CN116924660B - 半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及石英钟罩技术领域，具体的公开了半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩及其制作方法，包括钟罩本体,钟罩本体为侧面圆柱形、顶端半圆形封顶、底端开口的结构，钟罩本体底端侧壁设置有法兰，法兰上均匀开设有若干个螺栓孔；钟罩本体的具体组成成分配比为：二氧化硅：氧化铝：氧化硼：钙：氧化钡：氧化钠：氧化钾：氧化锂：氧化钛为97.87：0.5：0.65：0.01：0.75：0.05：0.04：0.03：0.1，一体成型的法兰具有更好的密封性，在与保温筒或者石英舟相连通时，法兰无需进行焊接也就更便于安装，在进行半导体光伏基片的生产中，则可以提高生产效率，提升产品品质。
Description
技术领域
本发明涉及石英钟罩技术领域，尤其涉及半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩及其制作方法。
背景技术
石英玻璃制品以其优良的物理化学性能被广泛应用于集成电路芯片生产线，石英钟罩与保温筒以及立式石英舟等配套组合，多用于集成电路、半导体芯片和光伏基片生产的关键工序，时半导体光伏基片生产过程中必不可少的重要工具。
现有的石英钟罩为一端开口，另一端为半球形封口的圆筒状结构，这种结构的石英钟罩开口端不容易与立式石英舟相配合，容易失稳，且这种石英钟罩的开口端需要额外使用金属法兰进行连接，容易出现密封不严的问题。
石英钟罩的生产方法是将石英砂原料投入到熔炉坩埚中，将石英砂熔融成料液，再讲料液输送至成型模具中进行冷却成型，而在这种方式下，由于石英钟罩模具内部本身存在部分空气，而在进行浇灌的过程中，这部分空气不易随着浇灌而排出，就会在料液冷却成型后形成气泡，气泡的存在会对石英钟罩的性能产生不利影响，熔融石英砂料液温度高，在冷却成型过程中随着温度的降低会发生一定程度的变形，若不能及时调整同样也会影响最终的成品石英钟罩的质量。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩及其制作方法。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩，包括钟罩本体,所述钟罩本体为侧面圆柱形、顶端半圆形封顶、底端开口的结构，钟罩本体底端侧壁设置有法兰，法兰上均匀开设有若干个螺栓孔；
半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，包括以下步骤：
步骤一：将石英砂原料投入到连熔炉坩埚中，原料具体配比为：二氧化硅：氧化铝：氧化硼：钙：氧化钡：氧化钠：氧化钾：氧化锂：氧化钛为97.87：0.5：0.65：0.01：0.75：0.05：0.04：0.03：0.1，原料通电熔融成料液；
步骤二：操作人员将输送熔融石英砂料液的输送管连通加工设备的入口；
步骤三：料液浇灌入加工设备后，加工设备可随着料液的浇灌而倾斜转动，使加工设备自水平状态开始翻转逐渐转动至竖直状态，料液浇灌完毕的同时，加工设备呈竖直状态，此时模具内的残存空气也随之排尽；
步骤四：料液冷却成型阶段，加工设备可倾斜晃动，倾斜幅度在正负三十度之间，转动机构可带动模具转动，辅助料液成型，降低钟罩本体出现变形的可能性，待料液成型后，可等待自然冷却后再打开加工设备取出钟罩本体。
优选的，所述加工设备包括底座和加工仓，底座顶端一侧固定设置有竖直安装的倒L型立柱，倒L型立柱一侧的底座顶端固定设置有提升电机，倒L型立柱上设置有提升机构，倒L型立柱竖直段上开设有滑槽，滑槽内滑动连接有工字滑块，工字滑块一侧固定连接有连接盒，连接盒内部设置有倾斜机构，连接盒远离工字滑块一侧设置有加工仓，加工仓内部设置有成型组件，成型组件底部设置有转动机构。
