CN117393472A - 一种晶圆加工设备的排液装置及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种晶圆加工设备的排液装置及其控制方法，排液装置用于晶圆加工设备，晶圆加工设备设有排液端，排液装置包括：主排液管，主排液管设有头端和尾端，来自排液端的废液流向尾端，并由尾端流出；冲洗管，冲洗管设于头端，冲洗管与主排液管相互连通，冲洗管导入冲洗液，冲洗液由头端流向尾端；流出口，流出口设于尾端，主排液管内的废液通过流出口流出。冲洗管源源不断的导入冲洗液，使得主排液管内保持湿润的环境，防止废液干燥附着，堵塞主排液管，冲洗液能够带动废液流动，提高废液的流动性，防止废液附着在主排液管内壁上，提高排液效率。

Description

一种晶圆加工设备的排液装置及其控制方法

技术领域

本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体而言，涉及一种晶圆加工设备的排液装置及其控制方法。

背景技术

在半导体湿法设备中，工艺过程会产生大量化学废液，对于机台内每个工艺单元产生的废液均采用排废管引流方式将废液收集到废液桶中，由工作人员定期处理，但由于废液具有一定腐蚀性和粘度，常规排废管存在废液附着在管壁干燥后堵塞排废管的问题，导致排废管的排液效果不佳，因此，提供一种排液装置，解决废液附着在管壁干燥后堵塞排废管的问题是十分必要的。

发明内容

因此，本发明提供一种晶圆加工设备的排液装置，解决废液附着在管壁上，干燥后堵塞排废管的问题。

为解决上述问题，本发明提供一种晶圆加工设备的排液装置，排液装置用于晶圆加工设备，晶圆加工设备设有排液端，排液装置包括：主排液管，主排液管设有头端和尾端，来自排液端的废液流向尾端，并由尾端流出；冲洗管，冲洗管设于头端，冲洗管与主排液管相互连通，冲洗管导入冲洗液，冲洗液由头端流向尾端；流出口，流出口设于尾端，主排液管内的废液通过流出口流出。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：主排液管的尾端设有冲洗管，冲洗管导入冲洗液，冲洗液能够源源不断的从头端流向尾端，使得主排液管内保持湿润的环境，同时，冲洗液能够带动主排液管内的废液流向尾端，并通过流出口流出，防止废液附着在主排液管的内壁上，冲洗液能够保持主排液管内保持湿润的环境，防止废液干燥堵塞主排液管，使得排液装置的排液效率更高。

进一步的，主排液管的头端高于尾端。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：主排液管的头端高于尾端，尾端设有流出口，便于废液流向流出口，提高了废液的流动性，防止废液吸附在主排液管的内壁上。

进一步的，主排液管包括：设备连接端，设备连接端与排液端相连，以使得晶圆加工设备排出的废液通过设备连接端流进主排液管。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：主排液管设有设备连接端，晶圆加工设备设有排液端，设备连接端与排液端相连，晶圆加工设备排出的废液通过排液端流出，到达设备连接端，再流入主排液管中，防止废液泄漏。

进一步的，排液端为管道，排液端插入设备连接端，设备连接端的周侧具有连接端内壁，排液端的外侧与连接端内壁存在缝隙。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排液端的外侧与连接端内壁存在缝隙，与外界大气压连通，防止排液装置的管路产生液柱，影响排液效果。

进一步的，晶圆加工设备设有风道，风道内含有废弃物，主排液管还包括：风压连接端，风压连接端与晶圆加工设备的风道相连，吸取风道内的废弃物。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备在运行时，会产生大量的废弃物，废弃物落在晶圆的表面，会造成晶圆的表面存在缺陷，影响晶圆加工的成品率，因此，风道与风压连接端相连，风道吸取晶圆加工设备的废弃物，将废弃物集中在风道中，防止废弃物落到晶圆的表面，保证了晶圆的成品率，风压连接端将风道内部的废弃物导入主排液管中，防止废弃物泄漏。

进一步的，晶圆加工设备设有胶嘴，主排液管还包括：胶嘴排废端，胶嘴排废端与风压连接端相邻设置，并且，胶嘴排废端与胶嘴相连，以使得胶嘴清洗废液通过胶嘴排废端流进主排液管。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备设有胶嘴，胶嘴向晶圆的表面喷涂胶液，所以为了保证胶嘴喷涂的效果，胶嘴需要及时清洗，清洗胶嘴产生的废液通过胶嘴排废端进入主排液管内，将多出的废液集中处理，能够减少排液管路的铺设，降低了制造成本，废液集中处理，能够有效地避免废液泄露的问题，保持生产环境的干净整洁。

进一步的，排液装置还包括：至少一个引流管，至少一个引流管与主排液管相互连通。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：引流管设有多个，用于收集晶圆加工设备其他处的废液，将废液集中在主排液管内，进行集中排放，避免多处废液单独引流，降低了废液泄露的风险。

