CN117352442B - 一种摆臂稳定的固晶机 - Google Patents

一种摆臂稳定的固晶机 Download PDF

Info

Publication number
CN117352442B
CN117352442B CN202311663688.7A CN202311663688A CN117352442B CN 117352442 B CN117352442 B CN 117352442B CN 202311663688 A CN202311663688 A CN 202311663688A CN 117352442 B CN117352442 B CN 117352442B
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixedly connected
arc
top surface
swing arm
ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202311663688.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN117352442A (zh
Inventor
曹皇东
谢国请
曹国光
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongguan Huayue Semiconductor Technology Co ltd
Original Assignee
Dongguan Huayue Semiconductor Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dongguan Huayue Semiconductor Technology Co ltd filed Critical Dongguan Huayue Semiconductor Technology Co ltd
Priority to CN202311663688.7A priority Critical patent/CN117352442B/zh
Publication of CN117352442A publication Critical patent/CN117352442A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN117352442B publication Critical patent/CN117352442B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67121Apparatus for making assemblies not otherwise provided for, e.g. package constructions
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明公开了一种摆臂稳定的固晶机,包括工作台,所述工作台顶面两侧垂直固接两个立板,两个所述立板顶面固接顶架,所述顶架底面固接点胶机构,所述工作台顶面内侧开设顶腔,所述工作台顶面固接输送槽道,所述顶腔内位于输送槽道下方位置固接扩晶台。本发明中摆臂组件在进行摆动运动时,由第一伺服减速电机带动驱动轴转动,驱动轴转动时,通过带轮带动转柱及立轴转动,转柱实现短臂端部位置的转动,同时立轴带动主动齿轮转动,带动内齿环转动,这样内齿环拉动弧形滑块移动,这样实现短臂两端同时被驱动来实现摆动,这样短臂端部会被弧形滑块更好的限位,降低其端部受到惯性及重力的影响,保证了摆臂摆动动作时的稳定性,提高取晶的精准度。

Description

一种摆臂稳定的固晶机
技术领域
本发明涉及固晶机设备技术领域,具体为一种摆臂稳定的固晶机。
背景技术
固晶机是芯片封装生产线中的关键设备,固晶过程为:基板在固晶工位上先进行点胶工作,然后利用取晶结构在扩晶台上的晶圆上进行吸附取晶,之后将晶圆放置在固晶工位点胶位置,如此往复,固晶机取晶结构主要为一个搭载了吸嘴的摆臂结构,利用负压吸取晶圆上的晶片,晶圆安装在扩晶台上,目前的取料结构主要采用升降和摆动的动作来取晶,其中摆动结构为一个长摆臂,摆臂一端设置轴杆用于驱动,通过转动驱动摆臂摆动,实现往复摆动;例如,授权公告号为CN113725122A的中国发明专利公开了一种固晶机及固晶机摆臂,包括用于连接固晶机本体的安装座、通过弹性连接结构可活动地连接在安装座上的摆臂本体,固晶机摆臂还包括电控施力装置,电控施力装置用于对摆臂本体施力以使摆臂本体的第一端沿第一方向运动。相比于传统的固晶机摆臂;但是目前的固晶机摆臂结构有以下缺陷:
