CN107706126A - 一种立式钟罩及加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种立式钟罩，包括：筒体和封头，筒体部分为圆形直筒结构，封头采用半椭圆结构，开口端固定有一乳白法兰，在所述筒体内设有硅舟。本发明的优点是：结构简单，能够快速适应生产线的制作。有效的避免了焊接过程的二次污染，产品洁净度高；并且利用车床旋转能够保证管材的同心度，避免管体与法兰偏离；焊口厚度均匀，尺寸精度高，焊接过程产生的应力小，不易炸裂。
Description
技术领域
本发明涉及一种立式钟罩及加工方法，尤其涉及12寸立式钟罩及加工方法。
背景技术
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。石英钟罩与保温筒及立式石英舟配套组合，多用于集成电路半导体芯片生产关键工序，是芯片生产过程中必不可少的工具。现有技术的12寸立式钟罩结构复杂，加工程序繁琐。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种立式钟罩，其结构简单，能够快速适应生产线的制作。
为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：一种立式钟罩，包括筒体和封头，其特征在于，筒体部分为圆形直筒结构，封头采用半椭圆结构，开口端固定有一乳白法兰，在所述筒体内设有硅舟。
本发明相对于现有技术具有以下突出实质性特点和显著进步：
结构简单，筒体部分为圆形直筒结构，封头采用半椭圆结构，开口端固定有一乳白法兰，在所述筒体内设有硅舟，能够快速适应生产线的制作。有效的避免了焊接过程的二次污染，产品洁净度高；并且利用车床旋转能够保证管材的同心度，避免管体与法兰偏离；焊口厚度均匀，尺寸精度高，焊接过程产生的应力小，不易炸裂。
附图说明
图1为本发明的立式钟罩的结构示意图；
图2为立式钟罩的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
请参照图1，本发明的立式钟罩包括筒体10和封头11，筒体部分为圆形直筒结构，封头采用半椭圆结构，开口端固定有一乳白法兰9，在所述筒体内设有硅舟12。
优选地，所述硅舟上设有多个以一定间距分布的石英载物台141。
优选地，所述石英载物台与硅舟之间进行垂直设置。
优选地，所述石英载物台数量为8个，呈阵列分布于半球形封口的中下部。
优选地，在所述法兰上部设有第一堵头131与第二堵头133，所述第一堵头与第二堵头呈现29-43度设置，便于快速适应生产线操作。
本发明还公开了立式钟罩的加工方法，包括：步骤一，乳白法兰的加工：选料，第一次退火，下料，磨削成型，第一次检验，酸洗，清洗，抛光，第二次退火，第二次检验；步骤二，筒体的加工：选料，酸洗，清洗，车床成型，第三次退火，第三次检验；步骤三，组装：法兰和筒体再酸洗，再清洗，车床焊接，第四次退火，第四次检验，第二次磨削成型，第五次检验，酸洗，清洗，抛光，第六次退火，第六次检验，最后，使得筒体部分为圆形直筒结构，封头为半椭圆结构，开口端固定一乳白法兰，在所述筒体内设硅舟。
优选地，所述磨削为直接将焊接完成的钟罩在法兰磨床上进行铣削。
本发明的优点是：
普通的产品退火一般采用卧式退火，而石英钟罩由于尺寸较大，易变形，经过技术研发，采用专用的立式退火设备，对钟罩进行立式退火，有效的解决了石英管变形的问题。
一般的石英管与乳白法兰焊接均为手工焊接，由于石英钟罩尺寸大、精度高，采用手工焊接不仅精度低，焊缝薄厚不匀，还会在焊接过程中形成应力，产生炸裂。可加工400mm以下的石英管材，采用玻璃车床焊接技术，有效的避免了焊接过程的二次污染，产品洁净度高；并且利用车床旋转能够保证管材的同心度，避免管体与法兰偏离；焊口厚度均匀，尺寸精度高，焊接过程产生的应力小，不易炸裂。
传统的加工工艺，是先将法兰进行磨削成型，与管体手工焊接后，由工人进行焊点多余焊料的研磨，由于手工焊接焊条的走料控制不能确保力度一致，余料薄厚不均，加工效率低，且不能保证加工精度。采用一体磨削成型技术，直接将焊接完成的钟罩在法兰磨床上进行铣削，在管道的同心度、垂直度上都能够进行有效的控制，平面度可达0.02mm，是手工研磨无法达到的精度。加工效率较传统工艺可提高2-3倍。
采用乳白法兰，有效的降低了热传导过程中的温度扩散，使晶圆片在加工过程中受热均匀，温度控制稳定，提高了晶圆片的成品率。
以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。
Claims (7)
1.一种立式钟罩，包括筒体和封头，其特征在于，筒体部分为圆形直筒结构，封头采用半椭圆结构，开口端固定有一乳白法兰，在所述筒体内设有硅舟。
2.如权利要求1所述的立式钟罩，其特征在于，所述硅舟上设有多个以一定间距分布的石英载物台。
3.如权利要求2所述的立式钟罩，其特征在于，所述石英载物台与硅舟之间进行垂直设置。
4.如权利要求3所述的立式钟罩，其特征在于，所述石英载物台数量为8个，呈阵列分布于半球形封口的中下部。
5.如权利要求1所述的立式钟罩，其特征在于，在所述法兰上部设有第一堵头131与第二堵头133，所述第一堵头与第二堵头呈现29-43度设置。
6.一种立式钟罩的加工方法，其特征在于，包括：
步骤一，乳白法兰的加工：选料，第一次退火，下料，磨削成型，第一次检验，酸洗，清洗，抛光，第二次退火，第二次检验；
步骤二，筒体的加工：选料，酸洗，清洗，车床成型，第三次退火，第三次检验；
步骤三，组装：法兰和筒体再酸洗，再清洗，车床焊接，第四次退火，第四次检验，第二次磨削成型，第五次检验，酸洗，清洗，抛光，第六次退火，第六次检验，最后，使得筒体部分为圆形直筒结构，封头为半椭圆结构，开口端固定一乳白法兰，在所述筒体内设硅舟。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述磨削为直接将焊接完成的钟罩在法兰磨床上进行铣削。
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