CN116985535A - 处理液喷射方法和处理液喷射设备 - Google Patents

处理液喷射方法和处理液喷射设备 Download PDF

Info

Publication number
CN116985535A
CN116985535A CN202310391273.2A CN202310391273A CN116985535A CN 116985535 A CN116985535 A CN 116985535A CN 202310391273 A CN202310391273 A CN 202310391273A CN 116985535 A CN116985535 A CN 116985535A
Authority
CN
China
Prior art keywords
information
substrate
head unit
printing
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202310391273.2A
Other languages
English (en)
Inventor
李焌硕
吴凡政
全洙范
曹廷镐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semes Co Ltd
Original Assignee
Semes Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semes Co Ltd filed Critical Semes Co Ltd
Publication of CN116985535A publication Critical patent/CN116985535A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J11/00—Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form
    • B41J11/008—Controlling printhead for accurately positioning print image on printing material, e.g. with the intention to control the width of margins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material
    • B41J3/4073—Printing on three-dimensional objects not being in sheet or web form, e.g. spherical or cubic objects
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/44—Typewriters or selective printing mechanisms having dual functions or combined with, or coupled to, apparatus performing other functions
    • B41J3/445—Printers integrated in other types of apparatus, e.g. printers integrated in cameras
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
    • B41M5/00—Duplicating or marking methods; Sheet materials for use therein
    • B41M5/0041—Digital printing on surfaces other than ordinary paper
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02041—Cleaning
    • H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
    • H01L21/02052—Wet cleaning only
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
    • B41J2029/3935—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns by means of printed test patterns

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

提供了一种能够通过极大减少头单元的维护时间来显著提高生产率和质量的处理液喷射方法和处理液喷射设备，所述处理液喷射方法包括：步骤(a)通过对由头单元测试‑印刷的处理液进行测试‑拍摄来获得测试图像信息；步骤(b)通过使用所述测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；步骤(c)考虑到所述特定喷嘴特征信息，生成待印刷的印刷文件信息；步骤(d)反映基底或所述头单元的配方信息，以在可输出状态下准备所述印刷文件信息；以及步骤(e)通过所述头单元在所述基底上印刷所述配方信息反映到的所述印刷文件信息。

Description

处理液喷射方法和处理液喷射设备
相关申请的交叉引用
本申请要求于2022年5月2日在韩国知识产权局提交的第10-2022-0054249号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用整体并入本文中。
技术领域
本发明涉及一种处理液喷射方法和处理液喷射设备，并且更具体地，涉及一种能够通过极大减少头单元的维护时间或停机时间来显著提高生产率和质量的处理液喷射方法和处理液喷射设备。