本发明还提供了一种排液装置的控制方法，通过排液装置实现，排液装置用于晶圆加工设备，晶圆加工设备设有排液端，控制方法包括：控制晶圆加工设备通过排液端排出废液，废液经过设备连接端流入主排液管，废液流向尾端；控制冲洗管释放冲洗液，冲洗液从头端流向尾端。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备的废液通过排液端排出，通过设备连接端流入主排液管，冲洗管释放冲洗液，冲洗液从头端流向尾端，推动废液流动，提高废液的流动性，防止废液附着在主排液管的内壁，冲洗液源源不断的流出，保证了主排液管内部湿润的环境，防止废液干燥，堵塞主排液管。

进一步的，晶圆加工设备设有胶嘴，控制方法还包括：控制晶圆加工设备进行胶嘴清洗，排出胶嘴清洗废液，控制胶嘴清洗废液通过胶嘴排废端流入主排液管。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备设有胶嘴，胶嘴用于向晶圆表面喷涂胶液，因此，为了保证晶圆的喷涂效果，胶嘴需要进行清洗，清洗胶嘴产生的废液通过胶嘴排废端流进主排液管内，进行集中排放，减少管路的铺设，降低了制造的成本。

进一步的，晶圆加工设备设有风道，风道内含有废弃物，控制方法还包括：控制风压连接端吸取废弃物；控制废弃物通过风压连接端流进主排液管。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备设有风道，利用风道的负压压强，将晶圆加工设备的废弃物吸入风道中，再通过风压连接端流进主排液管，防止废弃物落到晶圆的表面，避免晶圆表面产生缺陷，保证了晶圆生产的成品率。

采用本发明的技术方案后，能够达到如下技术效果：

（1）主排液管的尾端设有冲洗管，冲洗管导入冲洗液，冲洗液能够源源不断的从头端流向尾端，使得主排液管内保持湿润的环境，同时，冲洗液能够带动主排液管内的废液流向尾端，并通过流出口流出，防止废液附着在主排液管的内壁上，冲洗液能够保持主排液管内保持湿润的环境，防止废液干燥堵塞主排液管，使得排液装置的排液效率更高；

（2）主排液管由头端向尾端倾斜，尾端设有流出口，便于废液流向流出口，提高了废液的流动性，防止废液吸附在主排液管的内壁上；

（3）晶圆加工设备在运行时，会产生大量的废弃物，废弃物落在晶圆的表面，会造成晶圆的表面存在缺陷，影响晶圆加工的成品率，因此，风道与风压连接端相连，风道吸取晶圆加工设备的废弃物，将废弃物集中在风道中，防止废弃物落到晶圆的表面，保证了晶圆的成品率，风压连接端将风道内部的废弃物导入主排液管中，防止废弃物泄漏。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种晶圆加工设备的排液装置的结构示意图；

图2为排液装置另一视角的结构示意图；

图3为图2中区域A的放大图；

图4为排液端与设备连接端的配合示意图；

图5为图4中B-B方向的剖视图；

图6为本发明实施例提供的一种排液装置的控制方法的流程图。

附图标记说明：

100：排液装置；110：主排液管；110a：头端；110b：尾端；111：设备连接端；111a：连接端内壁；112：风压连接端；113：胶嘴排废端；114：流出口；120：冲洗管；130：引流管；131：单元引流管；132：风道单元引流管；140：固定座；150：排液端；200：水平面。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了一种晶圆加工设备的排液装置100，排液装置100用于晶圆加工设备，晶圆加工设备设有排液端150，排液装置100包括：主排液管110，主排液管110设有头端110a和尾端110b，来自排液端150的废液流向尾端110b，并由尾端110b流出；冲洗管120，冲洗管120设于头端110a，冲洗管120与主排液管110相互连通，冲洗管120导入冲洗液，冲洗液由头端110a流向尾端110b；流出口114，流出口114设于尾端110b，主排液管110内的废液通过流出口114流出。

具体的，如附图1所示，排液装置100包括主排液管110，晶圆加工设备的排液端150排放的废液流向尾端110b，冲洗管120设于头端110a，向主排液管110内导入冲洗液，使得主排液管110内部保持湿润的环境，防止主排液管110内的废液干燥，堵塞主排液管110，冲洗液能够推动废液流动，增加废液的流动性，防止废液附着在主排液管110的内壁上，提高排液的效率。流出口114设于尾端110b，主排液管110内的废液通过流出口114排放。

优选的，冲洗管120采用常开型阀门控制，使得冲洗管120能够不间断地向主排液管110内导入冲洗液，保证了主排液管110内部的湿润环境，防止废液在主排液管110内部干燥而堵塞主排液管110，保证了排液装置的排液效率。

