CN117059552B - 一种晶圆贴膜固定台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆贴膜固定台，涉及晶圆加工技术领域，包括固定台，固定台包括固定盘和安装在固定盘内上下滑动的真空吸附盘，固定盘的下方设有底盘，真空吸附盘的底部与底盘连接，固定盘与底盘之间留有一定的间隙，底盘的下方设有气缸，固定台上设有两组关于固定台中心线对称的循环送料机构，循环送料机构包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱和反向螺纹柱，正向螺纹柱和反向螺纹柱的底部均穿过固定台和底盘并延伸至底盘的下方，底盘下方设有驱动单元，本发明能够避免摩擦损伤的同时提高晶圆放置的效率。

Description

一种晶圆贴膜固定台

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体是涉及一种晶圆贴膜固定台。

背景技术

晶圆贴膜固定台是用于在半导体制造过程中固定晶圆的设备，晶圆加工固定台通常是一个平坦的工作平台，上面用于放置晶圆，然而在放置晶圆过程中，为了提高传送效率，通常采用传送带方式将晶圆传送至指定位置，然后按照惯性滑落至固定台上，但这类方式都容易出现对中性偏差较大以及可能会对晶圆造成一定的摩擦损伤。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆贴膜固定台，能够避免摩擦损伤的同时提高晶圆放置的效率。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆贴膜固定台，包括固定盘和安装在固定盘内上下滑动的真空吸附盘，所述真空吸附盘上开设有多个吸附孔，真空吸附盘采用安装在其内部的吸气机工作，使得真空吸附盘的上表面产生一定的吸力，相较于采用传动的夹具进行固定，能够避免固定工作时夹具对晶圆产生损伤，所述固定盘的下方设有底盘，所述真空吸附盘的底部与底盘连接；

所述固定盘与底盘之间留有一定的间隙，所述底盘的下方设有气缸，当气缸工作时，能够对底盘施加向固定盘移动的力，因此实现真空吸附盘在固定盘内的位置上下微调的效果；

所述固定盘上设有两组关于固定盘中心线对称的循环送料机构，所述循环送料机构包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱和反向螺纹柱，所述正向螺纹柱和反向螺纹柱的底部均穿过固定盘和底盘并延伸至底盘的下方，所述正向螺纹柱和反向螺纹柱上均设有对应的螺纹套和安装于螺纹套上可转动的电动转轮，所述电动转轮上安装有电动伸缩杆以及与电动伸缩杆输出端连接的弧形硅胶板；

所述底盘下方设有驱动单元。

优选的，所述驱动单元包括安装在气缸底部的主动齿轮以及与主动齿轮连接并用于驱动主动齿轮转动的伺服电机，所述正向螺纹柱底部设有与主动齿轮相啮合的第一传动齿轮，位于所述第一传动齿轮的上方设有套设在正向螺纹柱上的第二传动齿轮，所述反向螺纹柱上对应位置处套设有与第二传动齿轮啮合的第三传动齿轮，主动齿轮转动时，能够带动第一传动齿轮转动，由于正向螺纹柱与第一传动齿轮连接，因此第一传动齿轮转动时能够带动正向螺纹柱旋转，从而通过第二传动齿轮带动第三传动齿轮转动，实现正向螺纹柱和反向螺纹柱的同步转动。

优选的，位于固定盘中心线处设有双层输送装置，所述双层输送装置包括上下两个电动滑轨，每个电动滑轨内均安装有用于传输晶圆用的传送带，传动带可带动晶圆在传送带传送方向上进行位置，电动滑轨可带动传送带伸入至两组循环送料机构之间或远离循环送料机构。

优选的，所述固定盘上安装有电机驱动的可转动的贴膜盖，在贴膜盖下翻至固定盘上时即可开始贴膜工作，上翻时即可进行晶圆的放置工作，保证晶圆贴膜工作的连贯性，从而提高贴膜效率。

优选的，所述固定盘和底盘之间圆周阵列安装多个压缩弹簧，当气缸向上顶升的过程中，压缩弹簧起到过渡缓冲的作用，放慢顶升速度，从而实现真空吸附盘的上下位置微调效果。

优选的，所述正向螺纹柱和反向螺纹柱的顶部可安装有限位块，用于对螺纹套进行限位。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中真空吸附盘上开设有多个吸附孔，真空吸附盘采用安装在其内部的吸气机工作，使得真空吸附盘的上表面产生一定的吸力，相较于采用传动的夹具进行固定，能够避免固定工作时夹具对晶圆产生损伤。

2、本发明中固定盘与底盘之间留有一定的间隙，底盘的下方设有气缸，当气缸工作时，能够对底盘施加向固定盘移动的力，因此实现真空吸附盘在固定盘内的位置上下微调的效果。

3、本发明中固定盘上设有两组关于固定盘中心线对称的循环送料机构，能够配合双层输送装置实现连续化的贴膜工序，从而提高整体的晶圆贴膜效率。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明中真空吸附盘的结构安装示意图；

图3为本发明的仰视图；

图4为本发明中循环送料机构的结构示意图；

图5为本发明中固定盘、底盘、气缸和主动齿轮的结构安装示意图。

图中：1、固定盘；2、真空吸附盘；21、吸附孔；3、底盘；4、气缸；5、循环送料机构；51、正向螺纹柱；52、反向螺纹柱；53、螺纹套；54、电动转轮；55、电动伸缩杆；56、弧形硅胶板；6、驱动单元；61、主动齿轮；62、伺服电机；63、第一传动齿轮；64、第二传动齿轮；65、第三传动齿轮；7、双层输送装置；8、电动滑轨；9、传送带；10、贴膜盖；11、压缩弹簧。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，本发明的一种晶圆贴膜固定台，包括固定盘1和安装在固定盘1内上下滑动的真空吸附盘2，真空吸附盘2上开设有多个吸附孔21，真空吸附盘2采用安装在其内部的吸气机工作，使得真空吸附盘2的上表面产生一定的吸力，相较于采用传动的夹具进行固定，能够避免固定工作时夹具对晶圆产生损伤，固定盘1的下方设有底盘3，真空吸附盘2的底部与底盘3连接；

固定盘1与底盘3之间留有一定的间隙，底盘3的下方设有气缸4，当气缸4工作时，能够对底盘3施加向固定盘1移动的力，因此实现真空吸附盘2在固定盘1内的位置上下微调的效果；

固定盘1上设有两组关于固定盘1中心线对称的循环送料机构5，循环送料机构5包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱51和反向螺纹柱52，正向螺纹柱51和反向螺纹柱52的底部均穿过固定盘1和底盘3并延伸至底盘3的下方，正向螺纹柱51和反向螺纹柱52上均设有对应的螺纹套53和安装于螺纹套53上可转动的电动转轮54，电动转轮54上安装有电动伸缩杆55以及与电动伸缩杆55输出端连接的弧形硅胶板56；

底盘3下方设有驱动单元6。

优选的，驱动单元6包括安装在气缸4底部的主动齿轮61以及与主动齿轮61连接并用于驱动主动齿轮61转动的伺服电机62，正向螺纹柱51底部设有与主动齿轮61相啮合的第一传动齿轮63，位于第一传动齿轮63的上方设有套设在正向螺纹柱51上的第二传动齿轮64，反向螺纹柱52上对应位置处套设有与第二传动齿轮64啮合的第三传动齿轮65，主动齿轮61转动时，能够带动第一传动齿轮63转动，由于正向螺纹柱51与第一传动齿轮63连接，因此第一传动齿轮63转动时能够带动正向螺纹柱51旋转，从而通过第二传动齿轮64带动第三传动齿轮65转动，实现正向螺纹柱51和反向螺纹柱52的同步转动。

优选的，位于固定盘1中心线处设有双层输送装置7，双层输送装置7包括上下两个电动滑轨8，每个电动滑轨8内均安装有用于传输晶圆用的传送带9，传动带可带动晶圆在传送带9传送方向上进行位置，电动滑轨8可带动传送带9伸入至两组循环送料机构5之间或远离循环送料机构5。

优选的，固定盘1上安装有电机驱动的可转动的贴膜盖10，在贴膜盖10下翻至固定盘1上时即可开始贴膜工作，上翻时即可进行晶圆的放置工作，保证晶圆贴膜工作的连贯性，从而提高贴膜效率。

优选的，固定盘1和底盘3之间圆周阵列安装多个压缩弹簧11，当气缸4向上顶升的过程中，压缩弹簧11起到过渡缓冲的作用，放慢顶升速度，从而实现真空吸附盘2的上下位置微调效果。

优选的，正向螺纹柱51和反向螺纹柱52的顶部可安装有限位块，用于对螺纹套53进行限位。

工作原理：双层输送装置7先将传送带9伸入至两组循环送料机构5之间，并启动传送带9将晶圆传输至与正向螺纹柱51相对应的位置，之后启动主动齿轮61带动正向螺纹柱51旋转，使得正向螺纹柱51上的弧形硅胶板56下移，并使得两组弧形硅胶板56在电动伸缩杆55的作用下相互配合对晶圆进行夹持，然后电动滑轨8带动传送带9回归至初始位置，同时晶圆在两组弧形硅胶板56夹持下放置在真空吸附盘2上，利用吸力对晶圆位置进行固定，同时可针对晶圆厚度利用气缸4进行上下微调，从而达到一致的贴膜高度，此外贴膜完成后，真空吸附盘2上升，使得晶圆相对固定盘1呈凸起状态，方便正向螺纹柱51上的弧形硅胶板56继续夹持，并利用电动转轮54，将贴膜后的晶圆转移至双层输送装置7中位于下方的传送带9上，进行转运，在正向螺纹柱51上的弧形硅胶板56下降的同时，反向螺纹柱52上的弧形硅胶板56上升，电动滑轨8将位于上方的传送带9位移到反向螺纹柱52所在位置，并配合传送带9使得下一晶圆位于反向螺纹柱52上的弧形硅胶板56所在位置，继续重复上述步骤，以实现循环效果，从而提高晶圆贴膜的效率。

以上所述仅为本发明的优选方案，并非作为对本发明的进一步限定，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的各种等效变化均在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶圆贴膜固定台，其特征在于，包括固定盘(1)和安装在固定盘(1)内上下滑动的真空吸附盘(2)，所述真空吸附盘(2)上开设有多个吸附孔(21)，所述固定盘(1)的下方设有底盘(3)，所述真空吸附盘(2)的底部与底盘(3)连接；

所述固定盘(1)与底盘(3)之间留有一定的间隙，所述底盘(3)的下方设有气缸(4)；

所述固定盘(1)上设有两组关于固定盘(1)中心线对称的循环送料机构(5)，所述循环送料机构(5)包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱(51)和反向螺纹柱(52)，所述正向螺纹柱(51)和反向螺纹柱(52)的底部均穿过固定盘(1)和底盘(3)并延伸至底盘(3)的下方，所述正向螺纹柱(51)和反向螺纹柱(52)上均设有对应的螺纹套(53)和安装于螺纹套(53)上可转动的电动转轮(54)，所述电动转轮(54)上安装有电动伸缩杆(55)以及与电动伸缩杆(55)输出端连接的弧形硅胶板(56)；

所述底盘(3)下方设有驱动单元(6)；

所述驱动单元(6)包括安装在气缸(4)底部的主动齿轮(61)以及与主动齿轮(61)连接并用于驱动主动齿轮(61)转动的伺服电机(62)，所述正向螺纹柱(51)底部设有与主动齿轮(61)相啮合的第一传动齿轮(63)，位于所述第一传动齿轮(63)的上方设有套设在正向螺纹柱(51)上的第二传动齿轮(64)，所述反向螺纹柱(52)上对应位置处套设有与第二传动齿轮(64)啮合的第三传动齿轮(65)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜固定台，其特征在于，位于固定盘(1)中心线处设有双层输送装置(7)，所述双层输送装置(7)包括上下两个电动滑轨(8)，每个电动滑轨(8)内均安装有用于传输晶圆用的传送带(9)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜固定台，其特征在于，所述固定盘(1)上安装有电机驱动的可转动的贴膜盖(10)。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆贴膜固定台，其特征在于，所述固定盘(1)和底盘(3)之间圆周阵列安装多个压缩弹簧(11)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜固定台，其特征在于，所述正向螺纹柱(51)和反向螺纹柱(52)的顶部可安装有限位块。