背景技术
通常情况下，目前，被称为液晶装置、电致发光装置等电光装置的显示装置正被广泛用于诸如移动电话、便携式计算机、智能平板和电视机的电子装置中，并且由显示装置产生的全彩色显示正在增加。
由液晶装置产生的全彩色显示可以通过例如使由液晶层调制的光穿过滤色器来实现。滤色器可以通过例如在由玻璃等制成的基底的表面上以称为条纹阵列、三角形阵列或马赛克阵列的特定阵列来布置点状的红色(R)过滤器元件、绿色(G)过滤器元件和蓝色(B)过滤器元件而形成。
众所周知，光刻法是一种对诸如R、G和B的各种颜色的过滤器元件进行图案化的方法。然而，当使用光刻法时，由于各种颜色材料或光刻胶的大量消耗，而增加了工艺复杂性或者需要高成本。
为了解决以上问题，提出了一种通过使用用于将液滴喷射到玻璃基底等上的喷墨方案来喷射每个过滤器元件的材料(例如，墨水)以点阵列形成过滤器元件的喷墨印刷方法。
特别地，喷墨型处理液喷射设备市场是当前行业中新兴的主要基于技术的市场之一，并且被定位为高增值显示器行业中的重要的核心技术，以使室温生产和大气生产能够超越真空沉积生产。
发明内容
然而，根据常规的处理液喷射设备，因为能够检查喷嘴的状况的相机通常安装在用于移动头单元的头移动单元上，所以为了在头单元的印刷工艺之后检查头单元，头单元需要停止印刷并且等待直到使用相机的检查工艺结束为止。
此外，在检查喷嘴之后，用于使用计算机进行地计算(computationallycomputing)基于多个单独喷嘴的特征校正的印刷文件信息的文件校正时间非常长，导致生产率的显著降低，并且由于包括文件校正时间的长的维护时间引起的头单元的频繁的喷嘴干燥或喷嘴堵塞也导致质量的显著降低。
本发明提供一种处理液喷射方法和处理液喷射设备，所述处理液喷射方法和处理液喷射设备能够通过独立地安装头移动单元和检查板移动单元，在文件校正时间期间启动头单元的基底印刷工艺，并且能够通过由使用前一版本的印刷文件信息且同时并行地生成下一版本的印刷文件信息来执行基底印刷工艺，通过极大地减少头单元的空闲时间或停机时间，显著提高生产率和质量。然而，本发明的范围不限于此。
根据本发明的方面，提供了一种处理液喷射方法，所述处理液喷射方法包括：步骤(a)通过对由头单元测试-印刷的处理液进行测试-拍摄来获得测试图像信息；步骤(b)通过使用所述测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；步骤(c)考虑到所述特定喷嘴特征信息，生成待印刷的印刷文件信息；步骤(d)反映基底或所述头单元的配方信息，以在可输出状态下准备所述印刷文件信息；以及步骤(e)通过所述头单元在所述基底上印刷所述配方信息反映到的所述印刷文件信息。
为了在步骤(a)之后依次地执行步骤(b)和步骤(c)的同时，使步骤(d)与步骤(b)同时执行，步骤(d)的所述印刷文件信息可以是在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息，并且步骤(a)的所述测试图像信息、步骤(b)的所述特定喷嘴特征信息和步骤(c)的所述印刷文件信息可以是待应用于下一基底的下一版本信息。
在步骤(a)中，所述头单元可以在维护区的待机位置处执行测试印刷，并且在步骤(e)中，所述头单元可以立即移动到印刷区的印刷位置，并且在所述基底上快速印刷所述处理液，而无需等待，直到步骤(a)的所述测试图像信息、步骤(b)的所述特定喷嘴特征信息和步骤(c)的所述印刷文件信息都依次地生成。
在步骤(a)中，所述测试图像信息可以包括以点的形式示出从所述头单元的特定喷嘴喷射的所述处理液到达的每个冲击点的实际位置的图像信息，在步骤(b)中，所述特定喷嘴特征信息可以包括每一喷嘴的喷嘴分析信息，表示所述冲击点的所述实际位置与正确位置之间的偏差的冲击点误差反映到所述喷嘴分析信息，并且在步骤(c)中，所述印刷文件信息可以包括所述特定喷嘴特征信息反映到的位图图像或计算机辅助设计(CAD)文件。
所述处理液喷射方法在步骤(e)之前还可以包括步骤(f)在印刷位置处准备所述基底。
步骤(f)可以包括：步骤(f-1)将所述基底装载到基底支撑单元上；步骤(f-2)宏观上首次对准所述基底；步骤(f-3)微观上第二次对准所述基底；以及步骤(f-4)将所述基底移动到印刷开始位置。
用于步骤(a)和步骤(d)的第一所需时间可以少于用于步骤(f)的第二所需时间。
作为所述前一版本信息的步骤(d)的所述印刷文件信息可以应用于多个基底。
步骤(a)可以包括：步骤(a-1)将所述头单元传送到维护区的待机位置；步骤(a-2)由所述头单元在所述待机位置处的检查板上测试-印刷所述处理液；步骤(a-3)将所述头单元传送到印刷区的印刷位置，并且将所述检查板传送到所述维护区的拍摄位置；以及步骤(a-4)由所述检查单元通过对所述检查板进行测试-拍摄来获得测试图像信息。
在步骤(a-3)中，为了使步骤(e)同时执行，所述头单元可以在所述基底上印刷作为在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息的所述印刷文件信息。
根据本发明的另一方面，提供了一种处理液喷射设备，所述处理液喷射设备包括：基底支撑单元，用于支撑基底；头单元，用于以喷墨方式将处理液喷射到所述基底上；头移动单元，用于移动所述头单元；以及检查单元，用于检查从所述头单元喷射的所述处理液的状况，其中，所述检查单元独立于所述头移动单元安装以移动或固定相机，而不管所述头单元的运动如何。
所述检查单元可以包括：检查板，定位在待机位置处以使所述头单元测试-喷射处理液；检查板移动单元，用于将所述检查板从所述待机位置移动到拍摄位置；以及所述相机，用于捕捉喷射到移动到所述拍摄位置的所述检查板上的所述处理液的图像。
所述检查单元还可以包括用于基于所述拍摄位置移动所述相机的相机移动单元。
所述头移动单元可以包括：第一移动单元，用于使所述头单元在第一方向上移动；以及第二移动单元，用于使所述头单元在第二方向上移动，所述检查板移动单元可以使所述检查板在所述第一方向上移动，并且所述相机移动单元可以使所述相机在所述第二方向上移动。
所述检查单元还可以包括膜供应单元，所述膜供应单元用于将用来测试印刷的膜供应到所述检查板上。
