JPH06339856A - 太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置 - Google Patents
太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置Info
- Publication number
- JPH06339856A JPH06339856A JP15281093A JP15281093A JPH06339856A JP H06339856 A JPH06339856 A JP H06339856A JP 15281093 A JP15281093 A JP 15281093A JP 15281093 A JP15281093 A JP 15281093A JP H06339856 A JPH06339856 A JP H06339856A
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- Japan
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- sun gear
- drive shaft
- carrier
- surface plate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 平面研磨装置における太陽歯車昇降機構を、
研磨剤の付着により太陽歯車の昇降操作に支承を来さな
いようにする。 【構成】 太陽歯車４を保持する保持部材１１を、太陽
歯車駆動軸４ａに回転方向の動きは規制して軸線方向に
のみ移動自在に取り付けると共に、推進部材１５を太陽
歯車駆動軸４ａに螺合して回転により保持部材１１を上
下動可能とし、該推進部材１５を太陽歯車駆動軸４ａに
対して固定する固定用部材１９を取り付けて、上記推進
部材１５及び固定用部材１９を、上定盤駆動軸１ａの上
端に設けられている上定盤駆動用のドライバ８で覆われ
た位置に配設することにより研磨剤から保護した。
研磨剤の付着により太陽歯車の昇降操作に支承を来さな
いようにする。 【構成】 太陽歯車４を保持する保持部材１１を、太陽
歯車駆動軸４ａに回転方向の動きは規制して軸線方向に
のみ移動自在に取り付けると共に、推進部材１５を太陽
歯車駆動軸４ａに螺合して回転により保持部材１１を上
下動可能とし、該推進部材１５を太陽歯車駆動軸４ａに
対して固定する固定用部材１９を取り付けて、上記推進
部材１５及び固定用部材１９を、上定盤駆動軸１ａの上
端に設けられている上定盤駆動用のドライバ８で覆われ
た位置に配設することにより研磨剤から保護した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、太陽歯車を上下動させ
るための太陽歯車昇降機構を備えた平面研磨装置に関す
るものである。
るための太陽歯車昇降機構を備えた平面研磨装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】ワークの両面を同時に研磨加工する平面
研磨装置は、一般に、同心状に位置する太陽歯車と内歯
歯車及び上下の定盤を備え、上記太陽歯車及び内歯歯車
と噛合して遊星運動するキャリヤに保持させたワークを
上下の定盤により両側から挟んで研磨加工するものであ
る。
研磨装置は、一般に、同心状に位置する太陽歯車と内歯
歯車及び上下の定盤を備え、上記太陽歯車及び内歯歯車
と噛合して遊星運動するキャリヤに保持させたワークを
上下の定盤により両側から挟んで研磨加工するものであ
る。
【０００３】かかる平面研磨装置においては、それを長
期間使用していると、太陽歯車及び内歯歯車のキャリヤ
と噛合する部分が摩耗して、キャリヤのガタつきや歯欠
け、浮き上がり、うねり等が発生し、加工不能になった
り、キャリヤ又は歯車の破損等を生じ易い。このため、
太陽歯車及び内歯歯車とキャリヤとの噛合位置を簡単に
変えられるようにしておくことが必要であるが、中でも
太陽歯車の場合は、小径で歯数が少ないことから内歯歯
車に比べて特に摩耗が早く、このため、内歯歯車とは独
立に噛合位置を変えられるようにしておくことが望まし
い。
期間使用していると、太陽歯車及び内歯歯車のキャリヤ
と噛合する部分が摩耗して、キャリヤのガタつきや歯欠
け、浮き上がり、うねり等が発生し、加工不能になった
り、キャリヤ又は歯車の破損等を生じ易い。このため、
太陽歯車及び内歯歯車とキャリヤとの噛合位置を簡単に
変えられるようにしておくことが必要であるが、中でも
太陽歯車の場合は、小径で歯数が少ないことから内歯歯
車に比べて特に摩耗が早く、このため、内歯歯車とは独
立に噛合位置を変えられるようにしておくことが望まし
い。
【０００４】一方、特公平４−５５８２１号公報には、
太陽歯車を独立に上下動させられるようにしたポリシン
グ装置について開示されている。これは、太陽歯車を駆
動軸の軸方向に摺動自在に設けると共に、この駆動軸に
太陽歯車と螺合する送りナットを軸方向の動きを規制し
た状態で回転可能に嵌合させ、この送りナットの回転操
作により太陽歯車を上下動させるようにしている。
太陽歯車を独立に上下動させられるようにしたポリシン
グ装置について開示されている。これは、太陽歯車を駆
動軸の軸方向に摺動自在に設けると共に、この駆動軸に
太陽歯車と螺合する送りナットを軸方向の動きを規制し
た状態で回転可能に嵌合させ、この送りナットの回転操
作により太陽歯車を上下動させるようにしている。
【０００５】しかしながら上記従来例は、太陽歯車と送
りナットとの螺合部が外部に露出しているため、ワーク
の研磨加工時に該螺合部に研磨剤が付着して固化し、送
りナットの回転操作が困難になり易いという欠点があっ
た。
りナットとの螺合部が外部に露出しているため、ワーク
の研磨加工時に該螺合部に研磨剤が付着して固化し、送
りナットの回転操作が困難になり易いという欠点があっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、研磨
剤の付着により太陽歯車の昇降操作に支承を来すような
ことがない太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置を得るこ
とにある。
剤の付着により太陽歯車の昇降操作に支承を来すような
ことがない太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置を得るこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、ワーク保持用のキャリヤと噛合して該キ
ャリヤを遊星運動させる太陽歯車及び内歯歯車と、該キ
ャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨加工す
る駆動回転自在の上下の定盤と、上記太陽歯車をキャリ
ヤとの噛合位置を変えるために上下動させる太陽歯車昇
降機構とを備えた平面研磨装置において、上記太陽歯車
昇降機構が、太陽歯車を太陽歯車駆動軸に対する回転方
向への動きは規制して軸線方向にのみ移動自在に保持す
る保持部材と、太陽歯車駆動軸及び保持部材のいずれか
一方に螺合して他方に対しては軸線方向にのみ係合し、
回転により保持部材を上下動させる推進部材と、該推進
部材を太陽歯車駆動軸に対して固定する固定用部材とか
らなり、上記推進部材及び固定用部材が、上定盤駆動軸
の上端に設けられている上定盤駆動用のドライバで覆わ
れた位置に配設されていることを特徴とするものであ
る。
め、本発明は、ワーク保持用のキャリヤと噛合して該キ
ャリヤを遊星運動させる太陽歯車及び内歯歯車と、該キ
ャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨加工す
る駆動回転自在の上下の定盤と、上記太陽歯車をキャリ
ヤとの噛合位置を変えるために上下動させる太陽歯車昇
降機構とを備えた平面研磨装置において、上記太陽歯車
昇降機構が、太陽歯車を太陽歯車駆動軸に対する回転方
向への動きは規制して軸線方向にのみ移動自在に保持す
る保持部材と、太陽歯車駆動軸及び保持部材のいずれか
一方に螺合して他方に対しては軸線方向にのみ係合し、
回転により保持部材を上下動させる推進部材と、該推進
部材を太陽歯車駆動軸に対して固定する固定用部材とか
らなり、上記推進部材及び固定用部材が、上定盤駆動軸
の上端に設けられている上定盤駆動用のドライバで覆わ
れた位置に配設されていることを特徴とするものであ
る。
【０００８】上記保持部材は、上部で一体に連なった内
筒部と外筒部とからなる二重円筒状に形成し、内筒部を
太陽歯車駆動軸に回転方向の動きは規制されているが軸
線方向には移動自在なるように嵌着すると共に、外筒部
に太陽歯車を固定し、内筒部と外筒部との間に下定盤駆
動軸の上端部を嵌入させることにより、該内筒部と太陽
歯車駆動軸との摺動面を研磨剤から隔離することができ
る。
筒部と外筒部とからなる二重円筒状に形成し、内筒部を
太陽歯車駆動軸に回転方向の動きは規制されているが軸
線方向には移動自在なるように嵌着すると共に、外筒部
に太陽歯車を固定し、内筒部と外筒部との間に下定盤駆
動軸の上端部を嵌入させることにより、該内筒部と太陽
歯車駆動軸との摺動面を研磨剤から隔離することができ
る。
【０００９】
【作用】太陽歯車とキャリヤとの噛合位置を変えるとき
は、上定盤駆動軸の上端のドライバを外し、固定用部材
を緩めたあと、レンチやその他の操作部材で推進部材を
回転させることにより、保持部材を介して太陽歯車を上
下動させる。そして、再び固定用部材を締め付けて推進
部材を太陽歯車駆動軸に対して固定したあと、ドライバ
を取り付けることにより作業が完了する。また、上記推
進部材及び固定用部材が上定盤駆動軸の上端のドライバ
で覆われた位置に配設されているため、推進部材と太陽
歯車駆動軸又は保持部材との螺合部や、推進部材と固定
用部材との螺合部等に研磨剤が付着して固化するような
ことがなく、このため、該推進部材及び固定用部材を常
に円滑且つ確実に回転操作して太陽歯車を上下動させる
ことができる。
は、上定盤駆動軸の上端のドライバを外し、固定用部材
を緩めたあと、レンチやその他の操作部材で推進部材を
回転させることにより、保持部材を介して太陽歯車を上
下動させる。そして、再び固定用部材を締め付けて推進
部材を太陽歯車駆動軸に対して固定したあと、ドライバ
を取り付けることにより作業が完了する。また、上記推
進部材及び固定用部材が上定盤駆動軸の上端のドライバ
で覆われた位置に配設されているため、推進部材と太陽
歯車駆動軸又は保持部材との螺合部や、推進部材と固定
用部材との螺合部等に研磨剤が付着して固化するような
ことがなく、このため、該推進部材及び固定用部材を常
に円滑且つ確実に回転操作して太陽歯車を上下動させる
ことができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。図１は太陽歯車昇降機構を備えた本発
明の平面研磨装置を示すもので、この平面研磨装置は、
基本的には公知のものと同様に、シリンダ３のピストン
ロッド３ａに吊設されて該シリンダ３の伸縮により昇降
自在の上定盤１、該上定盤１に対向する下定盤２、複数
のキャリヤ６と噛合して該キャリヤを遊星運動させる太
陽歯車４及び内歯歯車５を備え、各キャリヤ６に保持さ
せたワーク７を回転する上下の定盤１，２により両側か
ら挟んで研磨加工するものである。
詳細に説明する。図１は太陽歯車昇降機構を備えた本発
明の平面研磨装置を示すもので、この平面研磨装置は、
基本的には公知のものと同様に、シリンダ３のピストン
ロッド３ａに吊設されて該シリンダ３の伸縮により昇降
自在の上定盤１、該上定盤１に対向する下定盤２、複数
のキャリヤ６と噛合して該キャリヤを遊星運動させる太
陽歯車４及び内歯歯車５を備え、各キャリヤ６に保持さ
せたワーク７を回転する上下の定盤１，２により両側か
ら挟んで研磨加工するものである。
【００１１】上記両定盤１，２及び両歯車４，５は、同
心状に配設された駆動軸を介して図示しない駆動源に接
続され、所定の回転方向に所定の回転数で駆動されるよ
うになっている。これらの駆動軸のうち下定盤駆動軸２
ａと太陽歯車駆動軸４ａ及び内歯歯車駆動軸５ａは、そ
れぞれ下定盤２と太陽歯車４及び内歯歯車５に常時連結
されているが、中心に位置する上定盤駆動軸１ａは、そ
の上端に伏せたキャップ形をなすドライバ８を有し、上
定盤１が図１の位置に下降したときに、該上定盤１側に
設けたフック９がドライバ８の外面の溝８ａに嵌入する
ことにより該ドライバ８を介して上定盤１と係合し、上
定盤１が上昇したときは該上定盤１から離れるようにな
っている。
心状に配設された駆動軸を介して図示しない駆動源に接
続され、所定の回転方向に所定の回転数で駆動されるよ
うになっている。これらの駆動軸のうち下定盤駆動軸２
ａと太陽歯車駆動軸４ａ及び内歯歯車駆動軸５ａは、そ
れぞれ下定盤２と太陽歯車４及び内歯歯車５に常時連結
されているが、中心に位置する上定盤駆動軸１ａは、そ
の上端に伏せたキャップ形をなすドライバ８を有し、上
定盤１が図１の位置に下降したときに、該上定盤１側に
設けたフック９がドライバ８の外面の溝８ａに嵌入する
ことにより該ドライバ８を介して上定盤１と係合し、上
定盤１が上昇したときは該上定盤１から離れるようにな
っている。
【００１２】上記平面研磨装置には、太陽歯車４を単独
で昇降させる太陽歯車昇降機構１０が設けられており、
その具体的構成は図２に示す通りである。即ち、太陽歯
車駆動軸４ａに太陽歯車４を取り付ける保持部材１１
は、内筒部１１ａと外筒部１１ｂとが上端の連結部１１
ｃにより一体に連なった二重円筒状をなすもので、上記
内筒部１１ａが、太陽歯車駆動軸４ａに対し、滑りキー
１２の介在により回転方向の動きは規制されているが軸
線方向には移動自在なるように嵌着され、上記外筒部１
１ｂに太陽歯車４が固定されており、これらの内筒部１
１ａと外筒部１１ｂとの間に下定盤駆動軸２ａの上端部
２ｂが嵌入し、内筒部１１ａと太陽歯車駆動軸４ａとの
摺動面を取り囲んで研磨剤が侵入しないようにカバーし
ている。
で昇降させる太陽歯車昇降機構１０が設けられており、
その具体的構成は図２に示す通りである。即ち、太陽歯
車駆動軸４ａに太陽歯車４を取り付ける保持部材１１
は、内筒部１１ａと外筒部１１ｂとが上端の連結部１１
ｃにより一体に連なった二重円筒状をなすもので、上記
内筒部１１ａが、太陽歯車駆動軸４ａに対し、滑りキー
１２の介在により回転方向の動きは規制されているが軸
線方向には移動自在なるように嵌着され、上記外筒部１
１ｂに太陽歯車４が固定されており、これらの内筒部１
１ａと外筒部１１ｂとの間に下定盤駆動軸２ａの上端部
２ｂが嵌入し、内筒部１１ａと太陽歯車駆動軸４ａとの
摺動面を取り囲んで研磨剤が侵入しないようにカバーし
ている。
【００１３】上記太陽歯車駆動軸４ａの上端部には螺子
部１４が設けられ、該螺子部１４には、外面にレンチ掛
け用の平坦面を備えた推進部材１５が螺合し、回転によ
り上下動自在となっており、該推進部材１５と上記保持
部材１１とが、推進部材１５に設けたオイルレスメタル
（燒結含油軸受）等の軸受部材間に保持部材１１の上面
に設けた係合用フランジ１７を嵌合させることにより、
回転方向には相互に自由であるが軸線方向には係合し合
うように連結されている。また、上記推進部材１５の外
面の螺子部１５ａには固定用部材１９が螺着され、該固
定用部材１９を保持部材１１に対して締め付けることに
より、推進部材１５を太陽歯車駆動軸４ａに対して固定
し得るようになっている。上記固定用部材１９はナット
状に形成されているが、推進部材１５を太陽歯車駆動軸
４ａに対して固定したりフリーな状態にすることができ
るものであれば、その他の構成のものを用いることがで
きる。
部１４が設けられ、該螺子部１４には、外面にレンチ掛
け用の平坦面を備えた推進部材１５が螺合し、回転によ
り上下動自在となっており、該推進部材１５と上記保持
部材１１とが、推進部材１５に設けたオイルレスメタル
（燒結含油軸受）等の軸受部材間に保持部材１１の上面
に設けた係合用フランジ１７を嵌合させることにより、
回転方向には相互に自由であるが軸線方向には係合し合
うように連結されている。また、上記推進部材１５の外
面の螺子部１５ａには固定用部材１９が螺着され、該固
定用部材１９を保持部材１１に対して締め付けることに
より、推進部材１５を太陽歯車駆動軸４ａに対して固定
し得るようになっている。上記固定用部材１９はナット
状に形成されているが、推進部材１５を太陽歯車駆動軸
４ａに対して固定したりフリーな状態にすることができ
るものであれば、その他の構成のものを用いることがで
きる。
【００１４】上記推進部材１５及び固定用部材１９は、
上定盤駆動軸１ａの上端のドライバ８の内部に、該ドラ
イバ８と保持部材１１とで包まれた状態に配設され、こ
れにより、ワーク７の研磨加工時に、上記推進部材１５
と太陽歯車駆動軸４ａとの螺合部や推進部材１５と固定
用部材１９との螺合部に研磨剤が付着することのないよ
うに保護されている。
上定盤駆動軸１ａの上端のドライバ８の内部に、該ドラ
イバ８と保持部材１１とで包まれた状態に配設され、こ
れにより、ワーク７の研磨加工時に、上記推進部材１５
と太陽歯車駆動軸４ａとの螺合部や推進部材１５と固定
用部材１９との螺合部に研磨剤が付着することのないよ
うに保護されている。
【００１５】上記構成を有する平面研磨装置において、
太陽歯車４とキャリヤ６との噛合位置を変えるときは、
上定盤駆動軸１ａの上端のキャップボルト２１を外して
ドライバ８を該上定盤駆動軸１ａから取り外し、固定用
部材１９を緩めたあと、レンチ等の工具で推進部材１５
を回転させることにより、保持部材１１を介して太陽歯
車４を所要量だけ上動又は下動させる。そして、再び固
定用部材１９を締め付けて推進部材１５を太陽歯車駆動
軸４ａに対して固定したあと、上定盤駆動軸１ａにドラ
イバ８を取り付ける。
太陽歯車４とキャリヤ６との噛合位置を変えるときは、
上定盤駆動軸１ａの上端のキャップボルト２１を外して
ドライバ８を該上定盤駆動軸１ａから取り外し、固定用
部材１９を緩めたあと、レンチ等の工具で推進部材１５
を回転させることにより、保持部材１１を介して太陽歯
車４を所要量だけ上動又は下動させる。そして、再び固
定用部材１９を締め付けて推進部材１５を太陽歯車駆動
軸４ａに対して固定したあと、上定盤駆動軸１ａにドラ
イバ８を取り付ける。
【００１６】また、上記推進部材１５及び固定用部材１
９が上定盤駆動軸１ａの上端のドライバ８の内部に包み
込まれると共に、保持部材１１の内筒部１１ａと太陽歯
車駆動軸４ａとの摺動面が、該保持部材１１の内筒部１
１ａと外筒部１１ｂとの間に嵌入した下定盤駆動軸２ａ
の上端部２ｂに取り囲まれてカバーされているため、こ
れらの摺動部や螺合部に研磨剤が付着して固化すること
がなく、このため、太陽歯車４の昇降操作を常に円滑且
つ確実に行うことができる。
９が上定盤駆動軸１ａの上端のドライバ８の内部に包み
込まれると共に、保持部材１１の内筒部１１ａと太陽歯
車駆動軸４ａとの摺動面が、該保持部材１１の内筒部１
１ａと外筒部１１ｂとの間に嵌入した下定盤駆動軸２ａ
の上端部２ｂに取り囲まれてカバーされているため、こ
れらの摺動部や螺合部に研磨剤が付着して固化すること
がなく、このため、太陽歯車４の昇降操作を常に円滑且
つ確実に行うことができる。
【００１７】なお、上記実施例では、推進部材１５が、
太陽歯車駆動軸４ａに螺合すると共に保持部材１１に対
しては軸線方向にのみ係合するようになっているが、そ
の逆に、保持部材１１に螺合して、太陽歯車駆動軸４ａ
に対しては相対的に回転可能で軸線方向にのみ係合する
ようになっていても良い。また、該推進部材１５は、必
ずしも外面の平坦面にレンチ等の工具を掛けて回すよう
に構成する必要はなく、穴や溝に適宜部材を引っ掛けて
回すものなど、その他の適宜構成とすることもできる。
太陽歯車駆動軸４ａに螺合すると共に保持部材１１に対
しては軸線方向にのみ係合するようになっているが、そ
の逆に、保持部材１１に螺合して、太陽歯車駆動軸４ａ
に対しては相対的に回転可能で軸線方向にのみ係合する
ようになっていても良い。また、該推進部材１５は、必
ずしも外面の平坦面にレンチ等の工具を掛けて回すよう
に構成する必要はなく、穴や溝に適宜部材を引っ掛けて
回すものなど、その他の適宜構成とすることもできる。
【００１８】
【発明の効果】このように本発明によれば、回転により
太陽歯車を上下動させる推進部材及び該推進部材を固定
するための固定用部材を、上定盤駆動軸の上端のドライ
バで覆われた位置に配設したので、該推進部材と太陽歯
車駆動軸又は保持部材との螺合部や推進部材と固定用部
材との螺合部等に研磨剤が付着して固化するようなこと
がなく、このため、該推進部材及び固定用部材を常に円
滑且つ確実に回転操作して太陽歯車を上下動させること
ができる。
太陽歯車を上下動させる推進部材及び該推進部材を固定
するための固定用部材を、上定盤駆動軸の上端のドライ
バで覆われた位置に配設したので、該推進部材と太陽歯
車駆動軸又は保持部材との螺合部や推進部材と固定用部
材との螺合部等に研磨剤が付着して固化するようなこと
がなく、このため、該推進部材及び固定用部材を常に円
滑且つ確実に回転操作して太陽歯車を上下動させること
ができる。
【図１】本発明に係る平面研磨装置の断面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【符号の説明】 １ 上定盤 １ａ 上定盤駆動軸 ２ 下定盤 ２ａ 下定盤駆動軸 ２ｂ 上端部 ４ 太陽歯車 ４ａ 太陽歯車駆動軸 ５ 内歯歯車 ６ キャリヤ ７ ワーク ８ ドライバ １０ 太陽歯車昇降機
構 １１ 保持部材 １１ａ 内筒部 １１ｂ 外筒部 １５ 推進部材 １９ 固定用部材
構 １１ 保持部材 １１ａ 内筒部 １１ｂ 外筒部 １５ 推進部材 １９ 固定用部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１０月１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】 一方、特公平４−５５８２７号公報に
は、太陽歯車を独立に上下動させられるようにしたポリ
シング装置について開示されている。これは、太陽歯車
を駆動軸の軸方向に摺動自在に設けると共に、この駆動
軸に太陽歯車と螺合する送りナットを軸方向の動きを規
制した状態で回転可能に嵌合させ、この送りナットの回
転操作により太陽歯車を上下動させるようにしている。
は、太陽歯車を独立に上下動させられるようにしたポリ
シング装置について開示されている。これは、太陽歯車
を駆動軸の軸方向に摺動自在に設けると共に、この駆動
軸に太陽歯車と螺合する送りナットを軸方向の動きを規
制した状態で回転可能に嵌合させ、この送りナットの回
転操作により太陽歯車を上下動させるようにしている。
Claims (2)
- 【請求項１】 ワーク保持用のキャリヤと噛合して該キ
ャリヤを遊星運動させる太陽歯車及び内歯歯車と、該キ
ャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨加工す
る駆動回転自在の上下の定盤と、上記太陽歯車をキャリ
ヤとの噛合位置を変えるために上下動させる太陽歯車昇
降機構とを備え、 上記太陽歯車昇降機構が、太陽歯車を太陽歯車駆動軸に
対する回転方向の動きは規制して軸線方向にのみ移動自
在に保持する保持部材と、太陽歯車駆動軸及び保持部材
のいずれか一方に螺合して他方に対しては軸線方向にの
み係合し、回転により保持部材を上下動させる推進部材
と、該推進部材を太陽歯車駆動軸に対して固定する固定
用部材とからなり、上記推進部材及び固定用部材が、上
定盤駆動軸の上端に設けられている上定盤駆動用のドラ
イバで覆われた位置に配設されている、ことを特徴とす
る太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置。 - 【請求項２】 保持部材が、上部で一体に連なった内筒
部と外筒部とからなる二重円筒状をなしていて、内筒部
が太陽歯車駆動軸に回転方向の動きは規制されているが
軸線方向には移動自在なるように嵌着されると共に、外
筒部に太陽歯車が固定され、内筒部と外筒部との間に下
定盤駆動軸の上端部が嵌入して該内筒部と太陽歯車駆動
軸との摺動面を研磨剤から隔離していることを特徴とす
る請求項１に記載の太陽歯車昇降機構付き平面研磨装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15281093A JP3220290B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15281093A JP3220290B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06339856A true JPH06339856A (ja) | 1994-12-13 |
| JP3220290B2 JP3220290B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=15548653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15281093A Expired - Lifetime JP3220290B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 太陽歯車昇降機構付き平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220290B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117182751A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-08 | 苏州博宏源机械制造有限公司 | 一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置 |
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1993
- 1993-05-31 JP JP15281093A patent/JP3220290B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN117182751A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-08 | 苏州博宏源机械制造有限公司 | 一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置 |
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