CN116519998A - 一种探针调节件、探针架及测试平台 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种探针调节件、探针架及测试平台，属于芯片测试技术领域，其中，探针调节件包括：调节件本体，具有螺纹段和连接在螺纹段一端的阻挡部，阻挡部的外径大于螺纹段，螺纹段的中心具有朝向远离阻挡部的一端开口的中心孔；第一弹性件，套设于螺纹段上，第一弹性件的一端抵接在阻挡部上；第二弹性件，装设于中心孔内，第二弹性件的伸出中心孔的一端用于与探针的摆臂接触；本发明的探针调节件，通过第一弹性件对阻挡部进行弹性抵接，从而保证螺纹段进行螺纹连接时沿轴向保持相对稳定，进而提高调节精度，通过第二弹性件用于对探针的摆臂接触，从而使摆臂的抵接压力保持在一定波动区间范围内。
Description
技术领域
本发明涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种探针调节件、探针架及测试平台。
背景技术
在光通信的芯片生产中不会将晶圆直接切割成单个芯片，而是会先切割成若干条状，我们称之为bar条。Bar条中存在多个芯片，在生产中，需要对其中的芯片参数进行测试，现有的测试芯片的方式一般是利用测试平台进行，测试平台上的探针接触芯片后，通电模拟实际工作情况检测。
目前的测试平台上，一般通过探针架夹持固定探针，然后通过探针的测试端与芯片接触。其中，探针通过弹性板安装在测试平台上，探针的测试端抵接在待测bar条上时，通过弹性板的弹性变形使探针的测试端与待测bar条之间保持一定的抵接压力。
在实际工作中，探针与bar条之间的抵接压力需要进行一定的微调，并且整个测试过程中探针的抵接压力精度要求较高。现有技术中，对探针对bar条的抵接压力进行调整时，容易受到调节件精度的影响，导致探针抵接压力处于不可控的小区间范围内波动，影响测试效果。
发明内容
因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的探针调节件对探针的调节导致探针处于不可控的小区间范围内波动的缺陷，从而提供一种探针调节件、探针架及测试平台。
为了解决上述技术问题，本发明提供一种探针调节件，包括：
调节件本体，所述调节件本体具有螺纹段和连接在所述螺纹段一端的阻挡部，所述阻挡部的外径大于所述螺纹段，所述螺纹段的中心具有朝向远离所述阻挡部的一端开口的中心孔；
第一弹性件，套设于所述螺纹段上，所述第一弹性件的一端抵接在所述阻挡部上，所述第一弹性件具有用于驱动所述调节件本体朝向所述阻挡部的一端进行移动的弹性力；
第二弹性件，装设于所述中心孔内，所述第二弹性件的伸出所述中心孔的一端用于与探针的摆臂接触。
可选地，所述第二弹性件朝向所述摆臂施加的压力处于0-20g范围内。
本发明提供一种探针架，包括：
主体；
摆臂，通过弹片连接在所述主体上，所述摆臂上适于装设探针；
调节台，设于所述主体上，所述调节台上安装有上述方案中任一项所述的探针调节件，所述探针调节件的第一弹性件抵接在所述调节台上，所述第二弹性件穿过所述调节台后抵接在所述摆臂上。
可选地，所述主体上安装有导电板，所述导电板具有朝向所述摆臂的抵接面，所述摆臂上具有朝向所述抵接面的电极；
在自由状态下，通过所述调节件朝向所述摆臂施加压力，使所述摆臂的电极抵接在所述导电板的抵接面上。
可选地，所述导电板和所述调节台之间连接有连接杆。
可选地，所述连接杆穿过所述摆臂。
可选地，所述摆臂上装设有用于连接探针的夹具，所述探针可拆卸地安装在所述夹具上。
可选地，所述探针倾斜夹设在所述夹具上。
可选地，所述夹具包括：滑动柱和滑动套设于所述滑动柱上的滑动件，所述滑动柱的自由端设有用于穿过探针的夹持孔；
所述滑动柱上套设有第三弹性件，所述第三弹性件具有驱动所述滑动件朝向所述滑动柱的自由端移动的弹性力。
本发明提供一种测试平台，包括：上述方案中任一项所述的探针架。
本发明技术方案，具有如下优点：
1.本发明提供的探针调节件，通过第一弹性件对阻挡部进行弹性抵接，从而保证螺纹段进行螺纹连接时沿轴向保持相对稳定，进而提高调节精度，通过第二弹性件用于对探针的摆臂接触，从而使摆臂的抵接压力保持在一定波动区间范围内。
2.本发明提供的探针架，在主体上通过弹片连接摆臂，并于主体上设有调节台，调节台上设有向摆臂施加压力的调节件，由于调节件上套设有第一弹性件，调节件在调节台上的状态受到第一弹性件的约束弹性力，从而避免调节件晃动影响对摆臂的施加压力；调节件上装设有第二弹性件，通过第二弹性件与摆臂接触，摆臂受到第二弹性件的弹性力作用，从而使摆臂的抵接压力保持在小的波动区间范围内，有利于保证探针的抵接精度。
3.本发明提供的探针架，在摆臂上设置有连接探针的夹具，探针可拆卸的安装在夹具上，根据实际测试探针的尺寸不同，可以选用不同的弹性件调节弹性力，从而可以保证探针在夹持孔中被固定，并可避免因弹性力过小无法夹紧或弹性力过大损伤探针。
4.本发明提供的测试平台，由于具有如上所述的探针架，因此具有探针架所有的优点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的实施例中测试平台的立体图；
图2为图1所示的测试平台的正视图；
图3为图1所示的测试平台的部分结构爆炸图；
图4为本发明的实施例中调节件和第一弹性件、第二弹性件的装配示意图。
附图标记说明：
1、主体；2、调节台；3、第一弹性件；4、第二弹性件；5、摆臂；6、探针；7、调节件；8、导电板；9、连接杆；10、滑动柱；11、滑动件；12、第三弹性件；111、中心孔；112、弹片；113、阻挡部。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
实施例1
本实施例提供一种探针调节件，可用于探针架上，具体用于对探针架的摆臂进行调节。
如图4所示，具体包括：调节件本体、第一弹性件3和第二弹性件4，所述调节件本体具有螺纹段和连接在所述螺纹段一端的阻挡部113，所述阻挡部113的外径大于所述螺纹段，所述螺纹段的中心具有朝向远离所述阻挡部113的一端开口的中心孔111；所述第一弹性件3套设于所述螺纹段上，所述第一弹性件3的一端抵接在所述阻挡部113上，所述第一弹性件3具有用于驱动所述调节件本体朝向所述阻挡部113的一端进行移动的弹性力；所述第二弹性件4装设于所述中心孔111内，所述第二弹性件4的伸出所述中心孔111的一端用于与探针6的摆臂5接触。
本实施例提供的探针调节件，通过第一弹性件对阻挡部进行弹性抵接，从而保证螺纹段进行螺纹连接时沿轴向保持相对稳定，进而提高调节精度，通过第二弹性件用于对探针的摆臂接触，从而使摆臂的抵接压力保持在一定波动区间范围内。
进一步的，本实施例提供的探针调节件中，所述第二弹性件4朝向所述摆臂5施加的压力处于0-20g范围内。
实施例2
本实施例提供了一种探针架，其可以应用于bar条检测设备上，或是芯片检测设备上。
如图1至图3所示，本实施例所述的探针架包括主体1和调节台2，主体1通过弹片112连接有摆臂5，摆臂5上装设有探针6，调节台2设于主体1上，调节台2上设有适于向摆臂5施加压力的调节件7，调节件7上套设有第一弹性件3，第一弹性件3具有驱动调节件7朝向远离摆臂5的方向移动的弹性力，调节件7上装设有第二弹性件4，调节件7通过第二弹性件4与摆臂5接触。
经由此设置，调节件7在调节台2上的状态受到第一弹性件3的约束弹性力，从而避免调节件7晃动影响对摆臂5的施加压力，摆臂5受到第二弹性件4的弹性力作用，从而使摆臂5的抵接压力保持在小的波动区间范围内，有利于保证探针6的抵接精度。
如图2和图3所示，本实施例中的调节件7与调节台2之间螺纹连接，调节件7上具有适于配合调节台2螺纹孔的螺纹段，调节件7的端部具有外径大于螺纹段的阻挡部113，由于调节件7向摆臂5施加的压力调节控制精度一般会处于0-20g的小区间范围内，调节件7本身因螺距等因素导致的晃动会影响其向摆臂5施加的压力，导致摆臂5受压突变，不利于正常的检测效果，当第一弹性件3被约束于阻挡部113和调节台2的抵接端面之间时，第一弹性件3向调节件7施加远离摆臂5方向运动的弹性力，从而使调节件7受力避免晃动，有效提升控制精度。
如图4所示，本实施例中调节件7的朝向摆臂5的一端具有用于安装第二弹性件4的中心孔111，第二弹性件4部分安装于中心孔111内，从而构成第二弹性件4和调节件7的配合连接，在此，将第二弹性件4部分安装于中心孔111内，第二弹性件4的轴向方向受到中心孔111约束，从而有利于保持第二弹性件4的伸缩位于轴线上，避免第二弹性件4偏移变形。
作为一种可替换的实施方式，第二弹性件4的一端固定连接于调节件7的朝向摆臂5的一端，另一端与摆臂5直接抵接设置。在此，第二弹性件4和调节件7之间可以通过焊接固定连接，或通过卡接固定连接。
如图1至图3所示，摆臂5和主体1之间经由弹片112连接，弹片112优选的采用弹性较好的金属片，当摆臂5进行摆动动作时，弹片112随摆臂5动作发生形变，从而有利于摆臂5的压力检测。在采用弹片112连接时，弹片112仅发生自身损耗，工作一段时间后更换弹片112即可，相比于转轴连接，转轴连接会与其他部件配合摩擦发生磨损，导致整体部件寿命减短，弹片112设置更换简单便捷，并可避免与其他部件发生损耗。
本实施例中的探针架还包括连接在主体1上的导电板8，导电板8具有朝向摆臂5的抵接面，摆臂5上设有对应朝向抵接面的电极，在自由状态下，通过调节件7朝向摆臂5施加压力，使摆臂5的电极抵接在导电板8的抵接面上。
在此，导电板8与外部电路连接有指示单元，该指示单元可以是指示灯、或是其他指示通断电状态的装置，在通路状态下指示灯常亮，当在进行检测工作时，设定外力驱动摆臂5向上摆动，摆臂5克服第二弹性件4的弹性力摆动，当摆臂5的电极脱离导电板8的抵接面时，导电板8断路使指示灯灭，此时施力值即为检测工作时的抵接压力。设置导电板8一方面用于对探针6的抵接压力进行调试，另一方面与主体1的调节台2共同约束摆臂5的摆动幅度，从而有利于调节探针6的抵接精度。
在设置有导电板8的结构基础上，于调节台2和导电板8之间还设置有连接杆9，连接杆9依次穿过调节台2和摆臂5后，其上端被调节台2上端面抵接限位，下端与导电板8螺接连接，从而构成调节台2和导电板8之间的固定连接。设置连接杆9能够保持调节台2和导电板8的相对位置，避免导电板8受力偏移，此外，穿设摆臂5的连接杆9又能对摆臂5起到导向摆动的作用，从而避免摆臂5发生横向偏移。作为一种可替换的实施方式，连接杆9也可不穿过摆臂5设置。
如图3所示，本实施例中摆臂5上装设有用于连接探针6的夹具，探针6可拆的安装于夹具上。具体的，夹具包括滑动柱10和滑动套设于滑动柱10上的滑动件11，滑动柱10的自由端设有用于穿过探针6的夹持孔，滑动柱10上套设有第三弹性件12，所述第三弹性件12具有驱动滑动件11朝向滑动柱10的自由端移动的弹性力。
经由此设置，当实际需要测试探针6的尺寸发生变化时，可以选用不同的弹性件调节弹性力，从而可以保证探针6在夹持孔中被固定，并可避免因弹性力过小无法夹紧或弹性力过大损伤探针6。
实施例3
本实施例提供了一种测试平台，包括如实施例1中所述的探针架，由于具有如实施例1中所述的探针架，因此具有探针架所有的优点。
在此，该测试平台可以是bar条测试平台，也可以是用于单个芯片的测试平台。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种探针调节件，其特征在于，包括：
调节件本体，所述调节件本体具有螺纹段和连接在所述螺纹段一端的阻挡部(113)，所述阻挡部(113)的外径大于所述螺纹段，所述螺纹段的中心具有朝向远离所述阻挡部(113)的一端开口的中心孔(111)；
第一弹性件(3)，套设于所述螺纹段上，所述第一弹性件(3)的一端抵接在所述阻挡部(113)上，所述第一弹性件(3)具有用于驱动所述调节件本体朝向所述阻挡部(113)的一端进行移动的弹性力；
第二弹性件(4)，装设于所述中心孔(111)内，所述第二弹性件(4)的伸出所述中心孔(111)的一端用于与探针(6)的摆臂(5)接触。
2.根据权利要求1所述的探针调节件，其特征在于，所述第二弹性件(4)朝向所述摆臂(5)施加的压力处于0-20g范围内。
3.一种探针架，其特征在于，包括：
主体(1)；
摆臂(5)，通过弹片(112)连接在所述主体(1)上，所述摆臂(5)上适于装设探针(6)；
调节台(2)，设于所述主体(1)上，所述调节台(2)安装有权利要求1或2所述的探针调节件，所述调节台(2)的第一弹性件(3)抵接在所述调节台(2)上，所述第二弹性件(4)穿过所述调节台(2)后抵接在所述摆臂(5)上。
4.根据权利要求3所述的探针架，其特征在于，所述主体(1)上安装有导电板(8)，所述导电板(8)具有朝向所述摆臂(5)的抵接面，所述摆臂(5)上具有朝向所述抵接面的电极；
在自由状态下，通过所述调节件(7)朝向所述摆臂(5)施加压力，使所述摆臂(5)的电极抵接在所述导电板(8)的抵接面上。
5.根据权利要求4所述的探针架，其特征在于，所述导电板(8)和所述调节台(2)之间连接有连接杆(9)。
6.根据权利要求5所述的探针架，其特征在于，所述连接杆(9)穿过所述摆臂(5)。
7.根据权利要求3所述的探针架，其特征在于，所述摆臂(5)上装设有用于连接探针(6)的夹具，所述探针(6)可拆卸地安装在所述夹具上。
8.根据权利要求7所述的探针架，其特征在于，所述探针(6)倾斜夹设在所述夹具上。
9.根据权利要求8所述的探针架，其特征在于，所述夹具包括：滑动柱(10)和滑动套设于所述滑动柱(10)上的滑动件(11)，所述滑动柱(10)的自由端设有用于穿过探针(6)的夹持孔；
所述滑动柱(10)上套设有第三弹性件(12)，所述第三弹性件(12)具有驱动所述滑动件(11)朝向所述滑动柱(10)的自由端移动的弹性力。
10.一种测试平台，其特征在于，包括：权利要求3-9中任一项所述的探针架。
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