CN116397206B - 可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统，可拆卸连接装置包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内；第二滑动组件，设置在连接主体上，与第一滑动组件滑动配合，用于使连接主体进入或退出容纳腔。

Description

可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统

技术领域

本公开涉及机械连接装置领域，特别涉及一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统。

背景技术

机械连接装置，尤其是可拆卸连接装置，广泛应用于生产、生活的各个领域，例如真空领域。真空系统，尤其是超高真空系统(例如，分子束外延系统)，是进行真空实验和生产中的重要基础，一般由真空腔、真空泵等部件通过真空管道的连接，按照需求组合形成整体系统，从而保证样品在实验过程或生产过程中一直处于真空环境下，以防止样品在大气环境中出现损坏。

在传统技术中，待处理的样品通过真空管道内的机械手逐个转移至固定在真空腔中的样品架上，这种方式转移样品效率低、容易发生掉样，且样品架无法取出，维护修理不便，缩短设备使用寿命，提高生产成本。

发明内容

本公开提供了一种可拆卸连接装置，其特征在于，包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内；第二滑动组件，设置在连接主体上，与第一滑动组件滑动配合，用于使连接主体进入或退出容纳腔。

本公开提供了一种样品架，其特征在于，包括：如本公开中任意一项实施例的可拆卸连接装置；架体，与可拆卸连接装置的连接组件固定连接，用于承载样品。

本公开提供了一种真空进样系统，其特征在于，包括：真空腔；如本公开中任意一项实施例的样品架，样品架至少部分设置在真空腔内。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出根据本公开一些实施例的可拆卸连接装置的结构示意图；

图2示出根据本公开一些实施例的框架组件的结构示意图；

图3示出根据本公开一些实施例的框架组件的仰视图；

图4示出根据本公开一些实施例的连接组件的结构示意图；

图5示出根据本公开一些实施例的锁钩与锁定结构的配合状态的局部放大图；

图6示出根据本公开一些实施例的样品架的部分结构示意图；以及

图7示出根据本公开一些实施例的真空进样系统的部分结构示意图。

在上述附图中，各附图标记分别表示：

100可拆卸连接装置

10框架组件

11框架主体

111容纳腔

114容纳口

112开口

113安装孔

12第一滑动组件

121a、121b底部滑轨

121c、121d侧面滑轨

1212a、1212b、1212c导向面

13锁定组件

131锁钩

1311第一锁定斜面

132限位件

133导向轮

134轴承

135轴承安装件

14限位板

20连接组件

21连接主体

22第二滑动件

221a、221b、221c、221d侧面滑轮

221e、221f、221g、221h顶部滑轮

23锁定结构

231第二锁定斜面

24限位组件

241调节座

242调节栓

1000样品架

200架体

201顶板

202底板

203支架

204样品托

300挂杆

400线性驱动装置

500真空法兰

1真空进样系统

具体实施方式

下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。

在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

图1示出根据本公开一些实施例的可拆卸连接装置100的结构示意图。

图2示出根据本公开一些实施例的框架组件10的结构示意图。图3示出根据本公开一些实施例的框架组件10的仰视图。

如图1～3所示，可拆卸连接装置100可以包括框架组件10和连接组件20。框架组件10可以包括框架主体11和第一滑动组件12。框架主体11可以包括容纳腔111。第一滑动组件12设置在框架主体11上且至少部分位于容纳腔111内。

如图1～3所示，在本公开的一些实施例中，第一滑动组件12可以包括一个或多个滑轨，滑轨设置在容纳腔111的内壁上。框架主体11包括设置在容纳腔111底部的开口112。一个或多个滑轨可以包括设置在容纳腔111底部内壁上且位于开口112两侧的多个底部滑轨(例如，底部滑轨121a、底部滑轨121b)。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的图1～图3中仅示出两条底部滑轨，但底部滑轨的数量也可以小于或大于两条。

如图1～3所示，在本公开的一些实施例中，一个或多个滑轨还可以包括设置在容纳腔111侧壁上且位于开口112两侧的多个侧面滑轨(例如，侧面滑轨121c、侧面滑轨121d)。侧面滑轨(例如，侧面滑轨121c、侧面滑轨121d)可以设置在底部滑轨(例如，底部滑轨121a、底部滑轨121b)上方，且宽度可以小于、等于或者大于底部滑轨(例如，底部滑轨121a、底部滑轨121b)。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的图1～图3中仅示出两条侧面滑轨，但侧面滑轨的数量也可以小于或大于两条。

图4示出根据本公开一些实施例的连接组件20的结构示意图。

如图4所示，连接组件20可以包括连接主体21和第二滑动组件22。连接主体21能够用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔111内，例如如图1所示。连接主体21上可以开设有凹槽，能够减轻连接主体21自身重量，而且可以为其他结构留出空间。

第二滑动组件22设置在连接主体21上，与第一滑动组件12滑动配合，能够用于使连接主体21进入或退出容纳腔111。第二滑动组件22可以包括一组或多组滑轮，滑轮设置在连接主体21上，与框架组件10的第一滑动组件12的一个或多个滑轨相配合。

本领域技术人员可以理解，本公开中所称的一组滑轮是指与一个滑轨相配合、相对应的一个或多个滑轮，仅为说明方便，并不形成任何限制，例如并非具体指定滑轮数量，图4中所示的结构仅是示例性的。类似的，本领域技术人员可以理解，虽然本公开中的第二滑动组件22可以包括一组或多组滑轮，但是第二滑动组件也可以包括一组或多组滑块。

如图4所示，在本公开的一些实施例中，一组或多组滑轮可以包括设置在连接主体21侧面的多组侧面滑轮(例如，包括侧面滑轮221a、侧面滑轮221c的第一组侧面滑轮，包括侧面滑轮221b、侧面滑轮221d的第二组侧面滑轮)，能够用于与多个底部滑轨(例如，底部滑轨121a、底部滑轨121b)配合。一组或多组滑轮还可以包括设置在连接主体21顶部的多组顶部滑轮(例如包括顶部滑轮221e、顶部滑轮221g的第一组顶部滑轮，包括顶部滑轮221f、顶部滑轮221h的第二组顶部滑轮)，能够用于与多个侧面滑轨(例如，侧面滑轨121c、侧面滑轨121d)配合。

在本公开的一些实施例中，包括侧面滑轮221a、侧面滑轮221c的第一组侧面滑轮与底部滑轨121a滑动接触，包括侧面滑轮221b、侧面滑轮221d的第二组侧面滑轮与底部滑轨121b滑动接触，使得连接主体21能够滑动进入和/或退出容纳腔111。包括顶部滑轮221e、顶部滑轮221g的第一组顶部滑轮与侧面滑轨121c滑动接触，包括顶部滑轮221f、顶部滑轮221h的第二组顶部滑轮与侧面滑轨121d滑动接触，能够使得连接主体21能够滑动进入和/或退出容纳腔111，并且在滑动进入和/或退出容纳腔111的过程中对连接主体21进行导向，防止其侧翻或滑脱。

在本公开的另一些实施例中，第一滑动组件也可以包括一组或多组滑轮或滑块，设置在容纳腔内，第二滑动组件也可以包括一个或多个滑轨，设置在连接主体上，能够与一组或多组滑轮或滑块相配合，使得连接主体能够进入容纳腔。虽然这种结构在图中并未示出，但是本领域技术人员可以通过与图示实施例类似的方式，采用这种结构。

如图2～4所示，在本公开的一些实施例中，框架主体11包括“凹”字型结构，连接主体21包括与“凹”字型结构配合的“几”字型结构。连接主体21的“几”字型向外延处与框架主体11“凹”字型的向内延伸处嵌合，如图1所示，使得连接主体11能够被更牢固地可拆卸固定在框架主体11的容纳腔111内。

如图4所示，在本公开的一些实施例中，连接组件20还包括锁定结构23。锁定结构23设置在连接主体21上。框架组件10还包括与容纳腔111连通的容纳口114以及设置在容纳口端的锁定组件13。容纳口114可以供连接组件20进入和/或退出框架主体11的容纳腔111。锁定组件13能够用于与锁定结构23相配合，以将连接主体21锁定在容纳腔111内。

如图2、图4所示，在本公开的一些实施例中，锁定组件13可以包括锁钩131。锁钩131可以转动设置在框架主体11上。锁钩131包括设置在末端的第一锁定斜面1311。锁定组件13还可以包括轴承134以及轴承安装件135，轴承134通过轴承安装件135设置在框架主体11顶部。锁钩131整体呈“L”状，一端通过轴承134转动设置在框架主体11的顶部，使锁钩131的末端能够通过转动部分延伸到容纳口114。

本领域技术人员可以理解，虽然图2中示出的锁钩131呈“L”状，但是锁钩131也可以呈其他形状，例如，“C”字型状等。

图5示出根据本公开一些实施例的锁钩131与锁定结构23的配合状态的局部放大图。

如图4、图5所示，在本公开的一些实施例中，锁定结构23包括设置在末端的第二锁定斜面231。第二锁定斜面231与第一锁定斜面1311相配合。连接主体21滑动进入框架主体11的容纳腔111内后，将第一锁定斜面1311和第二锁定斜面231相贴合，使锁钩131和锁定结构23相互卡合，使得连接主体21在进入容纳腔111后能够可拆卸固定在容纳腔111内，防止滑出。由于第一锁定斜面1311和第二锁定斜面231相贴合，在可拆卸连接装置100用于竖直连接重物的情况下，第一锁定斜面1311和第二锁定斜面231之间由于重力侧存在，会增加第一锁定斜面1311和第二锁定斜面231之间的摩擦力，从而使锁钩131和锁定结构23的卡合更加稳固。

连接主体21需要滑动退出容纳腔111时，将锁钩131稍微拉起，使得第一锁定斜面1311和第二锁定斜面231分离，即可使连接主体21脱离框架主体11滑出。

如图1～3所示，在本公开的一些实施例中，锁定组件13还可以包括限位件132。限位件132与锁钩131固定连接且用于与框架主体11抵接，以进行限位。例如，锁钩131的连接端转动设置在框架主体11顶部，限位件132与锁钩131的上部固定连接，且穿过锁钩131的上部与框架主体11顶面抵接，避免锁钩131向容纳腔111或容纳口114内伸入部分过多或过少而使连接主体21与框架主体11在生产或实验过程中出现操作困难或者滑脱，造成损失。

如图1和图3所示，在本公开的一些实施例中，锁定组件13还可以包括设置在锁钩131末端的导向轮133，能够用于与连接主体21的顶面滑动配合。例如，在连接主体21滑动进入或滑动退出容纳腔111的过程中，导向轮133能够与连接主体21的顶面滑动配合，使得锁钩131不会影响连接主体21的运动。并且在连接主体21滑动进入容纳腔111并且就位后，导向轮133可以与连接主体21的顶面脱离配合，第一锁定斜面1311和第二锁定斜面231能够及时卡合。

如图2、图3所示，在本公开的一些实施例中，框架组件10还可以包括设置在框架主体11上与容纳口114端相对的端部的限位板14。限位板14能够用于对连接组件20进行限位。限位板14设置在框架主体11远离锁钩131的一端，能够防止连接组件20滑出框架主体11。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的图2、图3中示出了安装在框架主体11上的限位板14，但是限位板14也可以与框架主体11一体成型。而且，虽然图2、图3中示出了单个限位板14，本领域技术人员可以采用多个限位板14。

如图4所示，在本公开的一些实施例中，连接组件20还可以包括设置在连接主体21端部的限位组件24，能够用于与限位板14抵接，以对连接组件20进行限位。

如图4所示，在本公开的一些实施例中，限位组件24可以包括调节座241和调节栓242。调节座241设置在连接主体21端部，调节栓242穿设在调节座241上，能够用于与限位板14抵接并调节连接主体21与限位板14的距离。

如图1所示，在本公开的一些实施例中，滑轨121(例如，设置在连接主体21底部的底部滑轨121a、121b，设置在连接主体21侧面的侧面滑轨121c、121d)包括设置在端部的导向面(例如，导向面1212a、导向面1212b、导向面1212c)。连接主体21的第二滑动组件22通过导向面(例如，导向面1212a、导向面1212b)进入框架主体111的容纳腔111内。

图6示出根据本公开一些实施例的样品架1000的部分结构示意图。

如图6所示，样品架1000可以包括可拆卸连接装置100和架体200。架体200与可拆卸连接装置100的连接组件20固定连接，用于承载样品。架体200可以包括顶板201、底板202以及将顶板201和底板202固定连接在一起的支架203。顶板201与连接主体21固定连接，能够随连接主体21滑动进入或退出框架主体11的容纳腔111，从而方便地安装或拆卸架体200和架体上承载的样品，例如可以将样品安装到真空腔内或从真空腔内移出。多个样品托204设置在支架203上，能够用于承载样品，使得多个样品同时随架体200安装、拆卸，提高样品转运效率，缩短生产或实验时间，降低生产或实验成本。

在本公开的一些实施例中，样品架1000还可以包括如图7所示的挂杆300，挂杆300与可拆卸连接装置100的框架组件10固定连接，用于带动架体200升降。例如，挂杆300可以安装在框架主体11的安装孔113内。

在本公开的一些实施例中，样品架1000还可以包括如图7所示的线性驱动装置400。线性驱动装置400的输出端(图中未示出)与挂杆300固定连接，能够用于带动挂杆300作线性运动。

根据本公开一些实施例的可拆卸连接装置能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的可拆卸连接装置能够解决常规技术中转移样品效率低、容易发生掉样、样品架拆卸复杂、安装困难等问题，能够实现提高样品转运效率，避免掉样、样品架可拆卸、安装灵活的技术效果。

根据本公开一些实施例的样品架能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的样品架能够解决常规技术中样品架无法取出，维护修理不便，缩短设备使用寿命，提高生产成本等问题，能够实现维护修理方便、延长设备使用寿命、降低生产成本的技术效果。

图7示出根据本公开一些实施例的真空进样系统1的部分结构示意图。

如图7所示，真空进样系统1可以包括真空腔(图中未示出)和样品架1000，样品架1000至少部分设置在真空腔内。例如，样品架1000可以通过真空法兰500安装在真空腔窗口上，通过挂杆300和可拆卸连接装置100，将架体200可拆卸地设置在真空腔内。这样，架体200可以方便地从真空腔内拆卸出，或者在真空环境中拆卸、换样，操作非常简易、方便。

根据本公开一些实施例的真空进样系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的样品架能够解决常规技术中样品传递效率低、设备寿命短等问题，能够实现提高样品传递效率，方便设备检修维护、延长设备寿命，降低设备成被的技术效果。

需要指出的是，以上仅为本公开的示例性实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (16)

1.一种样品架，其特征在于，包括可拆卸连接装置和架体，所述可拆卸连接装置包括框架组件和连接组件；所述框架组件包括框架主体和第一滑动组件，所述框架主体包括容纳腔；所述第一滑动组件设置在所述框架主体上且至少部分位于所述容纳腔内；所述连接组件包括连接主体、第二滑动组件和锁定结构，所述连接主体用于可拆卸地至少部分容纳在所述容纳腔内，所述第二滑动组件，设置在所述连接主体上，与所述第一滑动组件滑动配合，用于使所述连接主体进入或退出所述容纳腔；所述锁定结构设置在所述连接主体上，所述框架组件还包括与所述容纳腔连通的容纳口以及设置在容纳口端的锁定组件，用于与所述锁定结构相配合，以将连接主体锁定在所述容纳腔内；所述锁定组件包括锁钩；所述锁钩转动设置在所述框架主体上，所述锁钩包括设置在末端的第一锁定斜面，所述锁定结构包括设置在末端的第二锁定斜面，所述第二锁定斜面与所述第一锁定斜面相配合；所述架体与所述可拆卸连接装置的所述连接组件固定连接，用于承载样品。

2.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，

所述第一滑动组件，包括：

一个或多个滑轨，设置在所述容纳腔的内壁上；

所述第二滑动组件，包括：

一组或多组滑轮或滑块，设置在所述连接主体上，与所述一个或多个滑轨相配合。

3.根据权利要求2所述的样品架，其特征在于，

所述框架主体包括设置在所述容纳腔底部的开口；

所述一个或多个滑轨包括设置在所述容纳腔底部内壁上且位于开口两侧的多个底部滑轨；以及

所述一组或多组滑轮或滑块包括设置在所述连接主体侧面的多组侧面滑轮或侧面滑块，用于与所述多个底部滑轨配合。

4.根据权利要求3所述的样品架，其特征在于，

所述一个或多个滑轨还包括设置在所述容纳腔侧壁上且位于开口两侧的多个侧面滑轨；

所述一组或多组滑轮或滑块包括设置在所述连接主体顶部的多组顶部滑轮或顶部滑块，用于与所述多个侧面滑轨配合。

5.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，

所述第一滑动组件，包括：

一组或多组滑轮或滑块，设置在所述容纳腔内；

所述第二滑动组件，包括：

一个或多个滑轨，设置在所述连接主体上，与所述一组或多组滑轮或滑块相配合。

6.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，

所述框架主体包括“凹”字型结构，

所述连接主体包括与“凹”字型结构配合的“几”字型结构。

7.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，所述锁定组件还包括：

限位件，与所述锁钩固定连接且用于与所述框架主体抵接，以进行限位。

8.根据权利要求7所述的样品架，其特征在于，所述锁钩的连接端转动设置在所述框架主体的顶部，所述限位件与所述锁钩的上部固定连接，且用于与所述框架主体顶面抵接。

9.根据权利要求8所述的样品架，其特征在于，所述锁定组件还包括设置在所述锁钩末端的导向轮，用于与所述连接主体的顶面滑动配合。

10.根据权利要求9所述的样品架，其特征在于，所述框架组件还包括设置在所述框架主体上与所述容纳口端相对的端部的限位板，用于对连接组件进行限位。

11.根据权利要求10所述的样品架，其特征在于，所述连接组件还包括设置在所述连接主体端部的限位组件，用于与所述限位板抵接，以对所述连接组件进行限位。

12.根据权利要求11所述的样品架，其特征在于，所述限位组件包括：

调节座，设置在所述连接主体端部；

调节栓，穿设在所述调节座上，用于与所述限位板抵接并调节所述连接主体与所述限位板的距离。

13.根据权利要求2或5所述的样品架，其特征在于，所述滑轨包括设置在端部的导向面。

14.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，还包括：

挂杆，所述挂杆与所述可拆卸连接装置的所述框架组件固定连接，用于带动所述架体升降。

15.根据权利要求14所述的样品架，其特征在于，还包括：

线性驱动装置，所述线性驱动装置的输出端与所述挂杆固定连接，用于带动所述挂杆作线性运动。

16.一种真空进样系统，其特征在于，包括：

真空腔；

如权利要求1-15中任意一项所述的样品架，所述样品架至少部分设置在所述真空腔内。