CN116495709B - 一种氮化硅粉回收再利用的方法 - Google Patents
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- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 104
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 104
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000004064 recycling Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 71
- 238000012216 screening Methods 0.000 claims abstract description 65
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims abstract description 60
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 27
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 67
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 23
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000007873 sieving Methods 0.000 claims description 13
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 3
- 238000012958 reprocessing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 7
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 6
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 1
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
- C01B21/0687—After-treatment, e.g. grinding, purification
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/80—Compositional purity
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/62—Plastics recycling; Rubber recycling
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Abstract
本发明提供了一种氮化硅粉回收再利用的方法，涉及氮化硅粉回收的技术领域，方法包括步骤一：使用筛分机构筛除回收的氮化硅粉的杂质；步骤二：在浸泡机构中使用酸液去除氮化硅粉杂质中的一氧化硅；步骤三：使用收集机构将步骤二中留下的氮化硅集中收集。本发明通过将待回收的氮化硅粉落入筛分机构中，使用筛分机构将其中一部分大体积杂质去除，将筛分过的剩余氮化硅落入浸泡机构再处理，因为在氮化硅与氧接触会产生一氧化硅，浸泡机构的中酸液可融掉一氧化硅，剩下的为氮化硅颗粒。且本发明将步骤1‑步骤3所用的筛分机构、浸泡机构、收集机构集成到一个装置，便于执行本发明的步骤1‑3。
Description
技术领域
本发明涉及氮化硅粉回收的技术领域，具体为一种氮化硅粉回收再利用的方法。
背景技术
氮化硅是一种硬度高、结构稳定、热膨胀系数小，抗氧化和抗侵蚀性能非常好的集优良热学和化学性能为一体的陶瓷材料。
铸造多晶硅生产流程中的第一道工序就是坩埚涂层的喷涂。坩埚涂层的制备方法很多，现在通常采用成本低廉的氮化硅涂层制备技术,它是在石英坩埚内壁上直接喷涂氮化硅涂层的，并将涂有氮化硅涂层的石英坩埚在1050摄氏度下进行烧结，形成结构更加致密的氮化硅层。但是在喷涂过程中会有大量的氮化硅粉末未喷涂到坩埚上，很多氮化硅粉末和杂质等会散落在空气中，既浪费材料增加成本又会对环境造成污染。因此需要对氮化硅粉回收再利用，现有的氮化硅粉回收再利用的方法，CN109179347A公开的一种氮化硅粉回收再利用的方法，具有以下问题：
1.缺乏对大颗粒的杂质的筛分步骤，容易影响后续的回收氮化硅的质量；
2.缺乏针对氮化硅粉回收的过程的一体化的具有综合功能的装置，不方便氮化硅回收。
发明内容
本发明提供一种氮化硅粉回收再利用的方法，用以解决上述背景技术提出的技术问题中至少一项。
为解决上述技术问题，本发明公开了一种氮化硅粉回收再利用的方法，包括：
步骤一：使用筛分机构筛除回收的氮化硅粉的杂质；
步骤二：在浸泡机构中使用酸液去除氮化硅粉杂质中的一氧化硅；
步骤三：使用收集机构将步骤二中留下的氮化硅集中收集。
优选的，所述步骤一-步骤三均基于利用装置执行，所述利用装置包括：筛分机构、浸泡机构、收集机构，所述浸泡机构设置在所述收集机构的上方，所述筛分机构设置在所述浸泡机构的上方。
优选的，所述筛分机构包括：筛板，筛板与筛分箱内壁连接。
优选的，所述筛分机构还包括清扫组件，所述清扫组件包括固定板、电机、转动丝杆、移动块、和清扫刷，所述固定板设置在所述筛分箱的一侧外壁上，所述电机设置在所述固定板的顶部，所述转动丝杆转动设置在所述筛分箱的两侧上，所述电机与所述转动丝杆传动连接，所述移动块与所述转动丝杆螺纹连接，移动块的底板连接清扫刷，且筛板位于清扫刷下方。
优选的，筛板侧壁设置延伸段，延伸段贯穿筛分箱侧壁，支持柱穿过所述延伸段，支持柱下端设置在所述筛分箱的底面上，缓冲弹簧二两端分别与筛板下端及筛分箱的底面连接；
所述筛分机构还包括震动组件，所述震动组件包括若干伸缩杆，若干所述伸缩杆水平间隔设置在所述筛分箱的底面上，所述延伸段水平设置在所述伸缩杆的顶部；
缓冲柱的顶部滑动设置在所述移动块底部，所述缓冲柱的底部连接在所述清扫刷的顶部，所述缓冲弹簧一套设在所述缓冲柱上，缓冲弹簧一两端分别与移动块及清扫刷连接。
优选的，还包括除杂组件，所述除杂组件包括风机、吸收管、排出管和集中槽，所述风机设置在所述筛分箱的底面上，所述吸收管的一端穿过所述筛分箱的内壁设置在所述筛板的上方，所述吸收管的另一端与所述风机的入口连通，所述排出管的两端分别与风机的出口和集中槽相通，所述集中槽固定设置在所述筛分箱的一侧。
优选的，所述浸泡机构包括浸泡箱，所述浸泡箱设置在所述筛分箱的底部，所述筛分箱下端与浸泡箱上端连通，反应组件设置在所述浸泡箱的内壁上，一个连接导管通过水泵一与所述酸储罐相连通，所述一个连接导管的一端穿过所述浸泡箱的内壁对准反应组件内部设置，所述储水罐固定设置在所述浸泡箱的一侧，另一个连接导管通过水泵二与所述储水罐相连通，集水罐设置在所述浸泡箱的底部，所述集水罐与所述反应组件通过管道一连接，所述集酸罐设置在所述浸泡箱的一侧，所述集酸罐与所述反应组件通过管道二连接，所述管道一和管道二上均设置有控制阀门。
优选的，所述反应组件包括反应槽，反应槽与浸泡箱内壁连接，反应槽底端设置排出口，排出口左右两侧分别设置封闭组件；
所述封闭组件包括活动底板，所述活动底板铰接在所述反应槽的底部的排出口，所述固定架固定设置在所述反应槽的底部，所述气杆的两端分别连接在所述固定架的一侧和所述活动底板的底面，所述过滤板固定设置在所述反应槽的底部。
优选的，收集机构包括传送带、刮板、氮化硅收集箱和过滤屉，所述传送带贯穿浸泡箱，且传送带设置在所述反应组件的正下方，多个所述刮板固定设置在所述传送带的外表面上，所述氮化硅收集箱设置在所述浸泡箱的一侧，所述过滤屉活动设置在所述氮化硅收集箱内，所述氮化硅收集箱与所述集水罐通过管道三连接。
本发明的有益效果为：
本发明通过将待回收的氮化硅粉落入筛分机构中，使用筛分机构1将其中一部分大体积杂质去除，将筛分过的剩余氮化硅落入浸泡机构再处理，因为在氮化硅与氧接触会产生一氧化硅，浸泡机构2的中酸液可融掉一氧化硅，剩下的为氮化硅颗粒。
且本发明将步骤1-步骤3所用的筛分机构、浸泡机构、收集机构集成到一个装置，便于执行本发明的步骤1-3。
本发明解决了背景技术提出的：现有的氮化硅粉回收再利用的方法，CN109179347A公开的一种氮化硅粉回收再利用的方法，具有的以下问题：
1.缺乏对大颗粒的杂质的筛分步骤，容易影响后续的回收氮化硅的质量；
2.缺乏针对氮化硅粉回收的过程的一体化的具有综合功能的装置，不方便氮化硅回收。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明的流程示意图；
图2为本发明的利用装置整体结构示意图；
图3为本发明的剖面结构示意图；
图4为图3中A部分的结构示意图；
图5为图3中B部分的结构示意图；
图中：1、筛分机构；11、清扫组件；111、筛分箱；112、固定板；113、电机；114、转动丝杆；115、移动块；116、缓冲柱；117、缓冲弹簧一；118、清扫刷；12、震动组件；121、伸缩杆；122、支持柱；123、筛板；124、缓冲弹簧二；125、缓冲弹簧三；13、除杂组件；131、风机；132、吸收管；133、排出管；134、集中槽；2、浸泡机构；21、浸泡箱；22、集料板；23、分料管；24、储酸罐；25、储水罐；26、连接导管；27、反应组件；271、反应槽；272、固定架；273、活动底板；274、气杆；275、过滤板；28、集水罐；29、集酸罐；3、收集机构；31、传送带；32、刮板；33、氮化硅收集箱；34、过滤屉。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本发明，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案以及技术特征可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提供如下实施例：
实施例1
本发明实施例提供了一种氮化硅粉回收再利用的方法，如图1-5所示，包括：
步骤一：使用筛分机构1筛除回收的氮化硅粉的杂质；
步骤二：在浸泡机构2中使用酸液（可为稀氢氟酸与硝酸混合形成的混酸，或氢氟酸与盐酸混合形成的混酸）去除氮化硅粉杂质中的一氧化硅；
步骤三：使用收集机构3将步骤二中留下的氮化硅集中收集。
优选的，所述步骤一-步骤三均基于利用装置执行，所述利用装置包括：筛分机构1、浸泡机构2、收集机构3，所述浸泡机构2设置在所述收集机构3的上方，所述筛分机构1设置在所述浸泡机构2的上方。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：本发明通过将待回收的氮化硅粉落入筛分机构1中，使用筛分机构1将其中一部分大体积杂质去除，将筛分过的剩余氮化硅落入浸泡机构2再处理，因为在氮化硅与氧接触会产生一氧化硅，浸泡机构2的中酸液可融掉一氧化硅，剩下的为氮化硅颗粒。
且本发明将步骤一-步骤三所用的筛分机构1、浸泡机构2、收集机构3集成到一个装置，便于执行本发明的步骤一-三。
本发明解决了背景技术提出的：现有的氮化硅粉回收再利用的方法，CN109179347A公开的一种氮化硅粉回收再利用的方法，具有的以下问题：
1.缺乏对大颗粒的杂质的筛分步骤，容易影响后续的回收氮化硅的质量；
2.缺乏针对氮化硅粉回收的过程的一体化的具有综合功能的装置，不方便氮化硅回收。
实施例2，在实施例1的基础上，如图1-5所示，
所述筛分机构1包括：筛板123，筛板123与筛分箱111内壁连接。
优选的，所述筛分机构1还包括清扫组件11，所述清扫组件11包括固定板112、电机113、转动丝杆114、移动块115、和清扫刷118，所述固定板112设置在所述筛分箱111的一侧外壁上，所述电机113设置在所述固定板112的顶部，所述转动丝杆114转动设置在所述筛分箱111的两侧上，所述电机113与所述转动丝杆114传动连接，所述移动块115与所述转动丝杆114螺纹连接，移动块115的底板连接清扫刷118，且筛板123位于清扫刷118下方。
优选的，筛板123侧壁设置延伸段，延伸段贯穿筛分箱111侧壁，支持柱122穿过所述延伸段，支持柱122下端设置在所述筛分箱111的底面上，缓冲弹簧二124两端分别与筛板123下端及筛分箱111的底面连接；优选的，筛板与筛分箱内壁之间也可设置缓冲弹簧三125。
所述筛分机构1还包括震动组件12，所述震动组件12包括若干伸缩杆121，若干所述伸缩杆121水平间隔设置在所述筛分箱111的底面上，所述延伸段水平设置在所述伸缩杆121的顶部；
缓冲柱116的顶部滑动设置在所述移动块115底部，所述缓冲柱116的底部连接在所述清扫刷118的顶部，所述缓冲弹簧一117套设在所述缓冲柱116上，缓冲弹簧一117两端分别与移动块115及清扫刷118连接。伸缩杆121可为电动伸缩杆；
上述技术方案的工作原理和有益效果为：电机113为转动丝杆114提供动力，转动丝杆114的转动通过螺纹带动移动块115做水平移动，移动块115带动清扫刷118水平移动，实现对筛板123上物料的摊铺，加快物料的筛分；
移动块115的底部和清扫刷118的顶部对缓冲柱116有限位的作用，缓冲弹簧一117对移动块115和清扫刷118之间有弹力的作用，通过缓冲弹簧一117可实现对清扫刷118进行缓冲。
震动组件12中伸缩杆121伸缩带动筛板123上下移动，从而实现筛板123的震动，加快筛分。
实施例3，在实施例2的基础上，如图1-5所示，
还包括除杂组件13，所述除杂组件13包括风机131、吸收管132、排出管133和集中槽134，所述风机131设置在所述筛分箱111的底面上，所述吸收管132的一端穿过所述筛分箱111的内壁设置在所述筛板123的上方，所述吸收管132的另一端与所述风机131的入口连通，所述排出管133的两端分别与风机131的出口和集中槽134相通，所述集中槽134固定设置在所述筛分箱111的一侧。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：风机131通过吸收管132对筛分箱111内部有吸力的作用，再通过排出管133排到集中槽134中，从而可将筛板123上的杂质进行吸附收集，实现了杂质的自动收集。
实施例4，在实施例1-3中任一项的基础上，如图1-5所示，
所述浸泡机构2包括浸泡箱21，所述浸泡箱21设置在所述筛分箱111的底部，所述筛分箱111下端与浸泡箱21上端连通，反应组件27设置在所述浸泡箱21的内壁上，一个连接导管26通过水泵一与所述酸储罐相连通，所述一个连接导管26的一端穿过所述浸泡箱21的内壁对准反应组件27内部设置，所述储水罐25固定设置在所述浸泡箱21的一侧，另一个连接导管26通过水泵二与所述储水罐25相连通，集水罐28设置在所述浸泡箱21的底部，所述集水罐28与所述反应组件27通过管道一连接，所述集酸罐29设置在所述浸泡箱21的一侧，所述集酸罐29与所述反应组件27通过管道二连接，所述管道一和管道二上均设置有控制阀门。优选的，所述集料板22设置在所述浸泡箱21的上部，所述分料管23固定设置在所述集料板22的底部，反应组件27位于分料管23下方。
优选的，所述反应组件27包括反应槽271，反应槽271与浸泡箱21内壁连接，反应槽271底端设置排出口，排出口左右两侧分别设置封闭组件；
所述封闭组件包括活动底板273，所述活动底板273铰接在所述反应槽271的底部的排出口，所述固定架272固定设置在所述反应槽271的底部，所述气杆274的两端分别连接在所述固定架272的一侧和所述活动底板273的底面，所述过滤板275固定设置在所述反应槽271的底部。
优选的，收集机构3包括传送带31、刮板32、氮化硅收集箱33和过滤屉34，所述传送带31贯穿浸泡箱21，且传送带31设置在所述反应槽271的正下方，多个所述刮板32固定设置在所述传送带31的外表面上，所述氮化硅收集箱33设置在所述浸泡箱21的一侧，所述过滤屉34活动设置在所述氮化硅收集箱33内，所述氮化硅收集箱33与所述集水罐28通过管道三连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为：
筛分箱111和浸泡箱21连通方便了物料（筛除大颗粒杂质的氮化硅）落入到浸泡箱21内的反应组件27内，连接导管26通过水泵一将酸储罐内的混酸注入到反应组件27内，将氮化硅置于混酸中在规定的时间内反应去除一氧化硅；反应完成后打开管道二上的控制阀门，将混酸流入集酸罐29中，流入完毕后关闭管道二上的控制阀门；然后打开水泵一，通过水泵一将储水罐25内的水注入到反应组件27内，将物料置于水中清洗掉物料表面的混酸，打开管道一上的控制阀门，将水流入集水罐28中，流入完毕后关闭关闭管道一上的控制阀门，实现了杂质的消除。
集料板22方便了氮化硅及杂质的下落，分料管23更进一步的方便了氮化硅的下落，减轻后续零件所受到的冲击；
氮化硅在反应槽271内反应和冲洗，之后从排出口排出进入下一步工序，封闭组件控住了氮化硅的排出时间及速度；
铰接的方式方便了活动底板273在反应槽271底部的转动，固定架272方便了气杆274的固定，气杆274的设置方便了对活动底板273转动的控制，过滤板275起到了过滤作用，对反应槽271内管道一和管道二进行了防堵塞保护，通过过滤板275过滤后的水进入管道一；
传送带31方便了清洗后的氮化硅的转运，刮板32的设置更进一步的方便了氮化硅的运出，氮化硅收集箱33对传输带上的氮化硅起到的承接作用，过滤屉34对承接到的氮化硅表面的水分起到了滤干的作用，且可将滤干后的氮化硅可以及时取出，滤出的水落入氮化硅收集箱33的底部，水通过管道三汇入集水罐28内，实现了氮化硅的收集和对处理液的集中。
实施例5，在实施例1-4中任一项的基础上，还包括：
第二检测装置，用于对筛板去除杂质后的氮化硅进行取样检测，将取样的氮化硅放入一定圆柱形容器内，获取取样的氮化硅的重量M，以及氮化硅体积V；
第一检测装置，用于获取反应槽271的下料速度；
流速检测装置，用于获取反应槽271中进入酸液的流速；
确定当前的反应状态系数，当反应状态系数不在对应的预设范围内，控制装置控制报警器报警；
其中，/>为预设的堆积的氮化硅的孔隙比，e为自然常数，S为与储酸罐连接的连接导管26出水口的面积，/>为流速检测装置检测值，/>为第一检测装置检测值（单位为kg/S)，/>为预设酸液与氮化硅反应的理论体积比（即与当前酸液相适应的，反应效率比较好的酸液与氮化硅体积的比），/>为酸液的扩散系数，R为与储酸罐连接的连接导管26出水口的半径。
上述技术方案的有益效果为：通过第二检测装置用于获取实际的含有氧化硅杂质的氮化硅的材料状态，然后实时获取反应槽271的下料速度、反应槽271中进入酸液的流速，基于含有氧化硅杂质的氮化硅的材料状态、反应槽271的下料速度、反应槽271中进入酸液的流速确定当前的反应状态，且考虑反应状态时考虑反应物的自身状态（酸液与氮化硅反应的理论体积比、以及酸液的扩散系数），使得反应状态更加可靠，当反应状态异常时，及时报警，体现操作者调整酸液或封闭组件的工作参数，保证了反应效果。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (2)
1.一种氮化硅粉回收再利用的方法，其特征在于：包括：
步骤一：使用筛分机构（1）筛除回收的氮化硅粉的杂质；
步骤二：在浸泡机构（2）中使用酸液去除氮化硅粉杂质中的一氧化硅；
步骤三：使用收集机构（3）将步骤二中留下的氮化硅集中收集；
所述步骤一-步骤三均基于利用装置执行，所述利用装置包括：筛分机构（1）、浸泡机构（2）、收集机构（3），所述浸泡机构（2）设置在所述收集机构（3）的上方，所述筛分机构（1）设置在所述浸泡机构（2）的上方；
所述筛分机构（1）包括：筛板（123），筛板（123）与筛分箱（111）内壁连接；
所述筛分机构（1）还包括清扫组件（11），所述清扫组件（11）包括固定板（112）、电机（113）、转动丝杆（114）、移动块（115）、和清扫刷（118），所述固定板（112）设置在所述筛分箱（111）的一侧外壁上，所述电机（113）设置在所述固定板（112）的顶部，所述转动丝杆（114）转动设置在所述筛分箱（111）的两侧上，所述电机（113）与所述转动丝杆（114）传动连接，所述移动块（115）与所述转动丝杆（114）螺纹连接，移动块（115）的底板连接清扫刷（118），且筛板（123）位于清扫刷（118）下方；
筛板（123）侧壁设置延伸段，延伸段贯穿筛分箱（111）侧壁，支持柱（122）穿过所述延伸段，支持柱（122）下端设置在所述筛分箱（111）的底面上，缓冲弹簧二（124）两端分别与筛板（123）下端及筛分箱（111）的底面连接；
所述筛分机构（1）还包括震动组件（12），所述震动组件（12）包括若干伸缩杆（121），若干所述伸缩杆（121）水平间隔设置在所述筛分箱（111）的底面上，所述延伸段水平设置在所述伸缩杆（121）的顶部；
缓冲柱（116）的顶部滑动设置在所述移动块（115）底部，所述缓冲柱（116）的底部连接在所述清扫刷（118）的顶部，所述缓冲弹簧一（117）套设在所述缓冲柱（116）上，缓冲弹簧一（117）两端分别与移动块（115）及清扫刷（118）连接；
所述浸泡机构（2）包括浸泡箱（21），所述浸泡箱（21）设置在所述筛分箱（111）的底部，所述筛分箱（111）下端与浸泡箱（21）上端连通，反应组件（27）设置在所述浸泡箱（21）的内壁上，一个连接导管（26）通过水泵一与酸储罐相连通，所述一个连接导管（26）的一端穿过所述浸泡箱（21）的内壁对准反应组件（27）内部设置，储水罐（25）固定设置在所述浸泡箱（21）的一侧，另一个连接导管（26）通过水泵二与所述储水罐（25）相连通，集水罐（28）设置在所述浸泡箱（21）的底部，所述集水罐（28）与所述反应组件（27）通过管道一连接，集酸罐（29）设置在所述浸泡箱（21）的一侧，集酸罐（29）与所述反应组件（27）通过管道二连接，所述管道一和管道二上均设置有控制阀门；
所述反应组件（27）包括反应槽（271），反应槽（271）与浸泡箱（21）内壁连接，反应槽（271）底端设置排出口，排出口左右两侧分别设置封闭组件；
所述封闭组件包括活动底板（273），所述活动底板（273）铰接在所述反应槽（271）的底部的排出口，所述固定架（272）固定设置在所述反应槽（271）的底部，气杆（274）的两端分别连接在所述固定架（272）的一侧和所述活动底板（273）的底面，过滤板（275）固定设置在所述反应槽（271）的底部；
利用装置还包括：
第二检测装置，用于对筛板去除杂质后的氮化硅进行取样检测，将取样的氮化硅放入一定圆柱形容器内，获取取样的氮化硅的重量M，以及氮化硅体积V；
第一检测装置，用于获取反应槽（271）的下料速度；
流速检测装置，用于获取反应槽（271）中进入酸液的流速；
确定当前的反应状态系数，当反应状态系数不在对应的预设范围内，控制装置控制报警器报警；
其中，/>为预设的堆积的氮化硅的孔隙比，e为自然常数，S为与储酸罐连接的连接导管26出水口的面积，/>为流速检测装置检测值，/>为第一检测装置检测值，/>为预设酸液与氮化硅反应的理论体积比，/>为酸液的扩散系数，R为与储酸罐连接的连接导管（26）出水口的半径；
收集机构（3）包括传送带（31）、刮板（32）、氮化硅收集箱（33）和过滤屉（34），所述传送带（31）贯穿浸泡箱（21），且传送带（31）设置在所述反应组件（27）的正下方，多个所述刮板（32）固定设置在所述传送带（31）的外表面上，所述氮化硅收集箱（33）设置在所述浸泡箱（21）的一侧，所述过滤屉（34）活动设置在所述氮化硅收集箱（33）内，所述氮化硅收集箱（33）与所述集水罐（28）通过管道三连接。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅粉回收再利用的方法，其特征在于：还包括除杂组件（13），所述除杂组件（13）包括风机（131）、吸收管（132）、排出管（133）和集中槽（134），所述风机（131）设置在所述筛分箱（111）的底面上，所述吸收管（132）的一端穿过所述筛分箱（111）的内壁设置在所述筛板（123）的上方，所述吸收管（132）的另一端与所述风机（131）的入口连通，所述排出管（133）的两端分别与风机（131）的出口和集中槽（134）相通，所述集中槽（134）固定设置在所述筛分箱（111）的一侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116495709A CN116495709A (zh) | 2023-07-28 |
| CN116495709B true CN116495709B (zh) | 2024-02-09 |
Family
ID=87322804
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202310511395.0A Active CN116495709B (zh) | 2023-05-08 | 2023-05-08 | 一种氮化硅粉回收再利用的方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN116495709B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0925112A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 金属ケイ素の処理方法及び装置 |
| CN102485646A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-06-06 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 | 氮化硅的回收方法 |
| CN109179347A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-11 | 镇江环太硅科技有限公司 | 一种氮化硅粉回收再利用的方法 |
| CN109607497A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-04-12 | 天津市瓦克新能源科技有限公司 | 一种高纯氮化硅的回收方法 |
| CN114180541A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-03-15 | 南京工业大学东海先进硅基材料研究院 | 一种废弃氮化硅回收提纯的方法 |
| CN216705280U (zh) * | 2021-12-27 | 2022-06-10 | 青州宇信陶瓷材料有限公司 | 碳化硅微粉酸洗设备 |
| JP2022135240A (ja) * | 2021-03-05 | 2022-09-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 窒化珪素粉末及びその製造方法並びにこれを用いたアンダーフィル材用組成物 |
| CN115350907A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-11-18 | 衡阳凯新特种材料科技有限公司 | 一种具有防堵塞功能的粉末筛分装置 |
-
2023
- 2023-05-08 CN CN202310511395.0A patent/CN116495709B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0925112A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 金属ケイ素の処理方法及び装置 |
| CN102485646A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-06-06 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 | 氮化硅的回收方法 |
| CN109179347A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-11 | 镇江环太硅科技有限公司 | 一种氮化硅粉回收再利用的方法 |
| CN109607497A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-04-12 | 天津市瓦克新能源科技有限公司 | 一种高纯氮化硅的回收方法 |
| JP2022135240A (ja) * | 2021-03-05 | 2022-09-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 窒化珪素粉末及びその製造方法並びにこれを用いたアンダーフィル材用組成物 |
| CN114180541A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-03-15 | 南京工业大学东海先进硅基材料研究院 | 一种废弃氮化硅回收提纯的方法 |
| CN216705280U (zh) * | 2021-12-27 | 2022-06-10 | 青州宇信陶瓷材料有限公司 | 碳化硅微粉酸洗设备 |
| CN115350907A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-11-18 | 衡阳凯新特种材料科技有限公司 | 一种具有防堵塞功能的粉末筛分装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究;刘志凯;戴斌煜;张伟;商景利;;特种铸造及有色合金(第02期);全文 * |
Also Published As
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| CN116495709A (zh) | 2023-07-28 |
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