优选的，所述提升机构包括导向轮和绳索，连接盒顶端固定连接有一个吊环，倒L型立柱顶部侧壁设置有两个导向轮，两个导向轮上滑动连接有一条绳索，绳索一端缠绕在提升电机的输出轴上，绳索另一端固定连接在吊环上。
优选的，所述倾斜机构包括转动轴、轴承、从动齿轮和第一电机，连接盒远离工字滑块一侧开设有一个正方形通孔，正方形通孔内固定安装有一个轴承，轴承内转动连接有转动轴，转动轴一端转动连接于连接盒内壁，转动轴另一端固定连接于加工仓的外侧壁，位于连接盒内部的转动轴上固定连接有从动齿轮，连接盒内部一侧设置有固定安装的第一电机，第一电机输出端固定连接有主动齿轮，主从齿轮与从动齿轮相啮合。
优选的，所述加工仓远离倒L型立柱一侧开设有观察口，观察口上安装有透明玻璃，加工仓一端设置有入料口。
优选的，所述成型组件包括固定壳体、入料槽、分料孔和模具，加工仓内壁安装有圆柱形的固定壳体，固定壳体顶端开设有圆形入料槽，入料槽尺寸与入料口相适配，入料槽外围的固定壳体内壁上均匀开设有若干个分料孔，分料孔下方的固定壳体内转动连接有模具，分料孔与模具相连通。
优选的，所述模具内部开设有与钟罩本体相适配的成型槽，模具为两半组合拼接式。
优选的，所述转动机构包括第二电机和内齿轮，模具底部中心设置有内齿轮，加工仓底部内壁固定安装有第二电机，第二电机的输出端固定连接有输出齿轮，输出齿轮与内齿轮相啮合。
半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，具体步骤如下：
步骤一：操作人员可通过启动提升电机带动绳索活动来提升工字滑块和连接盒，连接盒内的转动轴即可带动加工仓升高或者降低，将输送熔融石英砂料液的输送管连通入料口。
步骤二：料液自入料口流入加工仓后先进入入料槽，料液会从入料槽低处流入相对应的分料孔中，自低处的分料孔中流入模具内，流入模具内的料液即可将模具内的残存空气自高处的分料孔排挤出模具，同时启动第一电机，第一电机带动从动齿轮和转动轴转动，即可带动加工仓转动，随着料液浇灌的进行，倾斜机构带动加工仓自水平状态开始翻转逐渐转动至竖直状态，料液浇灌完毕的同时，加工仓呈竖直状态，此时模具内的残存空气也随之排尽。
步骤三：料液冷却成型阶段，倾斜机构可带动加工仓倾斜晃动，倾斜幅度在正负三十度之间，并启动第二电机，第二电机的输出端转动带动内齿轮转动，即可带动模具转动，待操作人员自观察口观察到料液成型后，可选择停止第二电机和第一电机等待自然冷却后再打开加工仓取出钟罩本体。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明通过设置倾斜机构和分料孔，倾斜机构在料液浇灌过程中，随着料液自低处的分料孔中流入模具内，即可将模具内的残存空气自高处的分料孔排挤出模具，倾斜机构带动加工仓自水平状态开始翻转逐渐转动至竖直状态，料液浇灌时间与加工仓翻转时间相同，即料液浇灌完毕的同时，加工仓呈竖直状态，空气也排出殆尽，这种方式，相比于直接浇灌料液的方式来说，更有利于提高成型钟罩本体的质量，减少可能出现的气泡影响钟罩本体的理化性能的可能性，在料液进行冷却成型阶段，倾斜机构可带动加工仓倾斜晃动，倾斜幅度在正负三十度之间，通过左右倾斜的方式晃动加工仓，可辅助模具内的料液成型，减少料液因温度下降而出现的收缩现象所导致的钟罩本体的变形，也有利于节约钟罩本体的成型时间，提升加工效率。
本发明通过设置转动机构，在料液冷却成型阶段，倾斜机构的倾斜晃动不足以完全实现加速成型、减少变形的目的，遂使用转动机构用于配合，启动第二电机，第二电机的输出端转动带动内齿轮转动，即可带动模具转动，这样模具即可边倾斜边转动，全方位的活动可更大程度的辅助料液的冷却成型，减少自然冷却时可能出现的变形现象，提升生产效率及产品质量。
附图说明
图1为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的钟罩本体结构示意图；
图2为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的整体结构示意图；