目前固晶机的摆臂驱动采用轴驱动,即在摆臂端部的轴上施加驱动力,只有单点驱动,而摆臂长度较长,且摆臂端部安装的取晶装置具有一定的重量,这样在摆动时,摆臂端部易在惯性作用以及重力作用下产生不稳定的现象,出现在垂直及水平方向上的微小位移,摆臂摆动时稳定性较差,影响取晶的准确性。
为此我们提出一种摆臂稳定的固晶机用于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种摆臂稳定的固晶机,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种摆臂稳定的固晶机,包括工作台,所述工作台顶面两侧垂直固接两个立板,两个所述立板顶面固接顶架,所述顶架底面固接点胶机构,所述工作台顶面内侧开设顶腔,所述工作台顶面固接输送槽道,所述顶腔内位于输送槽道下方位置固接扩晶台,所述顶架侧壁开设开口,所述开口内设置有取晶臂部件,所述取晶臂部件包括摆臂组件及取晶组件,所述摆臂组件包括横台、异形顶盖、短臂及长臂,所述横台固接在开口内侧,所述横台远离顶架一侧固接半环板,所述长臂位于短臂正下方,所述长臂及短臂一端垂直固接转柱,所述横台靠近半环板一侧垂直固接轴承,所述转柱固定套接在轴承内侧,所述半环板上开设弧形通槽,所述短臂顶面对应弧形通槽位置垂直固接弧形滑块,所述弧形滑块滑动连接在弧形通槽内部,所述异形顶盖设置在横台及半环板顶面;
所述横台顶面及半环板两端顶面开设弧槽,所述弧槽连通弧形通槽,所述弧槽滑动连接转环,所述转环顶面固接内齿环,所述内齿环及转环固定插接在弧形滑块内侧,所述横台顶面转动连接立轴,所述立轴上固定套接主动齿轮,所述主动齿轮啮合连接内齿环,所述横台顶面位于转柱与立轴之间位置转动连接驱动轴,所述驱动轴上固定套接第一主动带轮及第二主动带轮,所述转柱位于横台上方位置固定套接第一从动带轮,所述立轴上固定套接第二从动带轮,所述第一主动带轮及第一从动带轮上套接第一同步带,所述第二主动带轮及第二从动带轮上套接第二同步带。
优选的,所述异形顶盖位于驱动轴正上方位置固定嵌接第一伺服减速电机,所述第一伺服减速电机转轴端底端固接花键轴,所述驱动轴顶端开设花键槽,所述花键轴插接在花键槽内侧。
优选的,所述横台及半环板边缘位置垂直固接多个插柱,所述插柱顶端固接螺纹柱,所述异形顶盖上对应多个插柱位置垂直开设多个插孔,所述插柱插接在插孔内,所述螺纹柱螺纹连接螺母,所述短臂两侧与长臂两侧顶面之间固接两个梯形加强板。
优选的,所述取晶组件包括横条板、顶板及稳定仓,所述顶板位于横条板上方,所述稳定仓位于横条板下方,所述顶板底面四角处与稳定仓顶面四角处之间垂直固接四个丝杆,所述横条板上对应四个丝杆位置转动套接四个短转杆,所述短转杆内固接螺纹套筒,所述螺纹套筒螺纹连接丝杆。
优选的,四个所述短转杆位于横条板下方位置固定套接四个第三从动带轮,所述横条板底面转动连接第三主动带轮,所述第三主动带轮与四个第三从动带轮上套接第三同步带,所述横条板底面转动连接两个惰带轮,两个所述惰带轮接触第三同步带侧壁,所述横条板底面固接第二伺服减速电机,所述第二伺服减速电机转轴端固接第三主动带轮转轴处。
优选的,所述顶板中心位置转动连接固定台,所述固定台底面中心转动连接花键长杆顶端,所述横条板上转动连接滚珠花键,所述花键长杆滑动插接在滚珠花键内侧,所述稳定仓内开设环腔,所述稳定仓中心垂直开设通口,所述花键长杆底端穿过通口并固接底仓,所述环腔侧壁均匀转动连接多个侧导轮,所述花键长杆位于环腔内部位置固定套接环板,多个所述侧导轮滚动连接环板边缘处,所述稳定仓底面开设底环槽,所述底环槽内滑动连接底环,所述底环底面固接底仓顶面。
优选的,所述花键长杆内部固定套接主气管,所述固定台内侧固定调节高速接头,所述高速接头转动连接并连通主气管顶端,所述底仓内部顶面固接主接头,所述主接头底端滑动连接并连通子接头,所述子接头底端固接并连通吸嘴,所述底仓底端开设底孔,所述吸嘴穿过底孔,所述主气管底端连通主接头,所述长臂底面固接真空泵,所述真空泵底端固接并连通阀门,所述阀门与高速接头顶端之间固接并连通真空软管,所述顶板与稳定仓四边处之间垂直固接四个导杆,所述横条板上垂直开设四个导孔,所述导杆滑动插接导孔。
优选的,所述横条板顶面转动连接第四主动带轮,所述滚珠花键位于横条板上方位置固定套接第四从动带轮,所述第四主动带轮与第四从动带轮上套接第四同步带,所述横条板底面固接第三伺服减速电机,所述第三伺服减速电机转轴端固接第四主动带轮转轴处,所述横条板侧壁与长臂端部侧壁之间固接多个侧架,所述子接头底端固定套接横圆台,所述横圆台顶面与底仓内部顶面之间固接弹簧,所述吸嘴上固定套接感应盘,所述底仓内部位于感应盘上方位置固接环体,所述环体底面固接接触式传感器。
优选的,所述弧形滑块顶面两侧固接两个限位块,所述限位块顶面转动连接多个上导轮、底面转动连接多个下导轮,所述环板顶面位于弧形通槽两侧位置固接两个下弧形导轨,所述异形顶盖内侧壁位于两个下弧形导轨正上方位置固接两个弧板,两个所述弧板底面固接两个上弧形导轨,所述上导轮滚动连接上弧形导轨,所述下导轮滚动连接下弧形导轨。
优选的,所述横台顶面位于内齿环外侧位置固接多个L型板,所述L型板上转动连接摩擦轮,所述摩擦轮接触内齿环侧壁,所述横台顶面位于内齿环内侧位置转动连接多个辅助齿轮,所述辅助齿轮啮合连接内齿环。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
本发明中摆臂组件在进行摆动运动时,由第一伺服减速电机带动驱动轴转动,驱动轴转动时,通过带轮带动转柱及立轴转动,转柱实现短臂端部位置的转动,同时立轴带动主动齿轮转动,带动内齿环转动,这样内齿环拉动弧形滑块移动,这样实现短臂两端同时被驱动来实现摆动,这样短臂端部会被弧形滑块更好的限位,降低其端部受到惯性及重力的影响,保证了摆臂摆动动作时的稳定性,提高取晶的精准度。
附图说明
图1为本发明第一个实施例中主体结构示意图;
图2为本发明第一个实施例中取晶臂部件处结构示意图;
图3为本发明第一个实施例中取晶臂部件处爆炸结构示意图;
图4为本发明第一、二、三个实施例中摆臂组件处爆炸结构示意图;
图5为本发明第一、二个实施例中摆臂组件处剖切结构示意图;
图6为本发明图5中A处结构放大结构示意图;
图7为本发明图5中B处结构放大结构示意图;
图8为本发明第二个实施例中异形顶盖底面处结构示意图;
图9为本发明第二个实施例中取晶组件处剖切结构示意图;
图10为本发明第二个实施例中曲靖组件处另一侧剖切结构示意图;
图11为本发明第二个实施例中横条板处底部结构示意图。
图中:1、工作台;2、取晶臂部件;11、立板;12、顶架;13、开口;14、点胶机构;15、顶腔;16、输送槽道;17、扩晶台;21、摆臂组件;22、取晶组件;211、横台;212、异形顶盖;213、半环板;214、短臂;215、长臂;216、转柱;217、轴承;218、弧形通槽;219、弧形滑块;2110、弧槽;2111、转环;2112、内齿环;2113、立轴;2114、主动齿轮;2115、驱动轴;2116、第一主动带轮;2117、第二主动带轮;2118、第一从动带轮;2119、第二从动带轮;2120、第一同步带;2121、第二同步带;2122、限位块;2123、上导轮;2124、下导轮;2125、弧板;2126、上弧形导轨;2127、下弧形导轨;2128、L型板;2129、摩擦轮;2130、辅助齿轮;2131、花键槽;2132、第一伺服减速电机;2133、花键轴;2134、插柱;2135、螺纹柱;2136、插孔;2137、螺母;2138、梯形加强板;221、横条板;222、顶板;223、稳定仓;224、滚珠花键;225、花键长杆;226、底环槽;227、底环;228、底仓;229、丝杆;2210、短转杆;2211、螺纹套筒;2212、第三从动带轮;2213、第三主动带轮;2214、第二伺服减速电机;2215、第三同步带;2216、惰带轮;2217、第四从动带轮;2218、第四主动带轮;2219、第三伺服减速电机;2220、第四同步带;2221、固定台;2222、高速接头;2223、真空泵;2224、阀门;2225、真空软管;2226、主接头;2227、子接头;2228、吸嘴;2229、底孔;2230、横圆台;2231、弹簧;2232、感应盘;2233、环体;2234、接触式传感器;2235、环腔;2236、环板;2237、侧导轮;2238、导杆;2239、导孔;2240、侧架;2241、主气管;2242、通口。