所述检查板可以提供有多孔吸附板以平坦地吸附所述膜，并且所述膜供应单元可以包括用于将所述膜供应到所述检查板上的展开辊，以及用于使所述膜从所述检查板复卷的卷绕辊。
所述处理液喷射设备还可以包括控制器，所述控制器用于将检查控制信号施加到所述检查单元，以控制所述检查单元来检查在当所述基底被装载到所述基底支撑单元上并在正确位置处对准时的基底准备时间期间从所述头单元喷射的所述处理液的所述状况。
所述控制器包括：测试图像信息获取器，用于在所述基底准备时间期间通过在拍摄位置处测试-拍摄由所述头单元在待机位置处测试-印刷的所述处理液来获取测试图像信息；特定喷嘴特征信息生成器，用于通过使用所述测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；印刷文件信息生成器，用于考虑到所述特定喷嘴特征信息，以位图图像或计算机辅助设计(CAD)文件的形式生成待印刷的印刷文件信息；配方信息反映器，用于反映所述基底或所述头单元的配方信息，以在可输出状态下准备所述印刷文件信息；以及印刷控制器，用于将印刷控制信号施加到所述头移动单元以使所述头单元移动到印刷位置，以基于所述配方信息反映到的所述印刷文件信息，在所述基底上印刷所述处理液。
为了在维护区的所述待机位置处完成测试印刷之后，使所述头单元立即移动到印刷区的所述印刷位置，并且在所述基底上快速印刷所述处理液，而无需等待，直到所述测试图像信息、所述特定喷嘴特征信息和所述印刷文件信息依次地生成，所述控制器还可以包括时间缩减控制器，所述时间缩减控制器用于将在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息用作由所述配方信息反映器使用的所述印刷文件信息，并且并行地将所述测试图像信息、所述特定喷嘴特征信息和所述印刷文件信息生成为待应用到下一基底的下一版本信息。
根据本发明的另一方面，提供了一种处理液喷射方法，所述处理液喷射方法包括：步骤(a)通过对由头单元测试-印刷的处理液进行测试-拍摄来获得测试图像信息；步骤(b)通过使用所述测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；步骤(c)考虑到所述特定喷嘴特征信息，生成待印刷的印刷文件信息；步骤(d)反映基底或所述头单元的配方信息，以在可输出状态下准备所述印刷文件信息；以及步骤(e)通过所述头单元在所述基底上印刷所述配方信息反映到的所述印刷文件信息，其中，为了在步骤(a)之后依次地执行步骤(b)和步骤(c)的同时，使步骤(d)与步骤(b)同时执行，步骤(d)的所述印刷文件信息是在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息，并且步骤(a)的所述测试图像信息、步骤(b)的所述特定喷嘴特征信息和步骤(c)的所述印刷文件信息是待应用于下一基底的下一版本信息。其中，步骤(a)包括：步骤(a-1)将所述头单元传送到维护区的待机位置；步骤(a-2)由所述头单元在所述待机位置处的检查板上测试-印刷所述处理液；步骤(a-3)将所述头单元传送到印刷区的印刷位置，并且将所述检查板传送到所述维护区的拍摄位置；以及步骤(a-4)由所述检查单元通过对所述检查板进行测试-拍摄来获得测试图像信息，并且其中，在步骤(a-3)中，为了使步骤(d)同时执行，所述头单元在所述基底上印刷作为在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息的所述印刷文件信息。
附图说明
通过参照附图详细地描述本发明的实施例，本发明的上述和其他特征及优点将变得更加明显，在附图中：
图1是根据本发明的一些实施例的包括处理液喷射设备的处理液涂覆系统的平面图；
图2是图1的处理液喷射设备的透视图；
图3是图1的处理液喷射设备的平面图；
图4是示出图3的处理液喷射设备的印刷状态的放大平面图；
图5是示出图4的处理液喷射设备的测试印刷状态的放大平面图；
图6是示出图5的处理液喷射设备的印刷状态和拍摄状态的放大平面图；
图7是示出图6的处理液喷射设备的处理液的冲击点误差的概念图；
图8是图1的处理液喷射设备的控制器的框图；
图9是根据本发明的一些实施例的处理液喷射方法的流程图；
图10是根据本发明的其他实施例的处理液喷射方法的流程图；
图11是图10的处理液喷射方法的步骤(a)的详细流程图；以及
图12是根据本发明的其他实施例的处理液喷射方法的流程图。
具体实施方式
在下文中，将通过参照附图说明本发明的实施例来详细描述本发明。
然而，本发明可以以许多不同的形式来实施，并且不应当被解释为局限于在本文中阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将是透彻的和完整的，并且将本发明的概念充分传达给本领域的普通技术人员。在附图中，为了清晰以及便于解释，夸大了层的厚度或尺寸。
本文中使用的术语是为了描述特定实施例的目的，并且不是意图限制本发明。除非上下文另外明确指出，否则如本文中使用的，单数形式“一”、“一个(种/者)”和“所述(该)”也旨在包括复数形式。还将理解的是，当在本说明书中使用时，术语“包括”和/或“包含”说明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
在本文中参照本发明的理想化实施例(和中间结构)的示意图来描述本发明的实施例。这样，将预期到例如由于制造技术和/或公差导致的图示的形状的变化。因此，本发明的的实施例不应当被解释为局限于在本文中示出的区域的特定形状，而是包括例如由于制造引起的形状的偏差。
图1是根据本发明的一些实施例的包括处理液喷射设备的处理液涂覆系统1000的平面图。
如图1中所示，处理液涂覆系统1000可以以喷墨方式将处理液涂覆在目标对象上。例如，目标对象可以是液晶显示面板的玻璃基底、硅基底、显示基底或滤色器基底，并且处理液可以是通过在溶剂中混合颜料颗粒而获得的红色(R)墨水、绿色(G)墨水或蓝色(B)墨水。墨水可以在滤色器基底上涂覆作为网格图案提供的黑色矩阵的内部区域上。
