CN215988673U

CN215988673U - 一种晶圆贴膜装置

Info

Publication number: CN215988673U
Application number: CN202122245232.1U
Authority: CN
Inventors: 锁珍
Original assignee: Suzhou Bazhu Laser Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Bazhu Laser Technology Co ltd
Priority date: 2021-09-16
Filing date: 2021-09-16
Publication date: 2022-03-08
Anticipated expiration: 2031-09-16

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆贴膜装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有工作台，所述工作台前后两侧均固定连接有驱动箱，所述驱动箱一侧固定连接有伺服电机，所述驱动箱顶部通过支撑杆固定连接有压膜框，所述压膜框顶部固定连接有第一电动伸缩杆，所述压膜框一侧设有晶圆夹持盘，所述晶圆夹持盘一侧设有滑轨，所述滑轨滑动连接有立柱，所述立柱顶部固定连接有横板，所述立柱一侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆末端与工作台顶部固定连接，本实用新型可对晶圆进行稳定夹持，避免贴膜时发生晃动，影响贴膜效果，可对待贴膜的晶圆表面进行清理，避免杂质附着在晶圆表面，贴膜后可对晶圆表面进行滚压，避免膜与晶圆之间产生气泡。

Description

一种晶圆贴膜装置

技术领域

本实用新型涉及一种贴膜装置，具体为一种晶圆贴膜装置，属于半导体生产技术领域。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，在集成电路封装的过程中往往要对晶圆进行减薄，所以需要在在晶圆表面贴附一侧膜用于保护芯片表面，使得晶圆上的芯片不会被异物沾污或者划伤等。

现有的晶圆贴膜装置多数不对晶圆表面进行清理，晶圆表面易粘附有细小微尘，影响贴膜效果，且现有的晶圆贴膜装置在对晶圆进行贴膜后易发生气泡现象，影响贴膜效果。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆贴膜装置，可对晶圆进行稳定夹持，避免贴膜时发生晃动，影响贴膜效果，可对待贴膜的晶圆表面进行清理，避免杂质附着在晶圆表面，贴膜后可对晶圆表面进行滚压，避免膜与晶圆之间产生气泡。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种晶圆贴膜装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有工作台，所述工作台前后两侧均固定连接有驱动箱，所述驱动箱一侧固定连接有伺服电机，所述驱动箱顶部通过支撑杆固定连接有压膜框，所述压膜框顶部固定连接有第一电动伸缩杆，所述压膜框一侧设有晶圆夹持盘，所述晶圆夹持盘一侧设有滑轨，所述滑轨滑动连接有立柱，所述立柱顶部固定连接有横板，所述立柱一侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆末端与工作台顶部固定连接。

优选的，所述底座底部四角处固定连接有支腿，所述底座内部设有收纳腔，所述收纳腔内部滑动连接有晶圆置放板，所述晶圆置放板的数量为两个。

优选的，所述伺服电机输出端固定连接有丝杆，所述丝杆末端与驱动箱内壁转动连接，所述丝杆外围螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套底部固定连接有滑套，所述滑套滑动连接有滑杆，所述螺纹套顶部与支撑杆固定连接。

优选的，所述第一电动伸缩杆末端固定连接有金属框，所述金属框两侧与压膜框内壁滑动连接，所述金属框内部转动连接有压辊，所述压辊为软质橡胶材质。

优选的，所述晶圆夹持盘内部设有置放槽，所述晶圆夹持盘四角处固定连接有第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆末端贯穿置放槽延伸至置放槽内部，所述第三电动伸缩杆末端固定连接有弧形夹持板。

优选的，所述横板顶部固定连接有第四电动伸缩杆，所述第四电动伸缩杆末端固定连接有固定板，所述固定板底部固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧底部固定连接有粘尘板，所述缓冲弹簧内部套设连接有定位杆，所述定位杆底部与粘尘板固定连接，所述定位杆与固定板滑动连接，所述定位杆末端位于横板上方，所述定位杆与横板滑动连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在收纳腔内部设置晶圆置放板可对完成贴膜的晶圆进行收纳存放，通过设置伺服电机可对丝杆进行转动，从而使螺纹套可在X轴方向进行移动，使压膜框可进行同步位移，通过设置第一电动伸缩杆可对金属框及压辊的高度进行调整，便于对晶圆表面的膜进行压紧，避免有气泡产生，通过设置夹持盘可对晶圆进行稳定夹持，避免晶圆在贴膜过程中发生晃动，影响贴膜效果，降低贴膜效率；

