CN116895582A - 容器运送装置及包括其的物流运送系统 - Google Patents

容器运送装置及包括其的物流运送系统 Download PDF

Info

Publication number
CN116895582A
CN116895582A CN202310362934.9A CN202310362934A CN116895582A CN 116895582 A CN116895582 A CN 116895582A CN 202310362934 A CN202310362934 A CN 202310362934A CN 116895582 A CN116895582 A CN 116895582A
Authority
CN
China
Prior art keywords
event
container
module
recording unit
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202310362934.9A
Other languages
English (en)
Inventor
尹基燮
姜东必
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semes Co Ltd
Original Assignee
Semes Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semes Co Ltd filed Critical Semes Co Ltd
Publication of CN116895582A publication Critical patent/CN116895582A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/02—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting detecting dangerous physical condition of load carriers, e.g. for interrupting the drive in the event of overheating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/06—Digital input from, or digital output to, record carriers, e.g. RAID, emulated record carriers or networked record carriers
    • G06F3/0601—Interfaces specially adapted for storage systems
    • G06F3/0602—Interfaces specially adapted for storage systems specifically adapted to achieve a particular effect
    • G06F3/0614—Improving the reliability of storage systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0266—Control or detection relating to the load carrier(s)
    • B65G2203/0275—Damage on the load carrier
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0266—Control or detection relating to the load carrier(s)
    • B65G2203/0291—Speed of the load carrier
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/041—Camera
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2207/00—Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
    • B65G2207/28—Impact protection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2207/00—Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
    • B65G2207/40—Safety features of loads, equipment or persons

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本公开提供了容器运送装置及物流运送系统，该容器运送装置包括适合于半导体制造厂中的容器运送车辆的行驶环境的事件记录单元。容器运送装置包括：夹持模块，夹持其中容纳有多个基板的容器；升降模块，使夹持模块升降；驱动模块，控制驱动轮在轨道上行驶；第一控制模块，控制夹持模块、升降模块和驱动模块；以及事件记录单元，当容器运送装置在轨道上行驶时，连续记录容器运送装置的周围环境并且记录任何事件，其中，事件记录单元在将所记录的图像显示在管理者终端的屏幕上时，将数据显示在管理者终端的屏幕上。

Description

容器运送装置及包括其的物流运送系统
技术领域
本公开涉及容器运送装置及包括其的物流运送系统，并且更具体地，涉及包括诸如黑匣子的事件记录单元的容器运送装置及包括该容器运送装置的物流运送系统。
背景技术
用于制造半导体器件的晶片可以在半导体制造厂(通常被称为“FAB”)中经历各种工艺，并且可以被运送到工艺设备。例如，多个晶片可以容纳在诸如前开式晶片传送盒(front opening unified pod，FOUP)的容器中，该容器可以通过诸如可移动地设置在半导体制造厂的天花板上的空中走行式搬运车(overhead hoist transport，OHT)的运送车辆被运送到工艺设备。
另一方面，当在半导体制造厂中将容器运送到每个目的地时，运送车辆可能偏离其指定的行驶路线，或者可能与其他车辆碰撞。为了记录这样的事件，可以在每个运送车辆中安装黑匣子。
由于黑匣子通常被制造成适合于车辆，因此对于诸如OHT的运送车辆的行驶环境可能是不方便的。
第一，用于黑匣子的安全数字(Secure Digital，SD)存储卡的存储空间被按情况划分，并且SD存储卡的寿命通常非常短。
第二，只有引起振动变化的事件可以用加速度传感器确认，并且难以确保针对各种错误条件的图像。
第三，黑匣子仅可以通过触摸屏面板(例如，触摸液晶显示器(LCD))来设定，并且为了更新黑匣子，需要从黑匣子分离SD存储卡。
第四，由于车辆相关数据不显示在黑匣子的屏幕上，因此需要单独访问黑匣子以确认车辆相关数据。此外，由于黑匣子通常不与控制器交互工作，因此难以从黑匣子获取车辆相关数据。
发明内容
本公开的方面提供了容器运送装置及包括容器运送装置的物流运送系统，容器运送装置包括适合于半导体制造厂中的容器运送车辆的行驶环境的事件记录单元。
然而，本公开的方面不限于本文中阐述的方面。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加显而易见。
根据本公开的一方面，容器运送装置包括：夹持模块，夹持其中容纳有多个基板的容器；升降模块，使夹持模块升降；驱动模块，控制驱动轮在轨道上行驶；第一控制模块，控制夹持模块、升降模块和驱动模块；以及事件记录单元，当容器运送装置在轨道上行驶时，连续记录容器运送装置的周围环境并且记录任何事件，其中，事件记录单元在将所记录的图像显示在管理者终端的屏幕上时，将数据显示在管理者终端的屏幕上。
根据本公开的另一方面，容器运送装置包括：夹持模块，夹持其中容纳有多个基板的容器；升降模块，使夹持模块升降；驱动模块，控制驱动轮在轨道上行驶；第一控制模块，控制夹持模块、升降模块和驱动模块；以及事件记录单元，当容器运送装置在轨道上行驶时，连续记录容器运送装置的周围环境并且记录任何事件，其中，事件记录单元在将所记录的图像显示在管理者终端的屏幕上时，将数据显示在管理者终端的屏幕上，事件记录单元将作为连续记录的图像的第一图像记录在能够从中删除图像的第一区中，并且将与事件相关联的第二图像记录在不能从中删除图像的第二区中，事件记录单元根据事件的发生时刻，单独地记录在事件的发生时刻所拍摄的图像，或者附加地记录在事件的发生时刻之前所拍摄的图像和在事件的发生时刻之后所拍摄的图像中的至少一个，如果在事件记录单元中发生错误，则事件记录单元通过使用二进制信号或通过使用第一信号发生器、与第一信号发生器不同类型的第二信号发生器和报警信号中的至少两个向第一控制模块和管理者终端发送说明错误的消息，事件记录单元在管理者终端的屏幕上提供用于远程控制的用户界面，以及如果容器运送装置被派遣到事故现场，则事件记录单元将与事故现场相关联的图像发送到第一控制模块或管理者终端。
根据本公开的另一方面，物流运送系统包括：多个容器运送装置，运送其中容纳有多个基板的容器；以及运送控制装置，控制容器运送装置，其中，容器运送装置中的至少一个包括：夹持模块，夹持其中容纳有多个基板的容器；升降模块，使夹持模块升降；驱动模块，控制驱动轮在轨道上行驶；第一控制模块，控制夹持模块、升降模块和驱动模块；以及事件记录单元，当容器运送装置在轨道上行驶时，连续记录容器运送装置的周围环境并且记录任何事件，以及事件记录单元在将所记录的图像显示在管理者终端的屏幕上时，将数据显示在管理者终端的屏幕上。
应当注意，本公开的效果不限于以上描述的效果，并且本公开的其他效果将从以下描述中显而易见。
附图说明
通过参考附图详细描述本公开的示例性实施方式，本公开的以上和其他方面及特征将变得更加显而易见，在附图中：
图1是包括多个容器运送装置的物流运送系统的框图；
图2是图1的容器运送装置的示意图；
图3是示出图2的容器运送装置如何安装在半导体制造厂中的示意图；
图4是根据本公开的实施方式的、安装在容器运送装置中的事件记录单元的框图；
图5是图4的事件记录单元的存储模块的框图；
图6是示出图4的事件记录单元的第二控制模块如何与容器运送装置的第一控制模块交互工作的框图；
图7是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的图像记录功能的示意图；
图8是示出用于图4的事件记录单元的第二控制模块的图像记录功能的操作方法的流程图；
图9是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的异常情况通知功能的表；
图10是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的用户设定功能的框图；
图11是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的图像显示功能的示意图；
图12是示出用于图4的事件记录单元的第二控制模块的障碍物检测功能的操作方法的流程图；以及
图13是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的紧急情况监视功能的流程图。
具体实施方式
下文中将参考附图描述本公开的实施方式。在整个说明书和附图中，相同的附图标记指示相同的元件。
本公开涉及适合于容器运送车辆(例如，空中走行式搬运车(OHT))的行驶环境的事件记录单元及包括该事件记录单元的容器运送装置。
图1是包括多个容器运送装置的物流运送系统的框图。参考图1，物流运送系统100可以包括容器运送装置110、运送控制装置120和数据库130。物流运送系统100可以设置在半导体制造厂中以提供物流自动化服务。
容器运送装置110将容器运送到它们各自的目的地。容器运送装置110可以设置为例如OHT。
容器运送装置110可以沿移动路线行进，例如，沿安装在半导体制造厂的天花板上的轨道行进，以将容器运送到它们各自的目的地。容器运送装置110可以将容器运送到工艺设备(例如，诸如沉积工艺腔室、蚀刻工艺腔室、冲洗工艺腔室或热处理工艺腔室的工艺腔室)。在半导体制造厂中可以设置有多个容器运送装置110，即，容器运送装置110a、110b、……和110n。
在容器运送装置110a、110b、……和110n用于将容器运送到半导体制造厂中的每个设备的情况下，容器中的每个可以在其中承载多个基板(或晶片)。容器可以设置为例如前开式晶片传送盒(FOUP)。
容器运送装置110a、110b、……和110n可以在运送控制装置120的控制下操作。尽管在图1中未具体示出，但是容器运送装置110a、110b、……和110n可以包括用于以有线/无线方式与运送控制装置120通信的通信模块。
容器运送装置110a、110b、……和110n可以在不被运送控制装置120控制的情况下自动操作。在这种情况下，沿容器运送装置110a、110b、……和110n的移动路线可以安装有多个传感器，以提供信息从而防止容器运送装置110a、110b、……和110n在半导体制造厂中彼此碰撞，并且容器运送装置110a、110b、……和110n可以被配置成能够彼此通信。
图2是图1的容器运送装置的示意图，且图3是示出图2的容器运送装置如何安装在半导体制造厂中的示意图。参考图2和图3，容器运送装置110可以包括夹持模块210、升降模块220、驱动模块230、驱动轮240、导轮250和第一控制模块260。
夹持模块210设置成夹持容器310。夹持模块210可以下降到容器310被放置的位置(例如，设备前端模块(equipment front end module，EFEM))以夹持容器310。夹持模块210可以设置为例如手型夹持器。
升降模块220设置成使夹持模块210升降。升降模块220可以在从半导体制造厂的天花板320到地面的方向上使夹持模块210下降以夹持容器310，并且一旦夹持模块210夹持容器310就可以使夹持模块210上升到天花板320。升降模块220可以设置为例如吊起。
一旦容器310通过夹持模块210和升降模块220被装载，容器运送装置110就可以将容器310运送到其目的地。当容器运送装置110到达目的地时，升降模块220再次使夹持模块210下降，并且夹持模块210将容器310释放到EFEM的装载端口模块上，使得包括在容器310中的基板可以被传递到半导体制造厂中的后续工艺设备。
尽管在图2和图3中没有具体示出，但是容器运送装置110可以包括提供储存空间的储存模块，而不是夹持模块210。储存模块可以形成为具有敞开的顶部的形状(例如，篮子形状)，或者形成为在其一侧具有门的形状(例如，柜子形状)，以将容器310容纳在其中。
驱动模块230可以控制沿安装在天花板320上的移动路线(例如，一对轨道330a和330b)行进的驱动轮240。尽管在图2和图3中没有具体示出，但是驱动模块230可以包括驱动电机和驱动轴。驱动电机可以产生驱动力，且驱动轴可以将驱动力提供给驱动轮240。
通过由驱动模块230提供的驱动力旋转的驱动轮240允许容器运送装置110沿轨道330a和330b行进。一对驱动轮240(即，驱动轮240a和240b)可以设置成分别沿轨道330a和330b行进，在这种情况下，驱动轮240a和240b可以联接到驱动模块230的两侧。
导轮250防止容器运送装置110在沿轨道330a和330b行驶时偏离轨道330a和330b。可以设置一对导轮250(即，导轮250a和250b)，并且一对导轮250可以垂直于驱动轮240a和240b安装在驱动模块230的底表面的两端处。
第一控制模块260控制容器运送装置110的其他模块。第一控制模块260可以控制夹持模块210和升降模块220的操作，并且还可以控制驱动模块230的驱动电机的操作。尽管在图2和图3中没有具体示出，但是第一控制模块260可以包括前框架和后框架，并且可以支承联接到第一控制模块260的底表面的夹持模块210和升降模块220。第一控制模块260可以设置为例如OHT控制器。
尽管在图2和图3中没有具体示出，但是第一控制模块260可以包括速度控制器和位置控制器。速度控制器可以控制驱动轮240的转速，且位置控制器可以调整容器310的位置。
位置控制器可以包括滑块和转子。滑块可以使容器310在竖直方向或横向方向上移动，并且转子可以使容器310顺时针或逆时针旋转。
为了给容器运送装置110提供移动路线，可以在天花板320上安装包括轨道330a和330b以及轨道支承模块340的轨道组件。为容器运送装置110提供行驶路线的轨道330a和330b可以联接到固定于天花板320上的轨道支承模块340的两端。
轨道330a和330b可以包括诸如直线区间、弯曲区间、倾斜区间、分支区间和交叉区间的各种类型的区间，但是本公开不限于此。轨道330a和330b可以被配置成仅包括一个类型的区间。
轨道支承模块340固定到天花板320并且支承轨道330a和330b。轨道支承模块340可以在天花板320上安装成当从地面观察时具有盖子形状。
再次参考图1，运送控制装置120控制容器运送装置110a、110b、……和110n。运送控制装置120可以独立地控制容器运送装置110a、110b、……和110n中的每个，使得容器运送装置110a、110b、……和110n中的每个可以安全地将容器310运送到其目的地(例如，半导体制造厂中的工艺设备)。
运送控制装置120可以通过向容器运送装置110a、110b、……和110n发送诸如开始命令、停止命令、加速命令和减速命令的信号来控制容器运送装置110的行驶。此外，运送控制装置120可以通过与容器运送装置110a、110b、……和110n的有线/无线通信来向容器运送装置110a、110b、……和110n提供必要的信息(例如，到目的地的路线)。
为了执行这些功能，运送控制装置120可以识别容器运送装置110a、110b、……和110n的位置。为此，运送控制装置120可以使用安装在轨道330a和330b周围的多个传感器，或者可以使用与容器运送装置110a、110b、……和110n中的每个的有线/无线通信的结果。
在前一种情况下，运送控制装置120可以利用传感器的识别信息(例如，序列号)、传感器的位置信息(例如，二维(2D)或三维(3D)坐标信息((x，y)或(x，y，z)))或经过传感器的容器运送装置110a、110b、……和110n的识别信息来识别容器运送装置110a、110b、……和110n的位置。相反，在后一种情况下，容器运送装置110a、110b、……和110n能够测量它们自己的位置，并且运送控制装置120可以通过与容器运送装置110a、110b、……和110n进行通信来识别容器运送装置110a、110b、……和110n的位置。
运送控制装置120可以设置为包括过程控制器、控制程序、输入模块、输出模块(或显示模块)和存储器模块的计算机或服务器，以控制容器运送装置110a、110b、……和110n。这里，过程控制器可以包括控制物流运送系统100的元件中的每个的微处理器，控制程序可以在过程控制器的控制下实行在物流运送系统100中执行的各种处理，以及存储器模块可以存储用于根据各种处理条件、基于各种数据来实行物流运送系统100中的各种处理的程序(即，处理配方)。
数据库130可以存储控制容器运送装置110a、110b、……和110n所必需的信息。为了向运送控制装置120提供必需的信息，数据库130可以安装在运送控制装置120中，或者可以设置为运送控制装置120外部的单独的元件并且以有线/无线方式连接到运送控制装置120。
如上所述，由于各种原因，安装在车辆中的黑匣子可能不适合于容器运送装置110a、110b、……和110n(例如，OHT)的驱动环境。下文中将描述适合于容器运送装置110a、110b、……和110n的驱动环境的事件记录单元。
图4是根据本公开的实施方式的、安装在容器运送装置中的事件记录单元的框图。参考图4，事件记录单元400可以包括多个相机模块410a、410b、……和410n、存储模块420以及第二控制模块430，并且相机模块410a、410b、……和410n可以包括第一相机模块410a和第二相机模块410b。
像黑匣子一样，事件记录单元400拍摄容器运送装置110的周围环境的图像并且记录在容器运送装置110中发生的事件。事件记录单元400可以安装在与容器运送装置110的第一控制模块260相同的空间中(即，安装在壳体H中)，或者可以安装在单独的空间中。
相机模块410a、410b、……和410n可以安装在容器运送装置110中，并且可以拍摄容器运送装置110的周围环境的图像。在下文中，事件记录单元400将被描述为包括例如两个相机模块，即第一相机模块410a和第二相机模块410b，但是本公开不限于此。
第一相机模块410a拍摄容器运送装置110的前方的图像。为此，第一相机模块410a可以设置在容器运送装置110的前方，例如，设置在其中安装有第一控制模块260的壳体H的前方的前框架上。这里，容器运送装置110的前方指代容器运送装置110的正向行驶方向。
第二相机模块410b拍摄容器运送装置110的后方的图像。为此，第二相机模块410b可以设置在容器运送装置110的后方，例如，设置在其中安装有第一控制模块260的壳体H的后方的后框架上。这里，容器运送装置110的后方指代容器运送装置110的逆向或反向行驶方向。
第一相机模块410a和第二相机模块410b可以在不同的方向上拍摄容器运送装置110的周围环境的图像。第一相机模块410a可以拍摄容器运送装置110的前方的图像，并且第二相机模块410b可以拍摄容器运送装置110的后方的图像。然而，本公开不限于此。第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄容器运送装置110的周围环境的图像的方向不受特别限制，只要它们不同即可。例如，第一相机模块410a可以拍摄容器运送装置110的前方的图像，并且第二相机模块410b可以拍摄容器运送装置110的侧方的图像。在另一示例中，第一相机模块410a可以拍摄容器运送装置110的一个侧方的图像，并且第二相机模块410b可以拍摄容器运送装置110的另一个侧方的图像。在另一示例中，第一相机模块410a可以拍摄容器运送装置110的前方和一个侧方的图像，并且第二相机模块410b可以拍摄容器运送装置110的后方和另一个侧方的图像。
尽管第一相机模块410a和第二相机模块410b在不同的方向上拍摄容器运送装置110的周围环境的图像，但是可能存在没有被第一相机模块410a和第二相机模块410b覆盖的方向。为了去除没有被第一相机模块410a和第二相机模块410b覆盖的任何盲点，第一相机模块410a和第二相机模块410b可以被配置成可旋转。
第一相机模块410a和第二相机模块410b可以在横向方向上(即，在第一方向10或第二方向20上)或在竖直方向上(即，在第三方向30上)旋转。第一相机模块410a和第二相机模块410b可以在横向方向和竖直方向两个方向上可旋转，或者可以仅在横向方向和竖直方向中的一个方向上可旋转。
在第一相机模块410a和第二相机模块410b被配置成仅在一个方向上可旋转的情况下，第一相机模块410a和第二相机模块410b可以在相同的方向上可旋转。例如，第一相机模块410a和第二相机模块410b都可以水平可旋转，但是本公开不限于此。可替代地，第一相机模块410a和第二相机模块410b可以在不同的方向上可旋转。例如，第一相机模块410a可以在横向方向上可旋转，且第二相机模块410b可以在竖直方向上可旋转。
事件记录单元400可以仅包括第一相机模块410a和第二相机模块410b中的一个，并且能够仅使用第一相机模块410a和第二相机模块410b中的一个来去除任何盲点。可替代地，事件记录单元400可以包括第一相机模块410a和第二相机模块410b两者，并且还可以包括至少一个附加相机模块并能够利用三个或更多个相机模块来去除任何盲点。
存储模块420可以存储由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像。存储模块420可以设置为可拆卸的卡，诸如例如可以安装在黑匣子中的安全数字(SD)存储卡，但是本公开不限于此。可替代地，存储模块420可以作为固定存储器设置在事件记录单元400中。
适用于车辆的黑匣子的SD存储卡的存储空间被分隔成使得所记录的图像可以被按情况存储。然而，SD存储卡可能具有短的循环时间并且相应地可能具有短的寿命。
为了解决这些问题，存储模块420的存储空间可以被配置成仅包括在其中存储源于恒定记录的图像的第一记录区510，并且结果，可以增加SD存储卡的循环时间和寿命。也就是说，事件记录单元400可以仅使用连续记录功能，从而尽可能维持SD存储卡的寿命。
存储模块420可以在其存储空间中包括第二记录区520。第二记录区520可以是在容器运送装置110中发生事件时生成的图像被存储的区域，并且如图5中所示，可以包括在第一记录区510中。当第二记录区520包括在第一记录区510中时，可以根据由连续记录生成的图像的大小或在事件发生时生成的图像的大小在第一记录区510的存储空间内自由地调整第二记录区520的大小。
然而，本公开不限于此。第二记录区520可以设置为与第一记录区510分离的区域。图5是图4的事件记录单元的存储模块的框图。
再次参考图4，第二控制模块430控制事件记录单元400的元件。第二控制模块430可以控制例如第一相机模块410a和第二相机模块410b的操作，并且还可以控制在存储模块420中存储数据。
参考图6，第二控制模块430可以与容器运送装置110的第一控制模块260交互工作，并且可以控制安装在容器运送装置110中的各种类型的传感器。例如，在容器运送装置110中可以安装有碰撞/撞击检测传感器610、速度测量传感器620和障碍物检测传感器630，并且第二控制模块430可以通过与第一控制模块260交互工作来控制碰撞/撞击检测传感器610、速度测量传感器620和障碍物检测传感器630。
碰撞/撞击检测传感器610可以检测容器运送装置110与另一装置或器件之间的碰撞或从外部施加到容器运送装置110的冲击，并且可以设置为接触型传感器(例如，缓冲器)或非接触型传感器。
速度测量传感器620可以测量容器运送装置110的速度，并且可以设置为例如包括加速度传感器的物联网(IoT)模块。
障碍物检测传感器630可以检测容器运送装置110周围的任何障碍物的存在，并且还可以检测另一容器运送装置110的存在或者在容器运送装置110的移动路线上进行俯视(Look Down)。像碰撞/撞击检测传感器610一样，障碍物检测传感器630可以设置为例如接触型传感器或非接触型传感器(例如，非接触型障碍物检测传感器(ODS))。
第二控制模块430可以直接联接到碰撞/撞击检测传感器610、速度测量传感器620和障碍物检测传感器630，以控制碰撞/撞击检测传感器610、速度测量传感器620和障碍物检测传感器630。图6是示出图4的事件记录单元的第二控制模块如何与容器运送装置的第一控制模块交互工作的框图。
如上所述，事件记录单元400可以记录由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像，这将在下文中描述。
第一相机模块410a和第二相机模块410b可以实时拍摄容器运送装置110的周围环境的图像，并且第二控制模块430可以将所拍摄的图像连续记录在存储模块420的第一记录区510中，其为24小时连续记录。一旦第一记录区510被填充满图像，第二控制模块430可以删除存储在第一记录区510中的最老的图像以存储新的图像，并且可以将新的图像存储在第一记录区510中。
响应于从与第二控制模块430互锁的第一控制模块260接收事件信号，第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像记录在第二记录区520中，并且因此可以防止与事件信号相关联的图像被删除。
第一控制模块260可以基于由碰撞/撞击检测传感器610、速度测量传感器620和障碍物检测传感器630获取的信息来生成事件信号，并且可以将事件信号输出到第二控制模块430。然后，第二控制模块430可以将在由第一控制模块260输出的事件信号的接收时刻所拍摄的图像记录在第二记录区520中，并且还可以将在由第一控制模块260输出的事件信号的接收之前和/或之后所拍摄的图像记录在第二记录区520中。
例如，第一控制模块260可以基于由碰撞/撞击检测传感器610获取的信息来确定容器运送装置110与另一装置之间是否已经发生碰撞。如果第一控制模块260确定容器运送装置110与另一装置之间已经发生碰撞，则第二控制模块430可以将在碰撞时刻所拍摄的图像和在碰撞时刻之前和之后所拍摄的图像记录在第二记录区520中。可替代地，第二控制模块430可以仅将在碰撞时刻所拍摄的图像记录在第二记录区520中。可替代地，第二控制模块430可以将在碰撞时刻所拍摄的图像或者在碰撞时刻之前和之后所拍摄的图像记录在第二记录区520中。
此外，第一控制模块260可以基于由障碍物检测传感器630获取的信息来确定在容器运送装置110的移动路线上是否存在障碍物。此外，第一控制模块260可以基于由速度测量传感器620获取的信息来计算容器运送装置110的当前速度，并且可以基于容器运送装置110的当前速度来确定是否存在容器运送装置110将与障碍物碰撞的可能性。如果第一控制模块260确定存在容器运送装置110将与障碍物碰撞的可能性，则第二控制模块430可以将在障碍物的检测时刻拍摄的前方图像以及在障碍物的检测时刻之前和之后所拍摄的前方图像记录在第二记录区520中。可替代地，第二控制模块430可以将在障碍物的检测时刻所拍摄的图像或在障碍物的检测时刻之前和之后所拍摄的图像记录在第二记录区520中。以这种方式，可以确保针对各种错误和紧急情况的图像。
第二控制模块430可以直接连接到碰撞/撞击检测传感器610、速度测量传感器620和障碍物检测传感器630，以由第二控制模块430执行分析。
由于第二记录区520与第一记录区510一样具有有限的存储空间，所以一旦第二记录区520被用完，事件相关图像就可能无法存储在第二记录区520中。为了解决这种问题，第二控制模块430可以在第一记录区510中创建附加的第二记录区520，并且可以在附加的第二记录区520中存储事件相关图像。可替代地，第二控制模块430可以将存储在第二记录区520中的最老的图像发送到管理者终端(例如，由管理者访问的计算机、智能电话或平板个人计算机(PC))，可以删除存储在第二记录区520中的最老的图像，并且可以将事件相关图像存储在第二记录区520中。
如上所述，第二控制模块430可以将在从第一控制模块260接收事件信号的时刻所拍摄的图像存储在第二记录区520中，并且还可以将在事件信号的接收时刻之前和/或之后所拍摄的图像存储在第二记录区520中。可替代地，第二控制模块430可以通过结合在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻之前和/或之后所拍摄的图像来创建新的图像，并且可以将新的图像存储在第二记录区520中。例如，第二控制模块430可以通过结合在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻30秒之前和/或30秒之后所拍摄的图像来创建新的图像，并且可以将新的图像存储在第二记录区520中。
第二控制模块430可以将由第一相机模块410a和第二相机模块410b实时拍摄的图像中的每个划分成具有预定的时间长度的子图像，并且可以将子图像存储在第一记录区510中。例如，参考图7，第二控制模块430可以将由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄6分钟的图像中的每个划分成具有2分钟长度的三个图像(即，图像710、图像720和图像730)，并且可以将该三个图像710、720和730存储在第一记录区510中。
第二控制模块430可以根据时间的流逝将图像710、图像720和图像730中的每个划分成三个区间，即，第一区间、第二区间和第三区间。第一区间、第二区间和第三区间可以具有相同的时间长度或者可以具有不同的时间长度。可替代地，第一区间、第二区间和第三区间中的一些可以具有相同的时间长度，并且第一区间、第二区间和第三区间中的另一些可以具有不同的时间长度。在图7的示例中，图像720可以具有第一区间721、第二区间722和第三区间723，并且第一区间721可以具有从0分钟0秒(0：00)到0分钟10秒(0：10)的时间长度，第二区间722具有从0分钟11秒(0：11)到1分钟49秒(1：49)的时间长度，以及第三区间723可以具有从1分钟50秒(1：50)到2分钟0秒(2：00)的时间长度。
如果事件信号的接收时刻包括在由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像的作为相应图像的最早区间的第一区间中，则第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻之前所拍摄的图像存储在第二记录区520中。在这种情况下，第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻之前所拍摄的图像单独地存储在第二记录区520中，或者可以通过将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻之前所拍摄的图像结合来创建新的图像并将新的图像存储在第二记录区520中。
例如，如果以由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的6分钟长的图像基准，在2分钟0秒(2：10)与2分钟10秒(2：10)之间从第一控制模块260接收到事件信号，则第二控制模块430可以将6分钟长的图像的图像710和图像720单独地存储在第二记录区520中，或者可以通过结合6分钟长的图像中的每个的图像710和图像720来创建新的图像并将新的图像存储在第二记录区520中。
如果事件信号的接收时刻包括在由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像的作为相应图像的最晚区间的第三区间中，则第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻之后所拍摄的图像存储在第二记录区520中。在这种情况下，第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻之后所拍摄的图像单独地存储在第二记录区520中，或者可以通过将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像和在事件信号的接收时刻之后所拍摄的图像结合来创建新的图像并将新的图像存储在第二记录区520中。
例如，如果以由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的6分钟长的图像为基准，在3分钟50秒(3：50)与4分钟0秒(4：00)之间从第一控制模块260接收到事件信号，则第二控制模块430可以将6分钟长的图像的图像720和图像730单独地存储在第二记录区520中，或者可以通过结合6分钟长的图像中的每个的图像720和图像730来创建新的图像并将新的图像存储在第二记录区520中。
如果事件信号的接收时刻包括在由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像的在时间上作为相应图像的中间区间的第二区间中，则第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像存储在第二记录区520中。例如，如果以由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的6分钟长的图像为基准，在2分钟11秒(2：11)和3分钟49秒(3：49)之间从第一控制模块260接收到事件信号，则第二控制模块430可以仅将6分钟长的图像中的每个的图像720存储在第二记录区520中。图7是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的图像记录功能的示意图。
下文中将描述与图像记录功能有关的第二控制模块430的操作方法。图8是示出用于图4的事件记录单元的第二控制模块的图像记录功能的操作方法的流程图。
参考图8，第二控制模块430将由第一相机模块410a和第二相机模块410b中的每个实时拍摄的图像划分成具有预定的时间长度(例如，2分钟长度)的子图像，并将子图像记录在第一记录区510中(S810)。第一相机模块410a和第二相机模块410b可以以预定的时间量为单位拍摄图像，并且可以将所拍摄的图像提供给第二控制模块430。在这种情况下，第二控制模块430可以不划分由第一相机模块410a和第二相机模块410b中的每个拍摄的图像。这里，预定的时间量可以由管理者确定并且可以变化。
如果在第一记录区510中不能再存储图像(S820)，则第二控制模块430可以删除存储在第一记录区510中的最老的图像，并且可以将新获取的图像记录在第一记录区510中(S830)。
如果从第一控制模块260接收到事件信号(S840)，则第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻所拍摄的图像记录在第二记录区520中(S850)。例如，如果由安装在容器运送装置110中的传感器检测到容器运送装置110的俯视，则第一控制模块260可以向第二控制模块430发送事件信号，并且第二控制模块430可以将事件信号的发送时刻所拍摄的装载/卸载图像移动到第二记录区520。此外，如果由安装在容器运送装置110中的传感器检测到碰撞/撞击或障碍物，则第一控制模块260可以向第二控制模块430发送事件信号，并且第二控制模块430可以将事件信号的发送时刻所拍摄的行驶图像移动到第二记录区520。
第二控制模块430可以将在事件信号的接收时刻(或在事件的发生时刻)所拍摄的图像划分成三个区间，即，第一区间、第二区间和第三区间。然后，如果事件的发生时刻与第一区间对应(S860)，则第二控制模块430还将在事件的发生时刻之前所拍摄的图像记录在第二记录区520中(S870)。如果事件的发生时刻与第三区间对应(S880)，则第二控制模块430还将在事件的发生时刻之后所拍摄的图像记录在第二记录区520中(S890)。
事件记录单元400可以随后使用存储在第二记录区520中的图像来分析事故或异常的原因。
下文中将描述事件记录单元400的异常情况通知功能。
第二控制模块430可以通知第一控制模块260事件记录单元400中的任何异常情况的发生。第二控制模块430可以向第一控制模块260发送事件信号以通知事件记录单元400中的异常情况的发生，并且还可以向第一控制模块260发送描述错误情况的细节的消息。
第二控制模块430可以向第一控制模块260发送描述事件记录单元400中的错误情况的M位消息(其中M是2或更大的自然数)。例如，参考图9，当“CAM1”未接合时，第二控制模块430可以向第一控制模块260发送8位信号，即“00000001”，当“CAM2”未接合时，第二控制模块430可以向第一控制模块260发送“00000011”，当“CAM1”和“CAM2”两者未接合时，第二控制模块430可以向第一控制模块260发送“00000111”。例如，当SD存储卡未接合时，第二控制模块430可以向第一控制模块260发送“00001111”，且当SD存储卡的寿命即将到期时，第二控制模块430可以向第一控制模块260发送“00011111”。
然而，本公开不限于这些实施方式。可替代地，第二控制模块430可以使用两个信号发生器(即,不同类型的第一信号发生器和第二信号发生器)来向第一控制模块260发送描述任何错误情况的消息。可替代地，第二控制模块430可以不仅使用两个信号发生器而且使用报警信号来向第一控制模块260发送描述任何错误情况的消息。
第二控制模块430可以向管理者终端发送事件信号以通知管理者终端事件记录单元400中的异常情况的发生，并且然后可以向管理者终端发送描述异常情况的细节的消息。
图9是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的异常情况通知功能的表。第二控制模块430的异常情况通知功能不限于图9的示例。
参考图9,“CAM1”指代第一相机模块410a，并且“CAM2”指代第二相机模块410b。所述第一信号发生器和第二信号发生器可以分别是例如红色发光二极管(LED)和绿色发光二极管。
根据以上参考图9描述的异常情况通知功能，当基于SD存储卡的寿命的计算结果来通知第一控制模块260何时替换SD存储卡并且第一控制模块260将其报告给更高的服务器(例如，管理者终端)时，可以在SD存储卡的寿命期满之前替换SD存储卡。此外，操作者(或管理者)可以经由访问管理者模式来确认SD存储卡的剩余寿命。
在向第一控制模块260报告异常的发生和错误情况的细节之后，第二控制模块430可以与第一控制模块260通信并且可以将通信的内容记录为稍后将用于分析的日志。
下文中将描述事件记录单元400的用户设定功能。图10是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的用户设定功能的框图。
参考图10，第二控制模块430可以在管理者终端140的屏幕S上提供用户界面UI，以允许操作者远程设定关于事件记录单元400的信息。在这种情况下，显示在管理者终端140的屏幕S上的用户界面UI可以包括各种信息，诸如例如，当前时间、图像拍摄、时间同步、相机数量、视频容量(以时间为单位)、事件文件夹容量(即，第一记录区510中的第二记录区520的大小)、密码和设定信息(例如，程序更新(或固件更新)信息)。
第二控制模块430可以通信连接到第一控制模块260，并且第一控制模块260可以通信连接到管理者终端140。第二控制模块430可以通过第一控制模块260访问管理者终端140，以在管理者终端140的屏幕S上提供用户界面UI。可替代地，第二控制模块430可以不经第一控制模块260而直接访问管理者终端140，以在管理者终端140的屏幕S上提供用户界面UI。以这种方式，可以远程地设定和执行程序更新，而不需要从事件记录单元400分离SD存储卡。
第二控制模块430可以提供当试图访问第一记录区510或第二记录区520或者播放存储在第一记录区510或第二记录区520中的图像时经由用户界面UI输入密码的功能。第二控制模块430可以允许仅通过管理者模式改变密码，从而仅允许授权用户播放存储在第一记录区510或第二记录区520中的图像。
下文中将描述事件记录单元400的图像显示功能。图11是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的图像显示功能的示意图。
参考图11，第二控制模块430可以在管理者终端140的屏幕S上实时显示由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像。在这种情况下，第二控制模块430可以经由第一控制模块260访问管理者终端140，或者可以不经第一控制模块260而直接访问管理者终端140。
第二控制模块430可以从第一控制模块260获取关于容器运送装置110的第一数据(例如，节点信息，错误指示和速度)。第二控制模块430还可以自己获取关于由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像的第二数据。当所拍摄的图像显示在管理者终端140的屏幕S上时，第二控制模块430还可以将第一数据和/或第二数据与所拍摄的图像一起显示在管理者终端140的屏幕S上。以这种方式，第二控制模块430可以通过与第一控制模块260交互工作来容易地获取关于容器运送装置110的数据。
此外，由于其中显示第一数据和/或第二数据的区域920设置在其中显示所拍摄的图像的区域910的边缘部分中，所以操作者可以容易地确认所拍摄的图像。此外，由于不仅所拍摄的图像而且关于容器运送装置110的数据显示在管理者终端140的屏幕S上，所以操作者不需要与容器运送装置110通信以确认关于容器运送装置110的数据。
下文中将描述第二控制模块430的障碍物检测功能。
第二控制模块430可以基于由第一相机模块410a和第二相机模块410b拍摄的图像来确定在容器运送装置110的移动路线上是否存在障碍物。第二控制模块430可以对轨道330a和330b上存在的各种类型的障碍物执行图像学习。然后，如果第一相机模块410a或第二相机模块410b获取了障碍物的图像，则第二控制模块430可以通知第一控制模块260以防止与障碍物的碰撞。
在检测容器运送装置110的移动路线上的障碍物的情况下，第二控制模块430还可以检测破损或断裂的轨道电缆，或者检测轨道330a和330b中的至少一个上存在的任何异物。
图12是示出用于图4的事件记录单元的第二控制模块的障碍物检测功能的操作方法的流程图。
参考图12，当容器运送装置110在轨道330a和330b上行进以运送容器310时，第二控制模块430通过第一相机模块410a和第二相机模块410b实时获取容器运送装置110的行驶图像(S1010)。
此后，第二控制模块430分析获取的图像(S1020)，并基于分析结果确定在容器运送装置110的移动路线上是否存在障碍物(S1030)。
如果确定在容器运送装置110的移动路线上存在障碍物，则第二控制模块430停止容器运送装置110的行驶，并将获取的图像和分析结果报告给管理者终端140(S1040)。
在容器运送装置110的行驶期间，由于未被登记为障碍物的异物而可能发生错误(S1050)。在这种情况下，第二控制模块430停止容器运送装置110的行驶，并且通过对获取的图像执行附加的图像学习来将该异物登记为障碍物(S1060)。
如果在容器运送装置110的行驶期间发生错误，则第二控制模块430可以通过对在错误的发生时刻所拍摄的图像执行图像学习来检测容器运送装置110的行驶路线上的异物的存在。
下文中将描述事件记录单元400的紧急情况监视功能。
在半导体制造厂中，可以驱动多个容器运送装置110(即，容器运送装置110a、110b、……和110n)，并且在由容器运送装置110a、110b、……和110n运送容器310期间可能发生各种事故。例如，容器运送装置110a可能在向预定的目的地行驶时偏离其移动路线，在容器运送装置110a中可能发生火灾，或者容器运送装置110a可能在十字路口与容器运送装置110b或110c碰撞。在本示例中，事件记录单元400可以如下操作。
当发生诸如碰撞或火灾的事故时，离事故现场最近的容器运送装置110k可以被派遣到事故现场。然后，容器运送装置110k的事件记录单元400可以拍摄事故现场的图像，并且容器运送装置110k的第一控制模块260可以将所拍摄的图像发送并报告给管理者终端140。这里，容器运送装置110k的第一控制模块260可以不仅将在事故时刻所拍摄的图像、而且将在事故时刻之前所拍摄的图像发送到管理者终端140用于分析事故的原因。可替代地，容器运送装置110k的事件记录单元400的第二控制模块430可以将所拍摄的图像直接发送并报告给管理者终端140。一旦事故现场的图像被提供给管理者终端140，操作者就能够容易地确认事故现场的事态并采取适当的措施。
在发生诸如碰撞或火灾的事故或紧急情况的情况下，可以派遣离事故现场最近的容器运送装置110，但本公开不限于此。可替代地，如果距事故现场预定距离内有多个容器运送装置110，则可以选择性地将多个容器运送装置110中的一个派遣到事故现场。
例如，可以检测在距事故现场预定距离内的多个容器运送装置110之中的空闲容器运送装置110，然后可以将其派遣到事故现场。可替代地，如果在距事故现场预定距离内的多个容器运送装置110之中存在多于两个的空闲容器运送装置110，则可以将最近的空闲容器运送装置110派遣到事故现场。可替代地，如果离事故现场最近的容器运送装置110不是空闲的而是正在将容器310运往其目的地，则也可以将最近的空闲容器运送装置110派遣到事故现场。
图13是示出图4的事件记录单元的第二控制模块的紧急情况监视功能的流程图。
参考图13，运送控制装置120通过监视由容器运送装置110a、110b、……和110n提供的图像来确定在半导体制造厂中是否发生了紧急情况(S1110)。
如果确定在半导体制造厂中已经发生了紧急情况或事故，则运送控制装置120确定在事故现场处是否存在配备有事件记录单元400的容器运送装置110，即容器运送装置110i(1120)。
如果确定容器运送装置110i在事故现场处，则可以在运送控制装置120的控制下将容器运送装置110i派遣到事故现场，以拍摄事故现场的图像并将所拍摄的图像提供给管理者终端140(S1130)。
相反，如果确定容器运送装置110i不在事故现场处，则运送控制装置120可以检测离事故现场最近的容器运送装置110，即容器运送装置110j(S1140)。
然后，可以在运送控制装置120的控制下将容器运送装置110j派遣到事故现场，以拍摄事故现场的图像并将所拍摄的图像提供给管理者终端140(S1150)。
涉及可以起到黑匣子功能的事件记录单元、包括该事件记录单元的容器运送装置以及物流运送系统的本公开具有以下优点。
第一，通过主要使用连续记录功能，可以尽可能延长SD存储卡的寿命。
第二，事件记录单元的第二控制模块可以通过以有线/无线方式与容器运送装置的第一控制模块通信来确保容器运送装置的传感器监视图像。也就是说，由于第一控制模块和第二控制模块通信联接，所以第一控制模块和第二控制模块之间可以共享来自安装在容器运送装置中的各种传感器的信号，并且结果，可以容易地确保相关图像。
第三，由于可以远程地设定和更新事件记录单元，所以可以为操作者提供便利。
第四，由于不仅将图像而且将关于容器运送装置的数据显示在管理者终端的屏幕上，所以操作者可以容易地确认容器运送装置的情况并且可以容易地确定任何错误或缺陷的原因。
第五，由于可以将配备有事件记录单元的容器运送装置派遣到紧急情况或事故的现场，所以管理者可以用肉眼快速地确认紧急情况或事故现场的事态。
以上已经参考附图描述了本公开的实施方式，但是本公开不限于此，并且可以以各种不同的形式实现。将理解，本公开可以在不改变本公开的技术精神或主旨的情况下以其他特定形式实现。因此，应当理解，在本文中阐述的实施方式在所有方面都是说明性的而不是限制性的。

Claims (20)

1.一种容器运送装置，包括：
夹持模块，夹持其中容纳有多个基板的容器；
升降模块，使所述夹持模块升降；
驱动模块，控制驱动轮在轨道上行驶；
第一控制模块，控制所述夹持模块、所述升降模块和所述驱动模块；以及
事件记录单元，当所述容器运送装置在所述轨道上行驶时，连续记录所述容器运送装置的周围环境并且记录任何事件，
其中，所述事件记录单元在将所记录的图像显示在管理者终端的屏幕上时，将数据显示在所述管理者终端的所述屏幕上。
2.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，所述事件记录单元包括：多个相机模块，在不同的方向上拍摄所述容器运送装置的图像；存储模块，存储由所述相机模块拍摄的所述图像；以及第二控制模块，控制所述相机模块和所述存储模块。
3.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，所述事件记录单元将作为连续记录的图像的第一图像记录在能够从中删除图像的第一区中，并且将与事件相关联的第二图像记录在不能从中删除图像的第二区中。
4.根据权利要求3所述的容器运送装置，其中，所述第二区包括在所述第一区中。
5.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，如果用于所述第二图像的存储空间不足，则所述事件记录单元在所述第一区中提供其中将存储所述第二图像的附加的第二区，或者在将存在于所述第二区中的多个现有的第二图像中的一个发送到所述管理者终端之后将新的第二图像记录在所述第二区中。
6.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，所述事件记录单元根据事件的发生时刻，单独地记录在所述事件的所述发生时刻所拍摄的图像，或者附加地记录在所述事件的所述发生时刻之前所拍摄的图像和在所述事件的所述发生时刻之后所拍摄的图像中的至少一个。
7.根据权利要求6所述的容器运送装置，其中，所述事件记录单元根据时间的流逝将在所述事件的所述发生时刻所拍摄的所述图像划分成第一区间、第二区间和第三区间，如果所述事件的所述发生时刻与所述第一区间相关联，则所述事件记录单元单独地记录在所述事件的所述发生时刻所拍摄的所述图像和在所述事件的所述发生时刻之前所拍摄的所述图像，如果所述事件的所述发生时刻与所述第二区间相关联，则所述事件记录单元仅单独地记录在所述事件的所述发生时刻所拍摄的所述图像，以及如果所述事件的所述发生时刻与所述第三区间相关联，则所述事件记录单元单独地记录在所述事件的所述发生时刻所拍摄的所述图像和在所述事件的所述发生时刻之后所拍摄的所述图像。
8.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，如果在所述事件记录单元中发生错误，则所述事件记录单元通过使用二进制信号或通过使用第一信号发生器、与所述第一信号发生器不同类型的第二信号发生器和报警信号中的至少两个向所述第一控制模块和所述管理者终端发送说明所述错误的消息。
9.根据权利要求8所述的容器运送装置，其中，当使用所述二进制信号时，所述错误通过所述二进制信号的比特值来识别，或者当使用所述第一信号发生器、所述第二信号发生器和所述报警信号中的至少两个时，所述错误通过所述第一信号发生器、所述第二信号发生器和所述报警信号的操作类型来识别。
10.根据权利要求8所述的容器运送装置，其中，所述事件记录单元包括可拆卸卡式存储介质，并且提供关于所述存储介质的剩余寿命的信息。
11.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，所述事件记录单元在所述管理者终端的所述屏幕上提供用于远程控制的用户界面。
12.根据权利要求11所述的容器运送装置，其中，响应于与事件相关联的第二图像的发送请求，所述事件记录单元附加地提供用于输入密码的用户界面。
13.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，所述数据显示在所述所记录的图像所显示的区域的边缘部分中。
14.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，所述事件记录单元基于图像学习的结果来确定在所述容器运送装置的行驶路线上是否存在障碍物。
15.根据权利要求1所述的容器运送装置，其中，如果所述容器运送装置被派遣到事故现场，则所述事件记录单元将与所述事故现场相关联的图像发送到所述第一控制模块或所述管理者终端。
16.根据权利要求15所述的容器运送装置，其中，被派遣的所述容器运送装置是离所述事故现场最近的容器运送装置或空闲的容器运送装置。
17.一种容器运送装置，包括：
夹持模块，夹持其中容纳有多个基板的容器；
升降模块，使所述夹持模块升降；
驱动模块，控制驱动轮在轨道上行驶；
第一控制模块，控制所述夹持模块、所述升降模块和所述驱动模块；以及
事件记录单元，当所述容器运送装置在所述轨道上行驶时，连续记录所述容器运送装置的周围环境并且记录任何事件，
其中，所述事件记录单元在将所记录的图像显示在管理者终端的屏幕上时，将数据显示在所述管理者终端的所述屏幕上，
所述事件记录单元将作为连续记录的图像的第一图像记录在能够从中删除图像的第一区中，并且将与事件相关联的第二图像记录在不能从中删除图像的第二区中，
所述事件记录单元根据事件的发生时刻，单独地记录在所述事件的所述发生时刻所拍摄的图像，或者附加地记录在所述事件的所述发生时刻之前所拍摄的图像和在所述事件的所述发生时刻之后所拍摄的图像中的至少一个，
如果在所述事件记录单元中发生错误，则所述事件记录单元通过使用二进制信号或通过使用第一信号发生器、与所述第一信号发生器不同类型的第二信号发生器和报警信号中的至少两个向所述第一控制模块和所述管理者终端发送说明所述错误的消息，
所述事件记录单元在所述管理者终端的所述屏幕上提供用于远程控制的用户界面，以及
如果所述容器运送装置被派遣到事故现场，则所述事件记录单元将与所述事故现场相关联的图像发送到所述第一控制模块或所述管理者终端。
18.一种物流运送系统，包括：
多个容器运送装置，运送其中容纳有多个基板的容器；以及
运送控制装置，控制所述容器运送装置，
其中，所述容器运送装置中的至少一个包括：夹持模块，夹持其中容纳有多个基板的所述容器；升降模块，使所述夹持模块升降；驱动模块，控制驱动轮在轨道上行驶；第一控制模块，控制所述夹持模块、所述升降模块和所述驱动模块；以及事件记录单元，当所述容器运送装置在所述轨道上行驶时，连续记录所述容器运送装置的周围环境并且记录任何事件，以及
所述事件记录单元在将所记录的图像显示在管理者终端的屏幕上时，将数据显示在所述管理者终端的所述屏幕上。
19.根据权利要求18所述的物流运送系统，其中，所述运送控制装置确定包括所述事件记录单元的所述容器运送装置是否位于事故现场。
20.根据权利要求19所述的物流运送系统，其中，所述运送控制装置向所述事故现场派遣最近的容器运送装置。
CN202310362934.9A 2022-04-07 2023-04-06 容器运送装置及包括其的物流运送系统 Pending CN116895582A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2022-0043405 2022-04-07
KR1020220043405A KR102667158B1 (ko) 2022-04-07 2022-04-07 컨테이너 운반 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116895582A true CN116895582A (zh) 2023-10-17

Family

ID=88240736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310362934.9A Pending CN116895582A (zh) 2022-04-07 2023-04-06 容器运送装置及包括其的物流运送系统

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20230322496A1 (zh)
JP (1) JP2023155193A (zh)
KR (1) KR102667158B1 (zh)
CN (1) CN116895582A (zh)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100890523B1 (ko) * 2008-12-30 2009-03-27 정근섭 무인반송차 제어 시스템
KR20180058019A (ko) * 2016-11-23 2018-05-31 한화에어로스페이스 주식회사 영상 검색 장치, 데이터 저장 방법 및 데이터 저장 장치
KR102289024B1 (ko) * 2019-11-07 2021-08-11 세메스 주식회사 이송 장치
KR102419959B1 (ko) * 2020-09-04 2022-07-13 주식회사 알티자동화 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
US20230322496A1 (en) 2023-10-12
JP2023155193A (ja) 2023-10-20
KR102667158B1 (ko) 2024-05-17
KR20230144300A (ko) 2023-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7597257B2 (en) Overhead traveling vehicle and system therefor
JP4068160B2 (ja) 一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム
US7216806B2 (en) Container handling apparatus, container management system, and method of container handling
JP4720267B2 (ja) 天井走行車システム
US9915943B2 (en) System and method of monitoring an environmental parameter along a predetermined route
JP6458411B2 (ja) 搬送車システム
US11353883B2 (en) Carrier, carrier with reception capability, carrier system, host system, method for controlling the carrier, and non-transitory storage medium
US20150316924A1 (en) Data transmission system for automated material handling system
US10656649B1 (en) Sensor controlled drive unit ingress and egress
TWI758765B (zh) 具有載體內部的污染管理功能的自動搬送系統
US9802760B2 (en) Automated warehouse and method for controlling automated warehouse
CN115593839B (zh) 一种物料搬运机器人及其控制方法
JP2020013892A (ja) 被加工物自動搬送車
KR100500230B1 (ko) 무인운반 시스템 및 그 제어방법
CN114999982A (zh) 晶圆盒运输装置和晶圆盒储存库
US20230050980A1 (en) Autonomous transport vehicle with vision system
CN116895582A (zh) 容器运送装置及包括其的物流运送系统
KR20220047872A (ko) 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템
JP4895079B2 (ja) 天井走行車システム
JP7090493B2 (ja) 搭載物運搬方法及び搭載物運搬システム
JP4296509B2 (ja) 物品処理設備
JP7247865B2 (ja) 搬送制御システム、搬送制御プログラムおよび搬送制御方法
JP2020055672A (ja) 監視システム
KR20230056196A (ko) 진동 모니터링 시스템 및 모니터링 방법
US20240128103A1 (en) Wafer transport system and transporting method using the same

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication