压电基板上的正投影范围内，第二延伸子部在压电基板上的正投影位于第二叉指电极在压电基板上的正投影范围内。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一外锯齿的多个外延伸部还包括第一附加延伸子部，第一附加延伸子部在压电基板上的正投影与第二叉指电极在压电基板上的正投影在第一方向上至少部分对齐；以及第二外锯齿的多个外延伸部还包括第二附加延伸子部，第二附加延伸子部在压电基板上的正投影与第一叉指电极在压电基板上的正投影在第一方向上至少部分对齐。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一附加延伸子部的正投影与第二叉指电极的正投影邻接、偏置开或部分交叠，或者第一附加延伸子部的正投影位于第二叉指电极的正投影范围内；第二附加延伸子部的正投影与第一叉指电极的正投影邻接、偏置开或部分交叠，或者第二附加延伸子部的正投影位于第一叉指电极的正投影范围内。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，在第一导电层或第二导电层中，多个内延伸部的数量大于或等于多个外延伸部的数量。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，在第一导电层或第二导电层中，在第二方向上，多个内延伸部中相邻内延伸部之间的间距小于或等于多个外延伸部中相邻外延伸部之间的间距。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一内锯齿和第一外锯齿相对于第一主体部对称设置；和/或第二内锯齿和第二外锯齿相对于第二主体部对称设置。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一内锯齿和第一外锯齿在第一方向上的宽度彼此相同或不同；第二内锯齿和第二外锯齿在第一方向上的宽度彼此相同或不同。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一主体部的第二侧壁在压电基板上的正投影与第二叉指电极的远离第二叉指电极引出部的第二电极边缘在压电基板上的正投影在第二方向上对齐；第二主体部的第二侧壁在压电基板上的正投影与第一叉指电极的远离第一叉指电极引出部的第一电极边缘在压电基板上的正投影在第二方向上对齐。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一内锯齿和第一外锯齿在第一方向上的宽度之和在第一周边区的第一周边宽度的20%以内，第二内锯齿和第二外锯齿在第一方向上的宽度之和在第二周边区的第二周边宽度的20%以内。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一主体部的第二侧壁在第一方向上相对于第二叉指电极的第二电极边缘远离第一周边区或朝向第一周边区偏移；第二主体部的第二侧壁在第一方向上相对于第一叉指电极的第一电极边缘远离第二周边区或朝向第二周边区偏移。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，还包括：反射栅，在第二方向上设置在叉指换能器的相对两侧，其中每个反射栅包括多个反射电极以及汇流条，多个反射电极沿第一方向延伸，且沿第二方向间隔排列，汇流条沿第二方向延伸，并与多个反射电极连接，其中导电结构在第三方向上还与反射栅部分交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，导电结构具有中心区域和附加区域，在中心区域中，导电结构与多个叉指电极在第三方向上交叠，在附加区域中，导电结构与反射栅的多个反射电极在第三方向上交叠；第一主体部和第二主体部各自从中心区域连续延伸至附加区域。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，在附加区域中，第一导电层还包括第一附加锯齿结构，在第一方向上位于第一主体部的一侧或相对两侧；第二导电层还包括第二附加锯齿结构，在第二方向上位于第二主体部的一侧或相对两侧。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一附加锯齿结构包括第一附加内延伸部和第一附加外延伸部中的至少一者，第一附加内延伸部在第一方向上远离第一周边区凸出于第一主体部的第一侧壁，第一附加外延伸部在第一方向上朝向第一周边区凸出于第一主体部的第二侧壁；第二附加锯齿结构包括第二附加内延伸部和第二附加外延伸部中的至少一者，第二附加内延伸部在第一方向上远离第二周边区凸出于第二主体部的第一侧壁，第二附加外延伸部在第一方向上朝向第二周边区凸出于第二主体部的第二侧壁。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，第一附加锯齿结构和第二附加锯齿结构在压电基板上的正投影位于反射栅在压电基板上的正投影范围内。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置中，还包括：介电层，设置于压电基板上，并覆盖叉指换能器，其中导电结构位于介电层的远离压电基板的一侧。
本公开至少一个实施例提供一种滤波器，包括根据上述任一项所述的声表面波谐振器装置。
本公开至少一个实施例提供一种声表面波谐振器装置的制造方法，声表面波谐振器装置具有主体区和周边区，且周边区包括在第一方向上位于主体区相对两侧的第一周边区和第二周边区，制造方法包括：提供压电基板；在压电基板的一侧形成叉指换能器，叉指换能器包括多个叉指电极、第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部，多个叉指电极包括沿第一方向延伸且沿与第一方向相交的第二方向交替排列的第一叉指电极和第二叉指电极；其中第一叉指电极位于主体区中，且延伸跨过第一周边区以与第一叉指电极引出部连接，第二叉指电极位于主体区中，且延伸跨过第二周边区以与第二叉指电极引出部连接；以及在叉指换能器的远离压电基板的一侧形成导电结构，导电结构在垂直于压电基板的主表面的第三方向上至少与多个叉指电极的靠近周边区的末端部分交叠，其中导电结构至少包括主体结构和第一锯齿结构，主体结构沿第二方向连续延伸跨过多个叉指电极，第一锯齿结构在第一方向上位于主体结构的远离周边区的一侧，且主体结构的至少部分和第一锯齿结构在第三方向上与多个叉指电极的末端部分交叠。
根据本公开至少一个实施例提供的声表面波谐振器装置的制造方法中，在形成导电结构之前，还包括：在叉指换能器的远离压电基板的一侧形成介电层，且导电结构形成在介电层的远离压电基板的一侧。
附图说明
为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。
图1A示出根据本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图；图1B示出根据本公开一些实施例的图1A所示的声表面波谐振器装置的部分区域的示意性放大俯视图。
图2A示出根据本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的沿图1A的线A-A’截取的示意性截面图；图2B示出根据本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的沿图1A的线B-B’截取的示意性截面图；图2C示出根据本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的沿图1A的线C-C’截取的示意性截面图。
图3A示出根据本公开一些替代实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图；图3B示出根据本公开一些替代实施例的图3A所示声表面波谐振器装置的部分区域的示意性放大俯视图。
图4A示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图；图4B示出根据本公开另一些实施例的图4A所示的声表面波谐振器装置的部分区域的示意性放大俯视图。
图5A示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置的沿图4A的线A-A’截取的示意性截面图；图5B示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置的沿图4A的线B-B’截取的示意性截面图；图5C示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置的沿图4A的线C-C’截取的示意性截面图；图5D示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置的沿图4A的线D-D’截取的示意性截面图。
图6A示出根据本公开另一些替代实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图；图6B示出根据本公开另一些替代实施例的图6A所示声表面波谐振器装置的部分区域的示意性放大俯视图。
图7A示出根据本公开又另一些实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图；图7B示出根据本公开又另一些实施例的图7A所示声表面波谐振器装置的部分区域的示意性放大俯视图。
图8A示出根据本公开再一些实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图；图8B示出根据本公开再一些实施例的图8A所示声表面波谐振器装置的部分区域的示意性放大俯视图。
图9A示出根据本公开又再一些实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图；图9B示出根据本公开又再一些实施例的图9A所示声表面波谐振器装置的部分区域的示意性放大俯视图。
图10A示出传统声表面波谐振器装置以及本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的导纳响应图；图10B示出传统声表面波谐振器装置以及本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的实部响应图。
图11A示出传统声表面波谐振器装置以及本公开实施例另一些实施例的声表面波谐振器装置的导纳响应图；图11B示出传统声表面波谐振器装置以及本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置的实部响应图。
具体实施方式
为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。
本公开实施例提供一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器。声表面波谐振器装置具有主体区和周边区，所述周边区包括在第一方向上位于主体区相对两侧的第一周边区和第二周边区，且声表面波谐振器装置包括：压电基板；叉指换能器，设置于压电基板的一侧，且包括多个叉指电极、第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部，多个叉指电极包括沿第一方向延伸且沿与第一方向相交的第二方向交替排列的第一叉指电极和第二叉指电极；其中第一叉指电极位于主体区中，且延伸跨过第一周边区以与第一叉指电极引出部连接，第二叉指电极位于主体区中，且延伸跨过第二周边区以与第二叉指电极引出部连接；以及导电结构，设置于叉指换能器的远离压电基板的一侧，且在垂直于压电基板的主表面的第三方向上至少与多个叉指电极的靠近周边区的末端部分交叠，其中导电结构至少包括主体结构和第一锯齿结构，主体结构沿第二方向连续延伸跨过多个叉指电极，第一锯齿结构在第一方向上位于主体结构的远离周边区的一侧，且主体结构的至少部分和第一锯齿结构在第三方向上与多个叉指电极的末端部分交叠。
