CN210458361U - 一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理。
Description
技术领域
本实用新型涉及沉积炉技术领域，具体为一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉。
背景技术
沉积炉是现代化加工设备，在工业生产中，尤其是金刚石加工领域，在沉积炉中，石英钟罩是其内部的基础结构，配合同轴探针天线的使用，能够确保装置内部形成的电场较为均匀，但是现有的沉积炉在实际使用时存在着石英钟罩处的结构设计不合理，依靠外部外形的改变所带来的散热效率提升并不明显，依然会有钟罩表面被大面积刻蚀现象的发生的缺点。针对上述问题，急需在原有气相化学沉积炉的基础上进行创新设计。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，以解决上述背景技术中提出石英钟罩处的结构设计不合理，依靠外部外形的改变所带来的散热效率提升并不明显，依然会有钟罩表面被大面积刻蚀现象的发生的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，且沉积炉本体通过连接件和石英钟罩相连接，并且石英钟罩倒扣在沉积炉本体内部的顶端，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。
优选的，所述竖杆的外壁与探针天线的内壁为不接触设计，两者之间的空腔与石英钟罩上方沉积炉本体的内部空间相连通，且竖杆和探针天线通过轴承相连接，竖杆和转轴上均安装有设置了皮带的皮带轮。
优选的，所述冷却杆呈弧形结构分布，冷却杆的内部开设有同样为弧形结构的通道，且通道和开设在冷却杆下端面的出气口相连通，并且通道的中段和开设在竖杆内部的内腔相连通，冷却杆的底端中心处设置有竖轴。
优选的，所述竖轴转动安装在石英钟罩中心处，且竖轴的底端与桨叶固定连接。
优选的，所述桨叶为等角度分布，其下方设置有边缘固定在沉积炉本体内壁的聚拢板，且聚拢板的中心凹陷区域为上下贯通开口设计。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理；
1.竖杆本身的结构设计，便于在电动机的带动下在天线内部同步转动，并且其内部内腔与冷却杆内部可以通入压缩气体，从而使转动着的出气口能够均匀的将压缩气体输送至钟罩表面，确保了散热效率；
2.在竖轴的联动作用下，桨叶会通过同步转动的方式，将吹入的反应气体、在聚拢板的聚拢作用下、更加均匀的吹拂至反应件上，提高了沉积效率。
附图说明
图1为本实用新型正视结构示意图；
图2为本实用新型竖杆正剖面结构示意图；
图3为本实用新型冷却杆仰视结构示意图。
图中：1、沉积炉本体；2、进气管；3、连接件；4、石英钟罩；5、探针天线；6、竖杆；61、轴承；62、皮带轮；7、转轴；8、电动机；9、冷却杆；91、通道；92、出气口；93、内腔；94、竖轴；10、桨叶；101、聚拢板；11、排气口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体1、进气管2、连接件3、石英钟罩4、探针天线5、竖杆6、轴承61、皮带轮62、转轴7、电动机8、冷却杆9、通道91、出气口92、内腔93、竖轴94、桨叶10、聚拢板101和排气口11，沉积炉本体1的边侧安装有向下倾斜分布的进气管2，且沉积炉本体1通过连接件3和石英钟罩4相连接，并且石英钟罩4倒扣在沉积炉本体1内部的顶端，探针天线5垂直安装在沉积炉本体1的顶端，且探针天线5的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆6，沉积炉本体1的边侧安装有电动机8，且电动机8和垂直分布的转轴7相连接，石英钟罩4的内弧面上设置有冷却杆9，且冷却杆9的中心处固定安装在竖杆6底端，并且石英钟罩4的底端设置有桨叶10，探针天线5的底端设置有排气口11。
竖杆6的外壁与探针天线5的内壁为不接触设计，两者之间的空腔与石英钟罩4上方沉积炉本体1的内部空间相连通，且竖杆6和探针天线5通过轴承61相连接，竖杆6和转轴7上均安装有设置了皮带的皮带轮62，冷却杆9呈弧形结构分布，冷却杆9的内部开设有同样为弧形结构的通道91，且通道91和开设在冷却杆9下端面的出气口92相连通，并且通道91的中段和开设在竖杆6内部的内腔93相连通，冷却杆9的底端中心处设置有竖轴94，电动机8的通电运行，会通过皮带轮62带动竖杆6在探针天线5内部转动，工作人员可将气泵等现有供气设备、将压缩后的冷却气体输送至竖杆6内部的内腔93中(至于竖杆6和供气设备的连接方式、可以是轴承等转动连接方式，其为现有技术，不作详细描述)，内腔93中的气体会经过通道91和出气口92、喷在石英钟罩4的内弧面上，由于冷却杆9跟随竖杆6一起、在石英钟罩4的内部处于转动状态，所以冷却气体会更加均匀及时的与石英钟罩4相接触，该散热结构的使用，确保了散热效果，而散热使用后的冷却气体则会从排气口11处排出。
竖轴94转动安装在石英钟罩4中心处，且竖轴94的底端与桨叶10固定连接，桨叶10为等角度分布，其下方设置有边缘固定在沉积炉本体1内壁的聚拢板101，且聚拢板101的中心凹陷区域为上下贯通开口设计，在进行沉积操作时，需要将反应气体从进气管2处通入到沉积炉本体1中，反应气体会首先与桨叶10接触，由于桨叶10和竖轴94相连接，而竖轴94会在冷却杆9的带动下同步转动，因此桨叶10也会通过转动的方式，将反应气体朝着下方输送，并且在聚拢板101的聚拢作用下，气体会更加均匀充分的与反应件接触。
工作原理：电动机8的通电运行，会通过皮带轮62带动竖杆6在探针天线5内部转动，工作人员可将气泵等现有供气设备、将压缩后的冷却气体输送至竖杆6内部的内腔93中(至于竖杆6和供气设备的连接方式、可以是轴承等转动连接方式，其为现有技术，不作详细描述)，内腔93中的气体会经过通道91和出气口92、喷在石英钟罩4的内弧面上，由于冷却杆9跟随竖杆6一起、在石英钟罩4的内部处于转动状态，所以冷却气体会更加均匀及时的与石英钟罩4相接触，该散热结构的使用，确保了散热效果，而散热使用后的冷却气体则会从排气口11处排出，在进行沉积操作时，需要将反应气体从进气管2处通入到沉积炉本体1中，反应气体会首先与桨叶10接触，由于桨叶10和竖轴94相连接，而竖轴94会在冷却杆9的带动下同步转动，因此桨叶10也会通过转动的方式，将反应气体朝着下方输送，并且在聚拢板101的聚拢作用下，气体会更加均匀充分的与反应件接触。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体(1)和探针天线(5)，其特征在于：所述沉积炉本体(1)的边侧安装有向下倾斜分布的进气管(2)，且沉积炉本体(1)通过连接件(3)和石英钟罩(4)相连接，并且石英钟罩(4)倒扣在沉积炉本体(1)内部的顶端，所述探针天线(5)垂直安装在沉积炉本体(1)的顶端，且探针天线(5)的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆(6)，所述沉积炉本体(1)的边侧安装有电动机(8)，且电动机(8)和垂直分布的转轴(7)相连接，所述石英钟罩(4)的内弧面上设置有冷却杆(9)，且冷却杆(9)的中心处固定安装在竖杆(6)底端，并且石英钟罩(4)的底端设置有桨叶(10)，所述探针天线(5)的底端设置有排气口(11)。
2.根据权利要求1所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述竖杆(6)的外壁与探针天线(5)的内壁为不接触设计，两者之间的空腔与石英钟罩(4)上方沉积炉本体(1)的内部空间相连通，且竖杆(6)和探针天线(5)通过轴承(61)相连接，竖杆(6)和转轴(7)上均安装有设置了皮带的皮带轮(62)。
3.根据权利要求1所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述冷却杆(9)呈弧形结构分布，冷却杆(9)的内部开设有同样为弧形结构的通道(91)，且通道(91)和开设在冷却杆(9)下端面的出气口(92)相连通，并且通道(91)的中段和开设在竖杆(6)内部的内腔(93)相连通，冷却杆(9)的底端中心处设置有竖轴(94)。
4.根据权利要求3所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述竖轴(94)转动安装在石英钟罩(4)中心处，且竖轴(94)的底端与桨叶(10)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述桨叶(10)为等角度分布，其下方设置有边缘固定在沉积炉本体(1)内壁的聚拢板(101)，且聚拢板(101)的中心凹陷区域为上下贯通开口设计。
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