CN116660020A - 一种键合丝质量检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及键合丝检测技术领域,具体地说就是一种键合丝质量检测装置,包括支撑座和连接部,所述连接部包括第一连接部和第二连接部,所述第一连接部与支撑座固连,第二连接部与第一连接部转动连接,所述连接部的前侧设有检测组件,通过第一连接组件和第二连接组件对键合丝的两端进行连接,通过第一连接部和第二连接部对键合丝进行拉伸,第一连接组件与第二连接组件与键合丝的两端融为一体,无需对键合丝进行夹持,避免了键合丝的端部受力不均,能够有效防止键合丝在拉伸过程中产生断裂,保障了拉力测试的准确性;第一连接部和第二连接部可进行转动,方便对键合丝进行不同形式的拉伸,方便拉伸试验的进行。
Description
技术领域
本发明涉及键合丝检测技术领域,具体地说就是一种键合丝质量检测装置。
背景技术
目前,集成电路和半导体元器件的使用越来越广泛,其中对于集成电路和半导体元器件的键合丝的运用也是越来越多。键合金丝在生产完成后,需要对键合丝进行多项质量检测,其中包括拉力测试。
现有技术中的拉力测试装置在检测时,需要通过两个夹持装置对键合丝的两端进行夹持后进行拉伸,由于夹持力施加在键合丝的两端,夹持部位键合丝容易受力不均,使键合丝的端部在未达到拉力极限时就产生断裂,影响键合丝的拉力测试结果。
因此需要设计一种键合丝质量检测装置,解决现有的拉力测试中,键合丝两端受力不均造成的易断裂和影响拉力测试结果准确性的问题。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供了一种键合丝质量检测装置。
本发明解决其技术问题所采取的技术方案是:一种键合丝质量检测装置,包括支撑座和连接部,所述连接部包括第一连接部和第二连接部,所述第一连接部与支撑座固连,第二连接部与第一连接部转动连接,所述连接部的前侧设有检测组件。
作为优化,所述第一连接部包括第一固定部和第一延长部,所述第一固定部与支撑座的上部连接,所述第一固定部的内部设有若干个第一伸缩缸,第一伸缩缸的伸长端穿过第一固定部与第一延长部固连,所述第一延长部的顶部固定有旋转电机;
所述第二连接部包括第二固定部和第二延长部,所述第二固定部的内部设有若干个第二伸缩缸,所述第二伸缩缸的伸长端穿过第二固定部与所述第二延长部固连,所述旋转电机的输出轴穿过第一延长部与第二延长部的上部固连。
作为优化,所述第一延长部的上侧远离旋转电机的一端设有第一支撑块,第二延长部的上侧远离旋转电机的一侧设有第二支撑块,第一支撑块的高度与第二支撑块的高度相同。
作为优化,所述检测组件包括拉伸检测部分和两个连接组件,所述拉伸检测部分固定于第二连接部的前侧下部,两个连接组件分别为第一连接组件和第二连接组件,第一连接组件与拉伸检测部分的顶部固连,所述第二连接组件固定于第一连接部的前侧。
作为优化,所述第二连接部的上部设有第一导向轴,连接部的竖直轴心方向顶部设有第二导向轴,第一连接部的上部设有第三导向轴,所述第一连接组件和拉伸检测部分均设置于第一导向轴的下侧,所述第二连接组件设置于第三导向轴的下侧。
作为优化,所述拉伸检测部分包括伸缩杆和拉力检测组件,所述伸缩杆竖直设置,拉力检测组件固定于伸缩杆的伸缩端顶部,所述第一连接组件固定于拉力检测组件的检测端。
作为优化,所述第一连接组件包括第一连接板和第一连接座,所述第一连接板与拉伸检测部分的顶部固连,第一连接座固定于第一连接板的上侧,所述第一连接座的内部设有竖直设置的第一容纳腔,第一容纳腔的顶部为开口,所述第一容纳腔的内部设有第一加热板和第一金属板,第一金属板固定于第一加热板的上侧。
作为优化,所述第二连接组件包括第二连接板和第二连接座,所述第二连接板与第一连接部的前侧固连,第二连接座固定于第二连接板的上侧,所述第二连接座的内部设有竖直设置的第二容纳腔,所述第二容纳腔的顶部为开口,所述第二容纳腔的内部设有第二加热板和第二金属板,所述第二金属板位于第二加热板的上侧。
所述第一连接座的顶部设有环形的滑轨,滑轨内部滑动连接有整形组件。
所述整形组件包括驱动座和整形片,所述驱动座滑动连接于滑轨内,所述驱动座上连接有整形电机,所述整形电机的输出轴连接有驱动齿轮,所述第一连接座的顶部设有环形的连接齿条,驱动齿轮与连接齿条啮合连接,所述驱动座上连接有整形臂,整形臂为电动伸缩臂,整形臂的伸长端位于第一连接座的开口上侧,所述整形片与电动伸缩臂的伸长端固连。
整形片与键合丝相邻的一侧为圆弧面,整形片使用熔点高于键合丝的材质,如钨钢等。
作为优化,所述第二连接部的前侧设有第一导向管,第二连接部的前侧设有第二导向管,第一导向管和第二导向管竖直平行设置,第一导向管与第一连接组件同轴心设置,第二导向管与第二连接组件同轴心设置。
作为优化,使用步骤如下:
S1.备料:截取多段待测键合丝备用,取一段待测键合丝挂置于连接部的前侧;
S2.连接:将待测键合丝的两端与检测组件连接;
S3.拉伸:将第一连接部和第二连接部伸长,使待测键合丝呈绷紧状态;
S4.检测:通过检测组件对待测键合丝继续拉伸,并对待测键合丝所受拉力进行检测,并记录拉力值;
S5.数据计算:对多段待测键合丝重复上述步骤即可。
本方案的有益效果是,一种键合丝质量检测装置,具有以下有益之处:
通过第一连接组件和第二连接组件对键合丝的两端进行连接,通过第一连接部和第二连接部对键合丝进行拉伸,第一连接组件与第二连接组件与键合丝的两端融为一体,无需对键合丝进行夹持,避免了键合丝的端部受力不均,能够有效防止键合丝在拉伸过程中产生断裂,保障了拉力测试的准确性;
第一连接部和第二连接部可进行转动,方便对键合丝进行不同形式的拉伸,方便拉伸试验的进行。
附图说明
图1为本发明的轴侧示意图。
图2为本发明背部轴侧示意图。
图3为本发明左视示意图。
图4为本发明附图3的A-A剖切结构示意图。
图5为本发明第一连接座轴侧示意图。
图6为本发明第一连接座底部轴侧示意图。
图7为本发明第一连接座的剖切结构示意图。
图8为本发明第一使用状态主视示意图。
图9为本发明第二使用状态主视示意图示意图。
图10为本发明图5的A部分放大结构示意图。
其中,1、支撑座,2、第一固定部,3、第一延长部,4、第一伸缩缸,5、旋转电机,6、第二固定部,7、第二延长部,8、第二伸缩缸,9、键合丝,10、第一导向轴,11、第二导向轴,12、第三导向轴,13、伸缩杆,14、拉力检测组件,15、第一连接座,16、第一容纳腔,17、第一加热板,18、第一金属板,19、第二连接座,20、第一导向管,21、第二导向管,22、驱动座,23、整形片,24、整形电机,25、整形臂,26、连接齿条,27、滑轨。
具体实施方式
如图1所示,一种键合丝质量检测装置,包括支撑座1和连接部,所述连接部包括第一连接部和第二连接部,所述第一连接部与支撑座1固连,第二连接部与第一连接部转动连接,所述连接部的前侧设有检测组件。
如图8所示的第一使用状态中,第一连接部和第二连接部竖直并列设置。
如图1所示,所述第一连接部包括第一固定部2和第一延长部3,所述第一固定部2与支撑座1的上部连接,所述第一固定部2的内部设有若干个第一伸缩缸4,第一伸缩缸4的伸长端穿过第一固定部2与第一延长部3固连,所述第一延长部3的顶部固定有旋转电机5;
如图1、2所示,所述第二连接部包括第二固定部6和第二延长部7,所述第二固定部6的内部设有若干个第二伸缩缸8,所述第二伸缩缸8的伸长端穿过第二固定部6与所述第二延长部7固连,所述旋转电机5的输出轴穿过第一延长部3与第二延长部7的上部固连。
如图1所示,所述第一延长部3的上侧远离旋转电机5的一端设有第一支撑块,第二延长部7的上侧远离旋转电机5的一侧设有第二支撑块,第一支撑块的高度与第二支撑块的高度相同。
当第一连接部和第二连接部旋转形成图9所示的第二使用状态时,第一延长部3和第二延长部7上下相对设置,第一支撑块与第二支撑块上下相对支撑;
第一延长部3的上侧设有第一连接端块,第二延长部7的上侧设有第二连接端块,旋转电机5与第一连接端块固连,旋转电机5的输出轴与第二连接端块固连。
所述检测组件包括拉伸检测部分和两个连接组件,所述拉伸检测部分固定于第二连接部的前侧下部,两个连接组件分别为第一连接组件和第二连接组件,第一连接组件与拉伸检测部分的顶部固连,所述第二连接组件固定于第一连接部的前侧。
如图1所示,所述第二连接部的上部设有第一导向轴10,连接部的竖直轴心方向顶部设有第二导向轴11,第一连接部的上部设有第三导向轴12,所述第一连接组件和拉伸检测部分均设置于第一导向轴10的下侧,所述第二连接组件设置于第三导向轴12的下侧。
当检测装置变换为图9所示的第二使用状态时,第一导向轴10的轴心与第三导向轴12的轴心位于同一竖直平面内。
如图3所示,所述拉伸检测部分包括伸缩杆13和拉力检测组件14,所述伸缩杆13竖直设置,拉力检测组件14固定于伸缩杆13的伸缩端顶部,所述第一连接组件固定于拉力检测组件14的检测端。
本申请还包括控制器,控制器外部连接有控制按钮,控制器与拉力检测组件14通过线路连接,拉力检测组件14可使用拉力传感器等其它可检测拉力的传感器。
如图7、8所示,所述第一连接组件包括第一连接板和第一连接座15,所述第一连接板与拉伸检测部分的顶部固连,第一连接座15固定于第一连接板的上侧,所述第一连接座15的内部设有竖直设置的第一容纳腔16,第一容纳腔16的顶部为开口,所述第一容纳腔16的内部设有第一加热板17和第一金属板18,第一金属板18固定于第一加热板17的上侧。
所述第一连接座15的顶部设有环形的滑轨27,滑轨27内部滑动连接有整形组件。
如图5和图10所示,所述整形组件包括驱动座22和整形片23,所述驱动座22滑动连接于滑轨27内,所述驱动座22上连接有整形电机24,所述整形电机24的输出轴连接有驱动齿轮,所述第一连接座15的顶部设有环形的连接齿条26,驱动齿轮与连接齿条26啮合连接,所述驱动座22上连接有整形臂25,整形臂25为电动伸缩臂,整形臂25的伸长端位于第一连接座15的开口上侧,所述整形片23与电动伸缩臂的伸长端固连。
整形片23与键合丝9相邻的一侧为圆弧面,整形片23使用熔点高于键合丝9的材质,如钨钢等。
通过整形片23对键合丝9和第一金属板18的连接处进行整形,使键合丝9与第一金属板18的连接处形成微曲面结构,最大程度上消除键合丝9的端部应力集中的问题。
如图1所示,所述第二连接组件包括第二连接板和第二连接座19,所述第二连接板与第一连接部的前侧固连,第二连接座19固定于第二连接板的上侧,所述第二连接座19的内部设有竖直设置的第二容纳腔,所述第二容纳腔的顶部为开口,所述第二容纳腔的内部设有第二加热板和第二金属板,所述第二金属板位于第二加热板的上侧。
第一容纳腔16与第二容纳腔的内部结构相同,第一容纳腔16的底部开口处收拢成限位环,限位环能够对第一金属板18和第二金属板进行限位;
第一容纳腔16的下部和第二容纳腔的下部外扩呈锥形腔体,第一连接座15和第二连接座19均为锥形,能够对键合丝9的所受拉力进行分散,提高对键合丝9的牵拉作用。
如图1所示,所述第二连接部的前侧设有第一导向管20,第一连接部的前侧设有第二导向管21,第一导向管20和第二导向管21竖直平行设置,第一导向管20与第一连接组件同轴心设置,第二导向管21与第二连接组件同轴心设置。
通过第一导向管20和第二导向管21对键合丝9进行限位,防止键合丝9在拉伸过程中晃动。
该申请在具体使用时,可使本申请的检测装置呈图8所示的第一使用状态进行拉伸;通过伸缩杆13对键合丝9进行初步拉伸,当伸缩杆13到达拉伸上限时,可通过第一伸缩缸4和第二伸缩缸8伸长,提高对键合丝9的拉伸作用。
使用图8的第一使用状态对键合丝9进行拉伸时,通过第一导向轴10、第二导向轴11和第三导向轴12对键合丝9进行导向,使用图9的第二使用状态对键合丝9进行拉伸时,无需使用导向件,能够避免应力集中对键合丝拉伸测试造成的影响。使用第一使用状态和第二使用状态方便对键合丝9进行不同要求的拉力检测。
使用步骤如下:
S1.备料:截取多段待测键合丝9备用,取一段待测键合丝9挂置于连接部的前侧;
使键合丝9挂置于第一导向轴10、第二导向轴11和第三导向轴12上,键合丝9的一端伸入到第一连接座15的第一容纳腔16内,键合丝9的另一端伸入到第二连接座19的第二容纳腔内;
S2.连接:将待测键合丝9的两端与检测组件连接;
第一加热板17和第二加热板通电,对第一金属板18和第二金属板加热,使第一金属板18和第二金属板的轴心方向熔融,使第一金属板18与键合丝9的一端、第二金属板与键合丝9的另一端连接,通过整形组件对键合丝9与第一金属板18的连接处、键合丝9与第二金属板的连接处进行整形,待第一金属板18和第二金属板冷却后,即实现键合丝9与第一金属板18和第二金属板的连接;
S3.拉伸:将第一连接部和第二连接部伸长,使待测键合丝9呈绷紧状态;
第一伸缩缸4和第二伸缩缸8伸长,使第一延长部3和第二延长部7向上移动,直至键合丝9呈绷紧状态;
S4.检测:通过检测组件对待测键合丝9继续拉伸,并对待测键合丝9所受拉力进行检测,并记录拉力值;
如图8所示,伸缩杆13收短,对键合丝9进行拉伸,通过拉力检测组件14对键合丝9所受拉力进行检测;
S5.数据计算:对多段待测键合丝9重复上述步骤即可。
整形组件的工作过程中,整形电机24运转,通过整形电机24和驱动齿轮带动驱动座22沿滑轨27移动;
在驱动座22移动过程中,驱动座22带动整形臂25和整形片23做圆周运动,整形臂25伸长,通过整形片23对键合丝9与第一金属板18的连接处做整形,使第一金属板18与键合丝9的连接处形成微曲面结构。
上述具体实施方式仅是本发明的具体个案,本发明的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样,任何符合本发明权利要求书的一种键合丝质量检测装置且任何相应技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰,皆应落入本发明的专利保护范围。
Claims (8)
1.一种键合丝质量检测装置,包括支撑座(1)和连接部,其特征在于:所述连接部包括第一连接部和第二连接部,所述第一连接部与支撑座(1)固连,第二连接部与第一连接部转动连接,所述连接部的前侧设有检测组件;
所述检测组件包括拉伸检测部分和两个连接组件,所述拉伸检测部分固定于第二连接部的前侧下部,两个连接组件分别为第一连接组件和第二连接组件,第一连接组件与拉伸检测部分的顶部固连,所述第二连接组件固定于第一连接部的前侧;
所述第一连接组件包括第一连接板和第一连接座(15),所述第一连接板与拉伸检测部分的顶部固连,第一连接座(15)固定于第一连接板的上侧,所述第一连接座(15)的内部设有竖直设置的第一容纳腔(16),第一容纳腔(16)的顶部为开口,所述第一容纳腔(16)的内部设有第一加热板(17)和第一金属板(18),第一金属板(18)固定于第一加热板(17)的上侧。
2.根据权利要求1所述的一种键合丝质量检测装置,其特征在于:所述第一连接部包括第一固定部(2)和第一延长部(3),所述第一固定部(2)与支撑座(1)的上部连接,所述第一固定部(2)的内部设有若干个第一伸缩缸(4),第一伸缩缸(4)的伸长端穿过第一固定部(2)与第一延长部(3)固连,所述第一延长部(3)的顶部固定有旋转电机(5);
所述第二连接部包括第二固定部(6)和第二延长部(7),所述第二固定部(6)的内部设有若干个第二伸缩缸(8),所述第二伸缩缸(8)的伸长端穿过第二固定部(6)与所述第二延长部(7)固连,所述旋转电机(5)的输出轴穿过第一延长部(3)与第二延长部(7)的上部固连。
3.根据权利要求2所述的一种键合丝质量检测装置,其特征在于:所述第一延长部(3)的上侧远离旋转电机(5)的一端设有第一支撑块,第二延长部(7)的上侧远离旋转电机(5)的一侧设有第二支撑块,第一支撑块的高度与第二支撑块的高度相同。
4.根据权利要求1所述的一种键合丝质量检测装置,其特征在于:所述第二连接部的上部设有第一导向轴(10),连接部的竖直轴心方向顶部设有第二导向轴(11),第一连接部的上部设有第三导向轴(12),所述第一连接组件和拉伸检测部分均设置于第一导向轴(10)的下侧,所述第二连接组件设置于第三导向轴(12)的下侧。
5.根据权利要求1所述的一种键合丝质量检测装置,其特征在于:所述拉伸检测部分包括伸缩杆(13)和拉力检测组件(14),所述伸缩杆(13)竖直设置,拉力检测组件(14)固定于伸缩杆(13)的伸缩端顶部,所述第一连接组件固定于拉力检测组件(14)的检测端。
6.根据权利要求1所述的一种键合丝质量检测装置,其特征在于:所述第二连接组件包括第二连接板和第二连接座(19),所述第二连接板与第一连接部的前侧固连,第二连接座(19)固定于第二连接板的上侧,所述第二连接座(19)的内部设有竖直设置的第二容纳腔,所述第二容纳腔的顶部为开口,所述第二容纳腔的内部设有第二加热板和第二金属板,所述第二金属板位于第二加热板的上侧。
7.根据权利要求1所述的一种键合丝质量检测装置,其特征在于:所述第一连接部的前侧设有第一导向管(20),第二连接部的前侧设有第二导向管(21),第一导向管(20)和第二导向管(21)竖直平行设置,第一导向管(20)与第一连接组件同轴心设置,第二导向管(21)与第二连接组件同轴心设置。
8.根据权利要求1~7任意一项所述的一种键合丝质量检测装置,其特征在于:使用步骤如下:
S1.备料:截取多段待测键合丝备用,取一段待测键合丝挂置于连接部的前侧;
S2.连接:将待测键合丝的两端与检测组件连接;
S3.拉伸:将第一连接部和第二连接部伸长,使待测键合丝呈绷紧状态;
S4.检测:通过检测组件对待测键合丝继续拉伸,并对待测键合丝所受拉力进行检测,并记录拉力值;
S5.数据计算:对多段待测键合丝重复上述步骤即可。
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