CN210341056U - 一种钟罩式气相化学沉积炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉本体，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述齿轮筒上固定有连接杆，且连接杆与限位板相互连接，并且限位板上开设有通孔，所述插销贯穿通孔，且插销的底端固定有定位板，并且定位板的底端与底槽相互连接，且底槽开设在基座上端面。该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得本装置可以对钟罩沉积炉本体进行限位固定，令钟罩沉积炉本体不会轻易晃动移位，且能与基座紧密贴合接触，避免由于接触不紧密造成的气密性不足。
Description
技术领域
本实用新型涉及气相化学设备技术领域，具体为一种钟罩式气相化学沉积炉。
背景技术
钟罩式气相化学沉积炉是一种在气相化学实验过程中使用的设备，其作用是为气相化学沉积提供与外界环境隔绝的密闭空间，保证气相化学沉积可以正常运行，是一种较为常见的气相化学设备。
随着钟罩式气相化学沉积炉的不断使用，现有的钟罩式气相化学沉积炉钟罩的固定定位结构设计简单，无法对钟罩结构进行稳定的定位固定，导致钟罩结构密封性不佳。所以需要针对上述问题设计一种钟罩式气相化学沉积炉。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种钟罩式气相化学沉积炉，以解决上述背景技术中提出无法对钟罩结构进行稳定的定位固定，钟罩结构密封性不佳的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉本体，且基座上固定有承接架和固定板，并且基座上安装有齿轮筒，同时固定板上开设有调节窗，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述齿轮筒上固定有连接杆，且连接杆与限位板相互连接，并且限位板上开设有通孔，所述插销贯穿通孔，且插销的底端固定有定位板，并且定位板的底端与底槽相互连接，且底槽开设在基座上端面。
优选的，所述承接架与连接杆均关于钟罩沉积炉本体对称分布，且承接架的材质为磁石，并且承接架顶部设置有半圆形凹陷结构，同时连接杆的材质为铁。
优选的，所述水平螺纹柱与调节窗为滑动连接，且水平螺纹柱与操作板为焊接连接，并且操作板与齿轮筒为啮合连接，同时齿轮筒通过其两侧安装的柱状轴与基座构成转动机构。
优选的，所述限位板与连接杆为焊接连接，且限位板的俯视旋转为半圆形，并且限位板内侧弧形边所在圆的内径与钟罩沉积炉本体的外径相同，同时限位板关于钟罩沉积炉本体对称分布。
优选的，所述插销与定位板为焊接连接，且插销与通孔为滑动连接，并且插销在限位板上对称分布。
优选的，所述定位板的侧视剖面为倒置的“L”字形，且定位板与底槽为卡合连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得本装置可以对钟罩沉积炉本体进行限位固定，令钟罩沉积炉本体不会轻易晃动移位，且能与基座紧密贴合接触，避免由于接触不紧密造成的气密性不足；
1.固定板、齿轮筒、调节窗、水平螺纹柱、紧固螺母、操作板和连接杆相互配合工作，可以对装置中具有限位固定功能的结构进行稳定驱动，并能对相应结构的位置进行稳定的固定；
2.限位板、插销、定位板和底槽在被驱动结构触发工作后，可以将钟罩沉积炉本体定位固定，并且能将钟罩沉积炉本体和基座紧密连接在一起。
附图说明
图1为本实用新型限位板倾斜状态正视结构示意图；
图2为本实用新型限位板水平状态正视结构示意图；
图3为本实用新型限位板水平状态正视剖面结构示意图；
图4为本实用新型限位板俯视结构示意图；
图5为本实用新型承接架侧视剖面结构示意图；
图6为本实用新型限位板侧视剖面结构示意图；
图7为本实用新型固定板侧视结构示意图。
图中：1、基座；2、钟罩沉积炉本体；3、承接架；4、固定板；5、齿轮筒；6、调节窗；7、水平螺纹柱；8、紧固螺母；9、操作板；10、连接杆；11、限位板；12、通孔；13、插销；14、定位板；15、底槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座1、钟罩沉积炉本体2、承接架3、固定板4、齿轮筒5、调节窗6、水平螺纹柱7、紧固螺母8、操作板9、连接杆10、限位板11、通孔12、插销13、定位板14和底槽15，基座1上设置有钟罩沉积炉本体2，且基座1上固定有承接架3和固定板4，并且基座1上安装有齿轮筒5，同时固定板4上开设有调节窗6，水平螺纹柱7贯穿调节窗6，且水平螺纹柱7上安装有紧固螺母8，并且水平螺纹柱7固定在操作板9上，同时操作板9与齿轮筒5相互连接，齿轮筒5上固定有连接杆10，且连接杆10与限位板11相互连接，并且限位板11上开设有通孔12，插销13贯穿通孔12，且插销13的底端固定有定位板14，并且定位板14的底端与底槽15相互连接，且底槽15开设在基座1上端面。
本例中承接架3与连接杆10均关于钟罩沉积炉本体2对称分布，且承接架3的材质为磁石，并且承接架3顶部设置有半圆形凹陷结构，同时连接杆10的材质为铁，上述的结构设计使得承接架3可以对连接杆10及连接杆10所连结构进行稳定的承接固定；