本公开实施例的声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器可具有以下技术效果：通过设置导电结构可抑制谐振器装置中可能存在的杂波，即，导电结构可作为杂波抑制结构；导电结构至少包括主体结构和第一锯齿结构，通过在主体结构基础上进一步设置第一锯齿结构可增加导电结构与叉指电极的交叠面积，从而提高其抑制杂波的能力，进而减小或消除谐振器装置和滤波器中的杂波，提高装置性能。而且，第一锯齿结构设置于主体结构的远离周边区的一侧，可相对使得第一锯齿结构与叉指电极之间的交叠面积最大化，从而最大化第一锯齿结构对于杂波抑制能力的提升效果。
此外，通过将导电结构设置成同时包括主体结构和锯齿结构，一方面可以确保其结构稳定性，另一方面可在提高导电结构与叉指电极的交叠面积的同时相对减小导电结构的整体面积，从而有利于在提高谐振器装置的杂波抑制能力的同时减小欧姆损耗，提升装置性能。
图1A示出根据本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的示意性俯视图。图1B示出图1A的根据本公开一些实施例的声表面波谐振器装置的区域D的示意性放大俯视图。图2A、图2B、图2C分别示出沿图1A的线A-A’、线B-B’、线C-C’截取的示意性截面图。
参考图1A和图1B以及图2A至图2C，在一些实施例中，声表面波谐振器装置500a包括压电基板100、叉指换能器（interdigital transducer，IDT）101和导电结构106。叉指换能器101设置于压电基板100的一侧，且导电结构106设置于叉指换能器101的远离压电基板100的一侧。声表面波谐振器装置500a具有主体区BR以及周边区GR，且周边区GR包括在第一方向D1上位于主体区BR相对两侧的第一周边区GR1和第二周边区GR2。为图式清楚起见，在俯视图中将导电结构106示出为透明的，但应理解这并不表示导电结构106是透明材料。在一些实施例中，导电结构106可包括金属结构，且可为电性浮置的。导电结构106作为杂波抑制结构，且被配置成抑制或消除谐振器装置中可能存在的杂波。
例如，叉指换能器101包括多个叉指电极、第一叉指电极引出部12和第二叉指电极引出部22。多个叉指电极可包括第一叉指电极11和第二叉指电极12。第一叉指电极11和第一叉指电极引出部12彼此连接，且可共同构成第一叉指电极结构。第二叉指电极12和第二叉指电极引出部22彼此连接，且可共同构成第二叉指电极结构。在一些实施例中，叉指电极引出部又可被称为汇流条（busbar）。
在一些实施例中，多个第一叉指电极11和多个第二叉指电极12彼此大致平行的沿第一方向D1延伸，且沿第二方向D2交替排列并彼此间隔开。第一方向D1和第二方向D2平行于压电基板100的主表面（例如，靠近叉指换能器101的表面），且彼此相交，例如是彼此大致垂直的。第一叉指电极引出部21在第一方向D1上位于多个第一叉指电极11的一侧，且与多个第一叉指电极11连接，使得多个第一叉指电极11通过第一叉指电极引出部21彼此电性连接。类似的，第二叉指电极引出部22在第一方向D1上位于多个第二叉指电极12的一侧，且与多个第二叉指电极12连接，使得多个第二叉指电极12通过第二叉指电极引出部22电性连接。
第一叉指电极引出部21和第二叉指电极引出部22在第一方向D1上位于主体区BR的相对两侧，例如，第一叉指电极引出部21在第一方向D1上位于第一周边区GR1的远离主体区BR的一侧，第二叉指电极引出部22在第一方向上位于第二周边区GR2的远离主体区BR的一侧。也就是说，在叉指电极的延伸方向（例如，第一方向D1）上，第一周边区GR1位于主体区BR和第一叉指电极引出部21之间，第二周边区GR2位于主体区BR和第二叉指电极引出部22之间。在本文中，主体区BR是指在其中第一叉指电极11和第二叉指电极12在叉指电极的排列方向（例如，第二方向D2）上彼此完全交叠的区域；在周边区中，第一叉指电极和第二叉指电极在第二方向上彼此不交叠。主体区BR和周边区GR各自不仅包括叉指换能器所在的层，且还包括在垂直于压电基板主表面的方向上与叉指换能器交叠的层。在本文中，多个构件在某一方向上交叠是指所述多个构件在垂直于所述方向的参考平面上的正投影彼此交叠。也就是说，在主体区BR中，第一叉指电极11和第二叉指电极12在垂直于第二方向D2的参考平面（例如，反射栅102的靠近叉指换能器一侧的表面）上的正投影彼此完全交叠。
继续参考图1A和图1B，第一叉指电极11位于主体区BR中，且自主体区BR延伸跨过第一周边区GR1，以与第一叉指电极引出部21连接。第二叉指电极12位于主体区BR中，且自主体区BR延伸跨过第二周边区GR2，以与第二叉指电极引出部22连接。第一叉指电极11具有第一电极边缘11e，第一电极边缘11e在第一方向D1上远离第一叉指电极引出部21且面对第二叉指电极引出部22，并通过第二周边区GR2与第二叉指电极引出部22间隔开。第二叉指电极12具有第二电极边缘12e，第二电极边缘12e在第一方向D1上远离第二叉指电极引出部22且面对第一叉指电极引出部21，并通过第一周边区GR1与第一叉指电极引出部21间隔开。
周边区GR可由相应的电极边缘以及叉指电极引出部面对所述电极边缘的表面界定。例如，第一周边区GR1可包括在第一方向D1上位于第二电极边缘12e沿第二方向D2和第三方向D3扩展的扩展平面与第一叉指电极引出部21的面对第二电极边缘12e的表面沿第二方向D2和第三方向D3扩展的扩展平面之间的区域。第二周边区GR2可包括在第一方向D1上位于第一电极边缘11e沿第二方向D2和第三方向D3扩展的扩展平面与第二叉指电极引出部22的面对第一电极边缘11e的表面沿第二方向D2和第三方向D3扩展的扩展平面之间的区域。第三方向D3垂直于压电基板100的主表面100，且可垂直于第一方向D1和第二方向D2。
在一些实施例中，主体区BR包括中心区C和在第一方向D1上位于中心区C相对两侧的第一末端区E1和第二末端区E2，第一末端区E1位于中心区C和第一周边区GR1之间，第二末端区E2位于中心区C和第二周边区GR2之间。第一叉指电极11和第二叉指电极12各自包括中心部、第一末端部、第二末端部和连接部，在每个叉指电极中，第一末端部和第二末端部在第一方向上位于中心部的相对两侧，且连接部位于第二末端部的远离中心部的一侧，并与第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部中相应一者连接；在每个叉指电极中，中心部位于中心区C中，第一末端部位于第一末端区E1和第二末端区E2之一中；第二末端部位于第一末端区E1和第二末端区E2之另一中，连接部位于第一周边区GR1和第二周边区GR2之一中，其中第一末端部和第二末端部可统称为叉指电极的末端部分；第一末端区E1和第二末端区E2可统称为末端区。应理解，每个叉指电极的中心部、第一末端部、第二末端部和连接部彼此连接且是连续的，且可为一体成型的。在一些实施例中，在每个叉指电极结构中，叉指电极和叉指电极引出部也可为一体成型的。
举例来说，如图1B所示，第一叉指电极11包括位于中心区C的中心部11a、位于第二末端区E2的第一末端部11b、位于第一末端区E1的第二末端部11c以及位于第一周边区GR1的连接部11d。第二叉指电极12包括位于中心区的中心部12a、位于第一末端区E1的第一末端部12b、位于第二末端区E2的第二末端部12c和位于第二周边区GR2的连接部12d。第一叉指电极11的中心部11a和第二叉指电极12的中心部12a在第二方向D2上彼此交叠（例如，完全交叠），第一叉指电极11的第一末端部11b和第二叉指电极12的第二末端部12c在第二方向D2上彼此交叠（例如，完全交叠），第一叉指电极11的第二末端部11c和第二叉指电极12的第一末端部12b在第二方向D2上彼此交叠（例如，完全交叠）。第一叉指电极11的连接部11d位于第一周边区GR1中，且在第二方向D2上不与第二叉指电极12交叠；第二叉指电极12的连接部12d位于第二周边区GR2中，且在第二方向D2上不与第一叉指电极11交叠。
在一些实施例中，导电结构106至少在末端区中设置在叉指换能器的远离压电基板100的一侧，且在垂直于压电基板主表面的第三方向D3上至少与多个叉指电极的靠近第一周边区GR1和第二周边区GR2的末端部分交叠。导电结构106可至少包括主体结构BP和第一锯齿结构SP1，主体结构BP沿第二方向D2连续延伸跨过多个叉指电极，第一锯齿结构SP1在第一方向D1上位于主体结构BP的远离周边区GR的一侧，且主体结构BP的至少部分和第一锯齿结构SP1在第三方向D3上与多个叉指电极的末端部分交叠。
参考图1A和图1B，在一些实施例中，主体结构BP在第三方向D3上与多个叉指电极交叠，且与多个叉指电极中相邻叉指电极（例如，相邻的第一叉指电极和第二叉指电极）之间的间隙交叠。在一些实施例中，第一锯齿结构SP1在第三方向上不与相邻叉指电极之间的间隙交叠；即，第一锯齿结构SP1在压电基板100上的正投影与相邻叉指电极之间的间隙在压电基板100上的正投影偏置开。例如，第一锯齿结构SP1在压电基板100上的正投影可位于多个叉指电极在压电基板100上的正投影范围内。在一些实施例中，第一锯齿结构可整体均位于末端区中，主体结构也可整体位于末端区中。
参考图1A、图1B和图2A至图2C，在一些实施例中，导电结构106包括在第一方向D1上并排设置的第一导电层106a和第二导电层106b。第一导电层106a和第二导电层106b分别至少位于第一末端区E1和第二末端区E2中，且分别在第三方向上至少与多个叉指电极的靠近第一周边区和第二周边区的末端部分交叠。具体来说，第一导电层106a在第三方向D3上至少与多个第一叉指电极11的第二末端部11c和多个第二叉指电极12的第一末端部12b交叠。第二导电层106b在第三方向D3上至少与多个第一叉指电极11的第一末端部11b和多个第二叉指电极12的第二末端部12d交叠。在另一些实施例中，第一导电层106a在第三方向D3上可还与多个第一叉指电极11的连接部11d的部分交叠，第二导电层106b在第三方向D3上可还与多个第二叉指电极12的连接部12d的部分交叠。
在一些实施例中，多个叉指电极的靠近第一周边区GR1的末端部分（即，第一叉指电极11的第二末端部11c和第二叉指电极12的第一末端部12b）在压电基板100上的正投影位于第一导电层106a在压电基板100上的正投影范围内。多个叉指电极的靠近第二周边区GR2的末端部分（即，第一叉指电极11的第一末端部11b和第二叉指电极12的第二末端部12c）在压电基板100上的正投影位于第二导电层106b在压电基板100上的正投影范围内。
在声表面波谐振器结构工作期间，声表面波沿着叉指换能器101的多个叉指电极的排列方向（例如，第二方向D2）传播，然而，也可能存在一些沿着叉指电极的延伸方向（例如，第一方向D1）传播的杂波，而此种杂波会导致能量损失，进而导致谐振器/滤波器的性能降低；在本公开的实施例中，通过在多个叉指电极的末端部分和/或连接部上方设置包括第一导电层和第二导电层的导电结构，所述导电结构能够产生声波传播阻抗变化的区域或界面，从而作为杂波抑制结构抑制或消除在第一方向D1上传播的杂波，且可将在第一方向D1上传播的杂波反射回谐振器内，从而减少或避免能量损失。在一些实施例中，导电结构的杂波抑制能力主要取决于其与多个叉指电极交叠的部分，因此，增加导电结构与多个叉指电极的交叠面积可提高其杂波抑制能力。此处，导电结构与多个叉指电极的交叠面积是指杂波抑制结构在压电基板上的正投影与多个叉指电极在压电基板上的正投影的交叠部分的面积。