2、本实用新型通过设置第四电动伸缩杆可对粘尘板的高度进行调整，便于粘尘板与晶圆表面接触，对晶圆表面微尘杂质进行清理，避免晶圆表面粘附杂质，直接贴膜影响贴膜效果，通过设置缓冲弹簧可避免粘尘板下压力度过大，对晶圆表面造成损伤，通过设置第二电动伸缩杆可对立柱的水平位置进行调整，粘尘结束后可将立柱移动至远离晶圆夹持盘的位置，避免影响压膜框对晶圆表面的操作。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的驱动箱内部结构示意图。

图3是本实用新型的压膜框内部结构示意图。

图4是本实用新型的晶圆夹持盘结构示意图。

图5是本实用新型的A处放大图。

图中标号：1、底座；2、工作台；3、驱动箱；4、伺服电机；5、压膜框；6、第一电动伸缩杆；7、晶圆夹持盘；8、第二电动伸缩杆；9、收纳腔；10、丝杆；11、螺纹套；12、金属框；13、压辊；14、置放槽；15、第三电动伸缩杆；16、弧形夹持板；17、第四电动伸缩杆；18、缓冲弹簧；19、粘尘板；20、定位杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1，请参阅图1-5所示，一种晶圆贴膜装置，包括底座1，所述底座1顶部固定连接有工作台2，所述工作台2前后两侧均固定连接有驱动箱3，所述驱动箱3一侧固定连接有伺服电机4，所述驱动箱3顶部通过支撑杆固定连接有压膜框5，所述压膜框5顶部固定连接有第一电动伸缩杆6，所述压膜框5一侧设有晶圆夹持盘7，所述晶圆夹持盘7一侧设有滑轨，所述滑轨滑动连接有立柱，所述立柱顶部固定连接有横板，所述立柱一侧固定连接有第二电动伸缩杆8，所述第二电动伸缩杆8末端与工作台2顶部固定连接，通过设置第二电动伸缩杆8可对立柱的水平位置进行调整，粘尘结束后可将立柱移动至远离晶圆夹持盘7的位置，避免影响压膜框5对晶圆表面的操作。

具体而言，所述底座1底部四角处固定连接有支腿，所述底座1内部设有收纳腔9，所述收纳腔9内部滑动连接有晶圆置放板，所述晶圆置放板的数量为两个，通过在收纳腔9内部设置晶圆置放板可对完成贴膜的晶圆进行收纳存放。

具体而言，所述伺服电机4输出端固定连接有丝杆10，所述丝杆10末端与驱动箱3内壁转动连接，所述丝杆10外围螺纹连接有螺纹套11，所述螺纹套11底部固定连接有滑套，所述滑套滑动连接有滑杆，所述螺纹套11顶部与支撑杆固定连接，通过设置伺服电机4可对丝杆10进行转动，从而使螺纹套11可在X轴方向进行移动，使压膜框5可进行同步位移。

具体而言，所述第一电动伸缩杆6末端固定连接有金属框12，所述金属框12两侧与压膜框5内壁滑动连接，所述金属框12内部转动连接有压辊13，所述压辊13为软质橡胶材质，通过设置第一电动伸缩杆6可对金属框12及压辊13的高度进行调整，便于对晶圆表面的膜进行压紧，避免有气泡产生。

具体而言，所述晶圆夹持盘7内部设有置放槽14，所述晶圆夹持盘7四角处固定连接有第三电动伸缩杆15，所述第三电动伸缩杆15末端贯穿置放槽14延伸至置放槽14内部，所述第三电动伸缩杆15末端固定连接有弧形夹持板16，通过设置夹持盘可对晶圆进行稳定夹持，避免晶圆在贴膜过程中发生晃动，影响贴膜效果，降低贴膜效率。

实施例2，请参阅图1与图5，本实施例与实施例1的区别在于：所述横板顶部固定连接有第四电动伸缩杆17，所述第四电动伸缩杆17末端固定连接有固定板，所述固定板底部固定连接有缓冲弹簧18，所述缓冲弹簧18底部固定连接有粘尘板19，所述缓冲弹簧18内部套设连接有定位杆20，所述定位杆20底部与粘尘板19固定连接，所述定位杆20与固定板滑动连接，所述定位杆20末端位于横板上方，所述定位杆20与横板滑动连接，通过设置第四电动伸缩杆17可对粘尘板19的高度进行调整，便于粘尘板19与晶圆表面接触，对晶圆表面微尘杂质进行清理，避免晶圆表面粘附杂质，直接贴膜影响贴膜效果，通过设置缓冲弹簧18可避免粘尘板19下压力度过大，对晶圆表面造成损伤。

本实用新型在使用时，通过在收纳腔9内部设置晶圆置放板可对完成贴膜的晶圆进行收纳存放，通过设置伺服电机4可对丝杆10进行转动，从而使螺纹套11可在X轴方向进行移动，使压膜框5可进行同步位移，通过设置第一电动伸缩杆6可对金属框12及压辊13的高度进行调整，便于对晶圆表面的膜进行压紧，避免有气泡产生，通过设置夹持盘可对晶圆进行稳定夹持，避免晶圆在贴膜过程中发生晃动，影响贴膜效果，降低贴膜效率，通过设置第四电动伸缩杆17可对粘尘板19的高度进行调整，便于粘尘板19与晶圆表面接触，对晶圆表面微尘杂质进行清理，避免晶圆表面粘附杂质，直接贴膜影响贴膜效果，通过设置缓冲弹簧18可避免粘尘板19下压力度过大，对晶圆表面造成损伤，通过设置第二电动伸缩杆8可对立柱的水平位置进行调整，粘尘结束后可将立柱移动至远离晶圆夹持盘7的位置，避免影响压膜框5对晶圆表面的操作。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims

1.一种晶圆贴膜装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部固定连接有工作台（2），所述工作台（2）前后两侧均固定连接有驱动箱（3），所述驱动箱（3）一侧固定连接有伺服电机（4），所述驱动箱（3）顶部通过支撑杆固定连接有压膜框（5），所述压膜框（5）顶部固定连接有第一电动伸缩杆（6），所述压膜框（5）一侧设有晶圆夹持盘（7），所述晶圆夹持盘（7）一侧设有滑轨，所述滑轨滑动连接有立柱，所述立柱顶部固定连接有横板，所述立柱一侧固定连接有第二电动伸缩杆（8），所述第二电动伸缩杆（8）末端与工作台（2）顶部固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置，其特征在于：所述底座（1）底部四角处固定连接有支腿，所述底座（1）内部设有收纳腔（9），所述收纳腔（9）内部滑动连接有晶圆置放板，所述晶圆置放板的数量为两个。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置，其特征在于：所述伺服电机（4）输出端固定连接有丝杆（10），所述丝杆（10）末端与驱动箱（3）内壁转动连接，所述丝杆（10）外围螺纹连接有螺纹套（11），所述螺纹套（11）底部固定连接有滑套，所述滑套滑动连接有滑杆，所述螺纹套（11）顶部与支撑杆固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置，其特征在于：所述第一电动伸缩杆（6）末端固定连接有金属框（12），所述金属框（12）两侧与压膜框（5）内壁滑动连接，所述金属框（12）内部转动连接有压辊（13），所述压辊（13）为软质橡胶材质。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置，其特征在于：所述晶圆夹持盘（7）内部设有置放槽（14），所述晶圆夹持盘（7）四角处固定连接有第三电动伸缩杆（15），所述第三电动伸缩杆（15）末端贯穿置放槽（14）延伸至置放槽（14）内部，所述第三电动伸缩杆（15）末端固定连接有弧形夹持板（16）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置，其特征在于：所述横板顶部固定连接有第四电动伸缩杆（17），所述第四电动伸缩杆（17）末端固定连接有固定板，所述固定板底部固定连接有缓冲弹簧（18），所述缓冲弹簧（18）底部固定连接有粘尘板（19），所述缓冲弹簧（18）内部套设连接有定位杆（20），所述定位杆（20）底部与粘尘板（19）固定连接，所述定位杆（20）与固定板滑动连接，所述定位杆（20）末端位于横板上方，所述定位杆（20）与横板滑动连接。