水平螺纹柱7与调节窗6为滑动连接，且水平螺纹柱7与操作板9为焊接连接，并且操作板9与齿轮筒5为啮合连接，同时齿轮筒5通过其两侧安装的柱状轴与基座1构成转动机构，上述的结构设计使得水平螺纹柱7跟随操作板9在垂直方向上位移时，可以在调节窗6内沿着调节窗6的轨迹滑动，保证操作板9运动的稳定性，而操作板9也可以在运动过程中利用啮合连接关系，驱动齿轮筒5稳定旋转；
限位板11与连接杆10为焊接连接，且限位板11的俯视旋转为半圆形，并且限位板11内侧弧形边所在圆的内径与钟罩沉积炉本体2的外径相同，同时限位板11关于钟罩沉积炉本体2对称分布，上述的结构设计使得半圆形的限位板11在通过连接杆10跟随齿轮筒5旋转与钟罩沉积炉本体2外侧接触后，可以对钟罩沉积炉本体2整体进行限位固定；
插销13与定位板14为焊接连接，且插销13与通孔12为滑动连接，并且插销13在限位板11上对称分布，上述的结构设计使得插销13可以带着定位板14在通孔12中稳定的进行垂直方向上的滑动位移；
定位板14的侧视剖面为倒置的“L”字形，且定位板14与底槽15为卡合连接，上述的结构设计使得定位板14与底槽15卡合后，可以向下挤压钟罩沉积炉本体2，令钟罩沉积炉本体2与基座1紧密接触。
工作原理：本装置中的基座1和钟罩沉积炉本体2，与现有的钟罩沉积炉以及钟罩沉积炉配套使用的底座结构相同，均为现有成熟技术，为本领域技术人员所熟知，在此不做详细描述；
使用本装置进行气相化学沉积时，首先按照现有的钟罩沉积炉添加原料的工序将原料添加完成，将钟罩沉积炉本体2闭合，如图1所示，接着拧松图1中的紧固螺母8，令紧固螺母8不再挤压固定板4的边侧，紧固螺母8不再与操作板9配合将固定板4夹紧，同时向上拉动2个操作板9，操作板9带着水平螺纹柱7在调节窗6中向上滑动，操作板9在运动过程中利用啮合连接关系，2个驱动齿轮筒5稳定向钟罩沉积炉本体2方向旋转，齿轮筒5带动连接杆10和限位板11旋转至图2所示状态，连接杆10和限位板11运动至水平状态，连接杆10与承接架3稳定吸附，2个限位板11内侧与钟罩沉积炉本体2外壁紧密贴合，对钟罩沉积炉本体2进行限位，拧紧紧固螺母8，紧固螺母8挤压固定板4边侧，令操作板9无法移动，操作板9位置固定，从而通过啮合的齿状结构将齿轮筒5卡死，将连接杆10和限位板11保持在水平状态，2个限位板11对钟罩沉积炉本体2进行包围式限位固定；
接着下压插销13，插销13带着定位板14下移，定位板14如图6所示，与底槽15卡合固定，并利用其倒置“L”形的内侧，对钟罩沉积炉本体2底部边侧进行向下的挤压，将钟罩沉积炉本体2压在基座1上端面，保证钟罩沉积炉本体2底部与基座1上端面紧密接触，保证气密性，保证气相化学沉积得以顺利进行。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座（1）、钟罩沉积炉本体（2）、水平螺纹柱（7）和插销（13），其特征在于：所述基座（1）上设置有钟罩沉积炉本体（2），且基座（1）上固定有承接架（3）和固定板（4），并且基座（1）上安装有齿轮筒（5），同时固定板（4）上开设有调节窗（6），所述水平螺纹柱（7）贯穿调节窗（6），且水平螺纹柱（7）上安装有紧固螺母（8），并且水平螺纹柱（7）固定在操作板（9）上，同时操作板（9）与齿轮筒（5）相互连接，所述齿轮筒（5）上固定有连接杆（10），且连接杆（10）与限位板（11）相互连接，并且限位板（11）上开设有通孔（12），所述插销（13）贯穿通孔（12），且插销（13）的底端固定有定位板（14），并且定位板（14）的底端与底槽（15）相互连接，且底槽（15）开设在基座（1）上端面。
2.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述承接架（3）与连接杆（10）均关于钟罩沉积炉本体（2）对称分布，且承接架（3）的材质为磁石，并且承接架（3）顶部设置有半圆形凹陷结构，同时连接杆（10）的材质为铁。
3.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述水平螺纹柱（7）与调节窗（6）为滑动连接，且水平螺纹柱（7）与操作板（9）为焊接连接，并且操作板（9）与齿轮筒（5）为啮合连接，同时齿轮筒（5）通过其两侧安装的柱状轴与基座（1）构成转动机构。
4.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述限位板（11）与连接杆（10）为焊接连接，且限位板（11）的俯视旋转为半圆形，并且限位板（11）内侧弧形边所在圆的内径与钟罩沉积炉本体（2）的外径相同，同时限位板（11）关于钟罩沉积炉本体（2）对称分布。
5.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述插销（13）与定位板（14）为焊接连接，且插销（13）与通孔（12）为滑动连接，并且插销（13）在限位板（11）上对称分布。
6.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述定位板（14）的侧视剖面为倒置的“L”字形，且定位板（14）与底槽（15）为卡合连接。
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