CN217916778U

CN217916778U - 一种晶圆加工快速覆膜机

Info

Publication number: CN217916778U
Application number: CN202221716535.5U
Authority: CN
Inventors: 王政; 宋春梅
Original assignee: Suzhou Beitingyu Electronics Co ltd
Current assignee: Suzhou Beitingyu Electronics Co ltd
Priority date: 2022-07-04
Filing date: 2022-07-04
Publication date: 2022-11-29
Anticipated expiration: 2032-07-04

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆加工快速覆膜机，包括底座，所述底座顶部固定连接有工作台，所述工作台顶部固定连接有覆膜柜体，所述覆膜柜体内部固定连接有滑杆，所述滑杆外围滑动连接有第一滑套与第二滑套，所述第一滑套底部通过连接杆固定连接有安装板，所述第二滑套底部固定连接有第一电动伸缩杆，本实用新型通过设置吸气泵可将集气腔内部抽出真空状态，便于吸盘对晶圆进行稳定吸附，避免晶圆在覆膜过程中发生位置偏移，通过设置第一伺服电机可带动裁切刀进行圆周运动，便于对晶圆膜进行裁切，通过设置第二电动伸缩杆可对裁切刀的水平位置进行调整，适用于不同大小的晶圆膜进行裁切工作，实用性较强。

Description

一种晶圆加工快速覆膜机

技术领域

本实用新型涉及一种覆膜机，具体为一种晶圆加工快速覆膜机，属于晶圆覆膜技术领域。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，在集成电路封装的过程中往往要对晶圆进行减薄，所以需要在在晶圆表面贴附一侧膜用于保护芯片表面，使得晶圆上的芯片不会被异物沾污或者划伤等。

现有的多数晶圆覆膜机的裁切方式较为单一，不便于对不同型号的晶圆膜进行精准裁切，且现有的晶圆覆膜机对晶圆的夹持效果不佳，晶圆在贴膜过程中易发生位置偏移，影响贴膜精准度。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆加工快速覆膜机，通过设置吸气泵可将集气腔内部抽出真空状态，便于吸盘对晶圆进行稳定吸附，避免晶圆在覆膜过程中发生位置偏移，通过设置第一伺服电机可带动裁切刀进行圆周运动，便于对晶圆膜进行裁切，通过设置第二电动伸缩杆可对裁切刀的水平位置进行调整，适用于不同大小的晶圆膜进行裁切工作，实用性较强。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种晶圆加工快速覆膜机，包括底座，所述底座顶部固定连接有工作台，所述工作台顶部固定连接有覆膜柜体，所述覆膜柜体内部固定连接有滑杆，所述滑杆外围滑动连接有第一滑套与第二滑套，所述第一滑套底部通过连接杆固定连接有安装板，所述第二滑套底部固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆末端固定连接有第一固定板，所述第一固定板顶部中心处固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机输出端固定连接有第二固定板。

优选的，所述第二固定板底部一侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆末端固定连接有滑块，所述滑块顶部滑动连接有滑轨，所述滑轨顶部与第二固定板底部固定连接，所述滑块底部一侧固定连接有裁切刀。

优选的，所述安装板顶部固定连接有第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆末端固定连接有C字框，所述C字框内部转动连接有电磁加热辊。

优选的，所述工作台顶部两侧固定连接有升降箱，所述升降箱顶部固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机输出端固定连接有双向螺杆，所述双向螺杆外围螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套一侧与升降箱内部滑动连接，所述螺纹套另一侧固定连接有第三伺服电机，所述第三伺服电机输出端固定连接有导向辊。

优选的，所述覆膜柜体内部固定连接有第一液压油缸，所述第一液压油缸末端与第一滑套顶部固定连接，所述覆膜柜体内部远离第一液压油缸一侧固定连接有第二液压油缸，所述第二液压油缸末端与第二滑套顶部固定连接。

优选的，所述底座内部固定连接有支架，所述支架内部固定连接有第三液压油缸，所述第三液压油缸末端固定连接有托板，所述托板顶部固定连接有吸气泵，所述吸气泵一侧通过管道固定连接有集气腔，所述集气腔顶部连通连接有吸盘，所述吸盘的数量为若干个。

优选的，所述托板底部两侧固定连接有定位杆，所述支架顶部两侧开设有定位孔，所述定位杆与定位孔滑动连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置升降箱可对导向辊之间的距离进行调整，便于对不同厚度的膜进行导向作用，同时导向辊可对待贴覆的膜进行压平防皱，避免贴膜时有褶皱发生，通过设置吸气泵可将集气腔内部抽出真空状态，便于吸盘对晶圆进行稳定吸附，避免晶圆在覆膜过程中发生位置偏移，影响贴膜精准度，通过设置第一伺服电机可带动裁切刀进行圆周运动，便于对晶圆膜进行裁切，通过设置第二电动伸缩杆可对裁切刀的水平位置进行调整，适用于不同大小的晶圆膜进行裁切工作，实用性较强，通过设置第一液压油缸可控制电磁加热辊在水平方向进行移动，便于对贴好的膜进行加热压实，避免膜发生掉落，通过设置第三液压油缸可对集气腔的高度进行升降，当晶圆贴膜结束时可控制集气腔下降，便于工作人员对晶圆进行拿取。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的升降箱内部结构示意图。

图3是本实用新型的C字框内部结构示意图。

图中标号：1、底座；2、工作台；3、覆膜柜体；4、滑杆；5、第一滑套；6、第二滑套；7、安装板；8、第一电动伸缩杆；9、第二电动伸缩杆；10、裁切刀；11、第三电动伸缩杆；12、C字框；13、电磁加热辊；14、升降箱；15、双向螺杆；16、螺纹套；17、导向辊；18、第一液压油缸；19、第二液压油缸；20、第三液压油缸；21、吸气泵；22、集气腔；23、定位杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3所示，一种晶圆加工快速覆膜机，包括底座1，所述底座1顶部固定连接有工作台2，所述工作台2顶部固定连接有覆膜柜体3，所述覆膜柜体3内部固定连接有滑杆4，所述滑杆4外围滑动连接有第一滑套5与第二滑套6，所述第一滑套5底部通过连接杆固定连接有安装板7，所述第二滑套6底部固定连接有第一电动伸缩杆8，所述第一电动伸缩杆8末端固定连接有第一固定板，所述第一固定板顶部中心处固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机输出端固定连接有第二固定板。

具体而言，所述第二固定板底部一侧固定连接有第二电动伸缩杆9，所述第二电动伸缩杆9末端固定连接有滑块，所述滑块顶部滑动连接有滑轨，所述滑轨顶部与第二固定板底部固定连接，所述滑块底部一侧固定连接有裁切刀10，所述安装板7顶部固定连接有第三电动伸缩杆11，所述第三电动伸缩杆11末端固定连接有C字框12，所述C字框12内部转动连接有电磁加热辊13，所述工作台2顶部两侧固定连接有升降箱14，所述升降箱14顶部固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机输出端固定连接有双向螺杆15，所述双向螺杆15外围螺纹连接有螺纹套16，所述螺纹套16一侧与升降箱14内部滑动连接，所述螺纹套16另一侧固定连接有第三伺服电机，所述第三伺服电机输出端固定连接有导向辊17，所述覆膜柜体3内部固定连接有第一液压油缸18，所述第一液压油缸18末端与第一滑套5顶部固定连接，所述覆膜柜体3内部远离第一液压油缸18一侧固定连接有第二液压油缸19，所述第二液压油缸19末端与第二滑套6顶部固定连接，所述底座1内部固定连接有支架，所述支架内部固定连接有第三液压油缸20，所述第三液压油缸20末端固定连接有托板，所述托板顶部固定连接有吸气泵21，所述吸气泵21一侧通过管道固定连接有集气腔22，所述集气腔22顶部连通连接有吸盘，所述吸盘的数量为若干个，所述托板底部两侧固定连接有定位杆23，所述支架顶部两侧开设有定位孔，所述定位杆23与定位孔滑动连接，通过设置升降箱14可对导向辊17之间的距离进行调整，便于对不同厚度的膜进行导向作用，同时导向辊17可对待贴覆的膜进行压平防皱，避免贴膜时有褶皱发生，通过设置吸气泵21可将集气腔22内部抽出真空状态，便于吸盘对晶圆进行稳定吸附，避免晶圆在覆膜过程中发生位置偏移，影响贴膜精准度，通过设置第一伺服电机可带动裁切刀10进行圆周运动，便于对晶圆膜进行裁切，通过设置第二电动伸缩杆9可对裁切刀10的水平位置进行调整，适用于不同大小的晶圆膜进行裁切工作，实用性较强，通过设置第一液压油缸18可控制电磁加热辊13在水平方向进行移动，便于对贴好的膜进行加热压实，避免膜发生掉落，通过设置第三液压油缸20可对集气腔22的高度进行升降，当晶圆贴膜结束时可控制集气腔22下降，便于工作人员对晶圆进行拿取。

本实用新型在使用时，通过设置升降箱14可对导向辊17之间的距离进行调整，便于对不同厚度的膜进行导向作用，同时导向辊17可对待贴覆的膜进行压平防皱，避免贴膜时有褶皱发生，通过设置吸气泵21可将集气腔22内部抽出真空状态，便于吸盘对晶圆进行稳定吸附，避免晶圆在覆膜过程中发生位置偏移，影响贴膜精准度，通过设置第一伺服电机可带动裁切刀10进行圆周运动，便于对晶圆膜进行裁切，通过设置第二电动伸缩杆9可对裁切刀10的水平位置进行调整，适用于不同大小的晶圆膜进行裁切工作，实用性较强，通过设置第一液压油缸18可控制电磁加热辊13在水平方向进行移动，便于对贴好的膜进行加热压实，避免膜发生掉落，通过设置第三液压油缸20可对集气腔22的高度进行升降，当晶圆贴膜结束时可控制集气腔22下降，便于工作人员对晶圆进行拿取。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims

1.一种晶圆加工快速覆膜机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部固定连接有工作台（2），所述工作台（2）顶部固定连接有覆膜柜体（3），所述覆膜柜体（3）内部固定连接有滑杆（4），所述滑杆（4）外围滑动连接有第一滑套（5）与第二滑套（6），所述第一滑套（5）底部通过连接杆固定连接有安装板（7），所述第二滑套（6）底部固定连接有第一电动伸缩杆（8），所述第一电动伸缩杆（8）末端固定连接有第一固定板，所述第一固定板顶部中心处固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机输出端固定连接有第二固定板。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工快速覆膜机，其特征在于：所述第二固定板底部一侧固定连接有第二电动伸缩杆（9），所述第二电动伸缩杆（9）末端固定连接有滑块，所述滑块顶部滑动连接有滑轨，所述滑轨顶部与第二固定板底部固定连接，所述滑块底部一侧固定连接有裁切刀（10）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工快速覆膜机，其特征在于：所述安装板（7）顶部固定连接有第三电动伸缩杆（11），所述第三电动伸缩杆（11）末端固定连接有C字框（12），所述C字框（12）内部转动连接有电磁加热辊（13）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工快速覆膜机，其特征在于：所述工作台（2）顶部两侧固定连接有升降箱（14），所述升降箱（14）顶部固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机输出端固定连接有双向螺杆（15），所述双向螺杆（15）外围螺纹连接有螺纹套（16），所述螺纹套（16）一侧与升降箱（14）内部滑动连接，所述螺纹套（16）另一侧固定连接有第三伺服电机，所述第三伺服电机输出端固定连接有导向辊（17）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工快速覆膜机，其特征在于：所述覆膜柜体（3）内部固定连接有第一液压油缸（18），所述第一液压油缸（18）末端与第一滑套（5）顶部固定连接，所述覆膜柜体（3）内部远离第一液压油缸（18）一侧固定连接有第二液压油缸（19），所述第二液压油缸（19）末端与第二滑套（6）顶部固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工快速覆膜机，其特征在于：所述底座（1）内部固定连接有支架，所述支架内部固定连接有第三液压油缸（20），所述第三液压油缸（20）末端固定连接有托板，所述托板顶部固定连接有吸气泵（21），所述吸气泵（21）一侧通过管道固定连接有集气腔（22），所述集气腔（22）顶部连通连接有吸盘，所述吸盘的数量为若干个。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆加工快速覆膜机，其特征在于：所述托板底部两侧固定连接有定位杆（23），所述支架顶部两侧开设有定位孔，所述定位杆（23）与定位孔滑动连接。