CN117153739B - 晶圆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供的一种晶圆清洗装置，涉及晶圆生产技术领域，以在一定程度上解决晶圆清洗时，药液飞溅的问题。本发明提供的晶圆清洗装置,包括清洗机构、承载机构和回收机构；回收机构形成有回收空间，回收机构包括吸气组件和排废组件，吸气组件与回收空间相连通，使回收空间内形成负压，排废组件与回收空间相连通，用于回收废液；承载机构对应回收空间设置，且承载机构形成有承载空间，用于承载晶圆；清洗机构覆盖承载空间设置，且清洗机构能够向晶圆喷淋清洗液，用于清洗承载空间内的晶圆。

Description

晶圆清洗装置

技术领域

本发明涉及晶圆生产技术领域，尤其是涉及一种晶圆清洗装置。

背景技术

在晶圆的生产过程中需要对晶圆进行清洗作业。现阶段对晶圆的清洗大多采用喷淋头将清洗液喷淋到晶圆表面以实现对晶圆的清洗。

但由于喷淋头在喷淋的过程中清洗液会飘散到周围环境中，且当清洗液在接触晶圆后也会产生一定程度的溅射，使得飞溅的清洗液会不同程度的污染作业空间。

因此，急需提供一种晶圆清洗装置，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆清洗装置，以在一定程度上解决晶圆清洗时，药液飞溅的问题。

本发明提供的一种晶圆清洗装置，包括清洗机构、承载机构和回收机构；所述回收机构形成有回收空间，所述回收机构包括吸气组件和排废组件，所述吸气组件与所述回收空间相连通，使所述回收空间内形成负压，所述排废组件与所述回收空间相连通，用于回收废液；所述承载机构对应所述回收空间设置，且所述承载机构形成有承载空间，用于承载晶圆；所述清洗机构覆盖所述承载空间设置，且所述清洗机构能够向所述晶圆喷淋清洗液，用于清洗承载空间内的所述晶圆。

其中，所述清洗机构包括第一喷淋组件和第二喷淋组件，所述第一喷淋组件包括第一喷头和第一喷淋管，所述第一喷淋管与所述第一喷头相连接，用于向所述第一喷头输送清洗液；所述第二喷淋组件包括第二喷头和第二喷淋管，所述第二喷淋管与所述第二喷头相连接，用于向所述第二喷头输送水源。

具体地，所述清洗机构还包括支臂和旋转组件；所述旋转组件包括第一驱动构件，所述支臂包括连接段和安装段，所述连接段的一端与所述第一驱动构件的输出端相连接，另一端与所述安装段的一端相连接，所述第一喷头和所述第二喷头均设置在所述安装段远离所述连接段的一端。

进一步地，所述旋转组件包括第一主动轮、第一从动轮和第一传送带；所述第一主动轮与所述第一驱动构件的输出端相连接，所述第一传送带与所述第一主动轮和所述第一从动轮传动连接，以将动力传递至所述第一从动轮，所述连接段与所述第一从动轮相连接。

更进一步地，所述清洗机构还包括第一起升组件，所述第一起升组件包括安装座和第一起升构件，所述第一起升构件的伸缩端与所述安装座相连接，所述第一驱动构件与所述安装座相连接，所述第一主动轮和所述第一从动轮与所述安装座转动连接。

其中，所述承载机构包括承载环和承载座；所述承载环形成所述承载空间，所述承载座与所述承载环相连接，且所述承载座位于所述承载空间内，所述晶圆搭载于所述承载座上。

具体地，所述承载环的直径大于所述晶圆的直径，以使所述晶圆和所述承载环之间形成漏液间隙，废液由所述漏液间隙流入所述回收机构中。

具体地，所述承载座包括第一座体和第二座体，所述第一座体和所述第二座体相对设置在所述承载空间内，所述第一座体和所述第二座体上均设有吸附构件，所述吸附构件能够吸附所述晶圆。

进一步地，所述吸附构件包括吸附部和抽气部；所述吸附部由软质材料制成，且所述吸附部形成有气腔，所述抽气部与所述气腔相连通，以使所述气腔形成负压。

具体地，所述承载机构还包括出风管，所述承载环的周向设有多个限位扣，所述出风管沿所述承载环的周向穿过所述限位扣与所述承载环相连接；所述出风管上设有多个出风口，多个所述出风口均朝向所述承载空间布置。

具体地，本发明提供的晶圆清洗装置，还包括移动机构，所述移动机构包括第一移动组件、第二移动组件和安装基板；所述回收机构设置在所述安装基板上，所述第一移动组件和所述第二移动组件设置于所述回收机构的两侧，所述承载机构的两侧分别与所述第一移动组件和所述第二移动组件相连接，所述第一移动组件和所述第二移动组件能够带动所述承载机构在所述回收空间内移动。

进一步地，所述第一移动组件包括支撑架、驱动组件、第一导向构件和第一滑动构件；所述驱动组件设置于所述支撑架上，且所述驱动组件与所述第一滑动构件相连接，所述第一导向构件设置于所述支撑架上，所述第一滑动构件与所述第一导向构件滑动连接，且所述驱动组件能够驱动所述第一滑动构件沿所述第一导向构件滑动；所述承载机构与所述第一滑动构件相连接。

更进一步地，所述第一移动组件还包括第二起升组件，所述第二起升组件包括第二起升构件和连接座，所述第二起升构件与所述第一滑动构件相连接，所述第二起升构件的伸缩端与所述连接座相连接，所述承载机构与所述连接座相连接。

更进一步地，所述驱动组件包括第二驱动构件、第二主动轮、第二从动轮以及第二传送带；所述第二驱动构件设置在所述支撑架上，所述第二驱动构件的输出端与所述第二主动轮相连接，所述第二传送带与所述第二主动轮和所述第二从动轮传动连接；

所述第一滑动构件与所述第二传送带相连接，所述第一导向构件的数量为两条，且平行设置于所述第二传送带的两侧。

更进一步地，所述第二移动组件包括第三起升构件、定位座、第二导向构件和第二滑动构件；所述第三起升构件设置在所述安装基板上，所述第三起升构件的伸缩端与所述定位座相连接，所述第二导向构件设置于所述定位座上，且所述第二导向构件平行于所述第一导向构件设置；所述第二滑动构件包括连接板和滑轮，所述连接板的一端与所述承载机构相连接，滑轮设置于所述连接板远离所述承载机构的一端，且与所述连接板相接触。

相对于现有技术，本发明提供的晶圆清洗装置具有以下优势：

本发明提供的晶圆清洗装置，包括清洗机构、承载机构和回收机构；回收机构形成有回收空间，回收机构包括吸气组件和排废组件，吸气组件与回收空间相连通，使回收空间内形成负压，排废组件与回收空间相连通，用于回收废液；承载机构对应回收空间设置，且承载机构形成有承载空间，用于承载晶圆；清洗机构覆盖承载空间设置，且清洗机构能够向晶圆喷淋清洗液，用于清洗承载空间内的晶圆。

由此分析可知，通过承载机构形成的承载空间，能够对待清洗的晶圆进行承载，而由于本申请中的承载机构对应回收空间设置，因此，承载待清洗晶圆的承载机构能够始终在回收空间内。

相应地，通过设置覆盖承载空间的清洗机构，能够实现对承载空间内的晶圆进行清洗的动作。可以理解的是，由于承载机构对应回收空间设置，因此，当清洗机构清洗承载机构上的晶圆时，清洗液最终能够流入回收空间内。

而由于回收机构包括吸气组件和排废组件，因此，通过吸气组件能够吸取回收空间内的空气，从而使回收空间内形成负压状态，进而能够保证清洗液顺利进入回收空间中。

排废组件与回收空间相连通，从而当清洗液被负压吸入回收空间后，能够由排废组件统一回收排放，避免对环境的污染。

由于本申请中回收空间能够通过吸气组件形成负压状态，因此，能够为清洗液提供一定程度的吸引力，避免清洗液的飞溅，从而能够保证作业空间的清洁。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的晶圆清洗装置第一视角的整体结构示意图；

图2为本发明实施例提供的晶圆清洗装置第二视角的整体结构示意图；

图3为本发明实施例提供的晶圆清洗装置中清洗机构的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的晶圆清洗装置中承载机构的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的晶圆清洗装置中回收机构的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的晶圆清洗装置中移动机构的结构示意图。

图中：1-清洗机构；101-第一喷头；102-第二喷头；103-喷嘴座；104-支臂；1041-连接段；1042-安装段；105-第一驱动构件；106-第一主动轮；107-第一从动轮；108-第一传送带；109-第一起升构件；110-安装座；2-承载机构；201-承载环；2011-限位扣；202-第一座体；203-第二座体；204-吸附构件；2041-吸附部；2042-气腔；3-移动机构；301-第一移动组件；3011-支撑架；3012-第一导向构件；3013-第一滑动构件；3014-第二起升构件；3015-连接座；3016-第二主动轮；3017-第二从动轮；3018-第二传送带；302-第二移动组件；3021-第三起升构件；3022-定位座；3023-第二导向构件；3024-第二滑动构件；303-安装基板；4-回收机构；401-回收空间；402-吸气组件。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。

为了易于描述，在这里可使用诸如“在……之上”、“上部”、“在……之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。

在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。

由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。

这里所描述的示例的特征可按照在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本申请的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。

实施例1：如图1结合图2和图5所示，本发明提供一种晶圆清洗装置，包括清洗机构1、承载机构2和回收机构4；回收机构4形成有回收空间401，回收机构4包括吸气组件402和排废组件，吸气组件402与回收空间401相连通，使回收空间401内形成负压，排废组件与回收空间401相连通，用于回收废液；承载机构2对应回收空间401设置，且承载机构2形成有承载空间，用于承载晶圆；清洗机构1覆盖承载空间设置，且清洗机构1能够向晶圆喷淋清洗液，用于清洗承载空间内的晶圆。

相对于现有技术，本发明提供的晶圆清洗装置具有以下优势：

本发明提供的晶圆清洗装置，通过承载机构2形成的承载空间，能够对待清洗的晶圆进行承载，而由于本申请中的承载机构2对应回收空间401设置，因此，承载待清洗晶圆的承载机构2能够始终在回收空间401内。

相应地，通过设置覆盖承载空间的清洗机构1，能够实现对承载空间内的晶圆进行清洗的动作。可以理解的是，由于承载机构2对应回收空间401设置，因此，当清洗机构1清洗承载机构2上的晶圆时，清洗液最终能够流入回收空间401内。

而由于回收机构4包括吸气组件402和排废组件，因此，通过吸气组件402能够吸取回收空间401内的空气，从而使回收空间401内形成负压状态，进而能够保证清洗液顺利进入回收空间401中。

排废组件与回收空间401相连通，从而当清洗液被负压吸入回收空间401后，能够由排废组件统一回收排放，避免对环境的污染。

由于本申请中回收空间401能够通过吸气组件402形成负压状态，因此，能够为清洗液提供一定程度的吸引力，避免清洗液的飞溅，从而能够保证作业空间的清洁。

本实施方式进行清洗作业时，先将待清洗晶圆放入承载空间内，启动吸气组件402，使回收空间401保持在负压状态，之后，清洗机构1启动，对承载空间内的晶圆进行清洗，由于回收空间401始终处于负压状态，因此，既能够对承载空间内的清洗液进行吸引，使承载空间中的清洗液进入回收空间401中，也能够使飞溅至承载空间外的清洗液进入回收空间401中，避免清洗时清洗液的飞溅污染作业空间的问题。

基于上述结构，在实际作业时，如图1-图3所示，本申请中的清洗机构1包括第一喷淋组件和第二喷淋组件，第一喷淋组件包括第一喷头101和第一喷淋管，第一喷淋管与第一喷头101相连接，用于向第一喷头101输送清洗液；第二喷淋组件包括第二喷头102和第二喷淋管，第二喷淋管与第二喷头102相连接，用于向第二喷头102输送水源。

通过第一喷淋组件和第二喷淋组件能够实现水和清洗液的独立输入，既可通过第一喷淋组件供应水，第二喷淋组件供应清洗液，也可通过第一喷淋组件供应清洗液，第二喷淋组件供应水。

优选地，本申请中的第一喷头101为雾化喷头，第二喷头102为常压喷头，相应地，第一喷淋组件即第一喷头101用于喷淋清洗液，第二喷淋组件即第二喷头102用于喷淋水，通过雾化喷头能够形成喷淋面，并使清洗液均匀洒落在晶圆上，而通过常压喷头能够形成清洗水流，从而便于对清洗液进行清洁。

在进行清洗作业时，先将待清洗晶圆放入承载空间内，启动吸气组件402，使回收空间401保持在负压状态，之后，第二喷头102启动，向晶圆上喷淋水，使晶圆表面湿润。待喷淋完成后，第二喷头102关闭，第一喷头101启动，向晶圆上喷淋清洗液，清洁晶圆表面，待清洁完成后，第二喷头102再次启动，第一喷头101关闭，向晶圆上喷淋水，从而能够将清洗液清除晶圆表面，完成对晶圆的清洗。

可以理解的是，通过使第一喷淋管与第一喷头101相连接，从而能够将清洗液输送至第一喷头101中，而通过使第二喷淋管与第二喷头102相连接，能够将水源输送至第二喷头102中。并且，由于第一喷淋管和第二喷淋管互相独立，因此，能够避免清洗液和水互相影响，导致清洁效果下降的问题。

优选地，如图1所示，本申请中的第一喷头101和第二喷头102均设置在喷嘴座103上，且第一喷头101和第二喷头102均与喷嘴座103可拆卸连接，从而能够便于后期维护。

实施例2：基于上述结构，本申请进一步优化了清洗机构1，如图3所示，本申请中的清洗机构1还包括支臂104和旋转组件；旋转组件包括第一驱动构件105，支臂104包括连接段1041和安装段1042，连接段1041的一端与第一驱动构件105的输出端相连接，另一端与安装段1042的一端相连接，第一喷头101和第二喷头102均设置在安装段1042远离连接段1041的一端。

通过支臂104能够实现上述喷嘴座103的安装，从而实现第一喷头101和第二喷头102的安装和定位。

相应地，在此种实施方式中，通过进一步加装了旋转组件，且在此种实施方式中，使第一驱动构件105的输出端与支臂104相连接，从而通过第一驱动构件105能够实现支臂104的旋转，进而能够带动第一喷头101和第二喷头102产生转动，实现更大的喷淋覆盖范围，保证对晶圆的清洁效果。

可以理解的是，在此种实施方式中，第一驱动构件105可以为驱动电机，通过将驱动电机的输出轴直接与支臂104相连接，从而能够实现支臂104的转动。

实施例3：基于上述结构，本实施方式进一步对旋转组件进行优化，如图3上述，在本实施例中，旋转组件包括第一主动轮106、第一从动轮107和第一传送带108；第一主动轮106与第一驱动构件105的输出端相连接，第一传送带108与第一主动轮106和第一从动轮107传动连接，以将动力传递至第一从动轮107，连接段1041与第一从动轮107相连接。

在此种实施方式中，第一驱动构件105仍采用驱动电机，相应地，第一驱动构件105的输出轴与第一主动轮106相连接，从而能够带动第一主动轮106转动，进而通过第一传送带108能够带动第一从动轮107转动，由于在本实施例中，支臂104的连接段1041与第一从动轮107相连接，因此，能够实现支臂104的稳定转动。

可以理解的是，采用传送带结构实现支臂104的转动，既能够保证支臂104转动过程的平稳，也能够最大程度的降低运行时的噪音，还能够通过支臂104的转动，实现第一喷头101和第二喷头102的更大覆盖面，从而保证对晶圆清洗的效果。并且，由于传送带结构在运行时能够在一定程度上避免磨损碎屑的产生，因此，也能够避免对环境和晶圆造成影响的问题。

此处需要补充说明的是，本申请采用传送带结构仅为其中一中较佳的实施方式，当然，第一主动轮106和第一从动轮107也可采用链轮，第一传送带108采用链条的传动形式。作业时，第一驱动构件105驱动第一主动轮106转动，从而能够实现第一从动轮107的转动，最终实现支臂104的转动。

基于上述结构，本申请进一步对清洗机构1进行优化，如图3所示，本申请中的清洗机构1还包括第一起升组件，第一起升组件包括安装座110和第一起升构件109，第一起升构件109的伸缩端与安装座110相连接，第一驱动构件105与安装座110相连接，第一主动轮106和第一从动轮107与安装座110转动连接。

优选地，本申请中的第一起升构件109采用气缸，在平稳运行的同时，既能够降低运行噪音，也能够降低运行时因磨损产生碎屑污染晶圆的风险。

并且，通过在第一起升构件109的伸缩端上连接安装座110，能够为第一主动轮106和第一从动轮107提供稳定的安装位置。当第一起升构件109运行时，能够带动安装座110起降，从而实现第一主动轮106、第一从动轮107以及第一传送带108的统一起降。

可以理解的是，本申请中第一从动轮107与安装座110的转动连接可以通过连接轴实现，即通过使连接轴的一端与安装座110转动连接，另一端与第一从动轮107固定连接，实现第一从动轮107相对安装座110的转动，而连接轴与安装座110的转动可通过轴承实现，在此不再赘述。

第一主动轮106通过第一驱动构件105与安装座110相连接，并使第一驱动构件105的输出端直接穿过安装座110与第一主动轮106相连接，从而能够实现第一主动轮106相对安装座110的转动。

本实施例提供的晶圆清洗装置在作业时，先将待清洗晶圆放入承载空间内，启动吸气组件402，使回收空间401保持在负压状态，之后，第一驱动构件105驱动支臂104转动，直至第一喷头101和第二喷头102运动至待清洗晶圆上方，第一起升构件109启动，带动安装座110下降，从而使第一喷头101和第二喷头102能够向接近待清洗晶圆的方向移动。

当运动至合理位置后，第二喷头102启动，向晶圆上喷淋水，使晶圆表面湿润。待喷淋完成后，第二喷头102关闭，第一喷头101启动，向晶圆上喷淋清洗液，清洁晶圆表面，待清洁完成后，第二喷头102再次启动，第一喷头101关闭，向晶圆上喷淋水，从而能够将清洗液清除晶圆表面，完成对晶圆的清洗。

待清洗完成后，第一起升构件109伸展，带动安装座110上升，从而使第一喷头101和第二喷头102向远离晶圆的方向移动，当移动到位后，第一驱动构件105控制支臂104转动，从而带动第一喷头101和第二喷头102移出承载空间，使清洗后的晶圆可以顺利取出。

可选地，如图4所示，在上述实施方式中，承载机构2包括承载环201和承载座；承载环201形成承载空间，承载座与承载环201相连接，且承载座位于承载空间内，晶圆搭载于承载座上。

承载环201能够为承载座提供稳定的安装位置，并形成相应的承载空间，通过在承载空间内设置的承载座，能够对晶圆进行稳定承载，从而实现晶圆的清洗。

本申请中的承载座可以为多个沿承载环201的周向布置的条状结构，从而能够形成圆形的承载面，以对晶圆进行承载，保证晶圆的清洗过程的稳定。

优选地，如图4所示，本申请中的承载座包括第一座体202和第二座体203，第一座体202和第二座体203相对设置在承载空间内，且本申请中的第一座体202和第二座体203均呈矩形框架结构，从而通过相对设置的第一座体202和第二座体203，同样能够形成稳定的承载面，进而实现对晶圆的稳定承托。

可以理解的是，本申请中承载座包括第一座体202和第二座体203，即数量为两个仅为其中一种实施方式，具体数量也可根据对应承载环201的尺寸和需求进行设置，如设置三个座体，且三个座体沿周向均布也能够提供稳定的承载，在此不再赘述。

进一步优选地，本申请中的第一座体202和第二座体203上均设有吸附构件204，吸附构件204能够吸附晶圆。

本申请中的吸附构件204可以采用碗装的吸盘结构，从而能够通过吸盘结构实现对晶圆的承托和吸附，进而能够进一步提高晶圆的稳定性。

由于晶圆在放入承载空间后无法进行按压操作，因此，优选地，本申请中的吸附构件204包括吸附部2041和抽气部；吸附部2041由软质材料制成，且吸附部2041形成有气腔2042，抽气部与气腔2042相连通，以使气腔2042形成负压。

通过形成的气腔2042并通过与气腔2042连接的抽气部，能够使气腔2042形成负压，从而在晶圆进入承载空间后能够快速与吸附部2041相吸附，进而实现对晶圆的稳定承载，而当清洗完成后，可通过抽气部向气腔2042内充入空气，从而使晶圆能够快速与吸附部2041相分离。

在此种实施方式中，本申请提供的晶圆清洗装置在作业时，先将待清洗晶圆放入承载空间内，启动抽气部，使气腔2042形成负压，从而能够通过吸附部2041的变形实现对晶圆的稳定吸附。之后，启动吸气组件402，使回收空间401保持在负压状态，第一驱动构件105驱动支臂104转动，直至第一喷头101和第二喷头102运动至待清洗晶圆上方，第一起升构件109启动，带动安装座110下降，从而使第一喷头101和第二喷头102能够向接近待清洗晶圆的方向移动。

当运动至合理位置后，第二喷头102启动，向晶圆上喷淋水，使晶圆表面湿润。待喷淋完成后，第二喷头102关闭，第一喷头101启动，向晶圆上喷淋清洗液，清洁晶圆表面，待清洁完成后，第二喷头102再次启动，第一喷头101关闭，向晶圆上喷淋水，从而能够将清洗液清除晶圆表面，完成对晶圆的清洗。

待清洗完成后，第一起升构件109伸展，带动安装座110上升，从而使第一喷头101和第二喷头102向远离晶圆的方向移动，当移动到位后，第一驱动构件105控制支臂104转动，从而带动第一喷头101和第二喷头102移出承载空间，最后，抽气部向气腔2042内充入空气，从而能够使清洗后的晶圆可以顺利的与吸附部2041相分离，进而实现晶圆的顺利取出。

此处需要补充说明的是，本申请中的承载环201的直径大于晶圆的直径，以使晶圆和承载环201之间形成漏液间隙，废液由漏液间隙流入回收机构4中。

实施例4：基于上述结构，本申请中的承载机构2还包括出风管，承载环201的周向设有多个限位扣2011，出风管沿承载环201的周向穿过限位扣2011与承载环201相连接；出风管上设有多个出风口，多个出风口均朝向承载空间布置。

如图4所示，本申请中的限位扣2011与承载环201可拆卸连接，并且，沿承载环201的周向位于承载环201的边缘。通过在承载环201上设置的多个限位扣2011，能够为出风管提供稳定的安装位置，并且将出风管限制在限位扣2011内，保证出风管能够始终与承载环201向接近，且距离相同。

由于出风管沿承载环201的周向围绕承载环201设置，因此，通过在出风管上开设的多个出风口，并使出风口的朝向一致，即通过朝向承载空间布置的多个出风口，能够在承载环201的边缘形成风幕，以阻隔清洗过程中飞溅的水或清洗液的水雾，保证作业空间的整洁度。

可以理解的是，本申请中的出风管连接有相应的供气构件，从而能够为出风管提供稳定的出气量，保证风幕的形成。

因此，加装出风管后，本申请提供的晶圆清洗装置在作业时，先将待清洗晶圆放入承载空间内，启动抽气部，使气腔2042形成负压，从而能够通过吸附部2041的变形实现对晶圆的稳定吸附。

之后，启动供气构件，为出风管提供空气，空气由出风口排出，形成风幕，同时，吸气组件402启动，使回收空间401保持在负压状态，第一驱动构件105驱动支臂104转动，直至第一喷头101和第二喷头102运动至待清洗晶圆上方，第一起升构件109启动，带动安装座110下降，从而使第一喷头101和第二喷头102能够向接近待清洗晶圆的方向移动。

当运动至合理位置后，第二喷头102启动，向晶圆上喷淋水，使晶圆表面湿润。待喷淋完成后，第二喷头102关闭，第一喷头101启动，向晶圆上喷淋清洗液，清洁晶圆表面，待清洁完成后，第二喷头102再次启动，第一喷头101关闭，向晶圆上喷淋水，从而能够将清洗液清除晶圆表面，完成对晶圆的清洗。

待清洗完成后，第一起升构件109伸展，带动安装座110上升，从而使第一喷头101和第二喷头102向远离晶圆的方向移动，当移动到位后，第一驱动构件105控制支臂104转动，从而带动第一喷头101和第二喷头102移出承载空间，最后，抽气部向气腔2042内充入空气，供气构件停止供气，风幕消失，从而能够使清洗后的晶圆可以顺利的与吸附部2041相分离，进而实现晶圆的顺利取出。

实施例5：可选地，如图6所示，本发明提供的晶圆清洗装置，还包括移动机构3，移动机构3包括第一移动组件301、第二移动组件302和安装基板303；回收机构4设置在安装基板303上，第一移动组件301和第二移动组件302设置于回收机构4的两侧，承载机构2的两侧分别与第一移动组件301和第二移动组件302相连接，第一移动组件301和第二移动组件302能够带动承载机构2在回收空间401内移动。

通过相对设置在承载机构2两侧的第一移动组件301和第二移动组件302，并使第一移动组件301和第二移动组件302与承载机构2相连接，能够带动承载机构2在回收空间401内进行移动，即本申请中的回收空间401包括上料位和清洗位，作业时，先通过第一移动组件301和第二移动组件302将承载机构2移动至上料位进行晶圆的放置，之后将承载机构2移动至清洗位进行清洗，最后，可再次带动承载机构2移动至上料位进行清洗后的晶圆的取出和待清洗晶圆的放置。

相应地，在本实施方式中，如图6所示，本申请的第一移动组件301包括支撑架3011、驱动组件、第一导向构件3012和第一滑动构件3013；驱动组件设置于支撑架3011上，且驱动组件与第一滑动构件3013相连接，第一导向构件3012设置于支撑架3011上，第一滑动构件3013与第一导向构件3012滑动连接，且驱动组件能够驱动第一滑动构件3013沿第一导向构件3012滑动；承载机构2与第一滑动构件3013相连接。

本申请中的第一滑动构件3013为滑块，第一导向构件3012为铺设在支撑架3011上的滑轨，通过使驱动组件与第一滑动构件3013相连接，能够实现第一滑动构件3013相对第一导向构件3012的滑动，而由于本申请中的承载机构2的一侧与第一滑动构件3013相连接，因此，当第一滑动构件3013移动时，能够带动承载机够沿第一导向构件3012的延伸方向滑动。

可以理解的是，在本实施方式中，驱动组件可以采用油缸或气缸等具有伸缩功能的驱动结构，也可采用丝杆机构等具有滑动功能的结构实现第一滑动构件3013相对第一导向构件3012的滑动。

此处需要补充说明的是，在此种实施方式中，第二移动组件302可以采用与第一移动组件301相同的结构使承载机构2的两侧能够均匀受力，实现承载机构2在回收空间401内的相对运动。

可选地，如图6所示，本申请中的第一移动组件301还包括第二起升组件，第二起升组件包括第二起升构件3014和连接座3015，第二起升构件3014与第一滑动构件3013相连接，第二起升构件3014的伸缩端与连接座3015相连接，承载机构2与连接座3015相连接。

优选地，本申请中的第二起升构件3014也采用气缸结构，由于气缸运行时的噪声更小，且磨损较小，不产生碎屑，因此，使第一起升构件109为气缸能够保证结构平稳运行的同时，降低噪声污染和对作业环境的污染。

相应地，通过在第二起升构件3014的伸缩端设置连接座3015，能够为承载机构2提供稳定的连接位置，使承载机构2能够平稳运行。

进一步优选地，本申请中的驱动组件包括第二驱动构件、第二主动轮3016、第二从动轮3017以及第二传送带3018；第二驱动构件设置在支撑架3011上，第二驱动构件的输出端与第二主动轮3016相连接，第二传送带3018与第二主动轮3016和第二从动轮3017传动连接；第一滑动构件3013与第二传送带3018相连接，第一导向构件3012的数量为两条，且平行设置于第二传送带3018的两侧。

通过使驱动组件采用传送带结构，既能够保证承载机构2的平稳运行，也能够避免运行时产生磨损的问题。

相应地，本申请提供的驱动组件中的第二驱动构件为驱动电机，且驱动电机与支撑架3011相连接，驱动电机的输出轴与第二主动轮3016相连接，第二主动轮3016的转动通过第二传送带3018传动至第二从动轮3017，而由于第一滑动构件3013与第二传送带3018相连接，因此，能够实现第二滑动构件3024沿第二导向构件3023的滑动。

如图6所示，为保证第二滑动构件3024的稳定滑动，本申请中的第一导向构件3012的数量为两条，且两条第一导向构件3012平行设置在第二传送带3018的两侧，第二滑动构件3024与两条平行的第一导向构件3012滑动连接，从而能够稳定的在第一导向构件3012上滑动，提高对承载机构2的承载和滑动稳定性。

此处需要补充说明的是，在本实施方式中，第二移动组件302的结构可以与第一移动组件301的结构相同，以实现对承载机构2的稳定导向和移动。

实施例6：基于以上结构，为进一步降低整体清洗装置的重量，在本实施例中，如图6所示，第二移动组件302包括第三起升构件3021、定位座3022、第二导向构件3023和第二滑动构件3024；第三起升构件3021设置在安装基板303上，第三起升构件3021的伸缩端与定位座3022相连接，第二导向构件3023设置于定位座3022上，且第二导向构件3023平行于第一导向构件3012设置；第二滑动构件3024包括连接板和滑轮，连接板的一端与承载机构2相连接，滑轮设置于连接板远离承载机构2的一端，且与连接板相接触。

在本实施例中，第二导向构件3023为平行于第一导向构件3012，且与定位座3022相连接的导向杆，相应地，在此种方式中，承载机构2对应第二导向构件3023的位置设有连接板，通过连接板远离承载机构2的一端设置滑轮，且滑轮能够对应在第一导向构件3012上滑动，从而能够实现对承载机构2远离第一移动组件301的一侧的支撑和辅助导向功能。

并且，本申请中的第三起升构件3021采用气缸，通过气缸的伸缩能够控制定位座3022的起升，而本申请中的第三起升构件3021与第二起升构件3014同步伸缩，从而能够实现承载机构2的稳定起降。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括清洗机构、承载机构和回收机构；

所述回收机构形成有回收空间，所述回收机构包括吸气组件和排废组件，所述吸气组件与所述回收空间相连通，使所述回收空间内形成负压，所述排废组件与所述回收空间相连通，用于回收废液；

所述承载机构对应所述回收空间设置，且位于所述回收空间内；所述承载机构形成有承载空间，用于承载晶圆；

所述清洗机构覆盖所述承载空间设置，且所述清洗机构能够向所述晶圆喷淋清洗液，用于清洗承载空间内的所述晶圆；

所述清洗机构包括第一喷淋组件和第二喷淋组件，所述第一喷淋组件包括第一喷头和第一喷淋管，所述第一喷淋管与所述第一喷头相连接，用于向所述第一喷头输送清洗液；

所述第二喷淋组件包括第二喷头和第二喷淋管，所述第二喷淋管与所述第二喷头相连接，用于向所述第二喷头输送水源；

所述清洗机构还包括支臂和旋转组件；

所述旋转组件包括第一驱动构件，所述支臂包括连接段和安装段，所述连接段的一端与所述第一驱动构件的输出端相连接，另一端与所述安装段的一端相连接，所述第一喷头和所述第二喷头均设置在所述安装段远离所述连接段的一端；

所述承载机构包括承载环和承载座；

所述承载环形成所述承载空间，所述承载座与所述承载环相连接，且所述承载座位于所述承载空间内，所述晶圆搭载于所述承载座上；

所述承载座包括第一座体和第二座体，所述第一座体和所述第二座体相对设置在所述承载空间内，所述第一座体和所述第二座体上均设有吸附构件，所述吸附构件能够吸附所述晶圆；

所述吸附构件包括吸附部和抽气部；

所述吸附部由软质材料制成，且所述吸附部形成有气腔，所述抽气部与所述气腔相连通，以使所述气腔形成负压;

还包括移动机构，所述移动机构包括第一移动组件、第二移动组件和安装基板；所述回收机构设置在所述安装基板上，所述第一移动组件和所述第二移动组件设置于所述回收机构的两侧，所述承载机构的两侧分别与所述第一移动组件和所述第二移动组件相连接；

所述回收空间包括上料位和清洗位，所述第一移动组件和所述第二移动组件能够带动所述承载机构在所述回收空间内的清洗位和所述上料位往复运动。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述旋转组件包括第一主动轮、第一从动轮和第一传送带；

所述第一主动轮与所述第一驱动构件的输出端相连接，所述第一传送带与所述第一主动轮和所述第一从动轮传动连接，以将动力传递至所述第一从动轮，所述连接段与所述第一从动轮相连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗机构还包括第一起升组件，所述第一起升组件包括安装座和第一起升构件，所述第一起升构件的伸缩端与所述安装座相连接，所述第一驱动构件与所述安装座相连接，所述第一主动轮和所述第一从动轮与所述安装座转动连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述承载环的直径大于所述晶圆的直径，以使所述晶圆和所述承载环之间形成漏液间隙，废液由所述漏液间隙流入所述回收机构中。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述承载机构还包括出风管，所述承载环的周向设有多个限位扣，所述出风管沿所述承载环的周向穿过所述限位扣与所述承载环相连接；

所述出风管上设有多个出风口，多个所述出风口均朝向所述承载空间布置。

6.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一移动组件包括支撑架、驱动组件、第一导向构件和第一滑动构件；

所述驱动组件设置于所述支撑架上，且所述驱动组件与所述第一滑动构件相连接，所述第一导向构件设置于所述支撑架上，所述第一滑动构件与所述第一导向构件滑动连接，且所述驱动组件能够驱动所述第一滑动构件沿所述第一导向构件滑动；

所述承载机构与所述第一滑动构件相连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一移动组件还包括第二起升组件，所述第二起升组件包括第二起升构件和连接座，所述第二起升构件与所述第一滑动构件相连接，所述第二起升构件的伸缩端与所述连接座相连接，所述承载机构与所述连接座相连接。

8.根据权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述驱动组件包括第二驱动构件、第二主动轮、第二从动轮以及第二传送带；

所述第二驱动构件设置在所述支撑架上，所述第二驱动构件的输出端与所述第二主动轮相连接，所述第二传送带与所述第二主动轮和所述第二从动轮传动连接；

所述第一滑动构件与所述第二传送带相连接，所述第一导向构件的数量为两条，且平行设置于所述第二传送带的两侧。

9.根据权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二移动组件包括第三起升构件、定位座、第二导向构件和第二滑动构件；

所述第三起升构件设置在所述安装基板上，所述第三起升构件的伸缩端与所述定位座相连接，所述第二导向构件设置于所述定位座上，且所述第二导向构件平行于所述第一导向构件设置；

所述第二滑动构件包括连接板和滑轮，所述连接板的一端与所述承载机构相连接，滑轮设置于所述连接板远离所述承载机构的一端，且与所述连接板相接触。