图3为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的侧视图；
图4为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的立柱及提升机构结构示意图；
图5为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的倾斜机构结构示意图；
图6为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的成型组件整体结构示意图；
图7为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的成型组件及转动机构结构示意图；
图8为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的入料槽结构示意图；
图9为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的模具示意图；
图10为本发明提出的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的加工设备的倾斜状态示意图。
图中：1、钟罩本体；101、法兰；102、螺栓孔；2、加工设备；3、底座；4、倒L型立柱；5、提升机构；501、提升电机；502、导向轮；503、绳索；504、滑槽；6、工字滑块；7、连接盒；8、倾斜机构；801、转动轴；802、轴承；803、从动齿轮；804、第一电机；9、吊环；10、加工仓；111、观察口；11、入料口；12、成型组件；121、固定壳体；122、入料槽；123、分料孔；124、模具；13、转动机构；131、第二电机；132、内齿轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-10，半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩，包括钟罩本体1,钟罩本体1为侧面圆柱形、顶端半圆形封顶、底端开口的结构，钟罩本体1底端侧壁设置有法兰101，法兰101上均匀开设有若干个螺栓孔102。半导体光伏基片制作过程需要石英钟罩和保温筒以及石英舟相配合使用，因此石英钟罩需要在工作过程中与其他部件进行连接，而连接部分的密封性则直接影响到半导体光伏基片的产品质量，与传统的石英钟罩不同的是，钟罩本体1开口端一体成型了法兰101，与后期焊接的方式不同的是，一体成型的法兰101具有更好的密封性，在与保温筒或者石英舟相连通时，法兰101无需进行焊接也就更便于安装，在进行半导体光伏基片的生产中，则可以提高生产效率，提升产品品质。
作为本发明的一种技术优化方案，半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，包括以下步骤：
步骤一：将石英砂原料投入到连熔炉坩埚中，原料具体配比为：二氧化硅：氧化铝：氧化硼：钙：氧化钡：氧化钠：氧化钾：氧化锂：氧化钛为97.87：0.5：0.65：0.01：0.75：0.05：0.04：0.03：0.1，原料通电熔融成料液；
步骤二：操作人员将输送熔融石英砂料液的输送管连通加工设备2的入口；
步骤三：料液浇灌入加工设备2后，加工设备2可随着料液的浇灌而倾斜转动，使加工设备2自水平状态开始翻转逐渐转动至竖直状态，料液浇灌完毕的同时，加工设备2呈竖直状态，此时模具124内的残存空气也随之排尽；
步骤四：料液冷却成型阶段，加工设备2可倾斜晃动，倾斜幅度在正负三十度之间，转动机构13可带动模具124转动，辅助料液成型，降低钟罩本体1出现变形的可能性，待料液成型后，可等待自然冷却后再打开加工设备2取出钟罩本体1。