参考图1A、图1B以及图2A至图2C，在一些实施例中，第一导电层106a包括彼此相连的第一主体部106a1和第一锯齿部106a2。第二导电层106b包括彼此相连的第二主体部106b1和第二锯齿部106b2。第一主体部106a1和第二主体部106b1共同构成主体结构BP。
例如，第一主体部106a1和第二主体部106b1可彼此大致平行的沿第二方向D2连续延伸，且各自延伸跨过多个叉指电极。在第一主体部106a1和第二主体部106b1中，每个主体部均在第三方向D3上与多个叉指电极交叠，且与多个叉指电极中相邻叉指电极之间的间隙交叠。第一主体部106a1和第二主体部106b1各自具有在第一方向D1上彼此相对的第一侧壁sw1和第二侧壁sw2。第一侧壁sw1为各主体部的靠近中心区C且远离周边区的侧壁，第二侧壁sw2为各主体部的靠近相应周边区的侧壁。
在一些实施例中，第一锯齿部106a2至少包括第一内锯齿IS1，第一内锯齿IS1在第一方向D1上位于第一主体部106a1的远离第一周边区GR1的一侧。第二锯齿部106b2至少包括第二内锯齿IS2，第二内锯齿IS2在第一方向D1上位于第二主体部106b1的远离第二周边区GR2的一侧。第一内锯齿IS1和第二内锯齿IS2共同构成第一锯齿结构SP1。
在一些实施例中，第一内锯齿IS1和第二内锯齿IS2各自包括在第一方向D1上凸出于相应主体部的第一侧壁sw1的多个内延伸部EP，且在第一内锯齿IS1和第二内锯齿IS2的每一者中，多个内延伸部EP可彼此大致平行的沿第一方向D1延伸，且沿第二方向D2间隔排列，且分别与多个叉指电极在第三方向D3上交叠；例如，在每个内锯齿中，多个内延伸部EP可与多个叉指电极（包括多个第一叉指电极11和多个第二叉指电极12）一一对应设置，且每个内延伸部EP可与多个叉指电极中的对应一者在第三方向D3上交叠。在彼此交叠的内延伸部EP和叉指电极（例如，第一叉指电极11或第二叉指电极12）中，所述内延伸部EP在压电基板100上的正投影可位于相应的所述叉指电极在压电基板100上的正投影范围内。
在第一内锯齿IS1和第二内锯齿IS2的每一者中，在第二方向D2上，多个内延伸部EP中相邻内延伸部EP之间的间距s1可大于或大致等于相邻叉指电极之间的间距s2。在一些实施例中，在彼此交叠的内延伸部EP和叉指电极中，所述内延伸部EP在第二方向D2上的宽度可与所述叉指电极在第二方向D2上的宽度大致相同或不同；例如，所述内延伸部EP在第二方向D2上的宽度可大致等于所述叉指电极在第二方向D2上的宽度；所述内延伸部EP在第二方向D2上彼此相对的两个侧壁可分别与所述叉指电极在第二方向D2上彼此相对的两个侧壁的部分在垂直于压电基板主表面的第三方向D3上大致对齐。在另一些实施例中，在彼此交叠的内延伸部EP和叉指电极中，内延伸部EP在第二方向D2上的宽度也可小于所述叉指电极在第二方向D2上的宽度。内延伸部EP在第二方向D2上彼此相对的两个侧壁也可与相应叉指电极在第二方向D2上彼此相对的两个侧壁在第二方向D2上偏移。
参考图1A、图1B和图2A，在一些实施例中，第一主体部106a1的靠近第一周边区GR1的第二侧壁sw2可与第二叉指电极12的第二电极边缘12e在第三方向D3上大致对齐。第二主体部106b1的靠近第二周边区GR2的第二侧壁sw2可与第一叉指电极11的第一电极边缘11e在第三方向D3上大致对齐。也就是说，导电结构106可整体均设置在末端区中，而不延伸至周边区中。在此示例中，导电结构106在第三方向上与多个叉指电极的末端部分交叠，而可不与多个叉指电极的连接部交叠。
参考图1B，在一些实施例中，各周边区的周边宽度由相应的电极边缘与叉指电极引出部在第一方向上的距离界定。例如，第一周边区GR1具有第一周边宽度gw1，所述第一周边宽度gw1由第二电极边缘12e与第一叉指电极引出部21在第一方向D1上的距离界定，即大致等于在第一方向D1上第二电极边缘12e与第一叉指电极引出部21的面对第二电极边缘12e的表面之间的距离。第二周边区GR2具有第二周边宽度gw2，且第二周边宽度gw2由第一电极边缘11e与第二叉指电极引出部22在第一方向D1上的距离界定，即大致等于在第一方向D1上第一电极边缘11e与第二叉指电极引出部22的面对第一电极边缘11e的表面之间的距离。
在此实施例中，在第一方向D1上，第一主体部106a1的第二侧壁sw2与第一叉指电极引出部21之间的距离d1大致等于第一周边宽度gw1，第二主体部106b1的第二侧壁sw2与第二叉指电极引出部22之间的距离d2大致等于第二周边宽度gw2。然而，本公开并不以此为限。
在一些实施例中，第一内锯齿IS1在第一方向D1上的宽度L1（即，其内延伸部EP在第一方向D1上的延伸长度）小于等于第一周边宽度gw1的20%；第二内锯齿IS2在第一方向D1上的宽度L2（即，其内延伸部EP在第一方向D1上的延伸长度）小于等于第二周边宽度gw2的20%。在同一内锯齿或不同内锯齿中，多个内延伸部EP的延伸长度可彼此相同或不同，且每个内延伸部EP在第一方向上的延伸长度可均在相应的第一周边宽度gw1或第二周边宽度gw2的20%以内。
在一些实施例中，第一周边宽度gw1和第二周边宽度gw2的范围可各自在波长的0.1至2倍以内。第一主体部106a1的宽度W1和第二主体部106b1的宽度W2可各自设置在波长的0.25至0.5倍以内。第一内锯齿IS1的宽度L1和第二内锯齿IS2的宽度L2可各自设置在波长的0.1至0.5倍以内。应理解，此处的波长是指谐振器装置的工作波长，其等于声速与频率（即，谐振器装置的谐振频率）的比值。且波长=声速/频率。
在一些实施例中，如图1B和图2A所示，在导电结构中，主体部和锯齿部的在垂直于压电基板主表面的方向上的厚度可彼此大致相同或不同。在一些实施例中，各主体部的归一化厚度范围可为约0.03至0.12，各锯齿部的归一化厚度范围可为约0.03至0.12。此处，归一化厚度=等效膜厚/波长。
在一些实施例中，第一主体部106a1的宽度W1可与第一内锯齿IS1的宽度L1相同或不同，第二主体部106b1的宽度W2可与第二内锯齿IS2的宽度L2相同或不同。例如，第一主体部106a1的宽度W1可大于等于或者也可小于第一内锯齿IS1的宽度L1；第二主体部106b1的宽度W2可大于等于或者也可小于第二内锯齿IS2的宽度L2。
参考图1A、图1B和图2A至图2C，在一些实施例中，声表面波谐振器装置500a还包括反射栅102a和反射栅102b（可统称为反射栅102）。反射栅102可与叉指换能器101同层设置。即，反射栅102和叉指换能器102可通过同一图案化工艺形成自同一材料层，但本公开并不以此为限。
反射栅102a和反射栅102b在第二方向D2上设置在叉指换能器101的相对两侧，每个反射栅包括多个反射电极52以及汇流条53。例如，在每个反射栅中，多个反射电极52彼此大致平行的沿第一方向D1延伸，且沿第二方向D2间隔排列，汇流条53沿第二方向D2延伸，并与多个反射电极52连接。例如，两个汇流条53在第一方向D1上位于多个反射电极52的相对两侧，且可彼此大致平行，并各自与多个反射电极52电连接。反射栅102a中的反射电极52的数量可与反射栅102b中的反射电极52的数量相同或不同。应理解，图中所示的第一叉指电极的数量、第二叉指电极的数量以及反射栅中反射电极的数量仅为例示说明，且本公开并不以此为限。
在一些实施例中，导电结构106可还延伸至反射栅102所在的区域，且导电结构106可在垂直于压电基板100主表面的第三方向D3上还与反射栅102部分交叠，例如与多个反射电极52部分交叠。
例如，导电结构106具有中心区域CR和附加区域AR；在中心区域CR中，导电结构106与多个叉指电极在第三方向D3上交叠；在附加区域AR中，导电结构106与反射栅102（例如，其多个反射电极52）在第三方向D3上交叠。例如，在每个导电层中，两个附加区域AR在第二方向D2上设置在中心区域CR的相对两侧，并可与两个反射栅102一一对应设置。各导电层在附加区域AR的结构可与其在中心区域CR的结构类似，即，导电结构在附加区域AR也设置有主体部和锯齿部。
例如，在导电结构106中，第一主体部106a1和第二主体部106b1各自在第二方向D2上从中心区域CR连续延伸至附加区域AR，且连续延伸跨过叉指换能器的多个叉指电极以及反射栅102的多个反射电极52。也就是说，第一主体部106a1和第二主体部106b1可各自在垂直于压电基板主表面的第三方向D3上与叉指换能器的多个叉指电极以及反射栅102的多个反射电极52交叠，且与相邻叉指电极之间的间隙区域、相邻反射电极之间的间隙区域以及相邻的叉指电极和反射电极之间的间隙区域交叠。
在一些实施例中，在导电结构的附加区域中，可还包括附加锯齿结构。例如，第一导电层还包括第一附加锯齿结构，在第一方向上位于第一主体部的一侧或相对两侧；第二导电层还包括第二附加锯齿结构，在第二方向上位于第二主体部的一侧或相对两侧。
在一些实施例中，第一附加锯齿结构包括第一附加内延伸部和第一附加外延伸部中的至少一者，第一附加内延伸部在第一方向上远离第一周边区凸出于第一主体部的第一侧壁，第二附加外延伸部在第一方向上朝向第一周边区凸出于第一主体部的第二侧壁；第二附加锯齿结构包括第二附加内延伸部和第二附加外延伸部中的至少一者，第二附加内延伸部在第一方向上远离第二周边区凸出于第二主体部的第一侧壁，第二附加外延伸部在第一方向上朝向第二周边区凸出于第二主体部的第二侧壁。在一些实施例中，附加锯齿结构（即，第一附加锯齿结构和/或第二附加锯齿结构）在压电基板上的正投影位于反射栅在压电基板上的正投影范围内。
举例来说，如图1A所示，第一导电层106a还包括第一附加锯齿结构AS1，第一附加锯齿结构AS1在第一方向D1上位于第一主体部106a1的一侧，且可在第二方向D2上位于第一内锯齿IS1的一侧或相对两侧。第二导电层106b还包括第二附加锯齿结构AS2，第二附加锯齿结构AS2在第一方向D1上位于第二主体部106b1的一侧，且可在第二方向D2上位于第二内锯齿IS2的一侧或相对两侧。
例如，第一附加锯齿结构AS1包括多个第一附加内延伸部AP1，多个第一附加内延伸部AP1在第一方向D1上远离第一周边区GR1凸出于第一主体部106a1的第一侧壁sw1。第二附加锯齿结构AS2包括多个第二附加内延伸部AP2，多个第二附加内延伸部AP2在第一方向D1上远离第二周边区GR2凸出于第二主体部106b1的第二侧壁sw2。
在第一导电层的各附加区域中，多个第一附加内延伸部AP1沿第二方向D2间隔排列，且可与多个反射电极52一一对应设置，且分别在第三方向D3上与多个反射电极52彼此交叠。多个第一附加内延伸部AP1的数量可与多个反射电极52的数量相同，但也可彼此不同。在第二导电层的各附加区域中，多个第二附加内延伸部AP2可与多个反射电极52一一对应设置，且分别与多个反射电极52在垂直于压电基板主表面的第三方向D3上彼此交叠。多个第二附加内延伸部AP2的数量可与多个反射电极52的数量相同，但也可彼此不同。
在一些实施例中，在各附加锯齿结构中，附加内延伸部在压电基板上的正投影可位于反射栅（例如，其反射电极）在压电基板上的正投影范围内。例如，在第二方向D2上，相邻附加内延伸部之间的间距可与相邻反射电极52之间的间距大致相同，在第三方向上彼此交叠的反射电极和附加内延伸部中，附加内延伸部的宽度可与相应反射电极的宽度大致相同；所述附加内延伸部在第二方向D2上彼此相对的两个侧壁可分别与所述反射电极在第二方向D2上彼此相对的两个侧壁在第三方向上大致对齐。在替代实施例中，在第二方向D2上，相邻附加内延伸部之间的间距也可大于相邻反射电极52之间的间距，且附加内延伸部的宽度可小于相应反射电极的宽度。
在另一些实施例中，导电结构可仅设置在叉指换能器所在的区域中，而不延伸至反射栅所在的区域中。即，可省略导电结构的附加区域AP。
参考图2A至图2C，在一些实施例中，声表面波谐振器装置500a还包括介电层102，介电层102设置在压电基板100上，且覆盖叉指换能器101，例如可至少覆盖多个叉指电极的侧壁及其远离压电基板100一侧的表面，或者可还覆盖多个叉指电极引出部的侧壁及其远离压电基板100一侧的表面。介电层102可还覆盖反射栅102，例如覆盖其多个反射电极和/或汇流条的侧壁及其远离压电基板100一侧的表面。在一些实施例中，导电结构106位于介电层102的远离压电基板100的一侧，即，介电层102的部分在垂直于压电基板主表面的第三方向D3上位于导电结构106和叉指电极之间，并将导电结构106和叉指电极间隔开。在一些实施例中，声表面波谐振器装置500a可还包括介电层108，介电层108设置于介电层102的远离压电基板100的一侧，且可覆盖导电结构106的侧壁及其远离压电基板一侧的表面。介电层102和介电层108可作为温度补偿层，且可包括氧化硅等温度补偿材料。介电层102和介电层108可共同构成温度补偿结构。在一些实施例中，也可省略介电层108，即，温度补偿结构可仅包括介电层102。
在一些实施例中，声表面波谐振器装置500a可还包括第一导电连接件31、第二导电连接件32和钝化层110。例如，第一导电连接件31延伸穿过介电层108和102，以与第一叉指电极引出部21电连接；第二导电连接件32延伸穿过介电层108和102，以与第二叉指电极引出部22电连接。
钝化层110可设置于温度补偿结构的远离压电基板的一侧，例如设置于介电层108的远离压电基板100的一侧，且覆盖第一导电连接件31和第二导电连接件32的部分表面。例如，钝化层110可覆盖第一导电连接件31和第二导电连接件32的侧壁及其远离压电基板的部分表面。钝化层110可具有多个开口，例如包括第一钝化开口110a和第二钝化开口110b，第一钝化开口110a和第二钝化开口110b分别暴露出第一导电连接件31和第二导电连接件32的远离压电基板100一侧的部分表面，以提供外部连接窗口。在一些实施例中，介电层108可省略，且钝化层110可形成在介电层102的远离压电基板100的一侧，并覆盖导电结构106，但本公开并不以此为限。
为便于理解，在截面图图2A至图2C中，示意性的示出了钝化开口在截面图中的结构，但图2A至图2C中钝化开口的位置与图1A中的钝化开口的位置可能没有完全对应。应理解，可根据产品设计和需求对钝化开口的位置进行适当调整和设置。
在声表面波谐振器装置500a中，导电结构106整体均设置在末端区中，且主体结构BP的第二侧壁sw2具有与相应叉指电极的电极边缘对齐的部分，但本公开并不以此为限。在替代实施例中，主体结构BP的第二侧壁sw2也可在第一方向D1上相对于相应叉指电极的电极边缘偏移。
图3A示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置500b的示意性俯视图；图3B示出图3A的区域D的示意性放大俯视图。声表面波谐振器装置500b与声表面波谐振器装置500a类似，差异在于：声表面波谐振器装置500b中导电结构的主体结构的第二侧壁相对于相应叉指电极的电极边缘朝向周边区和叉指电极引出部偏移，且主体结构在第三方向还与相应叉指电极的连接部交叠。
参考图3A和图3B，在一些实施例中，在第一导电层106a中，第一主体部106a1在第一方向D1上延伸超出第二叉指电极12的第二电极边缘12e，且具有位于第一周边区GR1中的部分。也就是说，第一主体部106a1的第二侧壁sw2在第一方向D1上相对于第二叉指电极12的第二电极边缘12e朝向第一叉指电极引出部21偏移。在第一方向D1上第一主体部106a1的第二侧壁sw2与第一叉指电极引出部21之间的距离d1小于第一周边宽度gw1。第一主体部106a1的位于第一周边区GR1的部分在第三方向上与多个第一叉指电极11的连接部11d的一部分交叠。例如，多个第一叉指电极11的连接部11d的一部分在压电基板100上的正投影也位于第一导电层106a（例如，其第一主体部106a1）在压电基板100上的正投影范围内。
在一些实施例中，在第二导电层106b中，第二主体部106b1在第一方向D1上延伸超出第一叉指电极11的第一电极边缘11e，且具有位于第二周边区GR2中的部分。也就是说，第二主体部106b1的第二侧壁sw2在第一方向D1上相对于第一叉指电极11的第一电极边缘11e朝向第二叉指电极引出部22偏移。在第一方向D1上第二主体部106b1的第二侧壁sw2与第二叉指电极引出部22之间的距离d2小于第二周边宽度gw2。第二主体部106b1的位于第二周边区GR2的部分在第三方向上与多个第二叉指电极12的连接部12d的一部分交叠。例如，多个第二叉指电极12的连接部12d的一部分在压电基板100上的正投影也位于第二导电层106b（例如，第二主体部106b1）在压电基板100上的正投影范围内。应理解，上述距离d1和距离d2均为非零距离。
在主体结构的第二侧壁在第一方向上相对于相应电极的电极边缘偏移的实施例中，各导电层中主体部和锯齿部在第一方向上的宽度可根据产品设计和需求进行适当的调整，以符合产品需求并保证导电结构抑制杂波的能力。在本公开各种实施例中，包括第一内锯齿和第二内锯齿的第一锯齿结构可均设置在末端区中。
图4A示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置500c的示意性俯视图；图4B示出图4A的区域D的示意性放大俯视图。图5A、图5B、图5C、图5D分别示出根据本公开另一些实施例的声表面波谐振器装置500c的沿图4A的线A-A’、线B-B’、线C-C’、线D-D’截取的示意性截面图。声表面波谐振器装置500c与声表面波谐振器装置500a类似，差异在于：声表面波谐振器装置500c的导电结构还包括第二锯齿结构。
在导电结构还包括第二锯齿结构的实施例中，第一锯齿结构的结构特征与前述实施例的类似，且在下文将不再赘述。在一些实施例中，第一锯齿结构均设置在末端区中，而不会延伸至周边区中；主体结构设置在末端区中，且在一些实施例中可还进一步延伸至周边区中；第二锯齿结构可设置在末端区和周边区的至少一者中。第二锯齿结构在第三方向上可与多个叉指电极的末端部分和连接部中的至少一者交叠。
参考图4A、图4B以及图5A至图5D，在一些实施例中，导电结构106包括主体结构BP和第一锯齿结构SP1，且还包括第二锯齿结构SP2，第二锯齿结构SP2在第一方向D1位于主体结构BP的靠近周边区GR的一侧，且第二锯齿结构SP2的至少部分与多个叉指电极（例如，多个第一叉指电极11和/或多个第二叉指电极12）在第三方向D3上交叠。
在一些实施例中，如图4A、图4B和图5A所示，第二锯齿结构SP2在第一方向D1上延伸超出第一电极边缘11e和第二电极边缘12e中的至少一者，且第二锯齿结构SP2的至少部分位于周边区GR中，但本公开并不以此为限。
在一些实施例中，第一导电层106a包括彼此相连的第一主体部106a1和第一锯齿部106a2，且第一锯齿部106a2可包括在第一方向D1上位于第一主体部106a1相对两侧的第一内锯齿IS1和第一外锯齿OS1。例如，第一内锯齿IS1位于第一主体部106a1的远离第一周边区GR1的一侧，且第一外锯齿OS1位于第一主体部106a1的靠近第一周边区GR1的一侧。
在一些实施例中，第二导电层106b包括彼此相连的第二主体部106b1和第二锯齿部106b2，且第二锯齿部106b2可包括在第一方向D1上位于第二主体部106b1相对两侧的第二内锯齿IS2和第二外锯齿OS2。例如，第二内锯齿IS2位于第二主体部106b1的远离第二周边区GR2的一侧，且第二外锯齿OS2位于第二主体部106b1的靠近第二周边区GR2的一侧。第一内锯齿IS1和第二内锯齿IS2构成第一锯齿结构SP1，且其结构与前述实施例中关于声表面波谐振器装置500a描述的类似，于此不再赘述。第二锯齿结构SP2可包括第一外锯齿OS1和第二外锯齿OS2中的至少一者。
在一些实施例中，第一外锯齿OS1可在第一方向D1上延伸超出第二叉指电极12的第二电极边缘12e，且第一外锯齿OS1的至少部分位于第一周边区GR1，并在第三方向D3上与第一叉指电极11的连接部11d交叠。第二外锯齿OS2可在第一方向上延伸超出第一叉指电极11的第一电极边缘11e，且第二外锯齿OS2的至少部分位于第二周边区GR2中，并与第二叉指电极12的连接部12d交叠。
在一些实施例中，第一外锯齿OS1和第二外锯齿OS2各自包括在第一方向D1上凸出于相应主体部的第二侧壁sw2且沿第二方向D2间隔排列的多个外延伸部GP。具体来说，第一外锯齿OS1的多个外延伸部GP可彼此大致平行的沿第一方向D1延伸，且朝向第一叉指电极引出部21凸出于第一主体部106a1的第二侧壁sw2。第二外锯齿OS2的多个外延伸部GP可彼此大致平行的沿第一方向D1延伸，且朝向第二叉指电极引出部21凸出于第二主体部106b1的第二侧壁sw2。
在一些实施例中，各锯齿部中内锯齿的一或多个内延伸部可与外锯齿中相应的外延伸部在第一方向上对齐，且可将此种锯齿部称为I型锯齿。
在一些实施例中，在各外锯齿中，在第二方向D2上，多个外延伸部GP中相邻外延伸部之间的间距可与相邻叉指电极之间的间距相同或不同，例如，相邻外延伸部之间的间距可大于等于相邻叉指电极之间的间距。每个外延伸部可与相应的叉指电极对应设置，且每个延伸部在第二方向上的宽度可大致等于或不同于（例如，小于）相应叉指电极在第二方向上的宽度。
在一些实施例中，第一外锯齿OS1的多个外延伸部GP至少包括第一延伸子部a21；第一延伸子部a21在第三方向D3上与第一叉指电极11交叠。例如，第一延伸子部a21在压电基板100上的正投影可位于相应的第一叉指电极11在压电基板100上的正投影范围内。
例如，多个第一延伸子部a21可与多个第一叉指电极11一一对应设置，每个第一延伸子部a21均与相应的第一叉指电极11（例如，其连接部11d和/或第二末端部11c）在第三方向D3上交叠。
在一些实施例中，第二外锯齿OS2的多个外延伸部GP至少包括第二延伸子部b21；第二延伸子部b21在第三方向D3上与第二叉指电极12交叠。例如，第二延伸子部b21在压电基板100上的正投影可位于相应的第二叉指电极12在压电基板100上的正投影范围内。
例如，多个第二延伸子部b21可与多个第二叉指电极12一一对应设置，且每个第二延伸子部b21均与相应的第二叉指电极12（例如，其连接部12d和/或第二末端部12c）在第三方向D3上交叠。
在一些实施例中，第一延伸子部a21在第一方向上延伸超出多个叉指电极的末端部分，且与第一叉指电极11的连接部11d的部分在第三方向D3上交叠，第二延伸子部b21在第一方向上延伸超出多个叉指电极的末端部分，且与第二叉指电极12的连接部12d的部分在第三方向D3上交叠。
在一些实施例中，在彼此交叠的第一延伸子部a21和第一叉指电极11中，第一延伸子部a21在第二方向D2上的宽度可大致等于第一叉指电极11在第二方向D2上的宽度。第一延伸子部a21在第二方向D2上的相对侧壁可分别与第一叉指电极11在第二方向D2上的相对侧壁的部分在第三方向D3上彼此对齐。在彼此交叠的第二延伸子部b21和第二叉指电极12中，第二延伸子部b21在第二方向D2上的宽度可大致等于第二叉指电极12在第二方向D2上的宽度。第二延伸子部b21在第二方向D2上的相对侧壁可分别与第二叉指电极12在第二方向上D2上的相对侧壁的部分在第三方向D3上彼此对齐。此处，延伸子部或叉指电极在第二方向上的相对侧壁是指其各自的沿第一方向D1延伸且在第二方向D2上彼此相对的两个侧壁。
在替代实施例中，在彼此交叠的第一延伸子部a21和第一叉指电极11中，第一延伸子部a21在第二方向D2上的宽度也可小于相应的第一叉指电极11在第二方向D2上的宽度。类似的，在彼此交叠的第二延伸子部b21和第二叉指电极12中，第二延伸子部b21在第二方向D2上的宽度也可小于第二叉指电极12在第二方向D2上的宽度。
在一些实施例中，在彼此交叠的延伸子部和叉指电极中，将延伸子部的宽度设置的小于等于相应叉指电极的宽度，且使得延伸子部在压电基板上的正投影位于相应叉指电极的正投影范围内，可使得延伸子部在具有一定面积（例如，相对较小面积）的情况下与叉指电极的交叠面积最大化，从而可在减小导电结构（例如，金属结构）的金属覆盖面积以减小欧姆损耗的同时最大程度的提高其抑制杂波的能力。
在一些实施例中，在第一外锯齿OS1和/或第二外锯齿OS2中，多个外延伸部可还包括附加延伸子部。例如，第一外锯齿的多个外延伸部还包括第一附加延伸子部，第一附加延伸子部在压电基板上的正投影与第二叉指电极在压电基板上的正投影在第一方向上至少部分对齐；第二外锯齿的多个外延伸部还包括第二附加延伸子部，所述第二附加延伸子部在压电基板上的正投影与第一叉指电极在压电基板上的正投影在第一方向上至少部分对齐。
参考图4B，例如，附加延伸子部的至少部分可位于周边区中，且在垂直于压电基板主表面的方向上不与叉指电极交叠。例如，在第一锯齿部106a2中，第一外锯齿OS1的多个外延伸部GP还包括一或多个第一附加延伸子部a22，第一附加延伸子部a22在第二方向D2上位于第一延伸子部a21的一侧，并与第一延伸子部a21间隔开。在一些实施例中，第一附加延伸子部a22可设置在与第二叉指电极12对应的位置处，且在第一方向D1上延伸超出第二电极边缘12e，第一附加延伸子部a22在压电基板上的正投影可与第二叉指电极12在压电基板上的正投影在第一方向D1上至少部分对齐，且第一附加延伸子部a22的所述正投影位于第二叉指电极12的所述正投影的靠近第一叉指电极引出部21的一侧。例如，第一附加延伸子部a22的所述正投影可与第二叉指电极12的第二电极边缘12e在压电基板上的正投影邻接但不交叠。
在一些实施例中，在第一锯齿部106a2中，第一外锯齿OS1的多个外延伸部GP包括多个第一延伸子部a21和多个第一附加延伸子部a22，多个第一延伸子部a21和多个第一附加延伸子部a22可沿第二方向D2交替排列，且彼此间隔开。
例如，在第二锯齿部106b2中，第二外锯齿OS2的多个外延伸部GP还包括一或多个第二附加延伸子部b22，第二附加延伸子部b22在第二方向D2上位于第二延伸子部b21的一侧，并与第二延伸子部b21间隔开。在一些实施例中，第二附加延伸子部b22可设置在与第一叉指电极11对应的位置处，且在第一方向D1上延伸超出第一电极边缘11e，第二附加延伸子部b22在压电基板上的正投影可与第一叉指电极11在压电基板上的正投影在第一方向D1上至少部分对齐，且第二附加延伸子部b22的所述正投影位于第一叉指电极11的所述正投影的靠近第二叉指电极引出部22的一侧。例如，第二附加延伸子部b22的所述正投影可与第一叉指电极11的第一电极边缘11e在压电基板上的正投影邻接但不交叠。
在一些实施例中，在第二锯齿部106b2中，第二外锯齿OS2的多个外延伸部GP包括多个第二延伸子部b21和多个第二附加延伸子部b22，多个第二延伸子部b21和多个第二附加延伸子部b22可沿第二方向D2交替排列，且彼此间隔开。
参考图4A、图4B和图5A至图5D，在一些实施例中，主体结构的靠近周边区的第二侧壁在压电基板上的正投影可与相应电极边缘在压电基板上的正投影在第二方向D2上大致对齐。例如，第一主体部106a1的第二侧壁sw2在压电基板100上的正投影可与第二叉指电极12的第二电极边缘12e在压电基板100上的正投影在第二方向D2上大致对齐。例如，第二主体部106b1的第二侧壁sw2在压电基板100上的正投影可与第一叉指电极11的第一电极边缘11e在压电基板100上的正投影在第二方向D2上大致对齐。换句话说，主体部和外锯齿之间的边界可与相应的电极边缘在垂直于压电基板主表面的第三方向上大致对齐。例如，第一主体部106a1和第一外锯齿OS1之间的边界可在第三方向D3上与第二电极边缘12e大致对齐；第二主体部106b1和第二外锯齿OS2之间的边界可在第三方向D3上与第一电极边缘11e大致对齐。然而，本公开并不以此为限。
在此实施例中，主体结构BP和第一锯齿结构SP1均位于末端区中，第二锯齿结构SP2可整体均位于周边区GR中。例如，第一外锯齿OS1可整体在第一方向D1上延伸超出第二电极边缘12e，且均位于第一周边区GR1中；其中第一延伸子部a21在压电基板上的正投影位于第一叉指电极11的连接部11d在压电基板上的正投影范围内，且整个第一附加延伸子部a22延伸超出第二电极边缘12e，而在第三方向上不与第二电极12交叠。第二外锯齿OS2可整体在第一方向D1上延伸超出第一电极边缘11e，且均位于第二周边区GR2中；其中第二延伸子部b21在压电基板100上的正投影位于第二叉指电极12的连接部12d在压电基板上的正投影内，且整个第二附加延伸子部b22延伸超出第一电极边缘11e，而在第三方向上不与第一电极11交叠。
在一些实施例中，如图4B所示，在第一方向D1上，第一主体部106a1的第二侧壁sw2与第一叉指电极引出部21之间的距离d1与第一周边宽度gw1大致相同；第二主体部106b1的第二侧壁sw2与第二叉指电极引出部22之间的距离可与第二周边宽度gw2大致相同。
在此实施例中，第一锯齿部106a2在第一方向D1上的宽度（即，第一内锯齿IS1和第一外锯齿OS1在第一方向D1上的宽度之和）小于等于第一周边宽度gw1的20%；第二锯齿部106b2在第一方向D1上的宽度（即，第二内锯齿IS2和第二外锯齿OS2在第一方向D1上的宽度之和）小于等于第二周边宽度gw2的20%。第一内锯齿IS1和第一外锯齿OS1在第一方向D1上的宽度可彼此相同或不同；第二内锯齿IS2和第二外锯齿OS2在第一方向D1上的宽度可彼此相同或不同。第一内锯齿IS1在第一方向D1上的宽度即为其内延伸部EP在第一方向D1上的延伸长度L11，第一外锯齿OS1在第一方向D1上的宽度即为其外延伸部GP在第一方向D1上的延伸长度L12。第二内锯齿IS2在第一方向D1上的宽度即为其内延伸部EP在第一方向D1上的延伸长度L21，第二外锯齿OS2在第一方向D1上的宽度即为其外延伸部GP在第一方向D1上的延伸长度L22。
应理解，多个内延伸部EP的延伸长度可彼此相同或不同，多个外延伸部GP的延伸长度可彼此相同或不同。例如，在各锯齿部中，在第一方向上对齐的内延伸部和外延伸部构成一组延伸部，且在一些实施例中每组延伸部中内延伸部和外延伸部的延伸长度之和均在相应周边宽度的20%以内。
在一些实施例中，第一周边宽度gw1和第二周边宽度gw2的范围可各自在波长的0.1至2倍以内。第一主体部106a1的宽度W1和第二主体部106b1的宽度W2可各自设置在波长的0.25至0.5倍以内。在第一方向上第一锯齿部106a2的宽度（即，第一内锯齿和第一外锯齿的宽度之和）和第二锯齿部106b2的宽度（即，第二内锯齿和第二外锯齿的宽度之和）可各自设置在波长的0.1至0.5倍以内。例如，在第一方向上第一内锯齿的宽度和第第一外锯齿的宽度可各自设置在波长的0.1至0.25倍以内，第二内锯齿的宽度和第二外锯齿的宽度可各自设置在波长的0.1至0.25倍以内。然而，本公开并不以此为限。
在一些实施例中，在导电结构中，主体部、第一锯齿部、第二锯齿部在垂直于压电基板主表面的方向上的厚度可彼此大致相同或不同。例如，主体结构BP的各主体部、第一锯齿结构SP1的各内锯齿和第二锯齿结构SP2的各外锯齿各自的归一化厚度范围可为约0.03至0.12。
继续参考图4A、图4B以及图5A至图5D，在一些实施例中，在第一导电层106a和第二导电层106b的各导电层中，多个内延伸部EP的数量可等于多个外延伸部GP的数量，且内延伸部EP的数量、外延伸部GP的数量可等于叉指换能器中多个叉指电极的数量；其中每组延伸部与相应的叉指电极对应设置。在每组延伸部中，内延伸部在第二方向上的宽度可与外延伸部在第二方向上的宽度相同或不同，且内延伸部在第一方向上的延伸长度可与外延伸部在第一方向上的延伸长度相同或不同。
在一些实施例中，在第一导电层或第二导电层中，在第二方向D2上，多个内延伸部EP中相邻内延伸部之间的间距可与多个外延伸部GP中相邻外延伸部之间的间距相同或不同；例如，多个内延伸部EP中相邻内延伸部之间的间距可小于或等于多个外延伸部GP中相邻外延伸部之间的间距。
在一些实施例中，第一内锯齿IS1可与第一外锯齿OS1相对于第一主体部106a1对称设置；和/或第二内锯齿IS2可与第二外锯齿OS2相对于第二主体部106b1对称设置。例如，在第二方向D2上，第一锯齿部106a2和/或第二锯齿部106b2中相邻内延伸部EP之间的间距以及相邻外延伸部GP之间的间距可大致等于相邻叉指电极之间的间距。在各锯齿部中，每组延伸部中内延伸部和外延伸部在第二方向上的宽度可大致等于相应的第一叉指电极或第二叉指电极在第二方向上的宽度，且所述内延伸部和外延伸部的沿第一方向延伸的侧壁在压电基板上的正投影与相应叉指电极的沿第一方向延伸的侧壁在压电基板上的正投影在第一方向上对齐。
参考图4A，与前述实施例类似，第一导电层106a和第二导电层106b可延伸至与反射栅交叠，且分别包括第一附加锯齿结构AS1和第二附加锯齿结构AS2。在此实施例中，第一附加锯齿结构AS1在第一方向D1上位于第一主体部的相对两侧，第二附加锯齿结构AS2在第一方向D1上位于第二主体部的相对两侧。例如，第一附加锯齿结构AS1包括第一附加内锯齿和第一附加外锯齿，第一附加内锯齿可包括在第二方向上间隔排列的多个第一附加内延伸部AP11，第一附加外锯齿可包括在第二方向上间隔排列的多个第一附加外延伸部AP12。第一附加内延伸部AP11在第一方向D1上远离第一周边区GR1而凸出于第一主体部的第一侧壁，第一附加外延伸部AP12在第一方向D1上朝向第一周边区GR1而凸出于第一主体部的第二侧壁。第二附加锯齿结构AS2包括第二附加内锯齿和第二附加外锯齿，第二附加内锯齿可包括在第二方向上间隔排列的多个第二附加内延伸部AP21，第二附加外锯齿可包括在第二方向上间隔排列的多个第二附加外延伸部AP22。第二附加内延伸部AP21在第一方向D1上远离第二周边区GR2而凸出于第二主体部的第一侧壁，第二附加外延伸部AP22在第一方向D1上朝向第二周边区GR2而凸出于第二主体部的第二侧壁。
在一些实施例中，在各附加锯齿结构中，多个附加内延伸部可分别与多个附加外延伸部在第一方向上对齐，且多个附加内延伸部和多个附加延伸部在压电基板上的正投影可位于反射栅（例如，其多个反射电极）在压电基板上的正投影范围内。
图6A示出根据本公开又一些实施例的声表面波谐振器装置500d的示意性俯视图；图6B示出图6A的区域D的示意性放大俯视图。声表面波谐振器装置500d与声表面波谐振器装置500c类似，差异在于，在声表面波谐振器装置500d中省略了外锯齿中的附加延伸子部。
参考图6A和图6B，在一些实施例中，在第一锯齿部106a2中，第一外锯齿OS1的多个外延伸部GP包括第一延伸子部a21，而可不包括图4A和图4B所示的第一附加延伸子部a22。在第二锯齿部106b2中，第二外锯齿OS2的多个外延伸部GP包括第二延伸子部b21，而可不包括图4A和图4B所示的第二附加延伸子部b22。
在此实施例中，在各导电层中，内锯齿中多个内延伸部的数量大于外锯齿中多个外延伸部的数量；多个外延伸部GP中相邻两个外延伸部之间的间距s3可大于多个内延伸部EP中相邻内延伸部之间的间距s1，且可大于相邻叉指电极之间的间距s2。应理解，该些间距均是指在第二方向上的间距。
在第一导电层106a中，第一主体部106a1的第二侧壁sw2可具有在第三方向D3上与第二电极边缘12e对齐的部分，第一外锯齿OS1的多个外延伸部GP位于第一周边区GR1中，且可分别与多个第一叉指电极（例如，其连接部）在第三方向上交叠。例如，第一外锯齿OS1在压电基板上的正投影可均位于多个第一叉指电极在压电基板上的正投影范围内。在此示例中，第一内锯齿IS1和第一外锯齿OS1在压电基板上的正投影可均位于多个叉指电极在压电基板上的正投影范围内。
在第二导电层106b中，第二主体部106b1的第二侧壁sw2可具有在第三方向D3上与第一电极边缘11e对齐的部分，第二外锯齿OS2的多个外延伸部GP位于第二周边区GR2中，且可分别与多个第二叉指电极（例如，其连接部）在第三方向上交叠。例如，第二外锯齿OS2在压电基板上的正投影可均位于多个第二叉指电极在压电基板上的正投影范围内。在此示例中，第二内锯齿IS2和第二外锯齿OS2在压电基板上的正投影可均位于多个叉指电极在压电基板上的正投影范围内。
在图4A至图6B所示的实施例中，主体部和外锯齿之间的边界与相应的电极边缘对齐，且主体部和内锯齿均位于末端区中与多个叉指电极的末端部分交叠，外锯齿均位于周边区中与多个叉指电极的连接部交叠，但本公开并不以此为限。在替代实施例中，主体部和外锯齿之间的边界（或主体部的第二侧壁）也可在第一方向上相对于相应的电极边缘偏移，使得主体部可位于末端区和周边区两者中，或者外锯齿可位于末端区和周边区两者中。以下结合图式对替代实施例的一些示例进行说明。
在一些示例中，第二锯齿结构还包括以下中的至少一者：第一外锯齿可还包括与第二叉指电极在第三方向上交叠的部分；第二外锯齿可还包括与第一叉指电极在第三方向上交叠的部分。
图7A示出根据本公开又一些实施例的声表面波谐振器装置500e的示意性俯视图；图7B示出图7A的区域D的示意性放大俯视图。声表面波谐振器装置500e与声表面波谐振器装置500c结构类似，差异在于：在声表面波谐振器装置500e中，主体结构的第二侧壁在第一方向上相对于第一电极边缘和/或第二电极边缘远离相应的周边区而偏移。
参考图7A和图7B，在一些实施例中，在第一导电层106a中，第一主体部106a1和第一外锯齿OS1之间的边界（或第一主体部106a1的第二侧壁sw2）可在第一方向D1上相对于第二电极边缘12e远离第一周边区GR1而偏移；即，在第一方向D1上，第一主体部106a1的第二侧壁sw2与第一叉指电极引出部21之间的距离d1大于第二电极边缘12e与第一叉指电极引出部21之间的距离（即，第一周边宽度gw1）。在第二导电层106b中，第二主体部106b1和第二外锯齿OS2之间的边界（或第二主体部106b1的第二侧壁sw2）可在第一方向D1上相对于第一电极边缘11e远离第二周边区GR2而偏移；即，在第一方向D1上，第二主体部106b1的第二侧壁sw2与第二叉指电极引出部22之间的距离d2大于第一电极边缘11e与第二叉指电极引出部22之间的距离（即，第二周边宽度gw2）。
在此实施例中，多个叉指电极的末端部分在第三方向D3上不仅与导电结构的主体结构BP和第一锯齿结构SP1交叠，且还与部分第二锯齿结构SP2交叠。例如，在第三方向D3上，第一叉指电极11的第二末端部11c和第二叉指电极12的第一末端部12b与第一主体部106a1和第一内锯齿IS1交叠，且还与第一外锯齿OS1交叠；第一叉指电极11的第一末端部11b和第二叉指电极12的第二末端部12c与第二主体部106b1和第二内锯齿IS2交叠，且还与第二外锯齿OS2交叠。
第一外锯齿OS1和第二外锯齿OS2各自从末端区延伸至周边区中，即，各外锯齿的一部分位于末端区中，另一部分在第一方向上延伸超出相应的电极边缘并位于周边区中。在此示例中，第一外锯齿的第一附加延伸子部在压电基板上的正投影可与第二叉指电极在压电基板上的正投影部分交叠，第二外锯齿的第二附加延伸子部在压电基板上的正投影可与第一叉指电极在压电基板上的正投影部分交叠。
在第一外锯齿OS1的多个外延伸部GP中，第一延伸子部a21的部分在第三方向上与第一叉指电极11的第二末端部11c交叠，且第一延伸子部a21的另一部分在第三方向上与第一叉指电极的连接部11d交叠；第一附加延伸子部a22的部分与第二叉指电极12的第一末端部12b在第三方向上交叠，且第一附加延伸子部a22的另一部分延伸超出第二电极边缘12e，从而在第三方向上不与叉指电极交叠。
在第二外锯齿OS2的多个外延伸部GP中，第二延伸子部b21的部分在第三方向上与第二叉指电极12的第二末端部12c交叠，且第二延伸子部b21的另一部分在第三方向上与第二叉指电极12的连接部12d交叠；第二附加延伸子部b22的部分在第三方向上与第一叉指电极11的第一末端部11b交叠，且第二附加延伸子部b22的另一部分在第一方向上延伸超出第一电极边缘11e，从而在第三方向上不与叉指电极交叠。在多个外延伸部中，延伸子部在第一方向上的延伸长度与附加延伸子部在第一方向上的延伸长度相同或不同。例如，延伸子部的所述延伸长度可大于等于附加延伸子部的所述延伸长度。
在一些替代实施例中，可将图7A和图7B中所示的第一附加延伸子部a22和第二附加延伸子部b22的延伸超出相应电极边缘的部分移除，从而使得附加延伸子部在压电基板上的正投影也位于相应叉指电极在压电基板上的正投影范围内。在此示例中，在各锯齿部中，延伸子部在第一方向上的宽度可大于附加延伸子部在第一方向上的宽度。
图8A示出根据本公开又另一些实施例的声表面波谐振器装置500f的示意性俯视图，图8B示出图8A的区域D的示意性放大俯视图。声表面波谐振器装置500f与声表面波谐振器装置500c结构类似，差异在于：在声表面波谐振器装置500f中，主体结构的第二侧壁在第一方向上相对于第一电极边缘和/或第二电极边缘朝向相应的周边区而偏移。
参考图8A和图8B，在一些实施例中，在第一导电层106a中，第一主体部106a1和第一外锯齿OS1之间的边界（或第一主体部106a1的第二侧壁sw2）可在第一方向D1上相对于第二电极边缘12e朝向第一周边区GR1和第一叉指电极引出部而偏移；即，在第一方向D1上，第一主体部106a1的第二侧壁sw2与第一叉指电极引出部21之间的距离d1小于第二电极边缘12e与第一叉指电极引出部21之间的距离（即，第一周边宽度gw1）。在第二导电层106b中，第二主体部106b1和第二外锯齿OS2之间的边界（或第二主体部106b1的第二侧壁sw2）可在第一方向D1上相对于第一电极边缘11e朝向第二周边区GR2和第二叉指电极引出部而偏移；即，在第一方向D1上，第二主体部106b1的第二侧壁sw2与第二叉指电极引出部22之间的距离d2小于第一电极边缘11e与第二叉指电极引出部22之间的距离（即，第二周边宽度gw2）。
在此实施例中，各导电层的主体部在第一方向上延伸超出相应的电极边缘，且在第三方向上与多个叉指电极的末端部分以及相应叉指电极的连接部的一部分交叠，且各外锯齿均位于周边区中。在第三方向上，多个叉指电极的末端部分与导电结构的主体结构和第一锯齿结构交叠，且多个叉指电极的连接部可与导电结构的主体结构以及第二锯齿结构交叠。
例如，第一主体部106a1在第一方向D1上延伸超出第二电极边缘12e，多个叉指电极的位于第一末端区E1的末端部分在第三方向上与第一主体部106a1的部分和第一内锯齿IS1交叠；多个第一叉指电极11的连接部11d的一部分在第三方向D3上与第一外锯齿OS1交叠，且与第一主体部106a1的部分交叠。
例如，第二主体部106b1在第一方向D1上延伸超出第一电极边缘11e，多个叉指电极的位于第二末端区E2的末端部分在第三方向上与第二主体部106b1的部分和第二内锯齿IS2交叠；多个第二叉指电极12的连接部12d的一部分在第三方向D3上与第二外锯齿OS2交叠，且与第二主体部106b1的部分交叠。在此示例中，第一附加延伸子部a22在压电基板上的正投影与第二叉指电极12在压电基板上的正投影偏置开，第二附加延伸子部b22在压电基板上的正投影与第一叉指电极11在压电基板上的正投影偏置开。在替代实施例中，也可将此示例中各锯齿部的附加延伸子部（即，第一附加延伸子部a22和第二附加延伸子部b22）移除。
图9A示出根据本公开再一些实施例的声表面波谐振器装置500g的示意性俯视图，图9B示出图9A的区域D的示意性放大俯视图。声表面波谐振器装置500g与声表面波谐振器装置500c的结构类似，差异在于：在声表面波谐振器装置500g中，导电结构的主体结构、第一锯齿结构和第二锯齿结构均位于末端区中，而不延伸至周边区中。
参考图9A和图9B，在一些实施例中，导电结构106的主体结构BP、第一锯齿结构SP1和第二锯齿结构SP2可均位于末端区中，而不会延伸至周边区中。第二锯齿结构SP2可具有在第三方向D3上与第一电极边缘11e和/或第二电极边缘12e对齐的侧壁。第一叉指电极和第二叉指电极的末端部分在第三方向D3上与导电结构的主体结构、第一锯齿结构和第二锯齿结构交叠。第一锯齿结构的每个内延伸部和第二锯齿结构的每个外延伸部可均与相应叉指电极在第三方向上交叠，且每个延伸部在压电基板上的正投影可位于相应叉指电极在压电基板上的正投影范围内。
例如，在第一导电层106中，第一主体部106a1、第一内锯齿IS1和第一外锯齿OS1均位于第一末端区E1中，每个第一叉指电极11的第二末端部11c、每个第二叉指电极12的第一末端部12b可均具有在第三方向上与第一主体部106a1交叠的一部分、与第一内锯齿IS1交叠的一部分以及与第一外锯齿OS1交叠的一部分。第一外锯齿OS1可具有在第三方向D3上与第二电极边缘12e对齐的侧壁（例如，第一附加延伸子部a22的侧壁）。在此示例中，第一延伸子部a21在压电基板上的正投影位于第一叉指电极11在压电基板上的正投影范围内，且第一附加延伸子部a22在压电基板上的正投影位于第二叉指电极12在压电基板上的正投影范围内。
例如，在第二导电层中，第二主体部106b1、第二内锯齿IS2和第二外锯齿OS2均位于第二末端区E2中，每个第一叉指电极11的第一末端部11b、每个第二叉指电极12的第二末端部12c可均具有在第三方向D3上与第二主体部106b1交叠的一部分、与第二内锯齿IS2交叠的一部分以及与第二外锯齿OS2交叠的一部分。第二外锯齿OS2可具有与第一电极边缘11e在第三方向D3上对齐的侧壁（例如，第二附加延伸子部b22的侧壁）。在此示例中，第二延伸子部b21在压电基板上的正投影位于第二叉指电极12在压电基板上的正投影范围内，且第二附加延伸子部b22在压电基板上的正投影位于第一叉指电极11在压电基板上的正投影范围内。在此实施例中，第一叉指电极11的连接部11d和第二叉指电极12的连接部12d在第三方向D3上不与导电结构交叠；即，第一叉指电极11的连接部11d和第二叉指电极12的连接部12d在压电基板100上的正投影与导电结构106在压电基板100上的正投影偏置开。
图7A至图9B所示的实施例基于声表面波谐振器500c来示出导电结构在第一方向上偏移的各种示例，应理解，也可基于声表面波谐振器500d做类似的变化，使得其导电结构在第一方向上偏移，从而获得其他替代实施例。此外，在图7A至图9B等替代实施例中，将导电结构在第一方向上偏移之后，各导电层中主体部、内锯齿和外锯齿在第一方向D1上的宽度可根据产品设计和需要进行适当的调整，以符合产品需求并保证导电结构抑制杂波的能力。
本公开实施例还提供一种滤波器，包括上述任一项所述的声表面波谐振器装置，且所述滤波器具有上文针对声表面波谐振器描述的相同技术效果。
参考图1A至图9B，本公开实施例提供一种声表面波谐振器装置的制造方法，在一些实施例中，所述制造方法包括：提供压电基板100、在所述压电基板100的一侧形成叉指换能器以及在叉指换能器的远离压电基板的一侧形成导电结构。
压电基板100可包括压电晶体、压电陶瓷等合适的压电材料。举例来说，压电基板100的材料可包括氮化铝（AlN）、经掺杂的氮化铝、氧化锌（ZnO）、锆钛酸铅（PZT）、铌酸锂（LiNbO3）、石英（Quartz）、铌酸钾（KNbO3）、钽酸锂（LiTaO3）、其类似物或其组合。在一些实施例中，压电基板100可为单层结构或多层结构，例如可为压电薄膜复合结构，例如是钽酸锂压电薄膜/二氧化硅/硅衬底的复合结构。在一些实施例中，压电基板100可为单晶压电基板。然而，本公开并不以此为限。
在一些实施例中，叉指换能器可包括金属材料，例如可包括Ti、Cr、Ag、Cu、Mo、Pt、W、Al等金属材料中的一或多者。可通过蒸镀等沉积工艺以及图案化工艺来形成叉指换能器。例如，形成叉指换能器包括在压电基板上沉积形成电极材料层，以及对所述电极材料层进行图案化工艺。电极材料层可为单层或多层结构，例如可为上述金属材料中的两者或两者以上的组合叠层。在一些实施例中，在压电基板100上形成有反射栅102，且反射栅102和叉指换能器101可由同一所述图案化工艺形成自所述电极材料层。叉指换能器101和反射栅102的具体结构可参考上文描述，于此不再赘述。
在一些实施例中，所述制造方法还包括：在形成导电结构106之前，在压电基板100上形成介电层102，以覆盖叉指换能器101和反射栅102的侧壁及其远离压电基板100一侧的表面。介电层102可包括氧化硅等介电材料，且可用作温度补偿层。在一些实施例中，所述制造方法可还包括：在形成介电层102之前，在压电基板100上形成保护层（未示出），保护层沿着叉指换能器和反射栅的表面延伸，并将叉指换能器和反射栅与后续形成的介电层102间隔开，保护层可保护叉指换能器和反射栅，避免其被氧化，例如避免叉指换能器和反射栅在形成介电层102的过程中被氧化。
在一些实施例中，在形成介电层102之后，在介电层102的远离压电基板100的一侧形成导电结构106，以作为杂波抑制结构。导电结构106可包括金属结构，且可包括金、钨、银、钛、铂、铝、铜、钼、其类似物、其合金或其组合等金属材料。所述金属结构可包括通过蒸镀等沉积工艺在介电层102的远离压电基板100的一侧形成金属材料层以及对所述金属材料层进行图案化工艺而形成。
在本公开实施例中，导电结构的各导电层包括主体部和锯齿部，主体部和锯齿部彼此相连且一体成型；其中将主体部设置成沿第二方向连续延伸跨过多个叉指电极，且锯齿部包括间隔排列的多个延伸部。如此一来，一方面主体部连续延伸且连接锯齿部可提高在制造工艺中形成导电结构的稳定性，另一方面设置锯齿部可在提高导电结构的杂波抑制能力的同时相对减小导电结构的整体金属覆盖面积，从而减小欧姆损耗，提升装置性能。
在一些实施例中，所述制造方法还包括：在形成导电结构106之后，在介电层102的远离压电基板的一侧形成介电层108；形成第一导电连接件31和第二导电连接件32，以分别连接至第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部；以及形成钝化层110，并移除钝化层110的一部分，以形成第一钝化开口和第二钝化开口。
图10A示出传统声表面波谐振器装置以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500a的导纳响应图，其中示出传统声表面波谐振器装置的导纳频率响应（admittance vsfrequency response）曲线C1a（以实线示出）以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500a的导纳频率响应曲线C1b（以虚线示出）。图10B示出传统声表面波谐振器装置以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500a的实部响应图，其中示出传统声表面波谐振器装置的实部频率响应曲线C2a（以实线示出）以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500a的实部频率响应曲线C2b（以虚线示出）。
参照图10A和图10B，应理解，频率响应曲线的杂散尖峰越多代表谐振器的杂波越多，且频率响应曲线越平滑代表谐振器的杂波越少。对比传统声表面波谐振器装置的导纳频率响应曲线C1a和实部频率响应曲线C2a以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500a的导纳频率响应曲线C1b和实部频率响应曲线C2b可知；在特定频率范围内，例如，在一些示例中，在1.737E9至1.803E9赫兹（Hz）的频率范围内，传统谐振器的导纳频率响应曲线C1a和实部频率响应曲线C2a均存在多个杂散尖峰，即存在多个杂散模态的杂波；而声表面波谐振器结构500a的导纳频率响应曲线C1b和实部频率响应曲线C2b均平滑且无明显杂散尖峰，这是由于通过设置包括主体结构和第一锯齿结构的导电结构106，抑制了杂波的形成和/或传播，且通过上述结构设置提高了导电结构106的杂波抑制能力。如此一来，避免或减小了能量损失，从而提高了谐振器性能。
图11A示出传统声表面波谐振器装置以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500c的导纳响应图，其中示出传统声表面波谐振器装置的导纳频率响应曲线C3a（以实线示出）以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500c的导纳频率响应曲线C3b（以虚线示出）。图11B示出传统声表面波谐振器装置以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500c的实部响应图，其中示出传统声表面波谐振器装置的实部频率响应曲线C4a（以实线示出）以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500c的实部频率响应曲线C4b（以虚线示出）。
参照图11A和图11B，对比传统声表面波谐振器装置的导纳频率响应曲线C3a和实部频率响应曲线C4a以及本公开实施例的声表面波谐振器装置500c的导纳频率响应曲线C3b和实部频率响应曲线C4b可知；在特定频率范围内，例如，在一些示例中，在1.830E9至1.884E9赫兹（Hz）的频率范围内，传统谐振器的导纳频率响应曲线C3a和实部频率响应曲线C4a均存在多个杂散尖峰，即存在多个杂散模态的杂波；而声表面波谐振器结构500c的导纳频率响应曲线C3b和实部频率响应曲线C4b均平滑且无明显杂散尖峰，这是由于通过设置包括主体结构、第一锯齿结构和第二锯齿结构的导电结构106，抑制了杂波的形成和/或传播，且通过上述结构设置提高了导电结构106的杂波抑制能力。如此一来，避免或减小了能量损失，从而提高了谐振器性能。
应理解，在各种实施例中，可对主体结构、第一锯齿结构和/或第二锯齿结构的位置和/或相关尺寸进行调节，以使得导电结构可针对所需频率的谐振器装置进行杂波抑制，且具有提高的杂波抑制能力。
有以下几点需要说明：
（1）本公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。
（2）在不冲突的情况下，本公开同一实施例及不同实施例中的特征可以相互组合。
以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (35)

1.一种声表面波谐振器装置，具有主体区和周边区，且所述周边区包括在第一方向上位于所述主体区相对两侧的第一周边区和第二周边区，所述声表面波谐振器装置包括：
压电基板；
叉指换能器，设置于所述压电基板的一侧，且包括多个叉指电极、第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部，所述多个叉指电极包括沿所述第一方向延伸且沿与所述第一方向相交的第二方向交替排列的第一叉指电极和第二叉指电极；其中所述第一叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第一周边区以与所述第一叉指电极引出部连接，所述第二叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第二周边区以与所述第二叉指电极引出部连接；以及
导电结构，设置于所述叉指换能器的远离所述压电基板的一侧，且在垂直于所述压电基板的主表面的第三方向上至少与所述多个叉指电极的靠近所述周边区的末端部分交叠，
其中所述导电结构至少包括主体结构和第一锯齿结构，所述主体结构沿所述第二方向连续延伸跨过所述多个叉指电极，所述第一锯齿结构在所述第一方向上位于所述主体结构的远离所述周边区的一侧，且所述主体结构的至少部分和所述第一锯齿结构在所述第三方向上与所述多个叉指电极的所述末端部分交叠。
2. 根据权利要求1所述的声表面波谐振器装置，其中
所述主体结构在所述第三方向上与所述多个叉指电极交叠，且与相邻叉指电极之间的间隙交叠；以及
所述第一锯齿结构在所述压电基板上的正投影与所述相邻叉指电极之间的间隙在所述压电基板上的正投影偏置开。
3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一锯齿结构在所述压电基板上的正投影位于所述多个叉指电极在所述压电基板上的正投影范围内。
4. 根据权利要求1所述的声表面波谐振器装置，其中所述导电结构包括：
第一导电层，包括彼此相连的第一主体部和第一锯齿部，所述第一锯齿部至少包括第一内锯齿，位于所述第一主体部的远离所述第一周边区的一侧；以及
第二导电层，在所述第一方向上与所述第一导电层并排设置，且包括彼此相连的第二主体部和第二锯齿部，所述第二锯齿部至少包括第二内锯齿，位于所述第二主体部的远离所述第二周边区的一侧，所述第一主体部和所述第二主体部构成所述主体结构，且所述第一内锯齿和所述第二内锯齿构成所述第一锯齿结构，
其中所述第一主体部和所述第二主体部各自具有在所述第一方向上彼此相对的第一侧壁和第二侧壁，且所述第一内锯齿和所述第二内锯齿各自包括凸出于相应主体部的第一侧壁的多个内延伸部，所述多个内延伸部沿所述第二方向间隔排列，且分别与所述多个叉指电极在所述第三方向上交叠。
5.根据权利要求4所述的声表面波谐振器装置，其中
在所述第一内锯齿或所述第二内锯齿中，在彼此交叠的内延伸部和叉指电极中，所述内延伸部在所述压电基板上的正投影位于所述叉指电极在所述压电基板上的正投影范围内。
6.根据权利要求4所述的声表面波谐振器装置，其中
在所述第一内锯齿或所述第二内锯齿中，在所述第二方向上所述多个内延伸部中相邻内延伸部之间的间距大于或等于所述多个叉指电极中相邻叉指电极之间的间距。
7.根据权利要求4所述的声表面波谐振器装置，其中在彼此交叠的内延伸部和叉指电极中，所述内延伸部在所述第二方向上的宽度小于或等于所述叉指电极在所述第二方向上的宽度。
8.根据权利要求4所述的声表面波谐振器装置，其中在彼此交叠的内延伸部和叉指电极中，所述内延伸部在所述第二方向上彼此相对的两个侧壁分别与所述叉指电极在所述第二方向上彼此相对的两个侧壁在所述第三方向上对齐。