处理液涂覆系统1000包括处理液喷射设备10、基底传送器20、烘烤器30、装载器40、卸载器50、处理液供应器60以及控制器70或800。处理液喷射设备10和基底传送器20可以在第一方向I上设置为一排并且定位为彼此相邻。处理液供应器60和控制器70或800可以定位为跨过处理液喷射设备10面向基底传送器20，并且在第二方向II上设置为一排。
装载器40和卸载器50可以定位为跨过基底传送器20面向处理液喷射设备10，并且在第二方向II上设置为一排。烘烤器30可以设置为与基底传送器20的一侧相邻。
在本文中，第一方向I可以是布置处理液喷射设备10和基底传送器20所在的方向，第二方向II可以是在水平平面上垂直于第一方向I的方向，并且第三方向III可以是垂直于第一方向I和第二方向II的方向。
待用处理液(即，墨水)涂覆的基底可以装载到装载器40中。基底传送器20可以将装载到装载器40中的基底传送到处理液喷射设备10。处理液喷射设备10可以从处理液供应器60接收处理液，并且以喷墨方式将处理液喷射到基底上。基底传送器20可以将基底从处理液喷射设备10传送到烘烤器30。烘烤器30可以加热基底以蒸发除了喷射到基底上的处理液(即，墨水)的固体成分之外的液体材料(即，溶剂)。
基底传送器20可以将基底从烘烤器30传送到卸载器50。涂覆有处理液的基底可以从卸载器50卸载。控制器70或800可以控制处理液喷射设备10、基底传送器20、烘烤器30、装载器40、卸载器50和处理液供应器60的整体操作。
图2是图1的处理液喷射设备10的透视图，并且图3是图1的处理液喷射设备10的平面图。
如图2和图3中所示，本发明的处理液喷射设备10可以包括基底支撑单元100、头单元200、头移动单元300和400、头清洁单元500和600以及检查单元700。
基底支撑单元100可以具有其上放置基底S的支撑板110。支撑板110可以是矩形板。旋转驱动电机120的旋转轴可以连接到支撑板110的底表面。旋转驱动电机120可以以使得在预定位置处对准被放置在支撑板110上的基底S的方式来旋转支撑板110。
支撑板110和旋转驱动电机120可以通过线性驱动构件130在第一方向I上线性地移动。线性驱动构件130可以包括滑动件132和引导构件134。旋转驱动电机120可以安装在滑动件132的顶表面上。在基体B的顶表面的中间，引导构件134在第一方向I上延伸。滑动件132可以具有嵌入式线性电机(未示出)，并且沿着引导构件134在第一方向I上线性地移动。
头单元200可以将处理液喷射到基底S上。头单元200可以包括头单元210a和210b以及支架220。在头单元210a和210b之中，一个头单元210a可以安装在面向第一方向I的支架220的一个侧表面上，并且另一头单元210b可以安装在面向第一方向I的支架220的另一侧表面上。
头单元210a和210b中的每一者可以具有红色(R)头212、绿色(G)头214和蓝色(B)头216。
R头212、G头214和B头216可以在第二方向II上布置为一排，以通过使用用于喷射液滴的喷墨方案将处理液喷射到放置在支撑板110上的基底S上。
头移动单元300和400可以使头单元200在支撑板110移动所沿的路径的上方移动。第一移动单元300可以使头单元200在第一方向I上线性地移动，并且第二移动单元400可以使头单元200在第二方向II和第三方向III上线性地移动。
第二移动单元400可以包括水平支撑块410、滑动件420和提升装置430。水平支撑块410可以以使得其纵向方向面向第二方向II的方式定位在基体B的上方。导轨412可以沿着纵向方向提供在水平支撑块410上。滑动件420可以具有嵌入式线性电机(未示出)，并且沿着导轨412在第二方向II上线性地移动。头单元200的支架220可以连接到滑动件420，并且安装在支架220上的头单元210a和210b可以通过滑动件420的线性运动在第二方向II上线性地移动。同时，用于使头单元200的支架220在第三方向III上线性地移动的提升装置430可以安装在滑动件420上。
第一移动单元300可以包括导轨310和滑动件320。导轨310可以具有面向第一方向I的纵向方向，并且可以跨过基底支撑单元100的引导构件134在基体B的顶表面上各自地设置在两个相对边缘处。滑动件320可以具有嵌入式线性电机(未示出)，并且沿着导轨310在第一方向I上线性地移动。第二移动单元400的水平支撑块410的两端可以各自地连接到滑动件320。包括水平支撑块410的第二移动单元400可以通过滑动件320的线性运动在第一方向I上移动，并且连接到第二移动单元400的头单元200可以通过第二移动单元400的运动在第二方向II上线性地移动。
头单元200可以通过第一移动单元300和第二移动单元400在第一方向I、第二方向II和第三方向III上线性地移动，并且在其上放置基底S的支撑板110可以通过滑动件132和引导构件134在第一方向I上线性地移动。当处理液喷射到基底S上时，头单元200可以固定在预定位置处，并且其上放置基底S的支撑板110可以在第一方向I上移动。与此不同，其上放置基底S的支撑板110可以固定在预定位置处，并且头单元200可以在第一方向I上移动。
头清洁单元500可以周期性地清洁头单元210a和210b的处理液喷射表面，即，其上提供用于喷射处理液的喷嘴的表面。通常，在对一个基底执行处理液喷射工艺之后，可以清洁头单元210a和210b的处理液喷射表面。
头清洁单元500和600可以在基体B的顶表面上提供在基底支撑单元100的一侧处。头单元210a和210b可以通过第一移动单元300和第二移动单元400移动到头清洁单元500和600的顶部，并且在清洁工艺期间在头清洁单元500和600的上方在第一方向I上移动。
第一头清洁单元500可以执行清洗或刮擦(blading)工艺，并且第二头清洁单元600可以执行清洗、刮擦和吸干工艺。清洗、刮擦和吸干工艺可以依次地执行。清洗工艺是在高压下喷洒包含在头单元210a和210b中的一些处理液的工艺。刮擦工艺是在清洗工艺之后以非接触方式去除残留在头单元210a和210b的处理液喷射表面上的处理液的工艺。吸干工艺是在刮擦工艺之后以接触方式去除残留在头单元210a和210b的处理液喷射表面上的处理液的工艺。然而，头清洁单元500和600不限于此，并且各种清洁单元都是适用的。
