CN117287402B - 磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，包括主机架；第一滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第一滚轮组件设置有第一辊，所述第一辊与所述主机架之间为转动连接；第二滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第二滚轮组件设置有第二辊，所述第二辊与所述主机架之间为转动连接；所述第一辊与所述第二辊间隔设置且在水平方向上并行；压紧组件，设置在所述主机架上；所述压紧组件适于将分子泵压紧在所述第一辊和所述第二辊上；所述压紧组件包括：压紧支架和压紧轮，所述压紧轮适于压紧所述分子泵的表面；所述压紧轮的轴线与所述承重辊的轴线相平行。其操作省时省力，提高了测试效率。

Description

磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置

技术领域

本发明涉及磁悬浮分子泵测试装置技术领域，具体涉及一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置。

背景技术

针对磁悬浮分子泵的水平四角度积分输出调试过程，是保证分子泵产品合格的重要环节之一，同时也是保证分子泵安全运行的关键工艺。磁悬浮分子泵作为真空获得设备，在镀膜、半导体领域得到了广泛应用。由于客户现场设备特点不一，要求磁悬浮分子泵能够满足任意角度安装，进而要求分子泵在任意角度状态下均可正常悬浮，且悬浮中心稳定。水平四角度积分输出调试，则是用来判断分子泵在任意角度下是否悬浮正常。当下针对分子泵水平四角度积分输出调试，需要两人一起完成，调试过程中操作人员将分子泵置于桌面，旋转分子泵分别于0°、90°、180°、270°，记录各个角度下积分输出数值，判断在四角度下转子悬浮是否正常。分子泵平均重量为61kg，给操作人员带来了较大负担；分子泵旋转角度由调试人员控制，数据精度无法得到保证。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中对磁悬浮分子泵进行水平四角度积分输出测试时需要人工搬挪泵体而费时费力的缺陷，从而提供一种便于转动泵体的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置。

为解决上述技术问题，本申请提供了一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，包括：

主机架；

第一滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第一滚轮组件设置有第一辊，所述第一辊与所述主机架之间为转动连接；

第二滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第二滚轮组件设置有第二辊，所述第二辊与所述主机架之间为转动连接；所述第一辊与所述第二辊间隔设置且在水平方向上并行；

压紧组件，设置在所述主机架上；所述压紧组件适于将分子泵压紧在所述第一辊和所述第二辊上；

所述压紧组件包括：

压紧支架，设置在所述主机架上；

压紧轮，转动连接在压紧支架朝向主机架的一侧，所述压紧轮适于压紧所述分子泵的表面；所述压紧轮的轴线与所述第一辊的轴线相平行。

可选地，所述压紧组件还包括：

升降机架，设置在所述主机架上；所述升降机架上滑动连接有压紧支架。

可选地，所述压紧组件还包括：

第一驱动装置,设置在所述主机架上；所述第一驱动装置与所述压紧支架连接，压紧支架由第一驱动装置驱动；在所述第一驱动装置的驱动作用下，所述压紧支架适于在所述升降机架上滑动。

可选地，主机架上滑动定位连接有第一辊支架，第一辊与第一辊支架转动连接；第一辊支架的滑动方向在水平面上垂直于第一辊的轴线；主机架上固定连接有第二辊支架，第二辊与第二辊支架转动连接。

可选地，主机架、升降机架和压紧支架三者构成C字形结构；第二辊相对于第一辊靠近所述C字形结构的开口侧。

可选地，主机架上固定连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置与第二辊传动连接；主机架上设置有第三驱动装置，所述第三驱动装置传动连接有滚珠丝杠，滚珠丝杠的朝向与第一辊支架的滑动方向相同；第一辊支架固定连接有丝杠螺母，所述丝杠螺母与滚珠丝杠相适配连接。

可选地，所述压紧轮与压紧支架滑动定位连接；所述压紧轮的数量为两个；在主视视角下，第一辊、第二辊和两个所述压紧轮的轴线呈正立的等腰梯形分布。

可选地，两个所述压紧轮转动连接在同一个压紧轮支座上，所述压紧轮支座与压紧支架滑动连接。

可选地，还包括角度检测装置，所述角度检测装置与主机架形成滑动连接，所述角度检测装置的滑动方向与第一辊支架的滑动方向相同；所述角度检测装置通过传感器支架与主机架连接，传感器支架上沿铅锤方向设置有安装调整孔，所述角度检测装置安装在所述安装调整孔中。

可选地，所述角度检测装置为光电传感器，光电传感器与所述第二驱动装置通讯连接；在所述分子泵的端面上沿周向于0°、90°、180°和270°四个位置上贴有反光条；在所述分子泵的旋转过程中，反光条途经光电传感器。

通过采用上述技术方案，本发明具有如下技术效果：

1.本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，使分子泵放于第一辊和第二辊之上后，再于泵体上方通过压紧轮以至少三点定位的方式将呈圆柱状的分子泵可靠地卡固在各辊轮之间，以防止泵体脱出造成意外伤害，而测试时可以依靠驱动装置或用人力轻轻转动泵体便可使分子泵完成水平四角度的转动，相比采用人力搬转泵体的方式，其省时省力，提高了测试效率。

2.本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，因第一辊支架的滑动方向在水平面上垂直于第一辊的轴线，故可以调整第一辊和第二辊之间的跨度，从而适于支撑更大直径的泵体，提高了本装置的适应性 。

3.本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，其第二辊相对于第一辊靠近所述C字形结构的开口侧，可以使分子泵在从C字形结构的入口进入后，尽快移动至承重辊之上，以便尽快落下，提高测试效率。

4.本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，因为第二辊是与主机架的位置相对固定的，所以由第二驱动装置去驱动第二辊，相比于去驱动会滑动的第一辊，可以方便相关设备的布局摆放，及降低相关传动装置的复杂度，有利于提高整个装置的可靠性且降低成本。

5. 本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，采用了滚珠丝杠与丝杠螺母的形式来驱动第一辊支架的滑动，一方面代替人工对第一辊支架的调整挪动，节省了人力，另一方面滚珠丝杠与丝杠螺母具有自锁能力，在第一辊支架调整到位后，其相对位置便得到固定，避免了单独再设其他固定装置，降低了本装置的复杂度，使用便利。

6. 本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，所述压紧轮与压紧支架滑动定位连接，可实现更牢固可靠地对分子泵的夹紧卡固，以便提高本装置的可靠性和安全性。

7. 本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，呈正立的等腰梯形分布的四个辊轮，会对圆截面的分子泵的质心均衡施力，卡固更牢，无论是正转反转，都避免分子泵的脱出。

8. 本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，两个所述压紧轮转动连接在同一个压紧轮支座上，所述压紧轮支座与压紧支架滑动连接，可以实现压紧轮自定心，简化了操作。

9. 本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，通过角度检测装置的滑动设置，使角度检测装置也具有适应不同规格泵体的能力。

10. 本发明提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，传感器支架上沿铅锤方向设置有安装调整孔，可以在径向上适应不同规格泵体。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例在使用状态下的结构示意主视图；

图2为本发明实施例在使用状态下的结构示意立体图。

附图标记说明：

1-分子泵、2-压紧支架、3-第一压紧轮、4-第二压紧轮、5-第一滑块、6-压紧支架连接板、7-升降机架、8-第一直线导轨、9-单耳座、10-U形连接件、11-伸缩缸、12-伸缩缸底座、13-第一辊、14-弹性挡圈、15-第一辊轴、16-第一辊支架、17-光电传感器、18-传感器支架、19-第二辊底座、20-第二辊支架、21-从动带轮、22-第一电机支架、23-主动带轮、24-第一步进电机、25-传动带、26-第二辊、27-主机架、28-第二步进电机、29-第二电机支架、30-丝杠轴承座、31-滚珠丝杠、32-第二滑块、33-第二直线导轨、34-反光条、35-数据记录仪。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置。

在一种实施方式中，如图1和2所示，其包括：主机架27、第一滚轮组件、第二滚轮组件和压紧组件。第一滚轮组件设置在所述主机架27上；所述第一滚轮组件设置有第一辊13，所述第一辊13与所述主机架27之间为转动连接。第二滚轮组件设置在所述主机架27上；所述第二滚轮组件设置有第二辊26，所述第二辊26与所述主机架27之间为转动连接。所述第一辊13与所述第二辊26间隔设置且在水平方向上并行。压紧组件设置在所述主机架27上；所述压紧组件适于将分子泵压紧在所述第一辊13和所述第二辊26上。所述压紧组件包括：压紧支架2和压紧轮。压紧支架2设置在所述主机架27上。压紧轮转动连接在压紧支架2朝向主机架27的一侧，所述压紧轮适于压紧所述分子泵的表面；所述压紧轮的轴线与所述第一辊13的轴线相平行。

该测试装置在使用时，先将分子泵1放于第一辊13和第二辊26之上，然后使压紧轮下压，直至压紧轮将分子泵1压紧。之后在分子泵1的输出端安装数据记录仪35，随后可通过人力或其他动力完成对泵体的水平四角度转动，从而得出实验数据。

该测试装置通过第一辊13和第二辊26来承托分子泵1，并在分子泵1放于第一辊13和第二辊26之上后，再于泵体上方通过压紧轮以至少三点定位的方式将呈圆柱状的分子泵1可靠地卡固在各辊轮之间，以防止泵体脱出造成意外伤害，而测试时可以依靠驱动装置或用人力轻轻转动泵体便可使分子泵1完成水平四角度的转动，相比采用人力搬转泵体的方式，其省时省力，提高了测试效率。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，所述压紧组件还包括：升降机架7，其设置在所述主机架27上；所述升降机架7上滑动连接有压紧支架2。以便压紧支架2顺利进行压紧操作。

本实施例的升降机架7和压紧支架2的滑动连接结构既可以采用导柱与套筒的滑动结构，也可采用如图1实施方式的滑块与导轨的滑动形式，具体来说，在压紧支架2末端通过压紧支架连接板6连接有第一滑块5，在升降机架7竖直设置有第一直线导轨8，第一滑块5与第一直线导轨8滑动配合。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，所述压紧组件还包括：第一驱动装置,设置在所述主机架27上；所述第一驱动装置与所述压紧支架2连接，压紧支架2由第一驱动装置驱动；在所述第一驱动装置的驱动作用下，所述压紧支架2适于在所述升降机架7上滑动。

本实施例的第一驱动装置既可以采用电机带动齿轮齿条的结构，也可采用如图1实施方式的伸缩缸11来实现，具体来说，伸缩缸11的下端通过伸缩缸底座12连接在升降机架7下部，伸缩缸11的上端设置有U形连接件10，而在压紧支架连接板6底面设置有单耳座9，单耳座9与U形连接件10铰接。这样通过伸缩缸11的伸缩推拉便可实现压紧支架2升降。通过使用第一驱动装置，可以节省转动泵体的人力，提高作业效率。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，主机架27上滑动定位连接有第一辊支架16，这里所述的滑动定位连接也就是说，第一辊支架16与主机架27既存在滑动连接关系，也因具有相应固定措施可使第一辊支架16在主机架27上调整滑动后可固定位置，比如可采用夹持或插销等措施进行固定。第一辊支架16与主机架27的滑动连接在本实施方式具体采用了相滑动配合的第二滑块32和第二直线导轨33，在主机架27上设置第二直线导轨33，在第一辊支架16下端设置第二滑块32。第一辊13通过第一辊轴15与第一辊支架16转动连接。为固定第一辊轴15在第一辊支架16的轴向位置，可在轴端使用弹性挡圈14。第一辊支架16的滑动方向在水平面上垂直于第一辊13的轴线。主机架27通过第二辊底座19固定连接有第二辊支架20，第二辊26与第二辊支架20转动连接。

本实施方式的测试装置因第一辊支架16的滑动方向在水平面上垂直于第一辊13的轴线，故可以调整第一辊13和第二辊26之间的跨度，从而适于支撑更大直径的泵体，提高了本装置的适应性。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，主机架27、升降机架7和压紧支架2三者构成C字形结构。因本装置的主机架27、升降机架7和压紧支架2三者构成C字形结构，也就是在一侧呈现出敞口，从而可使较沉的泵体通过吊装的方式（比如泵体两端以吊装带同时吊起），从该敞口进入，进而将泵移动至承重辊上方后落下，从而节省了将分子泵1搬上测试台和卸下测试台的人员体力，不仅安全性更高，且能节省操作时间。此外，第二辊26相对于第一辊13靠近所述C字形结构的开口侧。这样设置可以使分子泵1在从C字形结构的入口进入后，尽快移动至承重辊之上，以便尽快落下，提高测试效率。而比如与主机架27位置固定的第一辊13位于C字形结构的深处，则对于小尺寸的分子泵1，每次吊装也要经过整段C字形结构的横向路径，不仅浪费了相应吊装时间，也容易在吊装过程中使泵体磕碰到升降机架7，造成测试装置与泵体的损坏。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，主机架27上固定连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置与第二辊26传动连接。第二驱动装置既可以采用电机或液压马达来直接驱动第二辊26，也可采用伸缩油缸推动齿条联动齿轮来使第二辊26转动，在本实施方式中，第二驱动装置具体采用了第一步进电机24，其通过第一电机支架22与主机架27固定连接，第一步进电机24的输出端设置有主动带轮24，第二辊26的轴端设置有从动带轮21，主动带轮24与从动带轮21通过传动带25连接。

经上述设置后的测试装置，因为第二辊26是与主机架27的位置相对固定的，所以由第二驱动装置去驱动第二辊26，相比于去驱动会滑动的第一辊13，可以方便相关设备的布局摆放，及降低相关传动装置的复杂度，有利于提高整个装置的可靠性且降低成本。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，主机架27上设置有第三驱动装置，所述第三驱动装置传动连接有滚珠丝杠31，滚珠丝杠31的朝向与第一辊支架16的滑动方向相同；第一辊支架16固定连接有丝杠螺母，所述丝杠螺母与滚珠丝杠31相适配连接。第三驱动装置可以采用液压马达，在本实施方式中则采用了第二步进电机28，其通过第二电机支架29与主机架27固定连接。为了保证滚珠丝杠31的稳定性，可以在滚珠丝杠31与主机架27间设置丝杠轴承座30。

采用了滚珠丝杠与丝杠螺母的形式来驱动第一辊支架16的滑动，一方面代替人工对第一辊支架16的调整挪动，节省了人力，另一方面滚珠丝杠与丝杠螺母具有自锁能力，在第一辊支架16调整到位后，其相对位置便得到固定，避免了单独再设其他固定装置，降低了本装置的复杂度，使用便利。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，所述压紧轮与压紧支架2滑动定位连接。这样在设置是因为在承重辊的间距可调的情况下，尤其是仅位于一侧的第一辊13位置在改变，则为了实现更牢固可靠地对分子泵1的夹紧卡固，压紧轮也应进行一定程度的位置调整，以便提高本装置的可靠性和安全性。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，所述压紧轮的数量为两个，在主视视角下（即图1视角下），第一辊13、第二辊26和两个所述压紧轮的轴线呈正立的等腰梯形分布。这种将压紧轮数量增多的方案，使得原先的三点定位增强为四点定位，可得到更强的对分子泵1的卡固效果，避免分子泵1在转动过程中的脱出现象。且呈正立的等腰梯形分布的四个辊轮，会对圆截面的分子泵1的质心均衡施力，卡固更牢，无论是正转反转，都避免分子泵1的脱出。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，两个所述压紧轮转动连接在同一个压紧轮支座上，所述压紧轮支座与压紧支架2滑动连接。两个压紧轮如果分别与压紧支架2滑动连接，则须分别对两轮的位置进行固定，操作繁琐，会无谓增长测试时间。而两轮通过同一压紧轮支座与压紧支架2滑动连接，则两压紧轮的间距得到固定，最多只需对压紧轮支座进行一次位置固定操作即可，简化了操作过程。但其实本实施方式可不对压紧轮支座进行固定操作，因为两压紧轮的间距固定，在压紧圆截面的泵体时，压紧轮支座在与压紧支架2自由滑动的情况下，会自行对心，即两压紧轮的间距中点会自行位于泵体圆心的正上方，在泵体压紧后，可使两压紧轮的水平向受力方向相反，压紧轮支座在两侧力作用下则实现了自动定位，简化了操作步骤。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，其还包括角度检测装置，所述角度检测装置与主机架27形成滑动连接，所述角度检测装置的滑动方向与第一辊支架16的滑动方向相同。角度检测装置可以采用接触式的距离传感器，通过泵体转动来带动传感器得出转动的圆周距离，之后再换算角度，但这种转换相对繁琐，因此在优选实施方式中，角度检测装置采用非接触式的光电传感器17，将与其配合的反光条34按水平四角度贴在分子泵1上，当分子泵1转过相应角度后便可感应得知，继而进行后续测试工作，比如关停第一步进电机而开启数据记录仪35，可实现对分子泵1的自动测试。此外相比人工转动时常产生过转或欠转的现象，使用角度检测装置还提高了测量精度。

因为两个承重辊和压紧轮为了使用不同直径规格的泵体而具有调整能力，为了使角度检测装置也具有适应能力，因此角度检测装置与主机架27也形成滑动连接，具体到本实施例是通过主机架27使用带有T形槽的型材，光电传感器17沿该T形槽滑动。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，所述角度检测装置通过传感器支架18与主机架27连接，传感器支架18上沿铅锤方向设置有安装调整孔，所述角度检测装置安装在所述安装调整孔中。 需要说明的是，所述安装调整孔沿铅锤方向设置是指其既可以采用长条状孔，也可采用连续排列的通孔形式。

这样设置使得角度检测装置可以更灵活适应不同直径的泵体。沿主机架27滑动仅解决角度检测装置与泵体水平向上的调整，但泵体直径有大有小，还需进一步对角度检测装置相对泵体圆心的径向做调整，而最简单的形式则是通过传感器支架18实现铅锤方向调整。

以上述实施方式为基础，在一种优选的实施方式中，如图1和2所示，所述角度检测装置优选为光电传感器17，光电传感器17与所述第二驱动装置通讯连接；在所述分子泵的端面上沿周向于0°、90°、180°和270°四个位置上贴有反光条34；在所述分子泵的旋转过程中，反光条34途经光电传感器17。光电传感器17通过检测反光条34位置，从而判断分子泵旋转到达相应位置，工作过程简单可靠，且光电传感器17与分子泵为非接触式检测，有利于分子泵从测试工装上吊入吊出，提高作业效率。

本发明实施例还提供一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出的测试方法，该测试方法具体包括：

1.第二步进电机28启动，通过带动滚珠丝杠31旋转，调整第一辊13位置，以适应不同型号的分子泵1。

2.操作人员将分子泵1吊装放置于第二辊26和第一辊13上，使分子泵初始位置为水平0°。

3. 伸缩缸11带动压紧支架2下移，使第一压紧轮3、第二压紧轮4压紧于分子泵泵壳处，保证分子泵旋转过程稳定。

4.分子泵1泵壳端面上在0°、90°、180°、270°位置上贴有反光条34。

5.分子泵1上电，启动测试装置，开始测试。

6. 光电传感器17通过检测反光条34位置，判断分子泵旋转到达相应位置，当处于0°时，数据记录仪35记录0°时积分输出数据。

7.第一步进电机24启动，带动主动带轮23旋转，主动带轮通过传动带25将动力传递给从动带轮21，从动带轮21带动第二辊26旋转，使泵体转至90°位置，随后停止第一步进电机24。

8.数据记录仪35记录90°时积分输出数据。

9.重复上述相应步骤，使分子泵1再处于180°、270°位置，并记录不同位置下的积分输出数据。

10.数据记录完毕后，伸缩缸11带动压紧支架2抬起，操作人员取下分子泵1，开始对下一个分子泵进行检验。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (1)

1.一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，其特征在于， 包括：

主机架（27）；

第一滚轮组件，设置在所述主机架（27）上；所述第一滚轮组件设置有第一辊（13），所述第一辊（13）与所述主机架（27）之间为转动连接；

第二滚轮组件，设置在所述主机架（27）上；所述第二滚轮组件设置有第二辊（26），所述第二辊（26）与所述主机架（27）之间为转动连接；所述第一辊（13）与所述第二辊（26）间隔设置且在水平方向上并行；

压紧组件，设置在所述主机架（27）上；所述压紧组件适于将分子泵压紧在所述第一辊（13）和所述第二辊（26）上；

所述压紧组件包括：

压紧支架（2），设置在所述主机架（27）上；

压紧轮，转动连接在压紧支架（2）朝向主机架（27）的一侧，所述压紧轮适于压紧所述分子泵的表面；所述压紧轮的轴线与所述第一辊（13）的轴线相平行；

所述压紧组件还包括：

升降机架（7），设置在所述主机架（27）上；所述升降机架（7）上滑动连接有压紧支架（2）；

所述压紧组件还包括：

第一驱动装置,设置在所述主机架（27）上；所述第一驱动装置与所述压紧支架（2）连接，压紧支架（2）由第一驱动装置驱动；在所述第一驱动装置的驱动作用下，所述压紧支架（2）适于在所述升降机架（7）上滑动；

主机架（27）上滑动定位连接有第一辊支架（16），第一辊（13）与第一辊支架（16）转动连接；第一辊支架（16）的滑动方向在水平面上垂直于第一辊（13）的轴线；主机架（27）上固定连接有第二辊支架（20），第二辊（26）与第二辊支架（20）转动连接；

主机架（27）、升降机架（7）和压紧支架（2）三者构成C字形结构；第二辊（26）相对于第一辊（13）靠近所述C字形结构的开口侧；

主机架（27）上固定连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置与第二辊（26）传动连接；主机架（27）上设置有第三驱动装置，所述第三驱动装置传动连接有滚珠丝杠（31），滚珠丝杠（31）的朝向与第一辊支架（16）的滑动方向相同；第一辊支架（16）固定连接有丝杠螺母，所述丝杠螺母与滚珠丝杠（31）相适配连接；

所述压紧轮与压紧支架（2）滑动定位连接；所述压紧轮的数量为两个；在主视视角下，第一辊（13）、第二辊（26）和两个所述压紧轮的轴线呈正立的等腰梯形分布；

两个所述压紧轮转动连接在同一个压紧轮支座上，所述压紧轮支座与压紧支架（2）滑动连接；

还包括角度检测装置，所述角度检测装置与主机架（27）形成滑动连接，所述角度检测装置的滑动方向与第一辊支架（16）的滑动方向相同；所述角度检测装置通过传感器支架（18）与主机架（27）连接，传感器支架（18）上沿铅锤方向设置有安装调整孔，所述角度检测装置安装在所述安装调整孔中；

所述角度检测装置为光电传感器（17），光电传感器（17）与所述第二驱动装置通讯连接；在所述分子泵的端面上沿周向于0°、90°、180°和270°四个位置上贴有反光条（34）；在所述分子泵的旋转过程中，反光条（34）途经光电传感器（17）；光电传感器（17）通过检测反光条（34）的位置，判断分子泵旋转到达相应位置，当处于0°、90°、180°和270°四个位置时，数据记录仪（35）记录对应位置的积分输出数据。