举例的，主排液管110的头端110a高于尾端110b。

举例说明，如附图1所示，主排液管110的头端110a高于尾端110b，主排液管110在水平方向上与水平面200之间具有倾斜角度。尾端110b设有流出口114，便于废液流向流出口114，提高了废液的流动性，防止废液吸附在主排液管110的内壁上。

具体的，主排液管110包括：设备连接端111，设备连接端111与排液端150相连，以使得晶圆加工设备排出的废液通过设备连接端111流进主排液管110。

具体而言，如附图2所示，主排液管110设有设备连接端111，如附图5所示，晶圆加工设备设有排液端150，设备连接端111与排液端150相连，晶圆加工设备排出的废液通过排液端150流出，到达设备连接端111，通过设备连接端111流进主排液管110中，防止废液泄漏。

优选的，如附图2所示，设备连接端111设有两个，可与两个晶圆加工设备相连，设备连接端111的数量与晶圆加工设备的数量保持一致。排液装置100能够针对多个晶圆加工设备进行排液，减少了排液管道的铺设，占用的空间更少，降低了制造的成本，提高工艺结构的紧凑型，也便于现场的工作人员排查排液装置100是否泄漏，减少了工作量。多个晶圆加工设备产生的废液集中排放，也降低了废液泄漏的风险。

具体的，排液端150为管道，排液端150插入设备连接端111，设备连接端111的周侧具有连接端内壁111a，排液端150的外侧与连接端内壁111a存在缝隙。

具体而言，如附图4和附图5所示，设备连接端111的周侧具有连接端内壁111a，排液端150为管道，排液端150插入设备连接端111中，并且，排液端150的外侧与连接端内壁111a存在缝隙，与外界大气压连通，防止排液装置100的管路产生液柱，保证了排液装置100的排液效果。排液装置100的管路产生液柱，会导致废液不能流进主排液管110中，因此，排液端150的外侧与连接端内壁111a存在缝隙，防止液柱的产生，使得废液流进主排液管更加流畅。

具体的，晶圆加工设备设有风道，风道内含有废弃物，主排液管110还包括：风压连接端112，风压连接端112与晶圆加工设备的风道相连，以吸取风道内的废弃物。

具体而言，如附图2所示，主排液管110包括：风压连接端112，风压连接端112与晶圆加工设备的风道相连。晶圆加工设备在运行时，会产生大量的废弃物，废弃物落在晶圆的表面，会造成晶圆的表面存在缺陷，影响晶圆加工的成品率，因此，风道与风压连接端112相连，风道吸取晶圆加工设备的废弃物，将废弃物集中在风道中，防止废弃物落到晶圆的表面，保证了晶圆的成品率，风压连接端112将风道内部的废弃物导入主排液管110中，防止废弃物泄漏。

具体的，晶圆加工设备设有胶嘴，主排液管110还包括：胶嘴排废端113，胶嘴排废端113与风压连接端112相邻设置，并且，胶嘴排废端113与胶嘴相连，以使得胶嘴清洗废液通过胶嘴排废端113流进主排液管110。

具体而言，如附图3所示，主排液管110还包括：胶嘴排废端113。晶圆加工设备设有胶嘴，胶嘴向晶圆的表面喷涂胶液，所以为了保证胶嘴喷涂的效果，胶嘴需要及时清洗，清洗胶嘴产生的废液通过胶嘴排废端113进入主排液管110内，将多出的废液集中处理，能够减少排液管路的铺设，降低了制造成本，废液集中处理，能够有效地避免废液泄露的问题，保持生产环境的干净整洁。

具体的，排液装置100还包括：至少一个引流管130，至少一个引流管130与主排液管110相互连通。

如附图2所示，引流管130设有多个，用于收集晶圆加工设备其他处的废液，将废液集中在主排液管内，进行集中排放，避免多处废液单独引流，降低了废液泄露的风险。

优选的，引流管130在水平方向上具有倾斜角度，便于引流管130中的废液流入主排液管110中。

优选的，引流管130包括：多个单元引流管131，其中，晶圆加工设备设有旋转单元，多个单元引流管131用于排放旋转单元的清洗废液和晶圆底部的清洗废液。排液装置100能够针对多个晶圆加工设备进行排液，单元引流管的数量随着晶圆加工设备的数量增加而增加。

引流管130还包括：风道单元引流管132，如附图3所示，风道单元引流管与胶嘴排废端113相邻设置，风道吸收晶圆加工设备产生的废弃物，并存在风道内部，风压连接端112吸收风道内部的废弃物，防止风道堵塞。风道需要进行清洗，防止废弃物吸附在风道内部，清洗风道产生的风道清洗废液通过风道单元引流管132排进主排液管110中，进行集中排放，减少排液管路的铺设，避免多出废液单独引流，减少废液泄漏的风险。

