CN116895547A - 液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置 - Google Patents

液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置，能够可靠地判断液态树脂固化的情况。在判断对在晶片(W)的一个面(Wb)的整面上推展的液态树脂(31、33)赋予外部刺激而液态树脂固化的情况时，按照能够检测液态树脂固化时的收缩的方式检测与晶片的一个面垂直的方向上的载荷(Q)，若该载荷变得比预先设定的阈值(Qe)小，则判断为液态树脂已固化。

Description

液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置
技术领域
本发明涉及液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置。
背景技术
在对晶片进行磨削加工等加工时，形成对晶片的一个面整面进行保护的保护部件。在形成保护部件的保护部件形成装置中，向载置于工作台的片上提供液态树脂，并使在工作台的上方保持着晶片的保持部下降，在利用保持部所保持的晶片将液态树脂推展后使液态树脂固化，从而在晶片的一个面整面上形成由树脂和片构成的保护部件。
形成保护部件的液态树脂使用如紫外线固化型树脂、热固化型树脂那样通过施加特定的外部刺激而固化的树脂。例如，在使用紫外线固化型的液态树脂的情况下，按照预先设定的时间照射紫外线而使树脂固化。
专利文献1：日本特开2021-61333号公报
在使用紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面上形成保护部件的情况下，根据提供至片上的液态树脂的量等而预先设定液态树脂的固化所需要的紫外线的照射时间，并进行管理以便按照所设定的规定的照射时间照射紫外线。但是，存在如下的问题：由于照射紫外线的紫外线照射部的劣化或液态树脂的批次不同，固化的进展程度产生偏差，即使照射规定时间的紫外线仍存在液态树脂未充分固化的部分。
这样的问题在使用热固化型的液态树脂的情况下也是同样的，存在如下的担心：由于对液态树脂施热的加热器等的劣化或液态树脂的批次不同的原因，即使加热预先设定的规定时间仍存在液态树脂未充分固化的部分。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置，能够可靠地判断液态树脂固化的情况。
本发明的一个方式是液态树脂的固化判断方法，判断对在晶片的一个面整面上推展的液态树脂赋予外部刺激而该液态树脂固化的情况，其中，按照能够检测该液态树脂固化时的收缩的方式检测与该晶片的一个面垂直的方向上的载荷，若该载荷变得比预先设定的阈值小，则判断为该液态树脂已固化。
本发明的一个方式是保护部件形成装置，其在比晶片的一个面的面积大的片与晶片之间将通过外部刺激而固化的液态树脂在晶片的一个面整面上推展，然后赋予外部刺激而使该液态树脂固化，形成由固化的树脂和该片构成的保护部件，其中，该保护部件形成装置具有：固化机构，其对该液态树脂赋予外部刺激；载荷检测部，其检测与晶片的一个面垂直的方向上的载荷；以及判断部，若该载荷检测部所检测的载荷变得比预先设定的阈值小，则该判断部判断为该液态树脂已固化。
根据本发明的液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置，对作用于晶片的一个面的垂直方向的载荷进行检测，并根据该载荷进行固化的判断，因此能够可靠地判断液态树脂固化的情况。
附图说明
图1是示出本实施方式的保护部件形成装置的立体图。
图2是保护部件形成装置的一部分的剖视图。
图3是示出保护部件形成装置中的片搬入工序的说明图。
图4是示出保护部件形成装置中的液态树脂提供工序的说明图。
图5是示出保护部件形成装置中的晶片保持工序的说明图。
图6是示出保护部件形成装置中的推展工序的说明图。
图7是示出保护部件形成装置中的固化工序的说明图。
图8是示出保护部件形成装置中的固化工序的变形例的说明图。
图9是说明本实施方式的液态树脂的固化判断方法的曲线图。
标号说明
1：保护部件形成装置；10：外部壳体；11：盒收纳部；12：第1搬送机构；13：暂放工作台；14：片切割工作台；15：基台；16：保护部件形成载台；17：片搬送机构；18：树脂提供机构；20：晶片保持部；21：升降机构；22：载荷检测部；23：固化机构；25：第2搬送机构；26：固化机构；30：片；31：液态树脂；32：保护部件；33：液态树脂；34：保护部件；40：控制部；41：判断部；183：树脂提供喷嘴；201：保持工作台；203：晶片保持面；221：载荷传感器；231：紫外线照射部；261：加热器；262：电源；P：晶片保持部的高度的变化；Q：载荷检测部所检测的载荷值的变化；Qe：阈值；Ta：推展开始点；Tb：推展完成判断点；Tc：固化开始点；Td：固化完成判断点；UV：紫外线；W：晶片；Wa：上表面；Wb：下表面(一个面)。
具体实施方式
以下，参照附图对本实施方式所涉及的液态树脂的固化判断方法以及保护部件形成装置进行说明。图1和图2示出本实施方式所涉及的保护部件形成装置的整体和一部分。图3至图7是说明在保护部件形成装置中进行的各工序的图。图8是示出保护部件形成装置中的固化工序(固化机构)的变形例的图。图9是说明本实施方式的液态树脂的固化判断方法的曲线图。
各图所示的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向处于相互垂直的关系。X轴方向和Y轴方向是大致水平的方向，Z轴方向是上下方向(垂直方向)。在各图中，在表示X轴方向的双箭头线中，将标注有文字X的那侧设为左方，将未标注文字X的那侧设为右方。在表示Y轴方向的双箭头线中，将标注有文字Y的那侧设为前方，将未标注文字Y的那侧设为后方。在表示Z轴方向的双箭头线中，将标注有文字Z的那侧设为上方，将未标注文字Z的那侧设为下方。
图1所示的保护部件形成装置1是通过对在晶片W的一个面的整面上推展的液态树脂赋予外部刺激而使液态树脂固化从而形成保护部件的装置的一例。在图1中，用虚线表示保护部件形成装置1的外部壳体10，并按照透视外部壳体10的内侧的构成要素的状态表现。将晶片W中的在保护部件形成装置1中的处理时朝向上侧的面设为上表面Wa，将朝向下侧的面设为下表面Wb。
在保护部件形成装置1中，向载置于保护部件形成载台16的片30上提供液态树脂31(参照图2、图4、图5)，按照将保持于晶片保持部20的晶片W从保护部件形成载台16的上方按压于液态树脂31的方式进行动作，详细内容后述。通过朝向片30按压晶片W的下表面Wb而在晶片W与片30之间将液态树脂31推展(参照图6)。在该状态下对液态树脂31赋予外部刺激而使液态树脂31固化，由固化后的树脂和片30形成保护部件32(参照图7)。
这样一系列的动作在统一控制保护部件形成装置1的控制部40(图1)的控制下进行。关于以下说明的各部的动作，在没有明确记载控制的主体的情况下，根据从控制部40发送的控制信号来控制动作。
晶片W例如是从圆柱状的硅等的锭切出的圆板状的原切晶片。另外，晶片W不限于器件形成前的原切晶片，也可以是器件形成后的器件晶片等。
保护部件形成装置1在外部壳体10的X轴方向的一端侧(左侧的端部)具有盒收纳部11。在盒收纳部11中形成有上下2层的收纳空间111、112。在上层的收纳空间111中载置有对形成保护部件32前的多张晶片W进行收纳的搬入侧的盒C1。在下层的收纳空间112中载置有对形成了保护部件32后的晶片W进行收纳的搬出侧的盒C2。在盒C1和盒C2中能够分别收纳多张晶片W。
在盒收纳部11的X轴方向的右侧的位置上设置有暂放工作台13和片切割工作台14。暂放工作台13位于上侧，片切割工作台14位于下侧。对暂放工作台13设置有对形成保护部件32前的晶片W的中心位置和朝向进行检测的晶片检测部131。对片切割工作台14设置有将粘贴于晶片W的片30沿着晶片W的外形切断的片切割器141。
在相对于暂放工作台13和片切割工作台14位于Y轴方向的前方侧的位置上，设置有对各盒C1、C2进行晶片W的搬入和搬出的第1搬送机构12。第1搬送机构12具有支承在底座121上的机械手122，底座121被支承为能够沿着在Y轴方向上延伸的一对导轨123移动。底座121具有与沿Y轴方向延伸的滚珠丝杠124螺合的螺合部(省略图示)。当通过电动机的驱动力使滚珠丝杠124旋转时，底座121在Y轴方向上移动。
第1搬送机构12通过底座121沿Y轴方向的移动和机械手122的动作，进行盒收纳部11与暂放工作台13以及片切割工作台14之间的晶片W的搬送。更详细而言，第1搬送机构12能够将形成保护部件32前的晶片W从收纳空间111内的盒C1搬出并载置于暂放工作台13。另外，第1搬送机构12能够将形成了保护部件32后的晶片W从片切割工作台14搬出而搬入至收纳空间112内的盒C2中。
保护部件形成装置1在相对于暂放工作台13和片切割工作台14位于X轴方向的右侧的位置上具有基台15。在基台15上设置有保护部件形成载台16。保护部件形成载台16由石英玻璃等透光性材料构成，形成为圆板状。保护部件形成载台16的上表面成为用于载置片30的平坦的片支承面161。
保护部件形成装置1具有片搬送机构17，片搬送机构17将片30搬送而载置在保护部件形成载台16的片支承面161上。片搬送机构17具有：对卷绕成卷状的片30进行支承的片提供部171；能够在X轴方向上移动的臂172；以及安装于臂172的侧面的夹持部173。在片搬送机构17中，通过夹持部173对支承于片提供部171的卷状的片30进行保持，使臂172在X轴方向上移动而拉拽片30，由此将片30载置在保护部件形成载台16的片支承面161上。
片30由透光性材料构成。作为片30，例如能够使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯等形成的膜等。另外，也可以使用由除此以外的材质构成的片30。
在保护部件形成载台16的片支承面161上形成有多个吸引孔(省略图示)。吸引孔与吸引源162(参照图2)连接。通过使吸引源162进行动作而使吸引力作用于吸引孔，载置在片支承面161上的片30被吸引保持于片支承面161。
在保护部件形成载台16的附近，设置有向片支承面161上的片30的上表面提供规定量的液态树脂31的树脂提供机构18。树脂提供机构18具有：分配器181，其与设置于基台15内的容器184连接；以及树脂提供喷嘴183，其与从分配器181延伸的连接管182连接。树脂提供喷嘴183能够以朝向Z轴方向的轴为中心而旋转，能够成为将树脂提供喷嘴183定位于保护部件形成载台16的上方的状态和使树脂提供喷嘴183从保护部件形成载台16的上方退避的状态。
贮存在容器184中的液态树脂31通过分配器181经由连接管182而输送，液态树脂31从树脂提供喷嘴183朝向下方滴下。来自树脂提供喷嘴183的液态树脂31的提供量能够通过分配器181进行调整。
液态树脂31具有通过外部刺激而固化的性质。在本实施方式中，使用通过紫外线的照射而固化的紫外线固化树脂。
在相对于保护部件形成载台16位于X轴方向的左侧的位置上设置有从基台15向上方突出的柱19。在柱19上设置有使晶片保持部20向Z轴方向移动而相对于保护部件形成载台16接近和远离的升降机构21。升降机构21具有：一对导轨211，它们沿Z轴方向延伸；升降台212，其被支承为能够相对于一对导轨211沿Z轴方向移动；以及滚珠丝杠213(参照图2)，其沿Z轴方向延伸并与升降台212的螺合部215(参照图2)螺合。当通过电动机214的驱动力使滚珠丝杠213旋转时，升降台212沿着一对导轨211在Z轴方向上移动。当使滚珠丝杠213向第1方向旋转时，升降台212向下方移动，当使滚珠丝杠213向第2方向旋转时，升降台212向上方移动。
晶片保持部20被升降台212支承，晶片保持部20随着升降台212而向Z轴方向移动。晶片保持部20具有圆板状的保持工作台201。如图2、图5至图7所示，在保持工作台201的下表面侧设置有圆板状的多孔质部件202。多孔质部件202的下表面是位于保护部件形成载台16的上方的晶片保持面203。晶片保持面203是与保护部件形成载台16的片支承面161大致平行的面。
如图2所示，多孔质部件202经由吸引路204与吸引源205连通。使吸引源205进行动作而对多孔质部件202赋予吸引力，从而能够利用晶片保持面203对晶片W的上表面Wa进行吸引保持。
当在将晶片W的上表面Wa吸引保持于晶片保持部20的晶片保持面203的状态(图2)下通过升降机构21使晶片保持部20下降时，晶片W的下表面Wb与提供到片30上的液态树脂31接触，通过使晶片W下降的力将液态树脂31推展。
如图5至图7所示，晶片保持部20具有载荷检测部22。在保持工作台201的上表面侧按照位置不同的方式设置有多个载荷传感器221，由这些载荷传感器221构成载荷检测部22。载荷检测部22能够根据多个载荷传感器221的输出而检测施加于晶片W的下表面Wb的垂直方向(Z轴方向)的载荷。
多个载荷传感器221设置于能够适当地检测施加于晶片W的下表面Wb的载荷的任意位置。例如，按照包围假想的通过保持工作台201的中心而沿Z轴方向延伸的中心轴的方式设置有3个载荷传感器221。
在保护部件形成载台16的下部设置有对滴下到片支承面161上的片30的液态树脂31赋予外部刺激而使液态树脂31固化的固化机构23。固化机构23具有能够发出紫外线UV(图7)的多个紫外线照射部231，通过具有透光性的保护部件形成载台16以及片30对液态树脂31照射紫外线UV而使液态树脂31固化。
另外，在保护部件形成载台16的下部设置有对片支承面161的方向进行拍摄的拍摄部24。拍摄部24是具有透镜和拍摄元件的照相机，具有能够从片支承面161的下方侧对在片支承面161上的片30上被推展的液态树脂31的外周缘和推展液态树脂31时的晶片W的下表面Wb的整体进行拍摄的拍摄范围。
如图1所示，在相对于基台15位于Y轴方向的前方侧的位置上设置有第2搬送机构25。第2搬送机构25具有支承在底座251上的机械手252，底座251被支承为能够沿着在X轴方向上延伸的一对导轨253移动。底座251具有与沿X轴方向延伸的滚珠丝杠254螺合的螺合部(省略图示)。当通过电动机的驱动力使滚珠丝杠254旋转时，底座251在X轴方向上移动。
第2搬送机构25通过底座251的沿X轴方向的移动和机械手252的动作，进行暂放工作台13和片切割工作台14与晶片保持部20之间的晶片W的搬送。更详细而言，第2搬送机构25能够从暂放工作台13接收形成保护部件32前的晶片W并进行搬送，并交接至晶片保持部20的保持工作台201。另外，第2搬送机构25能够将形成了保护部件32后的晶片W从晶片保持部20的保持工作台201回收，并搬送至片切割工作台14。
保护部件形成装置1由控制部40(图1)统一控制。控制部40由执行各种处理的处理器和存储各种参数和程序等的存储部(内存)构成。在控制部40的存储部中，作为保护部件形成装置1的控制程序的一部分，存储有用于执行后述的液态树脂的固化判断方法的程序。
作为控制部40的功能块之一包含判断部41。判断部41根据载荷检测部22的检测内容进行后述的液态树脂的固化判断。此外，判断部41的功能通过构成控制部40的处理器和内存等的动作来实现，并不意味着判断部41由独立的电子部件构成。另外，在图1中，仅示意性示出了判断部41与载荷检测部22之间的连接关系，但控制部40与载荷检测部22以外的保护部件形成装置1的各部也以能够进行信号收发的方式连接。
对如上述那样构成的保护部件形成装置1所进行的保护部件的形成进行说明。
图3示出片搬入工序。在片搬入工序中，在片搬送机构17中，利用夹持部173对片30的端部进行夹持而使臂172向X轴方向移动，从片提供部171拉出片30而向保护部件形成载台16侧搬送。将拉出的片30按照规定的长度切割。将片30载置于保护部件形成载台16的片支承面161上，通过吸引源162的动作使吸引力作用于片支承面161的吸引孔(省略图示)而对片30进行吸引保持。由此，片30紧贴于片支承面161。该阶段的片支承面161上的片30的面积比晶片W的下表面Wb的面积大。
图4示出液态树脂提供工序。在液态树脂提供工序中，将树脂提供机构18的树脂提供喷嘴183定位于通过之前的片搬入工序而载置在片支承面161上的片30的上方。然后，控制分配器181而向树脂提供喷嘴183送出液态树脂31，使液态树脂31从树脂提供喷嘴183向片30滴下。树脂提供喷嘴183定位于保护部件形成载台16的中央附近的上方，从树脂提供喷嘴183滴下的液态树脂31成为在比晶片W的面积小的范围内积存于片30的上表面的中央附近的状态。
控制部40根据晶片W的大小等信息通过树脂提供机构18向片30提供遍及晶片W的下表面Wb的整面的量(规定量)的液态树脂31。在完成了规定量的液态树脂31的提供后，使树脂提供喷嘴183进行旋转动作而远离保护部件形成载台16的上方，完成液态树脂提供工序。
图5示出通过晶片保持工序使晶片W保持于晶片保持部20的状态。在晶片保持工序中，通过第1搬送机构12将形成保护部件32前的晶片W从收纳空间111内的盒C1取出并搬送至暂放工作台13。在暂放工作台13中，通过晶片检测部131检测晶片W的朝向和中心。当检测出晶片W的朝向和中心时，通过第2搬送机构25将晶片W搬送至晶片保持部20。在晶片保持部20中，使吸引源205进行动作而对多孔质部件202作用吸引力，将晶片W的上表面Wa吸引并保持于晶片保持面203。
另外，也可以与片搬入工序和液态树脂提供工序并行地(同时地)进行晶片保持工序的至少一部分。
在保持于晶片保持部20的晶片W成为位于与片30上的液态树脂31的上方对置的位置的状态(图5)后，进入图6所示的推展工序。在推展工序中，利用升降机构21使电动机214进行动作，使升降台212和晶片保持部20以规定的进给速度下降。
通过晶片保持部20的下降，晶片W的下表面Wb接近保护部件形成载台16而与液态树脂31接触。然后，液态树脂31被晶片W的下表面Wb推压，液态树脂31在晶片W的径向上被推展。与晶片W的下表面Wb接触前的液态树脂31集中位于片30的中央附近(参照图5)，通过被晶片W推压，液态树脂31朝向晶片W的外缘侧扩展(参照图6)。
随着使晶片保持部20下降而利用晶片W的下表面Wb将液态树脂31推展，施加于晶片W的下表面Wb的Z轴方向(垂直方向)上的载荷(从晶片W向液态树脂31的推压力的值)增加。当液态树脂31遍及晶片W的整个下表面Wb而成为液态树脂31从晶片W的外缘向外侧探出的状态时，上述的载荷开始降低。使用载荷检测部22中的载荷传感器221来检测这样的载荷的变化。
载荷检测部22的检测结果(来自各载荷传感器221的输出信号)输入至控制部40。控制部40参照载荷检测部22的检测结果，根据Z轴方向(垂直方向)的载荷的变化来控制升降机构21的电动机214的驱动，从而成为将液态树脂31在晶片W的整个下表面Wb上(直至到达晶片W的外缘)推展的状态。
能够根据载荷检测部22的检测结果来判断液态树脂31是否在晶片W的整个下表面Wb上扩展。图9是示出晶片保持部20的高度(Z轴方向上的位置)的变化与载荷检测部22所检测的Z轴方向的载荷值的关系的曲线图。在图9中，用单点划线P示出晶片保持部20的高度的变化，用实线Q示出载荷检测部22所检测的载荷值的变化。图9的曲线图的横轴示出时间经过，对于单点划线P而言，纵轴表示晶片保持部20的高度，对于实线Q而言，纵轴表示载荷值。
区间Pa示出从推展工序开始到晶片W的下表面Wb与液态树脂31接触而进行推展为止的晶片保持部20的下降动作。当晶片W到达开始向液态树脂31的推压的推展开始点Ta时，晶片保持部20不再下降(区间Pb)，来自被推展的液态树脂31的反力作用于晶片W的下表面Wb因而载荷值上升(区间Qa)。
当被推展的液态树脂31遍及晶片W的整个下表面Wb而成为液态树脂31从晶片W的外缘向外侧探出的状态时，载荷值从上升转为下降(区间Qb)。作为与液态树脂31的推展完成对应的基准的载荷值，预先设定并存储有规定值Qc。规定值Qc被设定为比载荷值的峰值(区间Pa与区间Pb的边界处的值)低的值，当在区间Pb中检测到载荷值达到了规定值Qc时，控制部40判断为已成为液态树脂31覆盖晶片W的整个下表面Wb的状态。
控制部40在检测到转为下降的载荷值达到了规定值Qc的推展完成判断点Tb，使升降机构21的电动机214的动作反转，使晶片保持部20稍微上升(区间Pc)。在使晶片保持部20上升了规定量后，使电动机214的动作停止而将晶片保持部20的高度保持为恒定(区间Pd)。
此外，在判断液态树脂31的扩展状态时，也可以与载荷检测部22的检测并用地参照通过拍摄部24而拍摄的图像。
在推展工序完成而成为液态树脂31覆盖晶片W的整个下表面Wb的状态之后，进入图7所示的固化工序。在固化工序中，从固化机构23的紫外线照射部231朝向片支承面161照射使液态树脂31固化的强度的紫外线UV。从紫外线照射部231发出的紫外线UV透过具有透光性的保护部件形成载台16和片30而到达液态树脂31，使作为紫外线固化树脂的液态树脂31固化。在成为判断为液态树脂31已充分固化的状态后，结束来自固化机构23的紫外线UV的照射。
参照图9对判断液态树脂31的固化的方法进行说明。在区间Pc中的晶片保持部20的上升完成的时刻的固化开始点Tc，控制部40使来自固化机构23的紫外线照射部231的紫外线UV的照射开始。对晶片W进行保持的晶片保持部20在从固化开始点Tc开始的区间Pd中将晶片W的高度保持为恒定。另一方面，液态树脂31根据从固化开始点Tc起进行的紫外线UV的照射而逐渐固化，伴随着固化而收缩。在液态树脂31收缩时，通过载荷检测部22而检测的对晶片W的下表面Wb的载荷值下降(区间Qd)。
在未对晶片保持部20所保持的晶片W作用Z轴方向的外力的情况下，载荷值为“0”。在区间Qd中的载荷值超过0的正载荷区域中，意味着残存有将晶片W的下表面Wb向上方上推的力。在区间Qd中的载荷值低于0的负载荷区域中，意味着液态树脂31收缩时的力按照将晶片W从晶片保持部20向下方拉离的方式发挥作用。
在区间Qd中的载荷值中，作为表示液态树脂31的固化完成的值，预先设定并存储有阈值Qe。若控制部40的判断部41在固化开始点Tc以后检测到载荷值低于阈值Qe，则判断为液态树脂31已固化。将进行该判断的时刻设为固化完成判断点Td。
在本实施方式中，在区间Qd中的上述负载荷区域中设定阈值Qe。也就是说，判断部41在晶片W的下表面Wb受到向上方的上推载荷的期间不判断为液态树脂31已固化，在液态树脂31收缩至晶片W的下表面Wb被向下方拉拽的状态后，判断为液态树脂31已固化。
此外，也可以与本实施方式不同，在区间Qd中的上述正载荷区域或载荷值为0的状态下设定阈值Qe。阈值Qe只要是反映了液态树脂31在晶片W的下表面Wb的整面上已充分固化的状态的载荷值即可。
如上所述，通过判断部41进行液态树脂31的固化判断。通过基于载荷检测部22的阈值Qe的检测(固化完成判断点Td)而判断为在晶片W的下表面Wb的整面上扩展的液态树脂31已充分固化。
在图9所示的判断方法中，能够作为多个载荷传感器221所检测的值的平均值而取得载荷值(Q)。或者，也可以针对多个载荷传感器221所检测的值单独地判断是否达到阈值(Qe)。通过对多个载荷传感器221的检测结果分别进行评价和判断，也能够得到在晶片W的下表面Wb的面积的范围内的液态树脂31的固化进展情况的偏差等信息。
当液态树脂31固化时，通过固化的状态的树脂(原本的液态树脂31)和片30形成覆盖晶片W的下表面Wb的保护部件32。当判断为液态树脂31固化而完成了保护部件32的形成时，结束来自固化机构23的紫外线照射部231的紫外线UV的照射。另外，使吸引源162的动作停止，解除对片30向保护部件形成载台16的片支承面161的吸引保持。
接着，利用升降机构21使电动机214进行动作而使升降台212和晶片保持部20上升，将形成有保护部件32的晶片W从晶片保持部20交接至第2搬送机构25的机械手252。在该交接时，切断晶片保持部20中的晶片保持面203与吸引源205的连通，解除晶片保持部20对晶片W的吸引保持。具体而言，关闭设置于吸引路204的开闭阀(省略图示)或停止吸引源205的动作，从而不再对晶片保持面203作用吸引力。当解除晶片保持部20侧的吸引保持时，能够向位于晶片保持部20的下方的机械手252交接晶片W。
第2搬送机构25将从晶片保持部20交接的晶片W搬送至片切割工作台14。使用片切割器141，沿着载置于片切割工作台14的晶片W的外形将多余的片30切断。
接着，通过第1搬送机构12将晶片W从片切割工作台14搬送至盒收纳部11，并收纳在收纳空间112内的盒C2中。
如以上那样，保护部件形成装置1中的对晶片W的保护部件32的形成完成。形成有保护部件32的晶片W被搬送至与保护部件形成装置1不同的加工装置而进行加工。
例如，晶片W被搬送至磨削装置，将位于保护部件32的相反侧的面(上表面Wa)进行磨削加工。在利用磨削装置进行磨削加工时，保护部件32被按压于磨削装置的保持工作台。通过具有规定量的厚度而固化的保护部件32，能够耐受按压而稳定地对晶片W进行磨削加工。
图8示出保护部件形成装置1中的固化工序的变形例。在该变形例中，液态树脂33是在规定的温度区域发生固化的热固化性树脂，作为对液态树脂33赋予外部刺激而使液态树脂33固化的固化机构26而具有加热器261。加热器261配置在晶片保持部20的保持工作台201的内部，通过来自电源262的电力提供而被加温。
此外，在该变形例中，由于不进行来自保护部件形成载台16的下方的紫外线照射，因此保护部件形成载台16和片30也可以不是透光性材料。
如图8所示，当在将液态树脂33在晶片W的整个下表面Wb上推展的状态下利用固化机构26的加热器261进行加温时，从保持工作台201经由晶片W对液态树脂33传递热，液态树脂33固化。即，向液态树脂33的传热成为外部刺激。液态树脂33的固化判断能够通过上述的判断方法来进行。
具体而言，在图9的固化开始点Tc，开始加热器261的加温。液态树脂33通过从固化开始点Tc开始的加温而逐渐固化，伴随着固化而收缩。在液态树脂33收缩时，通过载荷检测部22而检测的对晶片W的下表面Wb的载荷值下降(区间Qd)。
控制部40的判断部41若在固化开始点Tc以后检测到载荷值低于预先设定的阈值Qe，则判断为液态树脂33已固化(固化完成判断点Td)。当到达固化完成判断点Td时，结束对加热器261的加温。由此，在晶片W的下表面Wb侧形成由固化的树脂(原本的液态树脂33)和片30构成的保护部件34。
固化工序以后的处理与之前的实施方式相同，将完成了保护部件34的形成的晶片W从晶片保持部20交接到第2搬送机构25并搬送到片切割工作台14，使用片切割器141沿着晶片W的外形将多余的片30切断。并且，将切断了多余的片30的晶片W使用第1搬送机构12从片切割工作台14搬送到盒收纳部11，并收纳到收纳空间112内的盒C2中。
如以上说明的那样，在本实施方式的液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置中，着眼于因液态树脂31、33固化时的收缩而作用于晶片W的垂直方向上的载荷值变化，具有对作用于晶片W的一个面(下表面Wb)的垂直方向的载荷进行检测的载荷检测部22，如果载荷检测部22检测到的载荷变得比预先设定的阈值Qe小，则判断为液态树脂31、33已固化。
这样，不仅仅依赖于固化机构23的紫外线的照射时间、固化机构26的加温时间的管理，而是以基于实际的液态树脂31、33的固化状况的载荷值的变化为依据来进行固化的判断，因此能够防止液态树脂31、33的固化不良(固化不足)等，能够以高精度可靠地形成保护部件32、34。
例如，在固化机构23的紫外线照射部231或固化机构26的加热器261发生了劣化的情况下，即使以预先设定的时间进行紫外线的照射或加温也存在液态树脂31、33的固化不充分的可能性，但根据本实施方式，能够按照使紫外线的照射或加温持续(延长)至判断部41的固化判断成立为止的方式进行控制。
另外，即使存在由液态树脂31、33的批次不同引起的固化进展的偏差，通过以判断部41的固化判断的成立为基准而进行固化，也能够与这样的偏差对应地适当地进行固化。例如，尽管实际上液态树脂31、33正在固化，但当进一步进行紫外线的照射或加温时会产生时间损失和能量损失，而根据本实施方式，能够防止液态树脂31、33固化后的无谓的紫外线的照射和加温，能够使对液态树脂31、33进行的外部刺激最佳化。
另外，在虽然从紫外线的照射或加温的开始起经过预先设定的时间也未完成判断部41的固化判断(无法检测固化)的情况下，还能够判断为发生了固化机构23或固化机构26的故障、液态树脂31、33的不良或错误(例如，紫外线固化树脂与热固化性树脂的混淆)、其他的设置错误等。例如，也可以从固化开始点Tc(图9)开始进行时间计数，在虽然经过规定的时间也未检测出到达阈值Qe的情况下，控制部40使用保护部件形成装置1所具有的显示器、扬声器、灯等通知部向作业者通知在液态树脂31、33的固化工序中发生了某些错误。
此外，本发明的实施方式并不限定于上述的实施方式和变形例，也可以在不脱离本发明的技术思想的主旨的范围内进行各种变更、置换、变形。进而，如果由于技术的进步或衍生出的其他技术而能够以其他方法实现本发明的技术思想，则也可以使用该方法来实施。因此，权利要求书覆盖了能够包含在本发明的技术思想的范围内的所有实施方式。
如以上说明的那样，本发明的液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置具有能够可靠地判断液态树脂固化的情况的效果，在包含在晶片的一个面上形成保护部件的工序的半导体等的制造领域中特别有用。

Claims (2)

1.一种液态树脂的固化判断方法，判断对在晶片的一个面整面上推展的液态树脂赋予外部刺激而该液态树脂固化的情况，其中，
按照能够检测该液态树脂固化时的收缩的方式检测与该晶片的一个面垂直的方向上的载荷，若该载荷变得比预先设定的阈值小，则判断为该液态树脂已固化。
2.一种保护部件形成装置，其在比晶片的一个面的面积大的片与晶片之间将能够通过外部刺激而固化的液态树脂在晶片的一个面整面上推展，然后赋予外部刺激而使该液态树脂固化，形成由固化的树脂和该片构成的保护部件，其中，
该保护部件形成装置具有：
固化机构，其对该液态树脂赋予外部刺激；
载荷检测部，其检测与晶片的一个面垂直的方向上的载荷；以及
判断部，若该载荷检测部所检测的载荷变得比预先设定的阈值小，则该判断部判断为该液态树脂已固化。
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