检查单元700用于检查从头单元200喷射的处理液的状况，并且可以独立于头移动单元300和400安装以移动或固定相机730，而不管头单元200的运动如何。
因此，与当头单元200正在印刷的同时检查单元700可能不检查，并且反过来说，当检查单元700正在检查的同时头单元200可能不印刷的传统情况不同，根据本发明，当头单元200正在印刷的同时检查单元700可以检查，并且反过来说，当检查单元700正在检查的同时头单元200可以印刷。
图4是示出图3的处理液喷射设备10的印刷状态的放大平面图，图5是示出图4的处理液喷射设备10的测试印刷状态的放大平面图，并且图6是示出图5的处理液喷射设备10的印刷状态和拍摄状态的放大平面图。
如图1至图6中所示，根据本发明的一些实施例的处理液喷射设备10的检查单元700可以包括定位在待机位置P1处以使头单元200测试-喷射处理液的检查板710、用于将检查板710从待机位置P1移动到拍摄位置P2的检查板移动单元720、用于捕捉喷射到移动到拍摄位置P2的检查板710上的处理液的图像的相机730、用于基于拍摄位置P2移动相机730的相机移动单元740以及用于将用来测试印刷的膜F供应到检查板710上的膜供应单元750。
在本文中，当第一移动单元300使头单元200在第一方向上移动并且第二移动单元400使头单元200在第二方向上移动时，检查板移动单元720可以使检查板710在第一方向上移动，并且相机移动单元740可以使相机730在第二方向上移动。
检查板710提供有多孔吸附板711以平坦地吸附膜F，并且膜供应单元750可以包括用于将膜F供应到检查板710上的展开辊751和用于使膜F从检查板710复卷的卷绕辊752。
现在将参照图4至图6描述根据本发明的一些实施例的处理液喷射设备10的操作。最初，如图4中所示，在印刷模式中，头单元200可以在印刷区PZ的印刷位置P3处将处理液印刷在基底S上。
在这种情况下，检查板710可以在维护区MZ的待机位置P1处待机。
然后，如图5中所示，在测试印刷模式中，头单元200可以移动到维护区MZ的待机位置P1以以点的形式将处理液印刷在检查板710的膜F上。
此后，如图6中所示，使用在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息M1的印刷文件信息，在维护区MZ的待机位置P1处完成测试印刷之后，头单元200可以立即移动到印刷区PZ的印刷位置P3并且将处理液快速印刷在基底S上，而无需等待，直到以下将描述的测试图像信息、特定喷嘴特征信息和印刷文件信息依次地生成。
图7是示出图6的处理液喷射设备10的处理液的冲击点误差L的概念图，并且图8是图1的处理液喷射设备10的控制器800的框图。
如图1至图8中所示，控制器800用于将检查控制信号施加到检查单元700，以控制检查单元700来检查在当基底S被装载到基底支撑单元100上并在正确位置处对准时的基底准备时间期间从头单元200喷射的处理液的状况，并且可以包括：测试图像信息获取器810，用于在基底准备时间期间通过在拍摄位置P2处测试-拍摄由头单元200在待机位置P1处测试-印刷的处理液来获取测试图像信息；特定喷嘴特征信息生成器820，用于通过使用测试图像信息生成特定喷嘴N特征信息；印刷文件信息生成器830，用于考虑到特定喷嘴特征信息，以位图图像或计算机辅助设计(CAD)文件的形式生成待印刷的印刷文件信息；配方信息反映器840，用于反映基底S或头单元200的配方信息，以在可输出状态下准备印刷文件信息；以及印刷控制器850，用于将印刷控制信号施加到头移动单元300和400以使头单元200移动到印刷位置P3，以基于配方信息反映到的印刷文件信息，在基底S上印刷处理液。
在本文中，如图7中所示，测试图像信息可以包括以点的形式示出从头单元200的特定喷嘴喷射的处理液到达的每个冲击点的实际位置1b的图像信息，特定喷嘴特征信息可以包括每一喷嘴的喷嘴分析信息，表示冲击点的实际位置1b与正确位置1a之间的偏差的冲击点误差L反映到所述喷嘴分析信息，并且印刷文件信息可以包括特定喷嘴特征信息反映到的位图图像或CAD文件。
为了在维护区MZ的待机位置P1处完成测试印刷之后，使头单元200立即移动到印刷区PZ的印刷位置P3，并且在基底S上快速印刷处理液，而无需等待很长时间，直到测试图像信息、特定喷嘴特征信息和印刷文件信息依次地且完整地生成，控制器800还可以包括时间缩减控制器860，时间缩减控制器860用于将在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息M1(将在下面结合图10进行描述)用作由配方信息反映器840使用的印刷文件信息，并且并行地将测试图像信息、特定喷嘴特征信息和印刷文件信息生成为待应用到下一基底的下一版本信息M2(将在下面结合图10进行描述)。
因此，根据本发明，通过独立地安装头移动单元300和400和检查板移动单元720，可以在文件校正时间期间启动头单元200的基底印刷工艺，通过由使用前一版本信息M1的印刷文件信息且同时并行地生成下一版本信息M2的印刷文件信息来执行基底印刷工艺，通过极大地减少头单元200的空闲时间和停机时间，可以显著提高生产率和质量，通过防止由于包括文件校正时间的长的空闲时间、维护时间或停机时间引起的头单元200的频繁的喷嘴干燥或喷嘴堵塞，可以明显地提高质量，并且从长远来看，可以显著增加头单元200的寿命。
也就是说，根据本发明，在本领域中验证了，因为即使在头单元200保持在湿润状态下的同时，当每次将前一版本信息应用于当前基底以检查头单元200时，也仅出现非常小的差异，所以基于上述结果，通过极大减少头单元200的空闲时间和检查时间，与过去相比，生产率可以显著提高大约21％以上，并且通过保持头单元200湿润，冲击点误差率可以显著降低超过90％。
在本文中，每次在印刷一个基底之前，可以执行一个测试印刷工艺，或者在一个测试印刷工艺之后，可以印刷多个(例如，两个或三个)基底。也就是说，应用到待印刷的基底的前一版本信息M1不限于紧接的前一测试印刷的前一版本信息M1，并且可以仅在需要减少所使用的处理液的量时执行测试印刷。
图9是根据本发明的一些实施例的处理液喷射方法的流程图。
如图1至图9中所示，根据本发明一些实施例的处理液喷射方法可以包括：步骤(a)通过对由头单元200测试-印刷的处理液进行测试-拍摄来获得测试图像信息；步骤(b)通过使用测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；步骤(c)考虑到特定喷嘴特征信息，生成待印刷的印刷文件信息；步骤(d)反映基底S或头单元200的配方信息，以在可输出状态下准备印刷文件信息；以及步骤(e)通过头单元200在基底S上印刷配方信息反映到的印刷文件信息。
在步骤(a)中，测试图像信息可以包括以点的形式示出从头单元200的特定喷嘴喷射的处理液到达的每个冲击点的实际位置1b的图像信息；在步骤(b)中，特定喷嘴特征信息可以包括每一喷嘴的喷嘴分析信息，表示冲击点的实际位置1b与正确位置1a之间的偏差的冲击点误差L反映到所述喷嘴分析信息；并且在步骤(c)中，印刷文件信息可以包括特定喷嘴特征信息反映到的位图图像或CAD文件。
当可以依次地执行步骤(a)至步骤(e)时，因为喷嘴的数量达到数万个，在每个步骤中生成的信息的量可能非常大，用于计算机的复杂计算所花费的时间可能增加，并且因此头单元200仅等待而不执行印刷的空闲时间也可能增加。
图10是根据本发明的其他实施例的处理液喷射方法的流程图。
如图1至图10中所示，在根据本发明的其他实施例的处理液喷射方法中，为了在图9的步骤(a)之后依次地执行步骤(b)和步骤(c)的同时，使步骤(d)与步骤(b)同时执行，步骤(d)的印刷文件信息可以是在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息M1，并且步骤(a)的测试图像信息、步骤(b)的特定喷嘴特征信息和步骤(c)的印刷文件信息可以是待应用于下一基底的下一版本信息M2。
因此，在步骤(a)中，头单元200可以在维护区MZ的待机位置P1处执行测试印刷，并且在步骤(e)中，头单元200可以立即移动到印刷区PZ的印刷位置P3，并且在基底S上快速印刷处理液，而无需等待，直到步骤(a)的测试图像信息、步骤(b)的特定喷嘴特征信息和步骤(c)的印刷文件信息都依次地生成。
图11是图10的处理液喷射方法的步骤(a)的详细流程图。
如图1至图11中所示，步骤(a)可以包括：步骤(a-1)将头单元200传送到维护区MZ的待机位置P1；步骤(a-2)由头单元200在待机位置P1处的检查板710上测试-印刷处理液；步骤(a-3)将头单元200传送到印刷区PZ的印刷位置P3，并且将检查板710传送到维护区MZ的拍摄位置P2；以及步骤(a-4)由检查单元700通过对检查板710进行测试-拍摄来获得测试图像信息。
在步骤(a-3)中，为了使步骤(d)同时执行，头单元200在基底S上印刷作为在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息M1的印刷文件信息。
因此，因为头单元200可以通过使用前一版本信息M1立即执行印刷而无需等待，直到多条信息生成，所以可以极大减少维护时间并且可以显著提高生产率，并且因为头单元200可以保持湿润状态，所以可以降低冲击点误差率，并且可以显著提高产品质量。
图12是根据本发明的其他实施例的处理液喷射方法的流程图。
如图1至图12中所示，根据本发明的其他实施例的处理液喷射方法，在图10的步骤(e)之前，还可以包括步骤(f)在印刷位置P3处准备基底S。
步骤(f)可以包括：步骤(f-1)将基底S装载到基底支撑单元100上；步骤(f-2)宏观上首次对准基底S；步骤(f-3)微观上第二次对准基底S；以及步骤(f-4)将基底S移动到印刷开始位置。
因此，因为用于步骤(a)和步骤(d)的第一所需时间T1可以少于用于步骤(f)的第二所需时间T2，所以可以极大减少维护时间并且可以显著提高生产率，并且因为头单元200可以在这段时间期间保持在湿润状态下，所以可以降低冲击点误差率，并且可以显著提高产品质量。
同时，步骤(d)的作为前一版本信息M1的印刷文件信息可以应用于多个基底S。
因此，可以大大减少在测试印刷中使用的非常昂贵的处理液的量，并且因此可以获得许多经济效益。
根据本发明的前述实施例，通过独立地安装头移动单元和检查板移动单元，可以在文件校正时间期间启动头单元的基底印刷工艺，通过由使用前一版本的印刷文件信息且同时并行地生成下一版本的印刷文件信息来执行基底印刷工艺，通过极大地减少头单元的空闲时间和停机时间，可以显著提高生产率和质量，通过防止由于包括文件校正时间的长的空闲时间、维护时间或停机时间引起的头单元的频繁的喷嘴干燥或喷嘴堵塞，可以明显地提高质量，并且从长远来看，可以显著增加头单元的寿命。然而，本发明的范围不限于以上效果。
虽然已经参照本发明的实施例具体地示出和描述了本发明，但是本领域的普通技术人员将理解的是，在不脱离如由所附权利要求限定的本发明的范围的情况下，可以在其中进行形式和细节上的各种改变。

Claims (20)

1.一种处理液喷射方法，包括：
步骤(a)通过对由头单元测试-印刷的处理液进行测试-拍摄来获得测试图像信息；
步骤(b)通过使用所述测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；
步骤(c)考虑到所述特定喷嘴特征信息，生成待印刷的印刷文件信息；
步骤(d)反映基底或所述头单元的配方信息，以在可输出状态下准备所述印刷文件信息；以及
步骤(e)通过所述头单元在所述基底上印刷所述配方信息反映到的所述印刷文件信息。
2.根据权利要求1所述的处理液喷射方法，其中，为了在步骤(a)之后依次地执行步骤(b)和步骤(c)的同时，使步骤(d)与步骤(b)同时执行，步骤(d)的所述印刷文件信息是在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息，并且步骤(a)的所述测试图像信息、步骤(b)的所述特定喷嘴特征信息和步骤(c)的所述印刷文件信息是待应用于下一基底的下一版本信息。
3.根据权利要求2所述的处理液喷射方法，其中，在步骤(a)中，所述头单元在维护区的待机位置处执行测试印刷，并且
其中，在步骤(e)中，所述头单元立即移动到印刷区的印刷位置，并且在所述基底上快速印刷所述处理液，而无需等待，直到步骤(a)的所述测试图像信息、步骤(b)的所述特定喷嘴特征信息和步骤(c)的所述印刷文件信息都依次地生成。
4.根据权利要求1所述的处理液喷射方法，其中，在步骤(a)中，所述测试图像信息包括以点的形式示出从所述头单元的特定喷嘴喷射的所述处理液到达的每个冲击点的实际位置的图像信息，
其中，在步骤(b)中，所述特定喷嘴特征信息包括每一喷嘴的喷嘴分析信息，表示所述冲击点的所述实际位置与正确位置之间的偏差的冲击点误差反映到所述喷嘴分析信息，并且
其中，在步骤(c)中，所述印刷文件信息包括所述特定喷嘴特征信息反映到的位图图像或计算机辅助设计文件。
5.根据权利要求1所述的处理液喷射方法，在步骤(e)之前还包括步骤(f)在印刷位置处准备所述基底。
6.根据权利要求5所述的处理液喷射方法，其中，步骤(f)包括：
步骤(f-1)将所述基底装载到基底支撑单元上；
步骤(f-2)宏观上首次对准所述基底；
步骤(f-3)微观上第二次对准所述基底；以及
步骤(f-4)将所述基底移动到印刷开始位置。
7.根据权利要求6所述的处理液喷射方法，其中，用于步骤(a)和步骤(d)的第一所需时间少于用于步骤(f)的第二所需时间。
8.根据权利要求2所述的处理液喷射方法，其中，作为所述前一版本信息的步骤(d)的所述印刷文件信息应用于多个基底。
9.根据权利要求1所述的处理液喷射方法，其中，步骤(a)包括：
步骤(a-1)将所述头单元传送到维护区的待机位置；
步骤(a-2)由所述头单元在所述待机位置处的检查板上测试-印刷所述处理液；
步骤(a-3)将所述头单元传送到印刷区的印刷位置，并且将所述检查板传送到所述维护区的拍摄位置；以及
步骤(a-4)由所述检查单元通过对所述检查板进行测试-拍摄来获得测试图像信息。
10.根据权利要求9所述的处理液喷射方法，其中，在步骤(a-3)中，为了使步骤(e)同时执行，所述头单元在所述基底上印刷作为在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息的所述印刷文件信息。
11.一种处理液喷射设备，包括：
基底支撑单元，用于支撑基底；
头单元，用于以喷墨方式将处理液喷射到所述基底上；
头移动单元，用于移动所述头单元；以及
检查单元，用于检查从所述头单元喷射的所述处理液的状况，
其中，所述检查单元独立于所述头移动单元安装以移动或固定相机，而不管所述头单元的运动如何。
12.根据权利要求11所述的处理液喷射设备，其中，所述检查单元包括：
检查板，定位在待机位置处以使所述头单元测试-喷射处理液；
检查板移动单元，用于将所述检查板从所述待机位置移动到拍摄位置；以及
所述相机，用于捕捉喷射到移动到所述拍摄位置的所述检查板上的所述处理液的图像。
13.根据权利要求12所述的处理液喷射设备，其中，所述检查单元还包括用于基于所述拍摄位置移动所述相机的相机移动单元。
14.根据权利要求13所述的处理液喷射设备，其中，所述头移动单元包括：
第一移动单元，用于使所述头单元在第一方向上移动；和
第二移动单元，用于使所述头单元在第二方向上移动，
其中，所述检查板移动单元使所述检查板在所述第一方向上移动，并且
其中，所述相机移动单元使所述相机在所述第二方向上移动。
15.根据权利要求12所述的处理液喷射设备，其中，所述检查单元还包括膜供应单元，所述膜供应单元用于将用来测试印刷的膜供应到所述检查板上。
16.根据权利要求15所述的处理液喷射设备，其中，所述检查板提供有多孔吸附板以平坦地吸附所述膜，并且
其中，所述膜供应单元包括：
展开辊，用于将所述膜供应到所述检查板上；以及
卷绕辊，用于使所述膜从所述检查板复卷。
17.根据权利要求11所述的处理液喷射设备，还包括控制器，所述控制器用于将检查控制信号施加到所述检查单元，以控制所述检查单元来检查在当所述基底被装载到所述基底支撑单元上并在正确位置处对准时的基底准备时间期间从所述头单元喷射的所述处理液的所述状况。
18.根据权利要求17所述的处理液喷射设备，其中，所述控制器包括：
测试图像信息获取器，用于在所述基底准备时间期间通过在拍摄位置处测试-拍摄由所述头单元在待机位置处测试-印刷的所述处理液来获取测试图像信息；
特定喷嘴特征信息生成器，用于通过使用所述测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；
印刷文件信息生成器，用于考虑到所述特定喷嘴特征信息，以位图图像或计算机辅助设计文件的形式生成待印刷的印刷文件信息；
配方信息反映器，用于反映所述基底或所述头单元的配方信息，以在可输出状态下准备所述印刷文件信息；以及
印刷控制器，用于将印刷控制信号施加到所述头移动单元以使所述头单元移动到印刷位置，以基于所述配方信息反映到的所述印刷文件信息，在所述基底上印刷所述处理液。
19.根据权利要求18所述的处理液喷射设备，其中，为了在维护区的所述待机位置处完成测试印刷之后，使所述头单元立即移动到印刷区的所述印刷位置，并且在所述基底上快速印刷所述处理液，而无需等待，直到所述测试图像信息、所述特定喷嘴特征信息和所述印刷文件信息依次地生成，所述控制器还包括时间缩减控制器，所述时间缩减控制器用于将在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息用作由所述配方信息反映器使用的所述印刷文件信息，并且并行地将所述测试图像信息、所述特定喷嘴特征信息和所述印刷文件信息生成为待应用到下一基底的下一版本信息。
20.一种处理液喷射方法，包括：
步骤(a)通过对由头单元测试-印刷的处理液进行测试-拍摄来获得测试图像信息；
步骤(b)通过使用所述测试图像信息生成特定喷嘴特征信息；
步骤(c)考虑到所述特定喷嘴特征信息，生成待印刷的印刷文件信息；
步骤(d)反映基底或所述头单元的配方信息，以在可输出状态下准备所述印刷文件信息；以及