如附图3所示，排液装置100还包括固定座140，固定座140设有多个，固定座140设有两组固定通孔，螺钉穿过固定通孔，进而固定排液装置100。

本发明还提供了一种排液装置的控制方法，通过排液装置实现，排液装置用于晶圆加工设备，晶圆加工设备设有排液端，控制方法包括：控制晶圆加工设备通过排液端排出废液，废液经过设备连接端流入主排液管，废液流向尾端；控制冲洗管释放冲洗液，冲洗液从头端流向尾端。

如附图6所示，本发明提供的一种排液装置的控制方法，如下：

S100、控制晶圆加工设备排出废液，废液通过设备连接端流入主排液管；

S200、控制冲洗管释放冲洗液；

S300、控制风压连接端吸取风道内的废弃物；

S400、控制风道内的废弃物通过风压连接端流进主排液管；

其中，晶圆加工设备的废液通过排液端排出，通过设备连接端流入主排液管，冲洗管释放冲洗液，冲洗液从头端流向尾端，推动废液流动，提高废液的流动性，防止废液附着在主排液管的内壁，冲洗液源源不断的流出，保证了主排液管内部湿润的环境，防止废液干燥，堵塞主排液管。晶圆加工设备设有胶嘴，胶嘴用于向晶圆表面喷涂胶液，因此，为了保证晶圆的喷涂效果，胶嘴需要进行清洗，清洗胶嘴产生的废液通过胶嘴排废端流进主排液管内，进行集中排放，减少管路的铺设，降低了制造的成本。晶圆加工设备设有风道，利用风道的负压压强，将晶圆加工设备的废弃物吸入风道中，再通过风压连接端流进主排液管，防止废弃物落到晶圆的表面，避免晶圆表面产生缺陷，保证了晶圆生产的成品率。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种晶圆加工设备的排液装置，其特征在于，所述排液装置用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备设有排液端（150），所述排液装置包括：

主排液管（110），所述主排液管（110）设有头端（110a）和尾端（110b），来自所述排液端（150）的废液流向所述尾端（110b），并由所述尾端（110b）流出；

冲洗管（120），所述冲洗管（120）设于所述头端（110a），所述冲洗管（120）与所述主排液管（110）相互连通，所述冲洗管（120）导入冲洗液，所述冲洗液由所述头端（110a）流向所述尾端（110b）；

流出口（114），所述流出口（114）设于所述尾端（110b），所述主排液管（110）内的废液通过所述流出口（114）流出。

2.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述头端（110a）高于所述尾端（110b）。

3.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述主排液管（110）包括：

设备连接端（111），所述设备连接端（111）与所述排液端（150）相连，以使得所述晶圆加工设备排出的废液通过所述设备连接端（111）流进所述主排液管（110）。

4.根据权利要求3所述的排液装置，其特征在于，所述排液端（150）为管道，所述排液端（150）插入所述设备连接端（111），所述设备连接端（111）的周侧具有连接端内壁（111a），所述排液端（150）的外侧与所述连接端内壁（111a）存在缝隙。

5.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述晶圆加工设备设有风道，所述风道内含有废弃物，所述主排液管（110）还包括：

风压连接端（112），所述风压连接端（112）与所述晶圆加工设备的风道相连，以吸取所述风道内的废弃物。

6.根据权利要求5所述的排液装置，其特征在于，所述晶圆加工设备设有胶嘴，所述主排液管（110）还包括：

胶嘴排废端（113），所述胶嘴排废端（113）与所述风压连接端（112）相邻设置，并且，所述胶嘴排废端（113）与所述胶嘴相连，以使得胶嘴清洗废液通过所述胶嘴排废端（113）流进所述主排液管（110）。

7.根据权利要求2所述的排液装置，其特征在于，所述排液装置还包括：

至少一个引流管（130），所述至少一个引流管（130）与所述主排液管（110）相互连通。

8.一种排液装置的控制方法，通过如权利要求1-7任一项所述的排液装置实现，所述排液装置用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备设有排液端，其特征在于，所述控制方法包括：

所述冲洗管持续导入冲洗液，所述冲洗液从所述头端流向所述尾端；

控制所述晶圆加工设备通过所述排液端排出废液，所述废液经过所述设备连接端流入所述主排液管，所述废液流向所述尾端。

9.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述晶圆加工设备设有胶嘴，所述控制方法还包括：

控制所述晶圆加工设备进行胶嘴清洗，排出胶嘴清洗废液；

控制所述胶嘴清洗废液通过所述胶嘴排废端流入所述主排液管。

10.根据权利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述晶圆加工设备设有风道，所述风道内含有废弃物，所述控制方法还包括：

控制风压连接端吸取所述风道内的废弃物；

控制所述废弃物通过所述风压连接端流进所述主排液管。