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1:请参阅图1至图7,本发明提供一种技术方案:一种摆臂稳定的固晶机,包括工作台1,工作台1顶面两侧垂直固接两个立板11,两个立板11顶面固接顶架12,顶架12底面固接点胶机构14,工作台1顶面内侧开设顶腔15,工作台1顶面固接输送槽道16,顶腔15内位于输送槽道16下方位置固接扩晶台17,顶架12侧壁开设开口13,开口13内设置有取晶臂部件2,取晶臂部件2包括摆臂组件21及取晶组件22,摆臂组件21包括横台211、异形顶盖212、短臂214及长臂215,横台211固接在开口13内侧,横台211远离顶架12一侧固接半环板213,长臂215位于短臂214正下方,长臂215及短臂214一端垂直固接转柱216,横台211靠近半环板213一侧垂直固接轴承217,转柱216固定套接在轴承217内侧,半环板213上开设弧形通槽218,短臂214顶面对应弧形通槽218位置垂直固接弧形滑块219,弧形滑块219滑动连接在弧形通槽218内部,异形顶盖212设置在横台211及半环板213顶面;
横台211顶面及半环板213两端顶面开设弧槽2110,弧槽2110连通弧形通槽218,弧槽2110滑动连接转环2111,转环2111顶面固接内齿环2112,内齿环2112及转环2111固定插接在弧形滑块219内侧,横台211顶面转动连接立轴2113,立轴2113上固定套接主动齿轮2114,主动齿轮2114啮合连接内齿环2112,横台211顶面位于转柱216与立轴2113之间位置转动连接驱动轴2115,驱动轴2115上固定套接第一主动带轮2116及第二主动带轮2117,转柱216位于横台211上方位置固定套接第一从动带轮2118,立轴2113上固定套接第二从动带轮2119,第一主动带轮2116及第一从动带轮2118上套接第一同步带2120,第二主动带轮2117及第二从动带轮2119上套接第二同步带2121,通过驱动轴2115转动来实现摆臂动作,驱动轴2115转动时,通过带轮带动转柱216及立轴2113转动,转柱216实现短臂214端部位置的转动,同时立轴2113带动主动齿轮2114转动,带动内齿环2112转动,这样内齿环2112拉动弧形滑块219移动,这样实现短臂214两端同时被驱动来实现摆动,这样短臂214端部会被弧形滑块219更好的限位,降低其端部受到惯性及重力的影响,保证了摆臂摆动动作时的稳定性,提高取晶的精准度。
实施例2:请参阅图4至图11,为本发明第二个实施例,该实施例基于上一个实施例,异形顶盖212位于驱动轴2115正上方位置固定嵌接第一伺服减速电机2132,第一伺服减速电机2132转轴端底端固接花键轴2133,驱动轴2115顶端开设花键槽2131,花键轴2133插接在花键槽2131内侧,第一伺服减速电机2132用于带动驱动轴2115转动,实现摆动动作,采用花键轴2133和花键槽2131的配合,方便拆除掉异形顶盖212。
横台211及半环板213边缘位置垂直固接多个插柱2134,插柱2134顶端固接螺纹柱2135,异形顶盖212上对应多个插柱2134位置垂直开设多个插孔2136,插柱2134插接在插孔2136内,螺纹柱2135螺纹连接螺母2137,短臂214两侧与长臂215两侧顶面之间固接两个梯形加强板2138。
取晶组件22包括横条板221、顶板222及稳定仓223,顶板222位于横条板221上方,稳定仓223位于横条板221下方,顶板222底面四角处与稳定仓223顶面四角处之间垂直固接四个丝杆229,横条板221上对应四个丝杆229位置转动套接四个短转杆2210,短转杆2210内固接螺纹套筒2211,螺纹套筒2211螺纹连接丝杆229。
四个短转杆2210位于横条板221下方位置固定套接四个第三从动带轮2212,横条板221底面转动连接第三主动带轮2213,第三主动带轮2213与四个第三从动带轮2212上套接第三同步带2215,横条板221底面转动连接两个惰带轮2216,两个惰带轮2216接触第三同步带2215侧壁,横条板221底面固接第二伺服减速电机2214,第二伺服减速电机2214转轴端固接第三主动带轮2213转轴处,通过第二伺服减速电机2214带动四个螺纹套筒2211转动,实现四个丝杆229的垂直移动,实现吸嘴2228的升降,采用四个均匀设置的丝杆229,可以使得顶板222及稳定仓223升降移动时受力更加均匀,更加稳定。
顶板222中心位置转动连接固定台2221,固定台2221底面中心转动连接花键长杆225顶端,横条板221上转动连接滚珠花键224,花键长杆225滑动插接在滚珠花键224内侧,稳定仓223内开设环腔2235,稳定仓223中心垂直开设通口2242,花键长杆225底端穿过通口2242并固接底仓228,环腔2235侧壁均匀转动连接多个侧导轮2237,花键长杆225位于环腔2235内部位置固定套接环板2236,多个侧导轮2237滚动连接环板2236边缘处,稳定仓223底面开设底环槽226,底环槽226内滑动连接底环227,底环227底面固接底仓228顶面,侧导轮2237和环板2236的配合可以保证花键长杆225位置更稳定。
花键长杆225内部固定套接主气管2241,固定台2221内侧固定调节高速接头2222,高速接头2222转动连接并连通主气管2241顶端,底仓228内部顶面固接主接头2226,主接头2226底端滑动连接并连通子接头2227,子接头2227底端固接并连通吸嘴2228,底仓228底端开设底孔2229,吸嘴2228穿过底孔2229,主气管2241底端连通主接头2226,长臂215底面固接真空泵2223,真空泵2223底端固接并连通阀门2224,阀门2224与高速接头2222顶端之间固接并连通真空软管2225,顶板222与稳定仓223四边处之间垂直固接四个导杆2238,横条板221上垂直开设四个导孔2239,导杆2238滑动插接导孔2239。
横条板221顶面转动连接第四主动带轮2218,滚珠花键224位于横条板221上方位置固定套接第四从动带轮2217,第四主动带轮2218与第四从动带轮2217上套接第四同步带2220,横条板221底面固接第三伺服减速电机2219,第三伺服减速电机2219转轴端固接第四主动带轮2218转轴处,横条板221侧壁与长臂215端部侧壁之间固接多个侧架2240,子接头2227底端固定套接横圆台2230,横圆台2230顶面与底仓228内部顶面之间固接弹簧2231,吸嘴2228上固定套接感应盘2232,底仓228内部位于感应盘2232上方位置固接环体2233,环体2233底面固接接触式传感器2234,接触式传感器2234和感应盘2232的设置主要是为了预警吸嘴2228的压力,取晶和方晶时,吸嘴2228受到压力压缩弹簧2231,压力过大的话感应盘2232会触碰接触式传感器2234,可以及时发出警报。
实施例3:请参阅图4及图6,为本发明第三个实施例,该实施例基于上述两个实施例,弧形滑块219顶面两侧固接两个限位块2122,限位块2122顶面转动连接多个上导轮2123、底面转动连接多个下导轮2124,环板2236顶面位于弧形通槽218两侧位置固接两个下弧形导轨2127,异形顶盖212内侧壁位于两个下弧形导轨2127正上方位置固接两个弧板2125,两个弧板2125底面固接两个上弧形导轨2126,上导轮2123滚动连接上弧形导轨2126,下导轮2124滚动连接下弧形导轨2127,限位块2122的设置是为了弧形滑块219位置的稳定。
横台211顶面位于内齿环2112外侧位置固接多个L型板2128,L型板2128上转动连接摩擦轮2129,摩擦轮2129接触内齿环2112侧壁,横台211顶面位于内齿环2112内侧位置转动连接多个辅助齿轮2130,辅助齿轮2130啮合连接内齿环2112,通过摩擦轮2129及辅助齿轮2130对内齿环2112内外两侧进行限位,保证其转动时位置的稳定。
实施例4:请参阅图1至图11,为本发明第四个实施例,该实施例基于上述三个实施例,本发明使用时,将工件输送机构安装在输送槽道16位置,工件经过点胶机构14点胶后进行固晶,固晶时,取晶臂部件2在扩晶台17上的晶圆处取出晶片,将其放入工件点胶位置固晶;本发明中摆臂组件21在进行摆动运动时,由第一伺服减速电机2132带动驱动轴2115转动,驱动轴2115转动时,通过带轮带动转柱216及立轴2113转动,转柱216实现短臂214端部位置的转动,同时立轴2113带动主动齿轮2114转动,带动内齿环2112转动,这样内齿环2112拉动弧形滑块219移动,这样实现短臂214两端同时被驱动来实现摆动,这样短臂214端部会被弧形滑块219更好的限位,降低其端部受到惯性及重力的影响,保证了摆臂摆动动作时的稳定性,提高取晶的精准度。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种摆臂稳定的固晶机,包括工作台(1),所述工作台(1)顶面两侧垂直固接两个立板(11),两个所述立板(11)顶面固接顶架(12),所述顶架(12)底面固接点胶机构(14),所述工作台(1)顶面内侧开设顶腔(15),所述工作台(1)顶面固接输送槽道(16),所述顶腔(15)内位于输送槽道(16)下方位置固接扩晶台(17),其特征在于:
所述顶架(12)侧壁开设开口(13),所述开口(13)内设置有取晶臂部件(2),所述取晶臂部件(2)包括摆臂组件(21)及取晶组件(22),所述摆臂组件(21)包括横台(211)、异形顶盖(212)、短臂(214)及长臂(215),所述横台(211)固接在开口(13)内侧,所述横台(211)远离顶架(12)一侧固接半环板(213),所述长臂(215)位于短臂(214)正下方,所述长臂(215)及短臂(214)一端垂直固接转柱(216),所述横台(211)靠近半环板(213)一侧垂直固接轴承(217),所述转柱(216)固定套接在轴承(217)内侧,所述半环板(213)上开设弧形通槽(218),所述短臂(214)顶面对应弧形通槽(218)位置垂直固接弧形滑块(219),所述弧形滑块(219)滑动连接在弧形通槽(218)内部,所述异形顶盖(212)设置在横台(211)及半环板(213)顶面;
所述横台(211)顶面及半环板(213)两端顶面开设弧槽(2110),所述弧槽(2110)连通弧形通槽(218),所述弧槽(2110)滑动连接转环(2111),所述转环(2111)顶面固接内齿环(2112),所述内齿环(2112)及转环(2111)固定插接在弧形滑块(219)内侧,所述横台(211)顶面转动连接立轴(2113),所述立轴(2113)上固定套接主动齿轮(2114),所述主动齿轮(2114)啮合连接内齿环(2112),所述横台(211)顶面位于转柱(216)与立轴(2113)之间位置转动连接驱动轴(2115),所述驱动轴(2115)上固定套接第一主动带轮(2116)及第二主动带轮(2117),所述转柱(216)位于横台(211)上方位置固定套接第一从动带轮(2118),所述立轴(2113)上固定套接第二从动带轮(2119),所述第一主动带轮(2116)及第一从动带轮(2118)上套接第一同步带(2120),所述第二主动带轮(2117)及第二从动带轮(2119)上套接第二同步带(2121)。
2.根据权利要求1所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述异形顶盖(212)位于驱动轴(2115)正上方位置固定嵌接第一伺服减速电机(2132),所述第一伺服减速电机(2132)转轴端底端固接花键轴(2133),所述驱动轴(2115)顶端开设花键槽(2131),所述花键轴(2133)插接在花键槽(2131)内侧。
3.根据权利要求1所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述横台(211)及半环板(213)边缘位置垂直固接多个插柱(2134),所述插柱(2134)顶端固接螺纹柱(2135),所述异形顶盖(212)上对应多个插柱(2134)位置垂直开设多个插孔(2136),所述插柱(2134)插接在插孔(2136)内,所述螺纹柱(2135)螺纹连接螺母(2137),所述短臂(214)两侧与长臂(215)两侧顶面之间固接两个梯形加强板(2138)。
4.根据权利要求1所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述取晶组件(22)包括横条板(221)、顶板(222)及稳定仓(223),所述顶板(222)位于横条板(221)上方,所述稳定仓(223)位于横条板(221)下方,所述顶板(222)底面四角处与稳定仓(223)顶面四角处之间垂直固接四个丝杆(229),所述横条板(221)上对应四个丝杆(229)位置转动套接四个短转杆(2210),所述短转杆(2210)内固接螺纹套筒(2211),所述螺纹套筒(2211)螺纹连接丝杆(229)。
5.根据权利要求4所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:四个所述短转杆(2210)位于横条板(221)下方位置固定套接四个第三从动带轮(2212),所述横条板(221)底面转动连接第三主动带轮(2213),所述第三主动带轮(2213)与四个第三从动带轮(2212)上套接第三同步带(2215),所述横条板(221)底面转动连接两个惰带轮(2216),两个所述惰带轮(2216)接触第三同步带(2215)侧壁,所述横条板(221)底面固接第二伺服减速电机(2214),所述第二伺服减速电机(2214)转轴端固接第三主动带轮(2213)转轴处。
6.根据权利要求5所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述顶板(222)中心位置转动连接固定台(2221),所述固定台(2221)底面中心转动连接花键长杆(225)顶端,所述横条板(221)上转动连接滚珠花键(224),所述花键长杆(225)滑动插接在滚珠花键(224)内侧,所述稳定仓(223)内开设环腔(2235),所述稳定仓(223)中心垂直开设通口(2242),所述花键长杆(225)底端穿过通口(2242)并固接底仓(228),所述环腔(2235)侧壁均匀转动连接多个侧导轮(2237),所述花键长杆(225)位于环腔(2235)内部位置固定套接环板(2236),多个所述侧导轮(2237)滚动连接环板(2236)边缘处,所述稳定仓(223)底面开设底环槽(226),所述底环槽(226)内滑动连接底环(227),所述底环(227)底面固接底仓(228)顶面。
7.根据权利要求6所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述花键长杆(225)内部固定套接主气管(2241),所述固定台(2221)内侧固定调节高速接头(2222),所述高速接头(2222)转动连接并连通主气管(2241)顶端,所述底仓(228)内部顶面固接主接头(2226),所述主接头(2226)底端滑动连接并连通子接头(2227),所述子接头(2227)底端固接并连通吸嘴(2228),所述底仓(228)底端开设底孔(2229),所述吸嘴(2228)穿过底孔(2229),所述主气管(2241)底端连通主接头(2226),所述长臂(215)底面固接真空泵(2223),所述真空泵(2223)底端固接并连通阀门(2224),所述阀门(2224)与高速接头(2222)顶端之间固接并连通真空软管(2225),所述顶板(222)与稳定仓(223)四边处之间垂直固接四个导杆(2238),所述横条板(221)上垂直开设四个导孔(2239),所述导杆(2238)滑动插接导孔(2239)。
8.根据权利要求7所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述横条板(221)顶面转动连接第四主动带轮(2218),所述滚珠花键(224)位于横条板(221)上方位置固定套接第四从动带轮(2217),所述第四主动带轮(2218)与第四从动带轮(2217)上套接第四同步带(2220),所述横条板(221)底面固接第三伺服减速电机(2219),所述第三伺服减速电机(2219)转轴端固接第四主动带轮(2218)转轴处,所述横条板(221)侧壁与长臂(215)端部侧壁之间固接多个侧架(2240),所述子接头(2227)底端固定套接横圆台(2230),所述横圆台(2230)顶面与底仓(228)内部顶面之间固接弹簧(2231),所述吸嘴(2228)上固定套接感应盘(2232),所述底仓(228)内部位于感应盘(2232)上方位置固接环体(2233),所述环体(2233)底面固接接触式传感器(2234)。
9.根据权利要求1所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述弧形滑块(219)顶面两侧固接两个限位块(2122),所述限位块(2122)顶面转动连接多个上导轮(2123)、底面转动连接多个下导轮(2124),所述环板(2236)顶面位于弧形通槽(218)两侧位置固接两个下弧形导轨(2127),所述异形顶盖(212)内侧壁位于两个下弧形导轨(2127)正上方位置固接两个弧板(2125),两个所述弧板(2125)底面固接两个上弧形导轨(2126),所述上导轮(2123)滚动连接上弧形导轨(2126),所述下导轮(2124)滚动连接下弧形导轨(2127)。
10.根据权利要求1所述的一种摆臂稳定的固晶机,其特征在于:所述横台(211)顶面位于内齿环(2112)外侧位置固接多个L型板(2128),所述L型板(2128)上转动连接摩擦轮(2129),所述摩擦轮(2129)接触内齿环(2112)侧壁,所述横台(211)顶面位于内齿环(2112)内侧位置转动连接多个辅助齿轮(2130),所述辅助齿轮(2130)啮合连接内齿环(2112)。
CN202311663688.7A 2023-12-06 2023-12-06 一种摆臂稳定的固晶机 Active CN117352442B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311663688.7A CN117352442B (zh) 2023-12-06 2023-12-06 一种摆臂稳定的固晶机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311663688.7A CN117352442B (zh) 2023-12-06 2023-12-06 一种摆臂稳定的固晶机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN117352442A CN117352442A (zh) 2024-01-05
CN117352442B true CN117352442B (zh) 2024-02-02

Family

ID=89367254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311663688.7A Active CN117352442B (zh) 2023-12-06 2023-12-06 一种摆臂稳定的固晶机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN117352442B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN209775788U (zh) * 2018-12-29 2019-12-13 江苏万茂纺织有限公司 一种布料覆膜加工设备
CN213071084U (zh) * 2020-09-25 2021-04-27 深圳市佳思特光电设备有限公司 直通型倒装固晶机
CN116403946A (zh) * 2023-05-24 2023-07-07 东莞市华越半导体技术股份有限公司 一种固晶机固晶头压力预警装置
CN116646446A (zh) * 2023-06-02 2023-08-25 厦门华晟电子有限公司 一种led平面型全自动固晶机

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN209775788U (zh) * 2018-12-29 2019-12-13 江苏万茂纺织有限公司 一种布料覆膜加工设备
CN213071084U (zh) * 2020-09-25 2021-04-27 深圳市佳思特光电设备有限公司 直通型倒装固晶机
CN116403946A (zh) * 2023-05-24 2023-07-07 东莞市华越半导体技术股份有限公司 一种固晶机固晶头压力预警装置
CN116646446A (zh) * 2023-06-02 2023-08-25 厦门华晟电子有限公司 一种led平面型全自动固晶机

Also Published As

Publication number Publication date
CN117352442A (zh) 2024-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113385563B (zh) 一种雨刮器连杆的扭转折弯方法及其折弯机构
CN111745409A (zh) 一种铝型材加工用多功能处理装置
CN117352442B (zh) 一种摆臂稳定的固晶机
CN111361087A (zh) 镜片注胶机
CN111891608A (zh) 一种层装物料的上下料机构
CN113500821A (zh) 一种自动过胶贴卡纸机
CN212238012U (zh) 一种自动点胶组装设备
CN106743651B (zh) 太阳能玻璃上料装置
CN220200653U (zh) 一种高速凸轮搬运机构
CN210678755U (zh) 一种彩钢板翻转合板装置
CN209583060U (zh) 一种瓦楞纸板生产用智能码垛装置
CN116021259A (zh) 一种背光组装机
CN216300309U (zh) 一种自动过胶贴卡纸机
CN209834687U (zh) 一种层装物料的上下料机构
CN213472280U (zh) 轮胎自动成型机胎面胶上贴合装置
CN211993911U (zh) 用于镜片注胶机的上料夹爪装置
CN108439023B (zh) 一种镜片模具撕、封胶带机构
CN206774573U (zh) 一种led固晶机点胶升降装置
CN219212750U (zh) 一种全自动抛光机的移取机械手
CN220617511U (zh) 一种具有缓震结构的半导体液晶搬送机
CN212831450U (zh) 一种取料机械手
CN117316855B (zh) 一种旋转取料芯片固晶机
CN221049149U (zh) 一种全自动高速贴面机
CN219505408U (zh) 一种注塑机用瓶坯抓取装置
CN220514613U (zh) 一种z轴带双r轴切换作业机构及点胶机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant