CN110911303B - 易碎管件的固定组件及半导体加工设备 - Google Patents

易碎管件的固定组件及半导体加工设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种易碎管件的固定组件，包括：支撑件和限位件；所述限位件固定在所述支撑件上，且二者形成有容纳所述易碎管件的管凸台并在所述易碎管件的轴向和径向上进行限位的空间，用于防止所述易碎管件倾倒。本发明还提供一种包括上述易碎管件的固定组件的半导体加工设备，可以同时提高工艺质量和保证易碎管件的安全。

Description

易碎管件的固定组件及半导体加工设备
技术领域
本发明属于微电子加工技术领域，具体涉及一种易碎管件的固定组件及半导体加工设备。
背景技术
在半导体加工设备中不可避免地需要诸如石英管的易碎管件和诸如金属管件的非易碎管件的配合，在配合时，由于易碎管比较容易碎，因此，在使用时需要可靠的固定来防止其磕碰和倾斜，还需要在配合时需要保持一定的间隙防止非易碎管件受热而挤压易碎管件。另外，配合安装也需要重视安装精度防止对腔室气流分布的影响，以防止对工艺质量的影响。
图1为现有技术中易碎的石英管的包含有局部放大的安装结构示意图，请参阅图1，石英管1直接放置在金属法兰2上，借助螺钉3穿过金属法兰2固定在歧管腔室4上。现有技术中石英管的上述安装方式存在以下问题：石英管1是直接放置在金属法兰2上，石英管1在高度方向上没有受到约束而存在倾倒的风险，也就存在石英管1和歧管腔室4不同心的风险，也就存在影响工艺质量的风险，为了降低该风险，就需要石英管1和金属法兰2之间的间隙较小，但是这样金属法兰4在温度较高的腔室内容易发生热膨胀会对石英管1挤压而损坏石英管1，故，现有技术存在无法同时保证工艺质量和石英管2的安全性的问题。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了易碎管件的固定组件及半导体加工设备，可以同时提高石英管的安全性以及保证工艺质量。
为解决上述问题之一，本发明提供了一种易碎管件的固定组件，所述易碎管件的固定组件包括支撑件和限位件；其中，所述限位件固定在所述支撑件上，且二者形成有容纳所述易碎管件的管凸台并在所述易碎管件的轴向和径向上进行限位的空间，用于防止所述易碎管件倾倒。
优选地，所述易碎管件的固定组件还包括周向定位环，所述周向定位环套置在所述支撑件的侧壁外侧；其中，所述支撑件的外侧壁上形成有第一凸块，所述周向定位环的内周壁上设置有第二凸块，所述第一凸块和所述第二凸块相接触固定。
优选地，还包括固定板，所述固定板设置在所述支撑件和所述周向定位环的下方，通过螺钉穿过所述固定板、所述第一凸块和所述第二凸块将所述支撑件固定在所述固定板上，以实现对所述管凸台进行周向限位。
优选地，所述支撑件为环形结构；所述限位件和所述支撑件采用可拆卸方式固定。
优选地，所述限位件的数量为至少两个，至少两个所述限位件沿所述支撑件的周向间隔设置。
优选地，所述限位件包括第一限位板和与所述第一限位板垂直连接的第二限位板，其中，所述第二限位板的自由端与所述支撑件固定连接。
优选地，当所述固定组件固定有所述易碎管件时，所述管凸台在所述易碎管件的轴向上与所述第一限位板之间具有第一预设间距，所述第一预设间距的范围在0.5mm～1mm。
优选地，当所述固定组件固定有所述易碎管件时，所述管凸台在所述易碎管件的径向上与所述第二限位板之间具有第二预设间距；所述第二预设间距的范围在1mm～3mm。
优选地，所述支撑件和所述限位件采用金属材料制成；所述易碎管件采用石英材料制成。
本发明还提供一种半导体加工设备，包括易碎管件的固定组件，所述易碎管件的固定组件采用上述提供的易碎管件的固定组件。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的易碎管件的固定组件，借助限位件和支撑件能够形成容纳易碎管件的管凸台的空间，并且在管凸台位于空间内时沿易碎管件的轴线和径向上对管凸台进行限位，因此能够防止易碎管件倾倒，这相对现有技术而言，可以很好地降低易碎管件倾倒的风险，从而能够在一定程度上同时提高工艺质量和保证易碎管件的安全性。
附图说明
图1为现有技术中易碎的石英管的包含有局部放大的安装结构示意图；
图2a为本发明实施例提供的易碎管件的固定组件的整体结构示意图；
图2b为本发明实施例提供的易碎管件的固定组件的整体的剖视图；
图2c为本发明实施例提供的固定组件的局部剖视图；
图2d为图2c中局部区域I的放大图；
图3为本发明实施例提供的固定组件中的周向定位环的结构示意图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供易碎管件的固定组件及半导体加工设备进行详细描述。
图2a为本发明实施例提供的易碎管件的固定组件的整体结构示意图；图2c为本发明实施例提供的固定组件的局部剖视图；图2d为图2c中局部区域I的放大图；请一并参阅图2a至图2d，本发明实施例提供一种易碎管件的固定组件包括：支撑件10和限位件20；其中，如图所示，易碎管件30的一端的外侧壁上形成有管凸台301；限位件20固定在支撑件10上，且二者形成有容纳管凸台301并在易碎管件30的轴向和径向上进行限位的空间120，用于防止易碎管件30倾倒。
在本实施例中，具体地，限位件20包括第一限位板201和与第一限位板201垂直连接的第二限位板202，其中，第二限位板202的自由端与支撑件10固定连接，可以采用但不限于螺钉40的固定方式。
在本实施例中，管凸台301和支撑件10为环形结构，也可分别称之为管环形凸台和支撑环，限位件20的数量为至少两个(本实施例具体有两个)，至少两个限位件20沿支撑件10的周向间隔且均匀设置，借助至少两个限位件20在周向上间隔且均匀设置，可以在支撑件10的周向上均匀对环状结构的管凸台301限位，从而提高固定易碎管件30的稳定性。
可以理解的是，虽然本实施例中借助至少两个限位件20固定易碎管件30，但是，本发明并不局限于此，在实际应用中，限位件20还可以为环形结构，相对环形结构，借助在支撑件10周向上间隔的至少两个限位件20，可以便于固定易碎管件30，而不需要安装时经过由上至下套易碎管件30的过程。
可以理解的是，本实施例中借助环形结构的支撑件10，可以很好地在整个周向上支撑易碎管件30，从而提高易碎管件30的安全性。
在此需要说明的是，由于支撑件10为环形结构，而易碎管件环形结构且易碎，为了实现固定组件和易碎管件30的安装，限位件20和支撑件10采用可拆卸的方式固定。
采用本实施例的固定组件在实际应用时，安装的具体步骤包括：先将易碎管件30的管凸台301放置在支撑件10上(更具体地，在支撑件10上设置有凹槽，用于放置管凸台301，进一步对管凸台301进行限位)；接着将限位件20放置在支撑件10上，且使得的管凸台301位于支撑件10和限位件20形成的空间内；最后，将支撑件10和限位件20固定。
拆卸的具体步骤包括：先将支撑件10和限位件20拆开；接着，将限位件20拆卸走；最后，将易碎管件30拆离。
如图2a～图2d所示，本发明实施例提供的环形结构的管凸台301位于易碎管件30的外侧壁上，即，管凸台301朝外延伸，空间120的开口朝向管凸台301；当然，本发明并不局限于此，在实际应用中，在不考虑其他条件的情况下，环形结构的管凸台301还可以形成与易碎管件30的内侧壁上，即，管凸台301朝环心延伸，在此情况下，限位件20位于易碎管件30内，同时保证空间120的开口朝向管凸台301。
综上所述，本发明实施例提供的易碎管件的固定组件，借助限位件20和支撑件10能够形成容纳易碎管件30的管凸台301的空间120，并且在管凸台301位于空间120内时沿易碎管件30的轴线和径向上对管凸台301进行限位，因此能够防止易碎管件30倾倒，这相对现有技术而言，可以很好地降低易碎管件倾倒的风险，从而能够在一定程度上同时提高工艺质量和保证易碎管件30的安全性。
优选地，在本实施例中，管凸台301在易碎管件30的轴向上与第一限位板201之间具有预设间距H1，预设间距H1的范围在0.5mm～1mm，能够更好地降低易碎管件30的倾倒的风险。
由于本实施能够很好地降低易碎管件30倾倒的风险，也就能够降低易碎管件30和歧管腔室不同心的风险，因此，也就可以放宽H2的要求，故，优选地，管凸台301在易碎管件30的径向上与第二限位板202之间的第二预设间距H2，H2范围在1mm～3mm，该距离H2较大，能够避免支撑件10和限位件20受热发生热膨胀对易碎管件30挤压而被损坏。
在本实施例中，支撑件10和限位件20采用金属材料制成。易碎管件30采用石英材料制成。
上文实现了对易碎管件在轴向和径向上的稳定支撑，下文详细描述如何对易碎管件在周向上的稳定支撑。具体地，请参阅图2b和图3，在支撑件10的外侧壁上形成有第一凸块101；固定组件还包括周向定位环50；周向定位环50套置在支撑件10的侧壁外侧；周向定位环50的内周壁上沿其周向设置有多个第二凸块501；第一凸块101和第二凸块501相接触固定，即实现支撑件10和周向定位环50的固定，从而对易碎管件进行周向定位。
在本实施例中，优选地，固定组件还包括固定板60，固定板60设置在支撑件10和周向定位环50的下方，通过螺钉穿过固定板60、第一凸块101和第二凸块501将支撑件10和周向定位环50固定在固定板60上，以进一步实现对管凸台30进行周向限位。具体地，由于第一凸台101位于第二凸台501的上方，因此，螺钉依次穿过固定板60、第二凸块501上设置的半圆槽5011、第一凸台101上的螺纹孔，使得支撑件10在圆周方向固定，不能旋转，最终实现易碎管件30在周向上的可靠固定。
需要在此说明的是，在实际应用中，周向定位环50可以为歧管腔室的一部分。
综上所述，本发明实施例提供的易碎管件的固定组件，能够实现易碎管件在轴向上和周向上的可靠固定。
作为另外一个技术方案，本发明还提供一种半导体加工设备，包括易碎管件的固定组件，易碎管件的固定组件采用上述提供的易碎管件的固定组件。
本发明实施例提供的半导体加工设备，其采用上述实施例提供的易碎管件的固定组件，因此，可以很好地降低石英内管倾倒的风险，从而能够在一定程度上同时提高工艺质量和保证易碎管件的安全性。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种易碎管件的固定组件，其特征在于，所述易碎管件的固定组件包括支撑件和限位件；其中，
所述限位件固定在所述支撑件上，且二者形成有容纳所述易碎管件的管凸台并在所述易碎管件的轴向和径向上进行限位的空间，所述限位件包括第一限位板和与所述第一限位板垂直连接的第二限位板，其中，所述第二限位板的自由端与所述支撑件固定连接。
2.根据权利要求1所述的易碎管件的固定组件，其特征在于，所述易碎管件的固定组件还包括周向定位环，所述周向定位环套置在所述支撑件的侧壁外侧；其中，
所述支撑件的外侧壁上形成有第一凸块，所述周向定位环的内周壁上设置有第二凸块，所述第一凸块和所述第二凸块相接触固定。
3.根据权利要求2所述的易碎管件的固定组件，其特征在于，还包括固定板，
所述固定板设置在所述支撑件和所述周向定位环的下方，通过螺钉穿过所述固定板、所述第一凸块和所述第二凸块将所述支撑件固定在所述固定板上，以实现对所述管凸台进行周向限位。
4.根据权利要求1所述的易碎管件的固定组件，其特征在于，所述支撑件为环形结构；
所述限位件和所述支撑件采用可拆卸方式固定。
5.根据权利要求4所述的易碎管件的固定组件，其特征在于，所述限位件的数量为至少两个，至少两个所述限位件沿所述支撑件的周向间隔设置。
6.根据权利要求1所述的易碎管件的固定组件，其特征在于，当所述固定组件固定有所述易碎管件时，所述管凸台在所述易碎管件的轴向上与所述第一限位板之间具有第一预设间距，所述第一预设间距的范围在0.5mm～1mm。
7.根据权利要求1所述的易碎管件的固定组件，其特征在于，当所述固定组件固定有所述易碎管件时，所述管凸台在所述易碎管件的径向上与所述第二限位板之间具有第二预设间距；所述第二预设间距的范围在1mm～3mm。
8.根据权利要求1所述的易碎管件的固定组件，其特征在于，所述支撑件和所述限位件采用金属材料制成；
所述易碎管件采用石英材料制成。
9.一种半导体加工设备，包括易碎管件的固定组件，其特征在于，所述易碎管件的固定组件采用权利要求1-8任意一项所述的易碎管件的固定组件。
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