9.根据权利要求4所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一叉指电极具有在所述第一方向上远离所述第一叉指电极引出部的第一电极边缘；所述第二叉指电极具有在所述第一方向上远离所述第二叉指电极引出部的第二电极边缘，
其中所述第一主体部的第二侧壁和所述第二电极边缘在所述第三方向上彼此对齐；所述第二主体部的第二侧壁和所述第一电极边缘在所述第三方向上彼此对齐。
10.根据权利要求9所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一周边区具有第一周边宽度，所述第一周边宽度由所述第二电极边缘与所述第一叉指电极引出部在所述第一方向上的间距界定，所述第二周边区具有第二周边宽度，且所述第二周边宽度由所述第一电极边缘与所述第二叉指电极引出部在所述第一方向上的间距界定；
所述第一内锯齿在所述第一方向上的宽度在所述第一周边宽度的20%以内，所述第二内锯齿在所述第一方向上的宽度在所述第二周边宽度的20%以内。
11.根据权利要求4所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一主体部的第二侧壁在所述第一方向上相对于所述第二叉指电极的第二电极边缘朝向所述第一叉指电极引出部而偏移，且所述第一主体部在所述第三方向上还与所述第一叉指电极的位于所述第一周边区的连接部交叠；或者
所述第二主体部的第二侧壁在所述第一方向上相对于所述第一叉指电极的第一电极边缘朝向所述第二叉指电极引出部而偏移，且所述第二主体部在所述第三方向上还与所述第二叉指电极的位于所述第二周边区的连接部交叠。
12.根据权利要求4-11中任一项所述的声表面波谐振器装置，其中所述导电结构还包括第二锯齿结构，所述第二锯齿结构在所述第一方向上位于所述主体结构的靠近所述周边区的一侧，且所述第二锯齿结构的至少部分与所述多个叉指电极在所述第三方向上交叠。
13. 根据权利要求12所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一叉指电极具有在所述第一方向上远离所述第一叉指电极引出部的第一电极边缘；所述第二叉指电极具有在所述第一方向上远离所述第二叉指电极引出部的第二电极边缘；
其中所述第二锯齿结构在所述第一方向上延伸超出所述第一电极边缘和所述第二电极边缘中的至少一者，且所述第二锯齿结构的至少部分位于所述周边区中；或者
所述第二锯齿结构具有在所述第三方向上与所述第一电极边缘或所述第二电极边缘对齐的侧壁。
14. 根据权利要求12所述的声表面波谐振器装置，其中所述第二锯齿结构在所述第三方向上与所述多个叉指电极的靠近所述周边区的末端部分以及位于所述周边区中的连接部中的至少一者交叠。
15.根据权利要求12所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一锯齿部还包括第一外锯齿，位于所述第一主体部的靠近所述第一周边区的一侧，所述第二锯齿部还包括第二外锯齿，位于所述第二主体部的靠近所述第二周边区的一侧；
所述第二锯齿结构包括所述第一外锯齿和所述第二外锯齿中的至少一者。
16.根据权利要求15所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一外锯齿和所述第二外锯齿各自包括多个外延伸部，所述多个外延伸部在所述第一方向上凸出于相应主体部的第二侧壁且沿所述第二方向间隔排列；
所述第一外锯齿的多个外延伸部至少包括第一延伸子部，所述第一延伸子部在所述第三方向上与所述第一叉指电极交叠；
所述第二外锯齿的多个外延伸部至少包括第二延伸子部，所述第二延伸子部在所述第三方向上与所述第二叉指电极交叠。
17. 根据权利要求16所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一延伸子部在所述压电基板上的正投影位于所述第一叉指电极在所述压电基板上的正投影范围内，所述第二延伸子部在所述压电基板上的正投影位于所述第二叉指电极在所述压电基板上的正投影范围内。
18.根据权利要求16所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一外锯齿的多个外延伸部还包括第一附加延伸子部，所述第一附加延伸子部在所述压电基板上的正投影与所述第二叉指电极在所述压电基板上的正投影在所述第一方向上至少部分对齐；以及
所述第二外锯齿的多个外延伸部还包括第二附加延伸子部，所述第二附加延伸子部在所述压电基板上的正投影与所述第一叉指电极在所述压电基板上的正投影在所述第一方向上至少部分对齐。
19.根据权利要求18所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一附加延伸子部的所述正投影与所述第二叉指电极的所述正投影邻接、偏置开或部分交叠，或者所述第一附加延伸子部的所述正投影位于所述第二叉指电极的所述正投影范围内；
所述第二附加延伸子部的所述正投影与所述第一叉指电极的所述正投影邻接、偏置开或部分交叠，或者所述第二附加延伸子部的所述正投影位于所述第一叉指电极的所述正投影范围内。
20.根据权利要求16所述的声表面波谐振器装置，其中在所述第一导电层或所述第二导电层中，所述多个内延伸部的数量大于或等于所述多个外延伸部的数量。
21. 根据权利要求16所述的声表面波谐振器装置，其中在所述第一导电层或所述第二导电层中，在所述第二方向上，所述多个内延伸部中相邻内延伸部之间的间距小于或等于所述多个外延伸部中相邻外延伸部之间的间距。
22. 根据权利要求15所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一内锯齿和所述第一外锯齿相对于所述第一主体部对称设置；和/或
所述第二内锯齿和所述第二外锯齿相对于所述第二主体部对称设置。
23.根据权利要求15所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一内锯齿和所述第一外锯齿在所述第一方向上的宽度彼此相同或不同；所述第二内锯齿和所述第二外锯齿在所述第一方向上的宽度彼此相同或不同。
24.根据权利要求15所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一主体部的第二侧壁在所述压电基板上的正投影与所述第二叉指电极的远离所述第二叉指电极引出部的第二电极边缘在所述压电基板上的正投影在所述第二方向上对齐；
所述第二主体部的第二侧壁在所述压电基板上的正投影与所述第一叉指电极的远离所述第一叉指电极引出部的第一电极边缘在所述压电基板上的正投影在所述第二方向上对齐。
25.根据权利要求24所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一内锯齿和所述第一外锯齿在所述第一方向上的宽度之和在所述第一周边区的第一周边宽度的20%以内，所述第二内锯齿和所述第二外锯齿在所述第一方向上的宽度之和在所述第二周边区的第二周边宽度的20%以内。
26.根据权利要求12所述的声表面波谐振器装置，其中所述第一主体部的第二侧壁在所述第一方向上相对于所述第二叉指电极的第二电极边缘远离所述第一周边区或朝向所述第一周边区偏移；
所述第二主体部的第二侧壁在所述第一方向上相对于所述第一叉指电极的第一电极边缘远离所述第二周边区或朝向所述第二周边区偏移。
27.根据权利要求4所述的声表面波谐振器装置，还包括：
反射栅，在所述第二方向上设置在所述叉指换能器的相对两侧，其中每个反射栅包括多个反射电极以及汇流条，所述多个反射电极沿所述第一方向延伸，且沿所述第二方向间隔排列，所述汇流条沿所述第二方向延伸，并与所述多个反射电极连接，
其中所述导电结构在所述第三方向上还与所述反射栅部分交叠。
28.根据权利要求27所述的声表面波谐振器装置，其中
所述导电结构具有中心区域和附加区域，在所述中心区域中，所述导电结构与所述多个叉指电极在所述第三方向上交叠，在所述附加区域中，所述导电结构与所述反射栅的所述多个反射电极在所述第三方向上交叠；
所述第一主体部和所述第二主体部各自从所述中心区域连续延伸至所述附加区域。
29.根据权利要求28所述的声表面波谐振器装置，其中在所述附加区域中，
所述第一导电层还包括第一附加锯齿结构，在所述第一方向上位于所述第一主体部的一侧或相对两侧；
所述第二导电层还包括第二附加锯齿结构，在所述第二方向上位于所述第二主体部的一侧或相对两侧。
30.根据权利要求29所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一附加锯齿结构包括第一附加内延伸部和第一附加外延伸部中的至少一者，所述第一附加内延伸部在所述第一方向上远离所述第一周边区凸出于所述第一主体部的第一侧壁，所述第一附加外延伸部在所述第一方向上朝向所述第一周边区凸出于所述第一主体部的第二侧壁；
所述第二附加锯齿结构包括第二附加内延伸部和第二附加外延伸部中的至少一者，所述第二附加内延伸部在所述第一方向上远离所述第二周边区凸出于所述第二主体部的第一侧壁，所述第二附加外延伸部在所述第一方向上朝向所述第二周边区凸出于所述第二主体部的第二侧壁。
31.根据权利要求29所述的声表面波谐振器装置，其中
所述第一附加锯齿结构和所述第二附加锯齿结构在所述压电基板上的正投影位于所述反射栅在所述压电基板上的正投影范围内。
32.根据权利要求1所述的声表面波谐振器装置，还包括：
介电层，设置于所述压电基板上，并覆盖所述叉指换能器，其中所述导电结构位于所述介电层的远离所述压电基板的一侧。
33.一种滤波器，包括根据权利要求1-32中任一项所述的声表面波谐振器装置。
34.一种声表面波谐振器装置的制造方法，所述声表面波谐振器装置具有主体区和周边区，且所述周边区包括在第一方向上位于所述主体区相对两侧的第一周边区和第二周边区，所述制造方法包括：
提供压电基板；
在所述压电基板的一侧形成叉指换能器，所述叉指换能器包括多个叉指电极、第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部，所述多个叉指电极包括沿所述第一方向延伸且沿与所述第一方向相交的第二方向交替排列的第一叉指电极和第二叉指电极；其中所述第一叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第一周边区以与所述第一叉指电极引出部连接，所述第二叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第二周边区以与所述第二叉指电极引出部连接；以及
在所述叉指换能器的远离所述压电基板的一侧形成导电结构，所述导电结构在垂直于所述压电基板的主表面的第三方向上至少与所述多个叉指电极的靠近所述周边区的末端部分交叠，
其中所述导电结构至少包括主体结构和第一锯齿结构，所述主体结构沿所述第二方向连续延伸跨过所述多个叉指电极，所述第一锯齿结构在所述第一方向上位于所述主体结构的远离所述周边区的一侧，且所述主体结构的至少部分和所述第一锯齿结构在所述第三方向上与所述多个叉指电极的所述末端部分交叠。
35.根据权利要求34所述的声表面波谐振器装置的制造方法，其中在形成所述导电结构之前，还包括：
在所述叉指换能器的远离所述压电基板的一侧形成介电层，且所述导电结构形成在所述介电层的远离所述压电基板的一侧。
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