CN117226704B - 一种单晶硅片磨削倒角装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单晶硅片磨削倒角装置及方法，涉及单晶硅加工技术领域。本发明包括倒角机和安装于倒角机上的倒角模具，倒角模具包括上模和下模，上模和下模的结构相同，均包括倒角座和打磨板，打磨板安装在倒角座上，并与倒角座滑动配合。本发明通过对单晶硅片的磨削倒角模具重新设计，让一个模具能够根据不同尺寸的单晶硅片进行形状适配，进而能够在不重新开模的状态下完成对单晶硅片的倒角处理，降低生产成本。

Description

一种单晶硅片磨削倒角装置及方法

技术领域

本发明属于单晶硅加工技术领域，特别是涉及一种单晶硅片磨削倒角装置及方法。

背景技术

在集成电路单晶硅片加工工艺中，晶棒经多线切割形成硅片，经切割后的硅片边缘锐利，且有棱角、毛刺、崩边等缺陷，边缘的表面也较为粗糙，在后续的加工过程中，会与承载片盒及其他机械部件发生摩擦或碰撞，这些缺陷则让硅片边缘产生应力集中，进而提高硅片的不良率，造成硅片的废弃。因此需要对硅片的边缘进行磨削倒角处理。

在对硅片进行磨削倒角处理过程中，根据硅片的用途，硅片本身的尺寸也不一致，因此，在对硅片进行倒角时，一套模具一般只能够针对同一尺寸的硅片，对于不同尺寸的硅片需要不同的模具，较为繁琐麻烦，因此需要一种能够适配多种尺寸的硅片磨削倒角模具，进而降低开模所需要的成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶硅片磨削倒角装置及方法，解决现有的问题。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种单晶硅片磨削倒角装置，包括倒角机和安装于倒角机上的倒角模具，倒角模具包括上模和下模，上模和下模的结构相同，均包括倒角座和打磨板，打磨板安装在倒角座上，并与倒角座滑动配合；倒角座用于固定打磨板，打磨板用于给单晶硅片进行磨削倒角。

进一步地，所述倒角座包括底座、内胆、滑带和限位轮；底座与内胆连接，滑带与内胆贴合，限位轮安装在底座的一侧，并与滑带的一端连接；底座为一个框架，用于固定内胆和滑带，内胆与底座配合，在底座的表面形成一个形状可塑的区域，通过对该可塑区域的调节以适应不同单晶硅片对磨削倒角的需求；

所述底座为“C”形框状结构；底座的两个相对侧面设置有侧板，两个侧板之间连接有若干支撑柱，支撑柱之间通过菱形架连接，底座的另一侧面设置有开口，所述内胆安装在开口内，内胆、底座和两个侧板相互配合形成一个密封空腔，菱形架设置在空腔内；底座的两个相对面均设置有导线孔，底座内设置有两个相互平行设置的电极板，两个电极板上均连接有导线，且导线分别从两个导线孔内穿出；其中一个侧板上还设置有连通孔，连通孔上连接有连通管，连通管内设置有活塞；空腔内填充有电流变液；底座的两侧通过两个侧板形成一个带有缺角的矩形盒体结构；再由内胆进行拼合密封形成空腔，空腔内的电流变液在电场的作用下由液态转变为固态，能够为倒角时的打磨片提供支撑力，当电极板失电后，电流变液则又转变为液态，通过在侧板上设置的连通管，并通过将连通管内的电流变液的高度设置为高于空腔内的液面高度，则在大气压的作用下，液体会自然地由连通管内向空腔内流动，同时内胆和侧板使用柔性材料，为电流变液进入和流出底座留出空间，为了提高效果，可将底座内与内胆对角位置设置一个贴合的袋子，袋子侧边内接两个侧板和底座，同时与底座和两个侧板之间空余出一部分电流变液无法进入的隔离空腔；当电流变液从底座中流出时，袋子内的电流变液流出，隔离空腔体积增大，当电流变液流入底座内时，隔离空腔体积减小；

所述内胆与侧板均为柔性材料；

其中，所述底座上安装侧板的侧面还设置有若干限位孔；

所述滑带的一端与限位轮缠绕配合；滑带远离限位轮的一侧固定在底座上；滑带的一个侧面与内胆连接，且滑带上与内胆相对的一个侧面设置有滑轨；滑带的另一个侧面设置有若干拉孔，拉孔的数量与限位孔相同，拉孔与限位孔一一对应；拉孔与所对应的限位孔之间设置有拉绳；拉绳一端设置有活扣，拉绳另一端从拉孔和限位孔内穿过后再穿过活扣引出；通过将活扣的位置固定，则能够通过改变拉绳的拉伸距离控制与其连接的拉孔的位置，进而能够挤压内胆和侧板，从而能够改变与其所连的滑轨的弧度；当在多个位置上设置拉绳时，能够实现对倒角角度的精准控制；拉绳一方面给内胆施加压力改变内胆的弯曲形状，另一方面带动滑带上的滑轨，从而改变链板的滑动轨迹，当链板做周期运动时，能够按照滑轨的形状进行运动，从而获得需要的倒角角度。

其中，所述滑带与滑轨均为柔性材料；

进一步地，滑带、滑轨、内胆和侧板的柔性材料均具有韧性，如橡胶、塑料等柔性材料。

其中，所述限位轮内设置有扭簧；限位轮的外周侧面与滑带连接；限位轮的目的在于绷紧滑带，通过扭簧的设置始终能够给滑带以拉力，通过材料本身具有的韧性，并与拉绳配合能够提高滑带表面的曲线平滑度。

进一步地，所述上模和下模的连通管的开口方向均向上，且管道内的电流变液的液面高度均高于所连接的模具内的电流变液的高度。

进一步地，所述拉绳远离活扣的一端连接有辊轮，辊轮连接在电动机的输出轴上。

进一步地，所述底座的导线孔内设置密封圈，导线从密封圈内穿过，提高底座内空腔的密封性。

进一步地，所述打磨板包括链板、滑座、卡扣、齿条和复位杆；链板是截面为链条状的板状结构；链板的底面两侧连接有两个相对设置的滑座，滑座的侧面设置有若干滑轮，滑轮与滑轨滑动配合；滑座的一侧与卡扣连接；链板的不可折叠的两端分别连接有齿条和复位杆；复位杆为抽拉结构；复位杆的内部设置有弹簧；齿条啮合有驱动轮，驱动轮与一驱动电机的输出轴连接；链板与滑轨滑动配合；复位杆的一端与底座连接；驱动轮为半齿轮；通过驱动轮的半齿轮的设计，能够让驱动轮与齿条周期性地啮合与脱离，当驱动轮与齿条啮合时能够通过齿条带动链板在滑轨上滑动，当驱动轮与齿条脱离时，在复位杆的作用下，将链板沿着滑轨滑动复位，从而让安装于链板上的打磨条振荡打磨单晶硅片。

进一步地，所述倒角座还包括固定壳、支架和打磨条，固定壳将底座包裹，且在内胆所在的位置设置有“C”形开口；限位轮和驱动电机均安装在固定壳内；上模和下模均安装在支架上；打磨条通过卡扣贴合在链板的表面。

进一步地，所述电极板通过导线与电流变液的控制电路电性连接。

一种单晶硅片磨削倒角装置的方法，包括以下步骤：

步骤一：先确定单晶硅所需倒角的尺寸，再根据尺寸计算出所需要调节的拉绳的长度；

步骤二：电极板不导电，启动与拉绳连接的电动机，并通过辊轮的卷曲，释放或收紧拉绳的长度，并由拉绳控制滑带的形状；

步骤三；电极板导电，启动驱动电机，驱动电机带动驱动轮旋转；驱动轮带动链板及其上的打磨条周期运动；将单晶硅固定在倒角机的吸盘上旋转，配合打磨条进行磨削倒角。

本发明具有以下有益效果：

本发明通过对单晶硅片的磨削倒角模具重新设计，让一个模具能够根据不同尺寸的单晶硅片进行形状适配，进而能够在不重新开模的状态下完成对单晶硅片的倒角处理，降低生产成本。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的上模与下模的倒角座的内部结构示意图；

图2为图1中A部分局部放大图；

图3为本发明的上模与下模的倒角座的内部结构侧视图；

图4为本发明的上模与下模的倒角座的内部结构正视图；

图5为图4中A-A剖面图；

图6为图5中B部分局部放大图；

图7为本发明的打磨板与驱动轮的连接结构示意图；

图8为本发明的打磨板与驱动轮的连接结构示意图正视图；

图9为本发明的打磨板与驱动轮的连接结构示意图侧视图；

图10为图9中B-B剖面结构示意图；

图11为本发明的支撑柱与菱形架的装配结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、倒角座；2、打磨板；3、底座；4、内胆；5、滑带；6、限位轮；7、链板；8、滑座；9、卡扣；10、齿条；11、复位杆；12、驱动轮；301、导线孔；302、连通孔；303、支撑柱；304、电极板；305、连通管；306、限位孔；501、滑轨；502、拉孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参阅图1-图11所示，本发明为一种单晶硅片磨削倒角装置，包括倒角机和安装于倒角机上的倒角模具，倒角模具包括上模和下模，上模和下模的结构相同，均包括倒角座1和打磨板2，打磨板2安装在倒角座1上，并与倒角座1滑动配合；倒角座1用于固定打磨板2，打磨板2用于给单晶硅片进行磨削倒角。

其中，倒角座1包括底座3、内胆4、滑带5和限位轮6；底座3与内胆4连接，滑带5与内胆4贴合，限位轮6安装在底座3的一侧，并与滑带5的一端连接；底座3为一个框架，用于固定内胆4和滑带5，内胆4与底座3配合，在底座3的表面形成一个形状可塑的区域，通过对该可塑区域的调节以适应不同单晶硅片对磨削倒角的需求；

底座3为“C”形框状结构；底座3的两个相对侧面设置有侧板，两个侧板之间连接有若干支撑柱303，支撑柱303之间通过菱形架连接，底座3的另一侧面设置有开口，内胆4安装在开口内，内胆4、底座3和两个侧板相互配合形成一个密封空腔，菱形架设置在空腔内；底座3的两个相对面均设置有导线孔301，底座3内设置有两个相互平行设置的电极板304，两个电极板304上均连接有导线，且导线分别从两个导线孔301内穿出；其中一个侧板上还设置有连通孔302，连通孔302上连接有连通管305，连通管305内设置有活塞；空腔内填充有电流变液；底座3的两侧通过两个侧板形成一个带有缺角的矩形盒体结构；再由内胆4进行拼合密封形成空腔，空腔内的电流变液在电场的作用下由液态转变为固态，能够为倒角时的打磨片提供支撑力，当电极板304失电后，电流变液则又转变为液态，通过在侧板上设置的连通管305，并通过将连通管305内的电流变液的高度设置为高于空腔内的液面高度，则在大气压的作用下，液体会自然地由连通管305内向空腔内流动，同时内胆4和侧板使用柔性材料，为电流变液进入和流出底座3留出空间，为了提高效果，可将底座3内与内胆4对角位置设置一个贴合的袋子，袋子侧边内接两个侧板和底座3，同时与底座3和两个侧板之间空余出一部分电流变液无法进入的隔离空腔；当电流变液从底座3中流出时，袋子内的电流变液流出，隔离空腔体积增大，当电流变液流入底座3内时，隔离空腔体积减小；支撑柱303结合菱形架，能够为两个侧板提供支撑力，同时不影响内胆4的运动。

其中，底座3上安装侧板的侧面还设置有若干限位孔306；

滑带5的一端与限位轮6缠绕配合；滑带5远离限位轮6的一侧固定在底座3上；滑带5的一个侧面与内胆4连接，且滑带5上与内胆4相对的一个侧面设置有滑轨501；滑带5的另一个侧面设置有若干拉孔502，拉孔502的数量与限位孔306相同，拉孔502与限位孔306一一对应；拉孔502与所对应的限位孔306之间设置有拉绳；拉绳一端设置有活扣，拉绳另一端从拉孔502和限位孔306内穿过后再穿过活扣引出；通过将活扣的位置固定，则能够通过改变拉绳的拉伸距离控制与其连接的拉孔502的位置，进而能够挤压内胆4和侧板，从而能够改变与其所连的滑轨501的弧度；当在多个位置上设置拉绳时，能够实现对倒角角度的精准控制；拉绳一方面给内胆4施加压力改变内胆4的弯曲形状，另一方面带动滑带5上的滑轨501，从而改变链板7的滑动轨迹，当链板7做周期运动时，能够按照滑轨501的形状进行运动，从而获得需要的倒角角度。

其中，滑带5与滑轨501均为柔性材料；

内胆4与侧板均为柔性材料；

其中，滑带5、滑轨501、内胆4和侧板的柔性材料均具有韧性，如橡胶、塑料等柔性材料。

其中，限位轮6内设置有扭簧；限位轮6的外周侧面与滑带5连接；限位轮6的目的在于绷紧滑带5，通过扭簧的设置始终能够给滑带5以拉力，通过材料本身具有的韧性，并与拉绳配合能够提高滑带5表面的曲线平滑度。

其中，上模和下模的连通管305的开口方向均向上，且管道内的电流变液的液面高度均高于所连接的模具内的电流变液的高度。

其中，拉绳远离活扣的一端连接有辊轮，辊轮连接在电动机的输出轴上。

其中，底座3的导线孔301内设置密封圈，导线从密封圈内穿过，提高底座3内空腔的密封性。

其中，打磨板2包括链板7、滑座8、卡扣9、齿条10和复位杆11；链板7是截面为链条状的板状结构；链板7的底面两侧连接有两个相对设置的滑座8，滑座8的侧面设置有若干滑轮，滑轮与滑轨501滑动配合；滑座8的一侧与卡扣9连接；链板7的不可折叠的两端分别连接有齿条10和复位杆11；复位杆11为抽拉结构；复位杆11的内部设置有弹簧；齿条10啮合有驱动轮12，驱动轮12与一驱动电机的输出轴连接；链板7与滑轨501滑动配合；复位杆11的一端与底座3连接；驱动轮12为半齿轮；通过驱动轮12的半齿轮的设计，能够让驱动轮12与齿条10周期性地啮合与脱离，当驱动轮12与齿条10啮合时能够通过齿条10带动链板7在滑轨501上滑动，当驱动轮12与齿条10脱离时，在复位杆11的作用下，将链板7沿着滑轨501滑动复位，从而让安装于链板7上的打磨条振荡打磨单晶硅片。

其中，倒角座1还包括固定壳、支架和打磨条，固定壳将底座3包裹，且在内胆4所在的位置设置有“C”形开口；限位轮6和驱动电机均安装在固定壳内；上模和下模均安装在支架上；打磨条通过卡扣9贴合在链板7的表面。

其中，电极板304通过导线与电流变液的控制电路电性连接。

一种单晶硅片磨削倒角装置的方法，包括以下步骤：

步骤一：先确定单晶硅所需倒角的尺寸，再根据尺寸计算出所需要调节的拉绳的长度；

步骤二：电极板304不导电，启动与拉绳连接的电动机，并通过辊轮的卷曲，释放或收紧拉绳的长度，并由拉绳控制滑带5的形状；

步骤三；电极板304导电，启动驱动电机，驱动电机带动驱动轮12旋转；驱动轮12带动链板7及其上的打磨条周期运动；将单晶硅固定在倒角机的吸盘上旋转，配合打磨条进行磨削倒角。

请参阅图1-图11所示，本发明为一种单晶硅片磨削倒角装置及方法，其工作原理为：根据单晶硅片的厚度调节上模与下模之间的距离，再结合单晶硅片倒角的角度需求计算出拉绳所需要的距离，然后通过电动机驱动辊轮卷曲拉绳，配合拉绳另一端的活扣能够控制拉绳与活扣所围成的周长，通过该周长在不同位置的尺寸，进而确定拉孔502的位置；在电极板304未通电的情况下，电流变液为液态，此时在大气压的作用下，对底座3的空腔产生压力，将连通管305内的电流变液挤压入空腔内，进而能够对内胆4的与空腔贴合的面施加压力；限位轮6拉扯滑带5，让滑带5有向绷直状态的趋势；再配合拉伸，能够让内胆4能够始终处于内外压力平衡的状态，便于连接其上的滑带5能够获得良好的平滑度；滑轨501与滑带5为一体构造，而滑动连接在滑轨501上的链板7则会沿着滑轨501的形状进行滑动，配合链板7的振荡结构，使连接于链板7上的打磨条能够沿着滑轨501的形状进行滑动；当需要进行打磨工作时，通过对电极板304进行导电，改变电流变液的性质，由液态变为固态，进而能够对内胆4、滑带5等柔性材料制成的部件进行支撑，不会在倒角过程中变形。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

另外，本领域普通技术人员可以理解实现上述各实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，相应的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中，所述的存储介质，如ROM/RAM、磁盘或光盘等。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种单晶硅片磨削倒角装置，包括倒角机和安装于倒角机上的倒角模具，其特征在于：倒角模具包括上模和下模，上模和下模的结构相同，均包括倒角座（1）和打磨板（2），打磨板（2）安装在倒角座（1）上，并与倒角座（1）滑动配合；

所述倒角座（1）包括底座（3）、内胆（4）、滑带（5）和限位轮（6）；底座（3）与内胆（4）连接，滑带（5）与内胆（4）贴合，限位轮（6）安装在底座（3）的一侧，并与滑带（5）的一端连接；

所述底座（3）为“C”形框状结构；底座（3）的两个相对侧面设置有侧板，两个侧板之间连接有若干支撑柱（303），支撑柱（303）之间通过菱形架连接，底座（3）的另一侧面设置有开口，所述内胆（4）安装在开口内，内胆（4）、底座（3）和两个侧板相互配合形成一个密封空腔，菱形架设置在空腔内；底座（3）的两个相对面均设置有导线孔（301），底座（3）内设置有两个相互平行设置的电极板（304），两个电极板（304）上均连接有导线，且导线分别从两个导线孔（301）内穿出；其中一个侧板上还设置有连通孔（302），连通孔（302）上连接有连通管（305），连通管（305）内设置有活塞；空腔内填充有电流变液；

所述内胆（4）与侧板均为柔性材料；

其中，所述底座（3）上安装侧板的侧面还设置有若干限位孔（306）；

所述滑带（5）的一端与限位轮（6）缠绕配合；滑带（5）远离限位轮（6）的一侧固定在底座（3）上；滑带（5）的一个侧面与内胆（4）连接，且滑带（5）上与内胆（4）相对的一个侧面设置有滑轨（501）；滑带（5）的另一个侧面设置有若干拉孔（502），拉孔（502）的数量与限位孔（306）相同，拉孔（502）与限位孔（306）一一对应；拉孔（502）与所对应的限位孔（306）之间设置有拉绳；拉绳一端设置有活扣，拉绳另一端从拉孔（502）和限位孔（306）内穿过后再穿过活扣引出；

其中，所述滑带（5）与滑轨（501）均为柔性材料；

其中，所述限位轮（6）内设置有扭簧；限位轮（6）的外周侧面与滑带（5）连接；

所述打磨板（2）包括链板（7）、滑座（8）、卡扣（9）、齿条（10）和复位杆（11）；链板（7）是截面为链条状的板状结构；链板（7）的底面两侧连接有两个相对设置的滑座（8），滑座（8）的侧面设置有若干滑轮，滑轮与滑轨（501）滑动配合；滑座（8）的一侧与卡扣（9）连接；链板（7）的不可折叠的两端分别连接有齿条（10）和复位杆（11）；复位杆（11）为抽拉结构；复位杆（11）的内部设置有弹簧；齿条（10）啮合有驱动轮（12），驱动轮（12）与一驱动电机的输出轴连接；链板（7）与滑轨（501）滑动配合；复位杆（11）的一端与底座（3）连接；驱动轮（12）为半齿轮；

所述倒角座（1）还包括固定壳、支架和打磨条，固定壳将底座（3）包裹，且在内胆（4）所在的位置设置有“C”形开口；限位轮（6）和驱动电机均安装在固定壳内；上模和下模均安装在支架上；打磨条通过卡扣（9）贴合在链板（7）的表面。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片磨削倒角装置，其特征在于，所述上模和下模的连通管（305）的开口方向均向上，且管道内的电流变液的液面高度均高于所连接的模具内的电流变液的高度。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片磨削倒角装置，其特征在于，所述拉绳远离活扣的一端连接有辊轮，辊轮连接在电动机的输出轴上。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片磨削倒角装置，其特征在于，所述底座（3）的导线孔（301）内设置密封圈，导线从密封圈内穿过。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片磨削倒角装置，其特征在于，所述电极板（304）通过导线与电流变液的控制电路电性连接。

6.根据权利要求5中所述的一种单晶硅片磨削倒角装置的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：先确定单晶硅所需倒角的尺寸，再根据尺寸计算出所需要调节的拉绳的长度；

步骤二：电极板（304）不导电，启动与拉绳连接的电动机，并通过辊轮的卷曲，释放或收紧拉绳的长度，并由拉绳控制滑带（5）的形状；

步骤三；电极板（304）导电，启动驱动电机，驱动电机带动驱动轮（12）旋转；驱动轮（12）带动链板（7）及其上的打磨条周期运动；将单晶硅固定在倒角机的吸盘上旋转，配合打磨条进行磨削倒角。