步骤(e)通过所述头单元在所述基底上印刷所述配方信息反映到的所述印刷文件信息，
其中，为了在步骤(a)之后依次地执行步骤(b)和步骤(c)的同时，使步骤(d)与步骤(b)同时执行，步骤(d)的所述印刷文件信息是在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息，并且步骤(a)的所述测试图像信息、步骤(b)的所述特定喷嘴特征信息和步骤(c)的所述印刷文件信息是待应用于下一基底的下一版本信息，
其中，步骤(a)包括：
步骤(a-1)将所述头单元传送到维护区的待机位置；
步骤(a-2)由所述头单元在所述待机位置处的检查板上测试-印刷所述处理液；
步骤(a-3)将所述头单元传送到印刷区的印刷位置，并且将所述检查板传送到所述维护区的拍摄位置；以及
步骤(a-4)由所述检查单元通过对所述检查板进行测试-拍摄来获得测试图像信息，并且
其中，在步骤(a-3)中，为了使步骤(d)同时执行，所述头单元在所述基底上印刷作为在前一测试印刷工艺中已经生成的前一版本信息的所述印刷文件信息。
CN202310391273.2A 2022-05-02 2023-04-13 处理液喷射方法和处理液喷射设备 Pending CN116985535A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220054249A KR20230154616A (ko) 2022-05-02 2022-05-02 처리액 토출 방법 및 장치
KR10-2022-0054249 2022-05-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116985535A true CN116985535A (zh) 2023-11-03

Family

ID=88512591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310391273.2A Pending CN116985535A (zh) 2022-05-02 2023-04-13 处理液喷射方法和处理液喷射设备

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20230352319A1 (zh)
KR (1) KR20230154616A (zh)
CN (1) CN116985535A (zh)

Also Published As

Publication number Publication date
KR20230154616A (ko) 2023-11-09
US20230352319A1 (en) 2023-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100463520B1 (ko) 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 도포 장치
KR101214286B1 (ko) 컬러 필터 제조 방법 및 그 장치
US8459201B2 (en) Droplet applying device, droplet applying method, liquid crystal display panel manufacturing apparatus, and liquid crystal display panel manufacturing method
US20100134556A1 (en) Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment
US20080259101A1 (en) Methods and apparatus for minimizing the number of print passes in flat panel display manufacturing
WO2007123148A1 (ja) 欠陥修復装置、欠陥修復方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP2006224039A (ja) パターン形成装置、パターニング方法、基板処理装置、基板処理方法
JPWO2008093701A1 (ja) 塗布装置
JP5400372B2 (ja) 塗布装置および塗布方法
JP2012000553A (ja) インクジェット塗布装置及び方法
KR101094388B1 (ko) 처리액 도포 방법
KR101021550B1 (ko) 머더 기재, 막 형성 영역의 배설 방법, 및 컬러 필터의 제조 방법
KR101053144B1 (ko) 처리액 도포 장치 및 방법
JP4774890B2 (ja) インキ吐出印刷装置
CN116985535A (zh) 处理液喷射方法和处理液喷射设备
KR20070057494A (ko) 액정표시장치의 컬러필터와 배향막 통합형성장치 및통합형성방법
US9383658B2 (en) Roll-printing apparatus and roll-printing method using the same
KR20100119857A (ko) 도포장치 및 도포방법
JP3944638B2 (ja) 表示装置製造方法、表示装置製造装置、表示装置、デバイス、及びプログラム
KR102363034B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
CN116985532A (zh) 用于分配处理液的设备和分配处理液的方法
KR101130208B1 (ko) 처리액 토출 방법
KR20080020094A (ko) 잉크젯 도포 장치
WO2022172762A1 (ja) 液滴吐出装置及び液滴吐出方法
JP2009112972A (ja) 膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication