CN116399287B - 一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，涉及平面度检测技术领域。包括有支撑板，支撑板固接有安装板，安装板固接有支撑架，支撑架安装有电动推杆，电动推杆的伸缩端转动连接有第一检测盘，安装板设置有第二检测盘，第一检测盘与第二检测盘均滑动连接有周向分布的第一检测杆，第二检测盘固接有支撑杆，支撑杆固接有安装盘，安装盘固接有固定环，固定环与第一检测盘均固接有齿圈，支撑板安装有伺服电机，安装板转动连接有转动轴，转动轴固接有对称分布的第一齿轮。本发明通过第一检测盘和第二检测盘同时靠近碳化硅均温板，使第一检测杆同时对碳化硅均温板的上下表面进行平面度检测。

Description

一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置

技术领域

本发明涉及平面度检测技术领域，尤其涉及一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置。

背景技术

平面度检测是工业制造中非常重要的一项质量控制工作，它用于检测制造件的平面度是否符合设计要求。在碳化硅均温板使用之前，需要对其平面度进行检测，从而保证碳化硅均温板的质量和可靠性。

现有的机械检测方法需要一面检测完毕之后再检测其他面，检测效率过低，而且存在碳化硅均温板部分区域漏检的情况，导致对碳化硅均温板的检测不到位，从而影响碳化硅均温板的使用寿命。

发明内容

为了克服上述背景技术中提到的缺点，本发明提供了一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置。

技术方案：一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，包括有支撑板，支撑板固接有安装板，安装板固接有周向等距阵列的支撑架，周向等距阵列的支撑架之间安装有电动推杆，电动推杆的伸缩端转动连接有第一检测盘，安装板设置有第二检测盘，第一检测盘与第二检测盘均滑动连接有周向分布的第一检测杆，第一检测盘与第二检测盘的内部均安装有压力检测器，第一检测杆与相邻的压力检测器之间固接有弹簧，第二检测盘固接有支撑杆，支撑杆固接有安装盘，安装盘固接有固定环，固定环与第一检测盘均固接有齿圈，支撑板安装有伺服电机，安装板转动连接有转动轴，伺服电机的输出轴与转动轴固接，转动轴固接有对称分布的第一齿轮，第一齿轮与相邻的齿圈啮合，安装板设置有用于定心和夹紧碳化硅均温板的固定组件，通过第一检测盘上的第一检测杆检测碳化硅均温板上侧的平面度，第二检测盘上的第一检测杆检测碳化硅均温板下侧的平面度，对碳化硅均温板的上下侧同时检测。

作为更进一步的优选方案，上方的第一检测杆与第一检测盘圆心的距离均不相等，下方的第一检测杆与第二检测盘圆心的距离均不相等。

作为更进一步的优选方案，安装板安装有风机，用于对碳化硅均温板的表面进行清理。

作为更进一步的优选方案，固定组件包括有第一活动板，第一活动板固接于电动推杆的伸缩端，第一活动板滑动连接有周向等距分布的第二活动板，第二活动板设置有通孔，通孔设置有斜面，第二活动板固接有限位滑块，支撑架设置有与相邻的限位滑块限位配合的限位槽，安装板滑动连接有导向杆，导向杆与安装板之间固接有拉簧，导向杆固接有夹具，夹具固接有活动杆，活动杆与通孔的斜面限位配合。

作为更进一步的优选方案，夹具为弹性夹爪，用于适应直径不同的碳化硅均温板。

作为更进一步的优选方案，第二活动板滑动连接有第一齿条，第一齿条贯穿安装板并与其滑动连接，安装板转动连接有周向等距分布的第二齿轮，第二齿轮与相邻的第一齿条啮合，安装板滑动连接有周向等距阵列的限位杆，限位杆靠近安装盘圆心的一侧设置有斜面，限位杆固接有与相邻第二齿轮啮合的第二齿条，限位杆固接有固定架，固定架固接有第一限位块，支撑杆滑动连接有活动盘，活动盘与限位杆的斜面限位配合，活动盘固接有周向等距阵列的顶杆，顶杆贯穿第二检测盘。

作为更进一步的优选方案，固定环设置有圆台形的斜面，圆台形斜面与第一限位块限位配合。

作为更进一步的优选方案，限位槽由第一滑槽和第二滑槽组成，第二滑槽从上往下向远离第二检测盘的方向倾斜，固定架固接有第二限位块，第二限位块与固定环的圆台形斜面限位配合，夹具滑动连接有等距分布的第二检测杆，夹具的内部固接有压力检测器，第二检测杆与相邻的压力检测器之间固接有弹簧。

作为更进一步的优选方案，第一检测杆与第二检测杆均球接有球形块，用于防止检测时对碳化硅均温板造成磨损。

作为更进一步的优选方案，第二检测杆均不处于同一水平面，用于增加检测密度。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明通过电动推杆带动第一检测盘向下移动，第一检测盘上的第一检测杆对碳化硅均温板的上表面进行平面度检测，第二检测盘上的第一检测杆对碳化硅均温板的下表面进行平面度检测，使碳化硅均温板的上下表面被同时检测，提高对碳化硅均温板的检测效率；通过周向等距分布的夹爪对碳化硅均温板进行定心和夹紧，同时夹爪上的第二检测杆对碳化硅均温板的弧形面进行平面度检测；通过将第一检测杆设置于同圆心的不同位置，使第一检测杆距离圆心的位置不同，使第一检测杆对碳化硅均温板的上下表面的平面度检测全面；通过不同的高度第二检测杆对碳化硅均温板的弧形面进行检测，增大第二检测杆对碳化硅均温板弧形面的检测密度，保证对碳化硅均温板弧形面的检测全面性。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图。

图2为本发明安装板和支撑架等零件的位置关系图。

图3为本发明支撑架和夹具等零件的位置关系图。

图4为本发明活动杆和夹爪等零件的立体结构示意图。

图5为本发明限位杆和固定架等零件的立体结构示意图。

图6为本发明活动盘和顶杆等零件的立体结构示意图。

图7为本发明第二检测盘和第一检测杆等零件的立体结构示意图。

图8为本发明第一活动板和第二活动板等零件的位置关系图。

图9为本发明第二检测杆和夹爪等零件的位置关系图。

其中，上述附图包括以下附图标记：101、支撑板，102、安装板，103、支撑架，104、电动推杆，105、第一检测盘，106、第二检测盘，107、第一检测杆，108、支撑杆，109、安装盘，1091、固定环，110、齿圈，111、伺服电机，112、转动轴，113、第一齿轮，114、风机，201、第一活动板，202、第二活动板，2021、通孔，203、限位滑块，204、限位槽，205、导向杆，206、夹具，207、活动杆，208、第一齿条，209、第二齿轮，210、限位杆，211、第二齿条，212、固定架，213、第一限位块，214、活动盘，215、顶杆，301、第一滑槽，302、第二滑槽，303、第二限位块，304、第二检测杆。

具体实施方式

尽管可关于特定应用或行业来描述本发明，但是本领域的技术人员将会认识到本发明的更广阔的适用性。本领域的普通技术人员将会认识到诸如：在向上、向下等之类的术语是用于描述附图，而非表示对由所附权利要求限定的本发明范围的限制。诸如：第一或第二之类的任何数字标号仅为例示性的，而并非旨在以任何方式限制本发明的范围。

实施例1：一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，如图1、图2和图5-图7所示，包括有支撑板101，支撑板101的上侧面固接有安装板102，安装板102固接有周向等距阵列的三个支撑架103，周向等距阵列的三个支撑架103之间安装有电动推杆104，电动推杆104的伸缩端朝下，电动推杆104的伸缩端转动连接有第一检测盘105，安装板102设置有第二检测盘106，第一检测盘105与第二检测盘106均滑动连接有周向分布的第一检测杆107，一排第一检测杆107为一组，第一检测盘105与第二检测盘106均设置有两组第一检测杆107，第一检测盘105与第二检测盘106的内部均安装有压力检测器，压力检测器用于检测压力的变化情况，第一检测杆107与相邻的压力检测器之间固接有用于复位第一检测杆107的弹簧，碳化硅均温板的重力大于第二检测盘106上弹簧的弹力之和，碳化硅均温板能将第二检测盘106上所有的第一检测杆107压入第二检测盘106中，上方的第一检测杆107与第一检测盘105圆心的距离均不相等，下方的第一检测杆107与第二检测盘106圆心的距离均不相等，用于增加检测密度，提高检测的全面性，第二检测盘106的下侧面固接有支撑杆108，支撑杆108的下端固接有安装盘109，安装盘109的下侧面固接有固定环1091，固定环1091与第一检测盘105均固接有齿圈110，支撑板101的上侧面安装有伺服电机111，安装板102转动连接有转动轴112，伺服电机111的输出轴与转动轴112固接，转动轴112固接有对称分布的两个第一齿轮113，第一齿轮113与相邻的齿圈110啮合，安装板102安装有风机114，风机114的风同时吹到碳化硅均温板的上下表面，用于对碳化硅均温板的表面进行清理，防止灰尘和杂质影响碳化硅均温板的平面度，安装板102设置有用于定心和夹紧碳化硅均温板的固定组件，通过第一检测盘105上的第一检测杆107检测碳化硅均温板上侧面的平面度，第二检测盘106上的第一检测杆107检测碳化硅均温板下侧面的平面度，同时检测碳化硅均温板的上下表面，提高检测的效率。

如图2-图5所示，固定组件包括有第一活动板201，第一活动板201固接于电动推杆104的伸缩端，第一活动板201位于第一检测盘105的上方，第一活动板201滑动连接有周向等距分布的三个第二活动板202，三个第二活动板202均设置有通孔2021，通孔2021设置有斜面，第二活动板202固接有限位滑块203，周向等距分布的三个支撑架103内侧设置有与相邻的限位滑块203限位配合的限位槽204，安装板102滑动连接有周向等距分布的三个导向杆205，导向杆205与安装板102之间固接有用于复位导向杆205的拉簧，周向等距分布的三个导向杆205的内端固接有夹具206，夹具206为弹性夹爪，用于适应直径不同的碳化硅均温板，夹具206固接有活动杆207，活动杆207的上端设置有斜面，活动杆207的斜面与通孔2021的斜面限位配合，周向等距分布的三个夹具206对碳化硅均温板进行定心和夹紧，防止碳化硅均温板在检测的过程中晃动，从而造成检测不精确。

如图3-图6所示，第二活动板202的下侧面滑动连接有第一齿条208，第一齿条208贯穿安装板102并与其滑动连接，安装板102的下侧面通过连接块转动连接有周向等距分布的三个第二齿轮209，第二齿轮209与相邻的第一齿条208啮合，安装板102的下侧面滑动连接有周向等距阵列的三个限位杆210，限位杆210靠近安装盘109圆心的一侧设置有朝上的斜面，限位杆210靠近相邻第二齿轮209的一侧固接有与相邻第二齿轮209啮合的第二齿条211，限位杆210的下侧面固接有固定架212，固定架212为L形，固定架212位于固定环1091与支撑板101之间，固定架212靠近安装盘109圆心的一侧固接有第一限位块213，第一限位块213设置有斜面，支撑杆108滑动连接有活动盘214，活动盘214与限位杆210的斜面限位配合，活动盘214固接有周向等距阵列的四个顶杆215，顶杆215贯穿第二检测盘106，顶杆215在初始位置时，其上侧面高于相邻第一检测杆107的最高点，固定环1091设置有圆台形的斜面，圆台形斜面与第一限位块213限位配合，四个顶杆215将碳化硅均温板托起，防止碳化硅均温板卡在第一检测杆107之间，导致碳化硅均温板无法被定心和固定。

当使用本装置对碳化硅均温板的平面度进行检测时，操作人员将碳化硅均温板放置在周向等距分布的四个顶杆215上端面，随后操作人员开启风机114，风机114将碳化硅均温板表面的灰尘和杂质吹走，防止灰尘和杂质影响碳化硅均温板的平面度，操作人员开启电动推杆104，电动推杆104的伸缩端带动第一检测盘105和第一活动板201向下移动，第一活动板201带动周向等距分布的三个第二活动板202向下移动，通孔2021与相邻的活动杆207接触，并挤压周向等距分布的三个活动杆207向第二检测盘106的轴线靠拢，第二检测杆304与碳化硅均温板的圆弧面接触，随着第二活动板202继续向下移动，第二检测杆304与相邻的夹具206之间的弹簧被压缩，当夹具206与碳化硅均温板的圆弧面完全接触时，活动杆207与相邻通孔2021的斜面失去接触，周向等距分布的三个夹具206对碳化硅均温板进行固定，活动杆207停止移动。

由于顶杆215的上表面高于第二检测盘106上第一检测杆107的最高点，所以第二检测盘106上的第一检测杆107无法与碳化硅均温板接触，从而使第一检测杆107无法监测碳化硅均温板下表面的平面度，所以在第一活动板201带动周向等距分布的三个第二活动板202向下移动的过程中，第二活动板202带动相邻的第一齿条208向下移动，第一齿条208通过相邻的第二齿轮209带动相邻的限位杆210远离第二检测盘106的轴线，限位杆210的上表面与活动盘214的下表面接触时，活动盘214和顶杆215的高度不变，从而使碳化硅均温板的高度不变，当夹具206与碳化硅均温板的弧形面贴合时，碳化硅均温板被夹具206固定，此时限位杆210的上表面与活动盘214的下表面失去接触，限位杆210的斜面开始与活动盘214接触，从而使活动盘214带动周向等距分布的四个顶杆215向下移动，顶杆215与碳化硅均温板的下表面失去接触，当顶杆215的上侧面与第二检测盘106的上侧面处于同一平面时，顶杆215被第二检测盘106卡住，活动盘214无法继续向下移动，活动盘214与限位杆210的斜面失去接触，活动盘214与安装盘109之间存在空隙，方便限位杆210复位。

顶杆215脱离碳化硅均温板的下表面后，第二检测盘106上的第一检测杆107需要接触碳化硅均温板才能进行检测，所以在限位杆210远离第二检测盘106轴线的过程中，周向等距分布的三个限位杆210带动相邻的固定架212向外移动，周向等距分布的三个第一限位块213靠近固定环1091的圆台形斜面，当顶杆215的上侧面与第二检测盘106的上侧面处于同一平面时，第一限位块213与固定环1091的圆台形斜面接触，随着三个限位杆210带动相邻的固定架212继续向外移动，第一限位块213挤压固定环1091的圆台形斜面，使固定环1091带动安装盘109向上移动，安装盘109通过支撑杆108带动第二检测盘106和其上的第一检测杆107向上移动，第二检测盘106上的第一检测杆107靠近碳化硅均温板的下表面，当第二检测盘106上的第一检测杆107与碳化硅均温板的下表面接触时，第一检测盘105上的第一检测杆107与碳化硅均温板的上表面接触，第一检测杆107与相邻压力检测器之间的弹簧被压缩，压力检测器检测到不同位置受到的力，并将受力情况反馈成曲线，电动推杆104的伸缩端停止移动。

操作人员开启伺服电机111，开始对碳化硅均温板的上下表面同时进行平面度检测，伺服电机111的输出轴带动转动轴112转动，转动轴112带动对称分布的两个第一齿轮113转动，第一齿轮113与相邻的齿圈110啮合，使第一检测盘105和第二检测盘106开始转动，第一检测盘105和第二检测盘106转动的过程中，碳化硅均温板始终与相邻的第一检测杆107贴合，第一检测杆107绕碳化硅均温板的圆心在不同的轨道上移动，对碳化硅均温板上下表面的不同位置进行检测，保证检测的全面性，当第一检测杆107没有遇到碳化硅均温板上下表面存在的凹陷或凸起时，压力检测器反馈的曲线为一条直线，当第一检测杆107接触到碳化硅均温板上下表面存在的小凸起或凹坑时，第一检测杆107在弹簧作用下快速弹动，从而使第一检测杆107与压力检测器之间的弹簧压缩量发生快速变化，压力检测器检测到压力发生快速变化时，压力检测器反馈的曲线出现折线，当碳化硅均温板的上下表面存在部分区域向外凸出或向内凹陷时，压力检测器反馈的曲线出现弧度。

当伺服电机111的输出轴带动转动轴112转动一周时，伺服电机111关闭，第一检测杆107完成对碳化硅均温板上下表面的平面度检测，第一检测盘105和第二检测盘106不再转动，第一检测杆107和压力检测器配合，将碳化硅均温板的上下表面的平面度数据进行记录，操作人员控制电动推杆104的伸缩端复位，操作人员取走碳化硅均温板，并对压力检测器反馈的应力曲线进行分析。

实施例2：在实施例1的基础之上，如图5、图8和图9所示，限位槽204由第一滑槽301和第二滑槽302组成，第一滑槽301竖直分布，周向等距分布的三个第二滑槽302从上往下向外倾斜，固定架212固接有第二限位块303，第二限位块303设置有斜面，第二限位块303的斜面与固定环1091的圆台形斜面限位配合，夹具206滑动连接有上下等距分布的第二检测杆304，夹具206的内部固接有压力检测器，第二检测杆304和相邻的压力检测器配合，对圆柱形碳化硅均温板的弧形面进行平面度检测，第二检测杆304与相邻的压力检测器之间固接有用于复位第二检测杆304的弹簧，第一检测杆107与第二检测杆304均球接有球形块，用于防止检测碳化硅均温板弧形面的过程中对碳化硅均温板造成磨损，导致碳化硅均温板的质量不过关，第二检测杆304均不处于同一水平面，第二检测杆304互相错位，用于增加检测密度，防止碳化硅均温板的部分区域漏检，导致碳化硅均温板检测不合格，影响碳化硅均温板的性能。

电动推杆104的伸缩端带动第一活动板201和第二活动板202向下移动的过程中，限位滑块203沿着第一滑槽301向下移动，当第一检测杆107与碳化硅均温板接触时，限位滑块203位于第一滑槽301的最下端，碳化硅均温板上下表面的平面度检测完成后，还需要对圆柱形碳化硅均温板的圆弧面进行平面度检测，操作人员控制电动推杆104的伸缩端继续带动第一活动板201和第二活动板202向下移动，第二活动板202带动相邻的第一齿条208向下移动，从而使相邻的限位杆210带动相邻的固定架212远离碳化硅均温板的轴线，从而使周向等距分布的三个第二限位块303靠近固定环1091的圆台形斜面，第二限位块303挤压固定环1091的圆台形斜面，使固定环1091通过安装盘109和支撑杆108带动第二检测盘106向上移动，第二检测盘106与第一检测盘105对向移动，从而使第二检测盘106上的第一检测杆107缩进第二检测盘106中，第一检测盘105上的第一检测杆107逐渐缩进第一检测盘105中，当第二检测盘106与碳化硅均温板的下表面接触时，第二限位块303的上表面与固定环1091的下端面接触，第二限位块303与固定环1091的圆台形斜面失去接触，第一检测盘105与碳化硅均温板的上表面未接触，第一检测盘105上的第一检测杆107未完全缩进第一检测盘105中，第二检测盘106不再向上移动。

在对碳化硅均温板的圆弧面进行检测时，需要第一检测盘105和第二检测盘106上下夹紧碳化硅均温板，使碳化硅均温板被固定，并使夹具206远离碳化硅均温板的弧形面，通过其上的第二检测杆304检测碳化硅均温板弧形面的平面度，具体操作如下，当第二检测盘106不再向上移动时，限位滑块203进入到第二滑槽302中，并沿着第二滑槽302斜向下滑动，第一检测盘105继续向下移动，周向等距分布的三个限位滑块203带动第二活动板202远离第一活动板201，第二活动板202带动相邻的活动杆207远离碳化硅均温板，使夹具206与碳化硅均温板失去接触，第二检测杆304从夹具206中探出，当限位滑块203到达第二滑槽302的末端时，限位滑块203停止移动，从而使第二活动板202和夹具206停止移动，此时第二检测杆304与相邻的压力检测器之间的弹簧处于压缩状态，第一检测盘105与碳化硅均温板的上表面接触，第一检测盘105和第二检测盘106将碳化硅均温板夹紧，随后操作人员开启伺服电机111，伺服电机111的输出轴通过第一齿轮113带动相邻的齿圈110转动，从而使第一检测盘105和第二检测盘106带动碳化硅均温板转动。

第一检测盘105和第二检测盘106带动碳化硅均温板转动的过程中，第二检测杆304和压力检测器配合对碳化硅均温板的圆弧面的平面度进行检测，不同高度的第二检测杆304使检测密度增大，保证第二检测杆304对碳化硅均温板弧形面全面检测，当第二检测杆304遇到凹陷或者凸起时，第二检测杆304伸缩，从而使第二检测杆304与压力检测器之间的弹簧压缩量改变，压力检测器检测到压力发生变化，压力检测器将碳化硅均温板弧形面的平面度反馈成应力曲线，当伺服电机111的输出轴转动一周后，第二检测杆304完成对碳化硅均温板弧形面的平面度检测，伺服电机111停止转动，操作人员控制电动推杆104的伸缩端复位，操作人员取走碳化硅均温板，并对应力曲线进行分析，检验碳化硅均温板弧形面的平面度。

上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本发明的，熟悉本领域的人员可在不脱离本发明的发明思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本发明的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。

Claims (7)

1.一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，其特征是，包括有支撑板（101），支撑板（101）固接有安装板（102），安装板（102）固接有周向等距阵列的支撑架（103），周向等距阵列的支撑架（103）之间安装有电动推杆（104），电动推杆（104）的伸缩端转动连接有第一检测盘（105），安装板（102）设置有第二检测盘（106），第一检测盘（105）与第二检测盘（106）均滑动连接有周向分布的第一检测杆（107），第一检测盘（105）与第二检测盘（106）的内部均安装有压力检测器，第一检测杆（107）与相邻的压力检测器之间固接有弹簧，第二检测盘（106）固接有支撑杆（108），支撑杆（108）固接有安装盘（109），安装盘（109）固接有固定环（1091），固定环（1091）与第一检测盘（105）均固接有齿圈（110），支撑板（101）安装有伺服电机（111），安装板（102）转动连接有转动轴（112），伺服电机（111）的输出轴与转动轴（112）固接，转动轴（112）固接有对称分布的第一齿轮（113），第一齿轮（113）与相邻的齿圈（110）啮合，安装板（102）设置有用于定心和夹紧碳化硅均温板的固定组件，通过第一检测盘（105）上的第一检测杆（107）检测碳化硅均温板上侧的平面度，第二检测盘（106）上的第一检测杆（107）检测碳化硅均温板下侧的平面度，对碳化硅均温板的上下侧同时检测；固定组件包括有第一活动板（201），第一活动板（201）固接于电动推杆（104）的伸缩端，第一活动板（201）滑动连接有周向等距分布的第二活动板（202），第二活动板（202）设置有通孔（2021），通孔（2021）设置有斜面，第二活动板（202）固接有限位滑块（203），支撑架（103）设置有与相邻的限位滑块（203）限位配合的限位槽（204），安装板（102）滑动连接有导向杆（205），导向杆（205）与安装板（102）之间固接有拉簧，导向杆（205）固接有夹具（206），夹具（206）固接有活动杆（207），活动杆（207）与通孔（2021）的斜面限位配合；第二活动板（202）滑动连接有第一齿条（208），第一齿条（208）贯穿安装板（102）并与其滑动连接，安装板（102）转动连接有周向等距分布的第二齿轮（209），第二齿轮（209）与相邻的第一齿条（208）啮合，安装板（102）滑动连接有周向等距阵列的限位杆（210），限位杆（210）靠近安装盘（109）圆心的一侧设置有斜面，限位杆（210）固接有与相邻第二齿轮（209）啮合的第二齿条（211），限位杆（210）固接有固定架（212），固定架（212）固接有第一限位块（213），支撑杆（108）滑动连接有活动盘（214），活动盘（214）与限位杆（210）的斜面限位配合，活动盘（214）固接有周向等距阵列的顶杆（215），顶杆（215）贯穿第二检测盘（106）；限位槽（204）由第一滑槽（301）和第二滑槽（302）组成，第二滑槽（302）从上往下向远离第二检测盘（106）的方向倾斜，固定架（212）固接有第二限位块（303），第二限位块（303）与固定环（1091）的圆台形斜面限位配合，夹具（206）滑动连接有等距分布的第二检测杆（304），夹具（206）的内部固接有压力检测器，第二检测杆（304）与相邻的压力检测器之间固接有弹簧。

2.按照权利要求1所述的一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，其特征是，上方的第一检测杆（107）与第一检测盘（105）圆心的距离均不相等，下方的第一检测杆（107）与第二检测盘（106）圆心的距离均不相等。

3.按照权利要求1所述的一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，其特征是，安装板（102）安装有风机（114）。

4.按照权利要求1所述的一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，其特征是，夹具（206）为弹性夹爪。

5.按照权利要求1所述的一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，其特征是，固定环（1091）设置有圆台形的斜面，圆台形斜面与第一限位块（213）限位配合。

6.按照权利要求1所述的一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，其特征是，第一检测杆（107）与第二检测杆（304）均球接有球形块。

7.按照权利要求6所述的一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，其特征是，第二检测杆（304）均不处于同一水平面。