作为本发明的一种技术优化方案，加工设备2包括底座3和加工仓10，底座3顶端一侧固定设置有竖直安装的倒L型立柱4，倒L型立柱4一侧的底座3顶端固定设置有提升电机501，倒L型立柱4上设置有提升机构5，倒L型立柱4竖直段上开设有滑槽504，滑槽504内滑动连接有工字滑块6，工字滑块6一侧固定连接有连接盒7，连接盒7内部设置有倾斜机构8，连接盒7远离工字滑块6一侧设置有加工仓10，加工仓10内部设置有成型组件12，成型组件12底部设置有转动机构13。石英钟罩的加工采用开模成型的方式，而为了实现法兰101的一体成型，模具124则不同于传统的造型不同，增加的法兰101同时也增加了石英砂料液的成型难度，因此需要采取措施辅助石英砂料液的成型，减少模具124中残存的空气，提升钟罩本体1的物理化学性能，提升机构5可调整加工仓10的高度位置，既可便于入料口11连通输送熔融石英砂料液的输送管，也可在冷却成型阶段配合着倾斜机构8进行调节，以辅助料液的成型，降低成型的次品率，倾斜机构8随着入料口11的浇灌而缓慢动作，随着料液的增加，倾斜机构8可逐渐由水平状态转动至竖直状态，在转动过程中可便于料液排出模具124内残存的空气，而在料液注入完毕进行冷却成型时，倾斜机构8可摇晃加工仓10并配合转动机构13活动半成型的料液，减少钟罩本体1的变形，同时可加速成型，提升生产效率及产品质量，加工仓10一端可开启，不影响模具124的安装以及成型钟罩本体1的取出。
作为本发明的一种技术优化方案，提升机构5包括导向轮502和绳索503，连接盒7顶端固定连接有一个吊环9，倒L型立柱4顶部侧壁设置有两个导向轮502，两个导向轮502上滑动连接有一条绳索503，绳索503一端缠绕在提升电机501的输出轴上，绳索503另一端固定连接在吊环9上。提升机构5可随料液输送管的位置变化调整入料口11的高度，方便料液的浇灌，同时可配合倾斜机构8加速空气的排出及钟罩本体1的成型，工作时可通过启动提升电机501，提升电机501的输出端转动带动绳索503收卷或者释放，而两个导向轮502可调整绳索503的受力方向，保证绳索503在竖直方向上提升或者降低加工仓10，减少加工仓10所受到的外部影响。
作为本发明的一种技术优化方案，倾斜机构8包括转动轴801、轴承802、从动齿轮803和第一电机804，连接盒7远离工字滑块6一侧开设有一个正方形通孔，正方形通孔内固定安装有一个轴承802，轴承802内转动连接有转动轴801，转动轴801一端转动连接于连接盒7内壁，转动轴801另一端固定连接于加工仓10的外侧壁，位于连接盒7内部的转动轴801上固定连接有从动齿轮803，连接盒7内部一侧设置有固定安装的第一电机804，第一电机804输出端固定连接有主动齿轮，主从齿轮与从动齿轮803相啮合。倾斜机构8与加工仓10相连接，倾斜机构8的工作方式分为两个步骤：第一、料液浇灌过程中，随着料液自入料口11流入模具124中，倾斜机构8带动加工仓10自水平状态开始翻转逐渐转动至竖直状态，料液浇灌时间与加工仓10翻转时间相同，即料液浇灌完毕的同时，加工仓10呈竖直状态，这种方式，可有效的在料液浇灌过程中，由先进入模具124的料液排挤出模具124内的残存空气，待料液浇灌结束，模具124内的残存空气也随之排完，相比于直接浇灌料液的方式来说，更有利于提高成型钟罩本体1的质量，减少可能出现的气泡影响钟罩本体1的理化性能的可能性；第二、在料液进行冷却成型阶段，倾斜机构8可带动加工仓10倾斜晃动，倾斜幅度在正负三十度之间，通过左右倾斜的方式晃动加工仓10，可辅助模具124内的料液成型，减少料液因温度下降而出现的收缩现象所导致的钟罩本体1的变形，也有利于节约钟罩本体1的成型时间，提升加工效率。
作为本发明的一种技术优化方案，加工仓10远离倒L型立柱4一侧开设有观察口111，观察口111上安装有透明玻璃，加工仓10一端设置有入料口11。一般的模具124使用透明的石英材料制成，可利用观察口111观察模具124内的料液成型情况，便于即时作出相应的调整。
作为本发明的一种技术优化方案，成型组件12包括固定壳体121、入料槽122、分料孔123和模具124，加工仓10内壁安装有圆柱形的固定壳体121，固定壳体121顶端开设有圆形入料槽122，入料槽122尺寸与入料口11相适配，入料槽122外围的固定壳体121内壁上均匀开设有若干个分料孔123，分料孔123下方的固定壳体121内转动连接有模具124，分料孔123与模具124相连通。固定壳体121顶端接近入料口11、底端接近加工仓10的底部，模具124安装在固定壳体121中部，料液自入料口11流入加工仓10后先进入入料槽122，由于此时加工仓10处于水平状态，料液会从入料槽122低处流入相对应的分料孔123中，自低处的分料孔123中流入模具124内，流入模具124内的料液即可将模具124内的残存空气自高处的分料孔123排挤出模具124，随着倾斜机构8的工作，加工仓10逐渐转动至竖直状态，此时料液浇灌完成，空气也排出殆尽，分料孔123的设置可有效的配合入料口11，边浇灌料液边进行排空气，有利于降低钟罩本体1的次品率。
作为本发明的一种技术优化方案，模具124内部开设有与钟罩本体1相适配的成型槽，模具124为两半组合拼接式。料液进入模具124后即是在成型槽中冷却成预定的大小尺寸，而成型槽也可根据生产要求进行更换，拼接式的模具124便于成型后的钟罩本体1取出。
作为本发明的一种技术优化方案，转动机构13包括第二电机131和内齿轮132，模具124底部中心设置有内齿轮132，加工仓10底部内壁固定安装有第二电机131，第二电机131的输出端固定连接有输出齿轮，输出齿轮与内齿轮132相啮合。在料液冷却成型阶段，倾斜机构8的倾斜晃动不足以完全实现加速成型、减少变形的目的，遂使用转动机构13用于配合，启动第二电机131，第二电机131的输出端转动带动内齿轮132转动，即可带动模具124转动，这样模具124即可边倾斜边转动，全方位的活动可更大程度的辅助料液的冷却成型，减少自然冷却时可能出现的变形现象。
本发明在使用时，操作人员可通过启动提升电机501带动绳索503活动来提升工字滑块6和连接盒7，连接盒7内的转动轴801即可带动加工仓10升高或者降低，将输送熔融石英砂料液的输送管连通入料口11，料液自入料口11流入加工仓10后先进入入料槽122，料液会从入料槽122低处流入相对应的分料孔123中，自低处的分料孔123中流入模具124内，流入模具124内的料液即可将模具124内的残存空气自高处的分料孔123排挤出模具124，同时启动第一电机804，第一电机804带动从动齿轮803和转动轴801转动，即可带动加工仓10转动，随着料液浇灌的进行，倾斜机构8带动加工仓10自水平状态开始翻转逐渐转动至竖直状态，料液浇灌完毕的同时，加工仓10呈竖直状态，此时模具124内的残存空气也随之排尽。
料液冷却成型阶段，倾斜机构8可带动加工仓10倾斜晃动，倾斜幅度在正负三十度之间，并启动第二电机131，第二电机131的输出端转动带动内齿轮132转动，即可带动模具124转动，待操作人员自观察口111观察到料液成型后，可选择停止第二电机131和第一电机804等待自然冷却后再打开加工仓10取出钟罩本体1。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，其特征在于：所述半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩包括钟罩本体（1），钟罩本体（1）为侧面圆柱形、顶端半圆形封顶、底端开口的结构，钟罩本体（1）底端侧壁设置有法兰（101），法兰（101）上均匀开设有若干个螺栓孔（102）；
钟罩本体（1）的原料具体配比为：二氧化硅：氧化铝：氧化硼：钙：氧化钡：氧化钠：氧化钾：氧化锂：氧化钛为97.87：0.5：0.65：0.01：0.75：0.05：0.04：0.03：0.1；
所述制作方法包括以下步骤：
步骤一：将石英砂原料投入到连熔炉坩埚中，原料通电熔融成料液；
步骤二：操作人员将输送熔融石英砂料液的输送管连通加工设备（2）的入口；
步骤三：料液浇灌入加工设备（2）后，加工设备（2）可随着料液的浇灌而倾斜转动，使加工设备（2）自水平状态开始翻转逐渐转动至竖直状态，料液浇灌完毕的同时，加工设备（2）呈竖直状态，此时模具（124）内的残存空气也随之排尽；
步骤四：料液冷却成型阶段，加工设备（2）可倾斜晃动，倾斜幅度在正负三十度之间，转动机构（13）可带动模具（124）转动，辅助料液成型，降低钟罩本体（1）出现变形的可能性，待料液成型后，可等待自然冷却后再打开加工设备（2）取出钟罩本体（1）；
所述加工设备（2）包括底座（3）和加工仓（10），底座（3）顶端一侧固定设置有竖直安装的倒L型立柱（4），倒L型立柱（4）一侧的底座（3）顶端固定设置有提升电机（501），倒L型立柱（4）上设置有提升机构（5），倒L型立柱（4）竖直段上开设有滑槽（504），滑槽（504）内滑动连接有工字滑块（6），工字滑块（6）一侧固定连接有连接盒（7），连接盒（7）内部设置有倾斜机构（8），连接盒（7）远离工字滑块（6）一侧设置有加工仓（10），加工仓（10）内部设置有成型组件（12），成型组件（12）底部设置有转动机构（13）；
所述成型组件（12）包括固定壳体（121）、入料槽（122）、分料孔（123）和模具（124），加工仓（10）内壁安装有圆柱形的固定壳体（121），固定壳体（121）顶端开设有圆形入料槽（122），入料槽（122）外围的固定壳体（121）内壁上均匀开设有若干个分料孔（123），分料孔（123）下方的固定壳体（121）内转动连接有模具（124），分料孔（123）与模具（124）相连通；
所述转动机构（13）包括第二电机（131）和内齿轮（132），模具（124）底部中心设置有内齿轮（132），加工仓（10）底部内壁固定安装有第二电机（131），第二电机（131）的输出端固定连接有输出齿轮，输出齿轮与内齿轮（132）相啮合；
所述倾斜机构（8）包括转动轴（801）、轴承（802）、从动齿轮（803）和第一电机（804），连接盒（7）远离工字滑块（6）一侧开设有一个正方形通孔，正方形通孔内固定安装有一个轴承（802），轴承（802）内转动连接有转动轴（801），转动轴（801）一端转动连接于连接盒（7）内壁，转动轴（801）另一端固定连接于加工仓（10）的外侧壁，位于连接盒（7）内部的转动轴（801）上固定连接有从动齿轮（803），连接盒（7）内部一侧设置有固定安装的第一电机（804），第一电机（804）输出端固定连接有主动齿轮，主从齿轮与从动齿轮（803）相啮合。
2.根据权利要求1所述的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，其特征在于：所述提升机构（5）包括导向轮（502）和绳索（503），连接盒（7）顶端固定连接有一个吊环（9），倒L型立柱（4）顶部侧壁设置有两个导向轮（502），两个导向轮（502）上滑动连接有一条绳索（503），绳索（503）一端缠绕在提升电机（501）的输出轴上，绳索（503）另一端固定连接在吊环（9）上。
3.根据权利要求1所述的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，其特征在于：所述加工仓（10）远离倒L型立柱（4）一侧开设有观察口（111），观察口（111）上安装有透明玻璃，加工仓（10）一端设置有入料口（11）。
4.根据权利要求1所述的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，其特征在于：所述模具（124）内部开设有与钟罩本体（1）相适配的成型槽，模具（124）为两半组合拼接式。
5.根据权利要求3所述的半导体光伏基片制作设备用带法兰石英钟罩的制作方法，其特征在于：所述入料槽（122）尺寸与入料口（11）相适配。
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