CN117182751B - 一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置 - Google Patents

一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,包括:太阳轮轴;太阳轮座,其固接于所述太阳轮轴上;传扭套,其固接于所述太阳轮座的外部,且与所述太阳轮座之间形成有环形间隙;外螺母,其固接于所述太阳轮座的底部,用于螺纹连接内螺母;太阳轮,其与所述内螺母相固接,且所述太阳轮的顶部具有延伸环,所述延伸环容置于所述环形间隙中;以及转动驱动机构,其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座中,且用于驱动所述太阳轮转动。

Description

一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置
技术领域
本发明涉及双面抛光机技术领域,具体是一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置。
背景技术
在晶圆抛光时,需要用到双面抛光机,而双面抛光机在使用过程中,游星轮放置在下抛光盘上并与齿圈和太阳轮啮合,由于抛光盘的高度位置恒定不动,这将导致游星轮与太阳轮啮合位置也是恒定的,随着加工时间的推移,长时间同一位置啮合,将导致太阳轮啮合部位磨损,游星轮一般很薄,厚度一般从零点零几毫米到几毫米,实际应用大部分集中在零点几毫米厚度范围内,而太阳轮厚度一般有几十毫米,长时间同一位置啮合,太阳轮很快就会被磨出沟槽。
为了延长太阳轮的使用寿命,要避免太阳轮与游星轮在同一高度位置啮合,因此,太阳轮轮高度要可以调节,尽量让太阳轮高度尺寸全部参与啮合,这将大大延长太阳轮的使用寿命;而现有的太阳轮高度调节装置往往为人工拆卸一些部件后对其进行高度调节,较为繁琐,且调节精度低。
因此,需要开发一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置以解决上述问题。
发明内容
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,包括:
太阳轮轴;
太阳轮座,其固接于所述太阳轮轴上;
传扭套,其固接于所述太阳轮座的外部,且与所述太阳轮座之间形成有环形间隙;
外螺母,其固接于所述太阳轮座的底部,用于螺纹连接内螺母;
太阳轮,其与所述内螺母相固接,且所述太阳轮的顶部具有延伸环,所述延伸环容置于所述环形间隙中;以及
转动驱动机构,其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座中,且用于驱动所述太阳轮转动。
进一步,作为优选,所述传扭套上开设有周向等间距设置的多个长圆槽,所述太阳轮上固接有周向等间距设置的多个传扭块,所述传扭块中采用弹簧可复位的插接有传扭螺钉,在弹簧作用下,所述传扭螺钉能够插接于所述长圆槽中。
进一步,作为优选,所述延伸环与太阳轮座之间的基孔制配合为H7/g6。
进一步,作为优选,所述传扭套能够对太阳轮形成上限位,所述太阳轮座能够对内螺母形成上限位。
进一步,作为优选,所述转动驱动机构包括:
卡盘,其可拆卸的卡接于所述太阳轮座中,且所述卡盘的内部设置有第一电机;
基板,其由所述第一电机驱动;以及
多个对应于所述传扭块的夹板,所述夹板上设置有用于夹持所述传扭块的爪体,所述夹板上开设有对应于所述传扭螺钉的让位通槽,所述让位通槽的一侧设置有磁吸器。
进一步,作为优选,所述传扭块为矩形结构,所述爪体为弧形结构,所述弧形结构的弧长大于所述传扭块的长度,所述爪体的表面粘附有增阻垫。
进一步,作为优选,所述夹板上开设有滑槽,用于限位滑动连接所述爪体,所述爪体与所述滑槽之间设置有弹性复位垫,初始阶段,所述爪体位于所述滑槽的中部。
进一步,作为优选,所述转动驱动机构还包括:
转板,其转动设置于所述基板上,且由第二电机驱动;
多个对应于传扭块的转臂,其一端与转板铰接;以及
多个对应于转臂的滑轨,用于滑动连接移动臂,所述移动臂铰接至所述转臂上,所述移动臂还与所述夹板相连。
进一步,作为优选,所述卡盘的表面固定有卡块,所述太阳轮座的内表面开设有对应于所述卡块的卡槽。
与现有技术相比,本发明提供了一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,具备以下有益效果:
本发明实施例中,双面抛光机太阳轮具备高度调节功能,可以避免集中一个位置啮合导致局部过度磨损而缩短寿命;本发明实施例中,太阳轮高度调节采用了螺母结构,通过旋转与太阳轮固结的内螺母,使太阳轮高度位置发生变化,调节精度高,调节方便,不需要拆除太阳轮等零件即可调整;而由于螺母存在间隙,为了消除间隙带来的不利影响,本发明实施例中,延伸环与太阳轮座之间可构成导向装置,保证太阳轮自身精度,确保太阳轮与游星轮能正确啮合。
附图说明
图1为一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置的立体结构示意图;
图2为图1的下半部分立体结构示意图;
图3为图1的下半部分平面结构示意图;
图4为图1的上半部分立体结构示意图;
图5为图1的上半部分平面示意图;
图中:1、太阳轮;2、内螺母;3、外螺母;4、传扭套;5、太阳轮座;6、太阳轮轴;7、传扭螺钉;8、传扭块;9、游星轮;10、长圆槽;11、夹板;12、爪体;13、磁吸器;14、卡盘;15、基板;16、转板;17、转臂;18、移动臂;19、卡块;20、滑轨;21、让位通槽;22、第二电机;23、滑槽。
具体实施方式
实施例:请参照图1-5,本发明实施例中,提供了一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,包括:
太阳轮轴6;
太阳轮座5,其固接于所述太阳轮轴6上;
传扭套4,其固接于所述太阳轮座5的外部,且与所述太阳轮座5之间形成有环形间隙;
外螺母3,其固接于所述太阳轮座5的底部,用于螺纹连接内螺母2;
太阳轮1,其与所述内螺母2相固接,且所述太阳轮1的顶部具有延伸环,所述延伸环容置于所述环形间隙中;以及
转动驱动机构,其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座5中,且用于驱动所述太阳轮1转动。
本实施例中,通过驱动所述太阳轮1相对于外螺母3转动,即可使得所述内螺母2同步转动,而内螺母2与外螺母3螺纹相连,因此,在转动内螺母2的同时,内螺母相对外螺母3在轴向上也产生了移动;
也即,在驱动所述太阳轮1相对于外螺母3转动的过程中,即可实现对太阳轮1的轴向位置调节,也即高度调节,这种调节避免了太阳轮与游星轮9长时间在同一高度位置啮合,有利于延长太阳轮的使用寿命。
还值得一提的是,本装置在对太阳轮1进行高度调节时,无需拆除太阳轮等零件即可调整,调节方便。
还值得一提的是,本装置中,太阳轮1的顶部具有延伸环,所述延伸环容置于所述环形间隙中,环形间隙能够为太阳轮1提供较好的导向;
另外,所述延伸环与太阳轮座5之间的基孔制配合为H7/g6,H7/g6是一种精密的基孔制间隙配合。其中的“H”表示孔的下偏差,“7”是孔的公差等级,其接近于基本尺寸;“g”表示轴的上偏差,“6”表示的是轴的公差等级,比基本尺寸略小。由于孔的尺寸比基本尺寸略大,轴的尺寸比基本尺寸略小,所以二者就组成了一个间隙配合;
因此,太阳轮1的内孔与太阳轮座5的外圆为精密滑动配合,起到很好的导向作用,保证太阳轮的旋转精度;
换句话说,延伸环与太阳轮座之间可构成导向装置,保证太阳轮自身精度,确保太阳轮与游星轮能正确啮合。
另外,所述传扭套4上开设有周向等间距设置的多个长圆槽10,所述太阳轮1上固接有周向等间距设置的多个传扭块8,所述传扭块8中采用弹簧可复位的插接有传扭螺钉7,在弹簧作用下,所述传扭螺钉7能够插接于所述长圆槽10中。
调节时,外拉传扭螺钉7使其前端圆柱面从传扭套4的长槽内脱开,转动太阳轮1并带动内螺母2旋转,太阳轮1高度随之升降,太阳轮1调节一定高度后,再将传扭螺钉7前端对准传扭套4的长圆槽,并将前端圆柱面卡入长圆槽内,可防止螺母副之间产生位移,并有利于将太阳轮轴6的扭矩传递给太阳轮1。
本实施例中,一方面利用传扭螺钉7与长圆槽配合可实现对于传扭块8的周向移动的限制,当传扭块8在周向移动被限制时,太阳轮1、内螺母2的周向移动也被限制,进而使得太阳轮1、内螺母2的轴向移动也被限制;另一方面,还需注意的是,在驱动太阳轮转动过程中,在离心力的作用下,传扭螺钉可能出现脱离长圆槽的情况,为了解决该问题,本实施例中,所述传扭块8中采用弹簧可复位的插接有传扭螺钉7,在弹簧作用下,所述传扭螺钉7能够插接于所述长圆槽10中,也即,在弹簧的作用下,可能有效的应对传扭螺钉可能出现脱离长圆槽的情况;
并且,该弹簧还具有其它作用,以下将继续阐述:
所述转动驱动机构包括:
卡盘14,其可拆卸的卡接于所述太阳轮座5中,且所述卡盘14的内部设置有第一电机;
基板15,其由所述第一电机驱动;以及
多个对应于所述传扭块8的夹板11,所述夹板11上设置有用于夹持所述传扭块8的爪体12,所述夹板11上开设有对应于所述传扭螺钉7的让位通槽21,所述让位通槽21的一侧设置有磁吸器13;
在实施时,将让位通槽21的直径配置的足够大,便于传扭螺钉7能够在不同高度下均能够被容置于其中;
所述的磁吸器13为电动磁吸装置,通过磁吸作用来吸附传扭螺钉7,使其脱离长圆槽10,此时则解除对于太阳轮1的锁定,便于实现对于太阳轮1的高度调节,最后,在弹簧的作用下,传扭螺钉7能够实现快速且精准的复位。
作为较佳的实施例,所述传扭套4能够对太阳轮1形成上限位,所述太阳轮座5能够对内螺母形成上限位。
作为较佳的实施例,所述传扭块8为矩形结构,所述爪体12为弧形结构,所述弧形结构的弧长大于所述传扭块8的长度,所述爪体12的表面粘附有增阻垫。
在转动太阳轮1的过程中,即可实现对太阳轮1的轴向位置调节,为了更好的适应太阳轮1的轴向位置变化,所述夹板11上开设有滑槽23,用于限位滑动连接所述爪体12,所述爪体12与所述滑槽23之间设置有弹性复位垫,初始阶段,所述爪体12位于所述滑槽23的中部。
因此,爪体12也可以进行小幅度的高度变化,从而适应传扭块8、太阳轮1的高度变化。
本实施例中,所述转动驱动机构还包括:
转板16,其转动设置于所述基板15上,且由第二电机22驱动;
多个对应于传扭块8的转臂17,其一端与所述转板16铰接;以及
多个对应于转臂17的滑轨20,用于滑动连接移动臂18,所述移动臂18铰接至所述转臂17上,所述移动臂18还与所述夹板11相连。
在实施时,通过转动所述转板16即可使得转臂17发生偏转,进而使得所述移动臂18沿着滑轨20进行移动,进而带动夹板11进行移动,这种移动不仅能够使得夹板11适应传扭块8的位置大小,还能够使得夹板11实现对于传扭块8的锁紧或解除锁紧。
为了便于对于卡盘14的定位,所述卡盘14的表面固定有卡块19,所述太阳轮座5的内表面开设有对应于所述卡块19的卡槽。
在太阳轮正常工作过程中,卡盘14是脱离太阳轮座5的。
以上所述的,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,其特征在于:包括:
太阳轮轴(6);
太阳轮座(5),其固接于所述太阳轮轴(6)上;
传扭套(4),其固接于所述太阳轮座(5)的外部,且与所述太阳轮座(5)之间形成有环形间隙;
外螺母(3),其固接于所述太阳轮座(5)的底部,用于螺纹连接内螺母(2);
太阳轮(1),其与所述内螺母(2)相固接,且所述太阳轮(1)的顶部具有延伸环,所述延伸环容置于所述环形间隙中;以及
转动驱动机构,其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座(5)中,且用于驱动所述太阳轮(1)转动;
所述传扭套(4)上开设有周向等间距设置的多个长圆槽(10),所述太阳轮(1)上固接有周向等间距设置的多个传扭块(8),所述传扭块(8)中采用弹簧可复位的插接有传扭螺钉(7),在弹簧作用下,所述传扭螺钉(7)能够插接于所述长圆槽(10)中;
所述转动驱动机构包括:
卡盘(14),其可拆卸的卡接于所述太阳轮座(5)中,且所述卡盘(14)的内部设置有第一电机;
基板(15),其由所述第一电机驱动;以及
多个对应于所述传扭块(8)的夹板(11),所述夹板(11)上设置有用于夹持所述传扭块(8)的爪体(12),所述夹板(11)上开设有对应于所述传扭螺钉(7)的让位通槽(21),所述让位通槽(21)的一侧设置有磁吸器(13);
所述转动驱动机构还包括:
转板(16),其转动设置于所述基板(15)上,且由第二电机(22)驱动;
多个对应于传扭块(8)的转臂(17),其一端与转板(16)铰接;以及
多个对应于转臂(17)的滑轨(20),用于滑动连接移动臂(18),所述移动臂(18)铰接至所述转臂(17)上,所述移动臂(18)还与所述夹板(11)相连。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,其特征在于:所述延伸环与太阳轮座(5)之间的基孔制配合为H7/g6。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,其特征在于:所述传扭套(4)能够对太阳轮(1)形成上限位,所述太阳轮座(5)能够对内螺母形成上限位。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,其特征在于:所述传扭块(8)为矩形结构,所述爪体(12)为弧形结构,所述弧形结构的弧长大于所述传扭块(8)的长度,所述爪体(12)的表面粘附有增阻垫。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,其特征在于:所述夹板(11)上开设有滑槽(23),用于限位滑动连接所述爪体(12),所述爪体(12)与所述滑槽(23)之间设置有弹性复位垫,初始阶段,所述爪体(12)位于所述滑槽(23)的中部。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置,其特征在于:所述卡盘(14)的表面固定有卡块(19),所述太阳轮座(5)的内表面开设有对应于所述卡块(19)的卡槽。
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