CN116381444A - 用于晶圆测试的工作台结构、夹持控制方法和测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆测试技术领域，本发明实施例提供了一种用于晶圆测试的工作台结构、夹持控制方法和测试方法，该工作台结构包括：工作台组件，包括：工作台、转动件、驱动件、第一运动组件和第二运动组件。工作台的顶部具有k个沿着径向延伸的第一限位通道，k≥3且为正整数；工作台的侧壁具有对应的k个沿着切向延伸的第二限位通道，其延伸轨迹位于工作台内且垂直于对应的第一限位通道；转动件位于工作台的底部之上；第一运动组件装配于第二限位通道并与转动件传动连接；第二运动组件装配于第一限位通道并与第一运动组件传动连接，第二运动组件用于对放置于工作台的顶部的晶圆进行限位。该结构能同时保证晶圆随着工作台转动或平移过程中不掉落。

Description

用于晶圆测试的工作台结构、夹持控制方法和测试方法

技术领域

本发明涉及半导体基片测试技术领域，尤其涉及一种用于晶圆测试的工作台结构、夹持控制方法和测试方法。

背景技术

在半导体领域中，用于制作集成电路的基片有多种类型，在基片加工完成后，为了确保基片质量合格，通常需要对加工完成的基片进行性能检测。常用基片的有晶圆，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的微型电子器件（IC）产品。

相关技术中，对晶圆进行检测的过程中，需要将晶圆放置到工作台上，通过移动工作台的位置，利用探针对晶圆上的各个位置进行检测。由于工作台在晶圆检测过程中需要进行平移或者转动，工作台在平移或转动过程中产生的惯性容易导致晶圆从工作台上掉落，影响检测装置的正常工作，还可能对晶圆造成损伤。因此，如何设置工作台使得工作台在转动或平移过程中避免晶圆的掉落成为亟需解决的技术问题。

针对这一技术问题，有的方式是通过在晶圆上配备压料装置，由该压料装置来压持晶圆，防止晶圆随着工作台在平移或转动过程中掉落。然而，上述压料装置的位置固定，无法应对多种尺寸的晶圆进行适配，灵活性较差，不同尺寸的晶圆可能需要多个工作台来进行适配，工作台的通用性较差。

发明内容

为了解决或至少部分地解决相关技术中存在的以下技术问题：晶圆测试用的工作台无法同时保证晶圆随着工作台转动或平移过程中不掉落，而且还能适配于多种尺寸的晶圆的问题；本发明的实施例提供了一种用于晶圆测试的工作台结构、夹持控制方法和测试方法。

本发明一些实施例提供一种用于晶圆测试的工作台结构。所述工作台结构包括：工作台组件，所述工作台组件包括：工作台、转动件、驱动件、第一运动组件和第二运动组件。所述工作台的顶部具有k个沿着径向延伸的第一限位通道，k≥3且为正整数；所述工作台的侧壁具有对应的k个沿着切向延伸的第二限位通道，所述第二限位通道的延伸轨迹位于所述工作台内且垂直于对应的第一限位通道；所述转动件位于所述工作台的底部之上；所述第一运动组件装配于所述第二限位通道并与所述转动件传动连接；所述第二运动组件装配于所述第一限位通道并与所述第一运动组件传动连接，所述第二运动组件用于对放置于所述工作台顶部的晶圆进行限位。

在一些实施例中，所述第一运动组件包括：支撑轴，与所述支撑轴连接的第一运动件；所述支撑轴固定设置于所述第二限位通道内且延伸方向与所述第二限位通道平行；所述第一运动件与所述转动件传动连接，在所述转动件转动的带动下，所述第一运动件能沿着所述支撑轴运动；所述第一运动件上具有第三限位通道，所述第三限位通道的延伸方向为倾斜方向，所述倾斜方向是与所述径向方向和所述切向方向均具有夹角的方向；所述第二运动组件的底部设置有装配部，所述装配部用于在所述第三限位通道内运动。

在一些实施例中，所述第二运动组件包括：弹性限位块，固定于所述弹性限位块底部的支撑部；所述支撑部的下方设置有所述装配部。

在一些实施例中，所述支撑部具有用于支撑弹性限位块的第一台面和用于支撑晶圆的第二台面，所述第一台面和所述第二台面均沿着径向延伸，所述第二台面的高度与所述工作台的上表面齐平。

在一些实施例中，所述工作台的底部具有中空区域，所述中空区域用于放置底板，且所述底板与所述工作台侧壁内设置的底板安装台之间为可拆卸式连接；所述转动件设置于所述底板之上；其中，所述驱动件的主轴穿设于所述底板的中部并与所述转动件连接，用于驱动所述转动件转动。

在一些实施例中，在所述转动件处于转动状态下，所述转动件带动所述第一运动组件沿着所述第二限位通道运动，所述第一运动组件带动所述第二运动组件沿着所述第一限位通道运动，使得所述第二运动组件处于目标径向位置，所述目标径向位置的尺寸适配于所放置的晶圆的尺寸。

在一些实施例中，所述工作台结构还包括支撑组件，所述支撑组件之上设置有所述工作台组件。所述支撑组件包括：底盘组件，连接于所述底盘组件和所述工作台组件之间的中间组件。所述底盘组件包括：底盘、限位装配件、测试托盘和限位导轨；所述底盘为中空结构，所述测试托盘穿设于所述底盘的空心区域且相对于所述底盘可转动；所述限位导轨设置于所述底盘的上表面并位于所述测试托盘外围；所述限位装配件的底部与所述限位导轨进行装配并沿着所述限位导轨可运动；所述测试托盘的顶部和所述限位装配件的顶部均与所述中间组件的底部固定连接。

在一些实施例中，所述中间组件呈带底部的环形围墙结构，包括：底部结构、设置于所述底部结构外缘的环形围墙；所述底部结构用于连接所述测试托盘和所述限位装配件；所述环形围墙的上表面用于连接所述工作台的底部。

在一些实施例中，所述环形围墙内部具有容置空间，所述容置空间用于容置所述工作台组件的驱动件。

在一些实施例中，所述测试托盘具有转动轴，所述转动轴用于与外部驱动件同轴连接，在所述外部驱动件的驱动作用下，所述测试托盘转动并带动所述中间组件和所述工作台转动。

本发明另一些实施例提供一种晶圆测试中对晶圆夹持控制的方法。所述对晶圆夹持控制的方法包括：将待测试的目标晶圆放置于测试工作台的顶部，所述测试工作台为如上所述的工作台结构中的工作台；针对第二运动组件，确定与所述目标晶圆的尺寸匹配的目标径向限位位置；根据预先获取的转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线，确定达到所述目标径向限位位置所对应的目标转动参数；根据所述目标转动参数控制所述转动件转动，使得k个所述第二运动组件对所述目标晶圆进行限位夹持。

在一些实施例中，所述对晶圆夹持控制的方法还包括：根据所述目标晶圆的尺寸信息，确定所述工作台中第二运动组件的初始径向位置对应的位置区间；所述初始径向位置到工作台中心的距离大于所述目标晶圆的半径；根据所述第二运动组件所处的实际位置和所述位置区间的关系，确定是否对所述第二运动组件进行位置调整；在需要进行位置调整的情况下，根据预先获取的转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线，确定位置调整范围对应的调整转动参数；根据所述调整转动参数控制所述转动件转动，使得所述第二运动组件处于所述初始径向位置；其中，在所述第二运动组件处于所述初始径向位置的情况下，执行所述将待测试的目标晶圆放置于测试工作台的顶部的步骤。

本发明的又一些实施例提供一种晶圆测试的方法。所述晶圆测试的方法包括：针对多个不同尺寸的目标晶圆中的每个目标晶圆，采用如上所述的对晶圆夹持控制的方法进行限位夹持；根据测试信息，将所述目标晶圆所在的工作台的位置调整至多个目标位置进行测试，得到对应的测试结果。

相对于相关技术，本发明的实施例至少具有以下技术效果：

通过在工作台的顶部设置至少3个沿着径向延伸的第一限位通道，第二运动组件与第一限位通道进行装配，那么第二运动组件的运动轨迹被限制在第一限位通道内，即每个第一限位通道内的第二运动组件能够沿着径向移动；由于在工作台的侧壁具有对应数量的沿着切向延伸的第二限位通道，第一运动组件与第二限位通道进行装配，那么第一运动组件的运动轨迹被限制在第二限位通道内，即每个第二限位通道内的第一运动组件能够沿着切向运动；由于第一运动组件与转动件连接，第二运动组件与第一运动组件传动连接，那么在转动件转动的情况下，第一运动组件会随着运动，并带动第二运动组件进行运动，这样一来，在所述工作台的顶部放置各种尺寸的晶圆之后，至少3个第二运动组件能够通过沿着径向的运动来适配于不同尺寸晶圆的夹持，同时由于第二运动组件能够对晶圆进行限位，有效确保晶圆随着工作台在平移或转动过程中的稳定，避免晶圆的掉落。

利用上述工作台结构进行晶圆的夹持和测试的过程中，在预先通过模拟或者实验的方式得到转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线的情况下，通过控制转动件的转动参数来调控第二运动组件所处的位置，从而实现对晶圆的夹持控制，控制过程方便且易于实施，便于在晶圆测试过程中实现智能化和自动化操控。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一些实施例提供的用于晶圆测试的工作台结构的示意图；

图2为本发明一些实施例提供的支撑组件的立体结构示意图；

图3为本发明一些实施例提供的底盘组件的立体结构示意图；

图4为本发明一些实施例提供的底盘组件的俯视图；

图5为本发明一些实施例提供的沿着图4中A-A线剖开后的剖视图；

图6为本发明一些实施例提供的限位装配件的立体结构示意图；

图7为本发明另一些实施例提供的限位装配件的剖视图；

图8为本发明一些实施例提供的工作台组件的立体结构示意图；

图9为本发明一些实施例提供的工作台从底面视角看到的视图；

图10为本发明一些实施例提供的工作台从前视视角看到的视图；

图11为本发明一些实施例提供的沿着图10中B-B线剖开后的剖视图；

图12为本发明一些实施例提供的沿着图10中C-C线剖开后的剖视图；

图13为本发明一些实施例提供的转动件、第一运动组件和第二运动组件的结构和装配关系示意图；

图14为本发明一些实施例提供的第一运动组件和第二运动组件之间传动的细节结构示意图；

图15为本发明一些实施例提供的第一运动组件和第二运动组件之间传动过程对应的受力关系示意图，其中（a）为转动件顺时针转动对应的受力示意图，（b）为转动件逆时针转动对应的受力示意图；

图16为本发明一些实施例提供的晶圆放置于工作台的顶部的俯视图。

附图标记说明：

底盘组件1、中间组件2、工作台组件3、晶圆4、底盘11、限位装配件12、测试托盘13、限位导轨14、装配孔133、装配件203、底部结构201、环形围墙202、工作台32、滑轮基座121、滑轮122、定位钉123、滑轮轴124、工作台32、转动件34、第二运动组件33、第一限位通道3201、第二限位通道3202、支撑轴35、第一运动件36、第三限位通道362、装配部3321、通道区域3202a、过渡装配区域3202b、端部装配区域3202c、弹性限位块331、支撑部332、凹槽32011、凸出部3322、第一台面3320a、第二台面3320b、中空区域3204、底板37、底板安装台321。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个”限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者装置中还存在另外的相同要素。

本发明一些实施例提供一种用于晶圆测试的工作台结构。所述工作台结构包括：工作台组件3，所述工作台组件3包括：工作台、转动件34、驱动件、第一运动组件和第二运动组件33。所述工作台的顶部具有k个沿着径向延伸的第一限位通道3201，k≥3且为正整数；所述工作台的侧壁具有对应的k个沿着切向延伸的第二限位通道3202，所述第二限位通道3202的延伸轨迹位于所述工作台内且垂直于对应的第一限位通道3201；所述转动件34位于所述工作台的底部之上；所述第一运动组件装配于所述第二限位通道3202并与所述转动件34传动连接；所述第二运动组件33装配于所述第一限位通道3201并与所述第一运动组件传动连接，所述第二运动组件33用于对放置于所述工作台顶部的晶圆4进行限位。

通过在工作台的顶部设置至少3个沿着径向延伸的第一限位通道3201，第二运动组件33与第一限位通道3201进行装配，那么第二运动组件33的运动轨迹被限制在第一限位通道3201内，即每个第一限位通道3201内的第二运动组件33能够沿着径向移动；由于在工作台的侧壁具有对应数量的沿着切向延伸的第二限位通道3202，第一运动组件与第二限位通道3202进行装配，那么第一运动组件的运动轨迹被限制在第二限位通道3202内，即每个第二限位通道3202内的第一运动组件能够沿着切向运动；由于第一运动组件与转动件34连接，第二运动组件33与第一运动组件传动连接，那么在转动件34转动的情况下，第一运动组件会随着运动，并带动第二运动组件33进行运动，这样一来，在所述工作台的顶部放置各种尺寸的晶圆4之后，至少3个第二运动组件33能够通过沿着径向的运动来适配于不同尺寸晶圆4的夹持，同时由于第二运动组件33能够对晶圆4进行限位，有效确保晶圆4随着工作台在平移或转动过程中的稳定，避免晶圆4的掉落。

在一些实施例中，在晶圆4的圆心和工作台的轴线位于同一条直线上的情况下，即同轴的情况下，k个第一限位通道3201可以是均匀分布的，相应的，k个第二限位通道3202也是均匀分布的；例如当k=3时，3个第一限位通道3201之间的夹角为120°，3个第二限位通道3202构成等边三角形；当k=4时，4个第一限位通道3201之间的夹角为90°；3个第二限位通道3202构成正方形。在晶圆4放置的时候有少许偏离工作台的轴线（偏心）的情况下，k个第一限位通道3201的分布可以适应性进行调整，不局限于均匀的场景。

在一些实施例中，还对第一运动组件和第二运动组件33之间的传动连接关系进行了改进，通过在第一运动件上设置沿着倾斜方向延伸的第三限位通道362，使得第二运动组件33底部的装配部3321装配于所述第三限位通道362，由于转动件34转动，会给第一运动件36带来切向力，第一运动件36上第三限位通道362的限制导致的挤压作用力会使得第二运动组件33产生径向方向的分力，从而带动第二运动组件33沿着径向方向运动，传动结构简单且传动过程巧妙。

在一些实施例中，还对工作台结构中的支撑组件进行了改进。考虑到相关技术中的工作台在转动或平移过程中稳定性较差，本发明的实施例通过设置底盘组件1和中间组件2，并在底盘组件1中设置限位导轨14、与限位导轨14进行装配的限位装配件12；当工作台结构在平移或者转动的过程中，测试托盘13会发生转动，带动测试托盘13上方的中间组件2和工作台组件3的转动，中间组件2会带动其下方固定的限位装配件12沿着限位导轨14进行运动，由于限位导轨14的限位作用，中间组件2和工作台组件3均会在转动或平移过程中保持较好的稳定性。

下面结合附图详细说明本发明的可选实施例。

本发明一些实施例提供一种用于晶圆测试的工作台结构。

图1为本发明一些实施例提供的用于晶圆测试的工作台结构的示意图。

参照图1所示，本发明实施例提供的用于晶圆测试的工作台结构，包括：支撑组件，设置于所述支撑组件之上的工作台组件3。在其他实施例中，上述工作台结构也可以不包含支撑组件。

在一些实施例中，参照图1所示，支撑组件包括：底盘组件1，连接于所述底盘组件1和所述工作台组件3之间的中间组件2。

图2为本发明一些实施例提供的支撑组件的立体结构示意图；图3为本发明一些实施例提供的底盘组件的立体结构示意图；图4为本发明一些实施例提供的底盘组件的俯视图；图5为本发明一些实施例提供的沿着图4中A-A线剖开后的剖视图；图6为本发明一些实施例提供的限位装配件的立体结构示意图；图7为本发明另一些实施例提供的限位装配件的剖视图。

考虑到相关技术中的工作台在转动或平移过程中稳定性较差，为了提升工作台结构在转动或平移过程中的稳定性，本实施例对支撑组件进行改进。

在一些实施例中，参照图1和图2所示，所述支撑组件包括：底盘组件1，连接于所述底盘组件1和所述工作台组件3之间的中间组件2。结合图2~图4所示，所述底盘组件1包括：底盘11、限位装配件12、测试托盘13和限位导轨14；所述底盘11为中空结构，所述测试托盘13穿设于所述底盘11的空心区域且相对于所述底盘11可转动；所述限位导轨14设置于所述底盘11的上表面并位于所述测试托盘13的外围；所述限位装配件12的底部与所述限位导轨14进行装配并沿着所述限位导轨14可运动。所述测试托盘13的顶部和所述限位装配件12的顶部均与所述中间组件2的底部固定连接；连接方式可以是法兰连接或者其他固定连接的方式；例如参照图4所示，示意了测试托盘13上表面的装配孔133，同时在图2中对应示意了用于和装配孔133进行装配的装配件203，例如装配件203可以是螺钉或螺栓。

在一实施例中，限位导轨14包括环形限位轨道，限位装配件12包括滑轮组件。

在一些实施例中，参照图2所示，所述中间组件2呈带底部的环形围墙结构，包括：底部结构201、设置于所述底部结构201外缘的环形围墙202；所述底部结构201用于连接所述测试托盘13和所述限位装配件14。所述环形围墙202的上表面用于连接所述工作台组件3中工作台（例如图8示意的工作台32）的底部。

在一些实施例中，所述环形围墙202内部具有容置空间，所述容置空间用于容置所述工作台组件3的驱动件（例如参照图8示意的驱动件31）。

在一些实施例中，所述测试托盘13具有转动轴，所述转动轴用于与外部驱动件31同轴连接，在所述外部驱动件31的驱动作用下，所述测试托盘13转动并带动所述中间组件2和所述工作台组件3中工作台（例如图8示意的工作台32）转动。

参照图3~图7所示，在一实施例中，限位装配件12可以是滑轮组件，该滑轮组件包括：滑轮基座121和对称安装的至少一对滑轮122，在图3和图4中示意了两对滑轮。该滑轮基座121固定于中间组件2的底部，例如可以通过螺栓固定于所述底部结构201；一对滑轮122的内侧均与限位导轨14进行装配。

滑轮基座121和滑轮122之间通过固定件进行连接。在一些实施例中，参照图5和图6所示，滑轮122和滑轮基座121之间的固定件的具体形式为：在滑轮基座121内穿设有至少一对滑轮轴124，滑轮122套设于滑轮轴124上且由滑轮轴124的底部进行限位，例如滑轮轴124的底部半径大于滑轮122的轴孔半径。

在另一些实施例中，参照图7所示，滑轮122和滑轮基座121之间的固定件的具体形式为：通过定位钉123实现滑轮基座121和滑轮122的固定连接。

通过设置底盘组件1和中间组件2，并在底盘组件1中设置限位导轨14、与限位导轨进行装配的限位装配件12；当工作台结构在平移或者转动的过程中，测试托盘13会发生转动，带动测试托盘13上方的中间组件2和工作台组件3的转动，中间组件2会带动其下方固定的限位装配件12沿着限位导轨14进行运动，由于限位导轨14的限位作用，中间组件2和工作台组件3均会在转动或平移过程中保持较好的稳定性。

图8为本发明一些实施例提供的工作台组件的立体结构示意图；图9为本发明一些实施例提供的工作台从底面视角看到的视图；图10为本发明一些实施例提供的工作台从前视视角看到的视图；图11为本发明一些实施例提供的沿着图10中B-B线剖开后的剖视图；图12为本发明一些实施例提供的沿着图10中C-C线剖开后的剖视图；图13为本发明一些实施例提供的转动件、第一运动组件和第二运动组件的结构和装配关系示意图。

结合图8~图13所示，所述工作台结构中的工作台组件3包括：工作台32、转动件34、第一运动组件和第二运动组件33。

所述工作台32的顶部具有k个沿着径向延伸的第一限位通道3201，k≥3且为正整数。例如在图8中示例的k=3的情形。

所述工作台32的侧壁具有对应的k个沿着切向延伸的第二限位通道3202，所述第二限位通道3202的延伸轨迹位于所述工作台32内且垂直于对应的第一限位通道3201。

所述转动件34位于所述工作台32的底部之上。

所述第一运动组件装配于所述第二限位通道3202并与所述转动件34传动连接。

所述第二运动组件33装配于所述第一限位通道3201并与所述第一运动组件传动连接，所述第二运动组件33用于对放置于所述工作台32的顶部的晶圆4进行限位。

其中第一运动组件是将回转运动转换成直线运动的组件；第二运动组件33可以通过和第一运动组件的装配和传动，将第一运动组件沿着切向方向的运动转换成第二运动组件33沿着径向的运动。

第一运动组件的具体形式可以设置为各种能够满足将回转运动转换成直线运动的结构形式。

图14为本发明一些实施例提供的第一运动组件和第二运动组件之间传动的细节结构示意图。

例如，参照图14所示，第一运动组件包括：支撑轴35，与所述支撑轴35连接的第一运动件36。所述支撑轴35固定设置于所述第二限位通道3202（例如为滑槽）内且延伸方向与所述第二限位通道3202平行。

所述第一运动件36与所述转动件34传动连接，在所述转动件34转动的带动下，所述第一运动件36能沿着所述支撑轴35运动；所述第一运动件36上具有第三限位通道362（例如为楔形槽），所述第三限位通道362的延伸方向为倾斜方向，所述倾斜方向是与所述径向方向和所述切向方向均具有夹角的方向。

所述第二运动组件33的底部设置有装配部3321（例如为楔形柱），所述装配部3321用于在所述第三限位通道362内运动。

通过在第一运动件36上设置沿着倾斜方向延伸的第三限位通道362，使得第二运动组件33底部的装配部3321装配于所述第三限位通道362，由于转动件34转动，会给第一运动件36带来切向力，第一运动件36上第三限位通道362的限制导致的挤压作用力会使得第二运动组件33产生径向方向的分力，从而带动第二运动组件33沿着径向方向运动，传动结构简单且传动过程巧妙。

在一实施例中，支撑轴35可以是滑轴，第一运动件36为滑块，对应的，转动件34可以是齿轮，在滑块朝向齿轮的内侧可以对应的设置锯齿结构361。

结合图11~图13所示，所述第二限位通道3202包括：通道区域3202a；与通道区域3202a连接的过渡装配区域3202b，该过渡装配区域3202b的尺寸与支撑轴35的轴尺寸匹配；端部装配区域3202c,该端部装配区域3202c的尺寸与支撑轴35的端部固定件的尺寸匹配。

在一些实施例中，参照图13和图14所示，所述第二运动组件33包括：弹性限位块331，固定于所述弹性限位块331底部的支撑部332；所述支撑部332的下方设置有所述装配部3321。其中支撑部332和弹性限位块331之间可以是螺钉固定连接形式或者其他固定形式。

在一些实施例中，支撑部332和第一限位通道3201之间可以是滑块和滑槽的装配形式。例如，结合图8、图12和图13所示，所述第一限位通道3201具有第一平面和相对于第一平面沿着切向凹陷的第二平面，第一平面和第二平面构成沿着径向设置的匹配凹槽32011，该匹配凹槽32011用于和支撑部332的凸出部3322（表示沿着切向的凸出）进行装配。

在一些实施例中，参照图8和图14所示，所述支撑部332具有用于支撑弹性限位块331的第一台面3320a和用于支撑晶圆4的第二台面3320b，所述第一台面和所述第二台面均沿着径向延伸，所述第二台面3320b的高度与所述工作台32的上表面齐平。

通过设置所述第二台面的高度与所述工作台的上表面齐平，能够在支撑部332移动至晶圆4下方的过程中，基于第二台面3320b来辅助支撑晶圆4。通过设置弹性限位块331，弹性材料有助于提供夹持过程中对晶圆4侧壁以及晶圆4整体的保护，起到缓冲作用，避免由于支撑部332移动较快的情况下限位块对晶圆4的冲击力过大引起的损伤；或者由于工作台结构整体的转速较大的情况下，由于限位块是刚性材料夹持太紧可能导致的晶圆4受损的情形。

在一些实施例中，参照图9、图11和图13所示，所述工作台32的底部具有中空区域3204，所述中空区域3204用于放置底板37，且所述底板37与所述工作台32侧壁内设置的底板安装台321之间为可拆卸式连接；所述转动件34设置于所述底板37之上。

参照图8和图13所示，所述工作台组件3还包括：驱动件31，所述驱动件31的主轴穿设于所述底板37的中部并与所述转动件34连接，用于驱动所述转动件34转动。

图15为本发明一些实施例提供的第一运动组件和第二运动组件之间传动过程对应的受力关系示意图，其中（a）为转动件顺时针转动对应的受力示意图，（b）为转动件逆时针转动对应的受力示意图；图16为本发明一些实施例提供的晶圆放置于工作台的顶部的俯视图。

在上述各个实施例中，参照图15中（a）和（b）所示，在所述转动件34处于转动状态下，所述转动件34带动所述第一运动组件（例如示例的支撑轴35和第一运动件36）沿着所述第二限位通道3202运动，所述第一运动组件带动所述第二运动组件33沿着所述第一限位通道3201运动，使得所述第二运动组件33（例如具体为第二运动组件33的弹性限位块331）处于目标径向位置，所述目标径向位置的尺寸适配于所放置的晶圆的尺寸，例如参照图16所示，放置于工作台32的上表面的晶圆4处于被三个弹性限位块331夹持的状态。弹性限位块331例如可以是橡胶限位块。

下面结合图15中（a）和（b）中的受力分析来描述转动件带动第一运动组件和第二运动组件实现运动的工作原理。

参照图15中（a）所示，在转动件34沿着顺时针方向Za转动的情况下，转动件34会对第一运动件36产生一个切向的作用力，切向方向参照图13中双点划线箭头示意的方向τ所示；第一运动件36在切向作用力的作用下，会产生沿着切向顺时针方向的运动分量，将其对应的切向作用力表示为Fτ1。由于第二运动组件33和第一运动件36之间能够传动，并且第二运动组件33被限制在沿着径向运动，径向方向参照图8中单点划线箭头示意的方向r所示，因此第一运动件36传动给第二运动组件33的运动分量对应的径向作用力（靠近转轴中心方向）表示为Fr1，在第一运动件36和第二运动组件33之间的装配结构下，实现平衡。根据力的分解与合成可知，该径向作用力Fr1和切向作用力Fτ1之和等于第一运动件36和第二运动组件33之间的装配力。例如，在包含第三限位通道362的实施例中，该装配力可以体现为沿着第三限位通道362的作用力Fa。这种情况下，对应于转动件34顺时针转动，则第二运动组件33向着径向的中心运动，即具有收紧径向尺寸的效果。

参照图15中（b）所示，在转动件34沿着逆时针方向Zb转动的情况下，转动件34会对第一运动件36产生一个切向的作用力，切向方向参照图13中双点划线箭头示意的方向τ所示；第一运动件36在切向作用力的作用下，会产生沿着切向逆时针方向的运动分量，将其对应的切向作用力表示为Fτ2。由于第二运动组件33和第一运动件36之间能够传动，并且第二运动组件33被限制在沿着径向运动，径向方向参照图8中单点划线箭头示意的方向r所示，因此第一运动件36传动给第二运动组件33的运动分量对应的径向作用力（远离转轴中心方向）表示为Fr2，在第一运动件36和第二运动组件33之间的装配结构下，实现平衡。根据力的分解与合成可知，该径向作用力Fr2和切向作用力Fτ2之和等于第一运动件36和第二运动组件33之间的装配力。例如，在包含第三限位通道362的实施例中，该装配力可以体现为沿着第三限位通道362的作用力Fb。这种情况下，对应于转动件34逆时针转动，则第二运动组件33远离径向的中心运动，即具有增大径向尺寸的效果。

需要说明的是，在一些实施例中，在晶圆4的圆心和工作台的轴线位于同一条直线上的情况下，即同轴的情况下，k个第一限位通道3201可以是均匀分布的，相应的，k个第二限位通道3202也是均匀分布的；例如当k=3时，3个第一限位通道3201之间的夹角为120°，3个第二限位通道3202构成等边三角形；当k=4时，4个第一限位通道3201之间的夹角为90°；4个第二限位通道3202构成正方形。在晶圆放置的时候有少许偏离工作台的轴线（偏心）的情况下，k个第一限位通道3201的分布可以适应性进行调整，不局限于均匀的场景。

综上所述，本发明实施例提供的工作台结构中，通过在工作台的顶部设置至少3个沿着径向延伸的第一限位通道3201，第二运动组件33与第一限位通道3201进行装配，那么第二运动组件33的运动轨迹被限制在第一限位通道3201内，即每个第一限位通道3201内的第二运动组件33能够沿着径向移动；由于在工作台的侧壁具有对应数量的沿着切向延伸的第二限位通道3202，第一运动组件与第二限位通道3202进行装配，那么第一运动组件的运动轨迹被限制在第二限位通道3202内，即每个第二限位通道3202内的第一运动组件能够沿着切向运动；由于第一运动组件与转动件34连接，第二运动组件33与第一运动组件传动连接，那么在转动件34转动的情况下，第一运动组件会随着运动，并带动第二运动组件33进行运动，这样一来，在所述工作台的顶部放置各种尺寸的晶圆4之后，至少3个第二运动组件33能够通过沿着径向的运动来适配于不同尺寸晶圆4的夹持，同时由于第二运动组件33能够对晶圆4进行限位，有效确保晶圆4随着工作台在平移或转动过程中的稳定，避免晶圆4的掉落。

本发明另一些实施例提供一种晶圆4测试中对晶圆4夹持控制的方法。

所述对晶圆4夹持控制的方法包括：

将待测试的目标晶圆4放置于测试工作台的顶部，所述测试工作台为如上所述的工作台结构中的工作台；

针对第二运动组件33，确定与所述目标晶圆4的尺寸匹配的目标径向限位位置；

根据预先获取的转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线，确定达到所述目标径向限位位置所对应的目标转动参数；

根据所述目标转动参数控制所述转动件34转动，使得k个所述第二运动组件33对所述目标晶圆4进行限位夹持。

在一些实施例中，所述对晶圆4夹持控制的方法还包括：

根据所述目标晶圆4的尺寸信息，确定所述工作台中第二运动组件33的初始径向位置对应的位置区间；所述初始径向位置到工作台中心的距离大于所述目标晶圆4的半径；

根据所述第二运动组件33所处的实际位置和所述位置区间的关系，确定是否对所述第二运动组件33进行位置调整；

在需要进行位置调整的情况下，根据预先获取的转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线，确定位置调整范围对应的调整转动参数；

根据所述调整转动参数控制所述转动件转动，使得所述第二运动组件33处于所述初始径向位置。

其中，在所述第二运动组件33处于所述初始径向位置的情况下，执行所述将待测试的目标晶圆4放置于测试工作台的顶部的步骤。

本发明的又一些实施例提供一种晶圆测试的方法。所述晶圆测试的方法包括：针对多个不同尺寸的目标晶圆中的每个目标晶圆，采用如上所述的对晶圆夹持控制的方法进行限位夹持；根据测试信息，将所述目标晶圆所在的工作台的位置调整至多个目标位置进行测试，得到对应的测试结果。

利用上述工作台结构进行晶圆的夹持和测试的过程中，在预先通过模拟或者实验的方式得到转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线的情况下，通过控制转动件的转动参数来调控第二运动组件所处的位置，从而实现对晶圆的夹持控制，控制过程方便且易于实施，便于在晶圆测试过程中实现智能化和自动化操控。

最后应说明的是：本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统或装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (12)

1.一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，包括：

工作台组件，所述工作台组件包括：工作台、转动件、驱动件、第一运动组件和第二运动组件；

所述工作台的顶部具有k个沿着径向延伸的第一限位通道，k≥3且为正整数；所述工作台的侧壁具有对应的k个沿着切向延伸的第二限位通道，所述第二限位通道的延伸轨迹位于所述工作台内且垂直于对应的第一限位通道；

所述转动件位于所述工作台的底部之上；

所述第一运动组件装配于所述第二限位通道并与所述转动件传动连接；

所述第二运动组件装配于所述第一限位通道并与所述第一运动组件传动连接，所述第二运动组件用于对放置于所述工作台顶部的晶圆进行限位。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，所述第一运动组件包括：支撑轴，与所述支撑轴连接的第一运动件；

所述支撑轴固定设置于所述第二限位通道内且延伸方向与所述第二限位通道平行；

所述第一运动件与所述转动件传动连接，在所述转动件转动的带动下，所述第一运动件能沿着所述支撑轴运动；

所述第一运动件上具有第三限位通道，所述第三限位通道的延伸方向为倾斜方向，所述倾斜方向是与所述径向方向和所述切向方向均具有夹角的方向；

所述第二运动组件的底部设置有装配部，所述装配部用于在所述第三限位通道内运动。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，所述第二运动组件包括：弹性限位块，固定于所述弹性限位块底部的支撑部；所述支撑部的下方设置有所述装配部。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，所述支撑部具有用于支撑弹性限位块的第一台面和用于支撑晶圆的第二台面，所述第一台面和所述第二台面均沿着径向延伸，所述第二台面的高度与所述工作台的上表面齐平。

5.根据权利要求2所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，所述工作台的底部具有中空区域，所述中空区域用于放置底板，且所述底板与所述工作台侧壁内设置的底板安装台之间为可拆卸式连接；所述转动件设置于所述底板之上；

其中，所述驱动件的主轴穿设于所述底板的中部并与所述转动件连接，用于驱动所述转动件转动。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，在所述转动件处于转动状态下，所述转动件带动所述第一运动组件沿着所述第二限位通道运动，所述第一运动组件带动所述第二运动组件沿着所述第一限位通道运动，使得所述第二运动组件处于目标径向位置，所述目标径向位置的尺寸适配于所放置的晶圆的尺寸。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，还包括：

支撑组件，所述支撑组件之上设置有所述工作台组件；

所述支撑组件包括：底盘组件，连接于所述底盘组件和所述工作台组件之间的中间组件；

所述底盘组件包括：底盘、限位装配件、测试托盘和限位导轨；

所述底盘为中空结构，所述测试托盘穿设于所述底盘的空心区域且相对于所述底盘可转动；

所述限位导轨设置于所述底盘的上表面并位于所述测试托盘外围；所述限位装配件的底部与所述限位导轨进行装配并沿着所述限位导轨可运动；

所述测试托盘的顶部和所述限位装配件的顶部均与所述中间组件的底部固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，所述中间组件呈带底部的环形围墙结构，包括：底部结构、设置于所述底部结构外缘的环形围墙；

所述底部结构用于连接所述测试托盘和所述限位装配件；所述环形围墙的上表面用于连接所述工作台的底部。

9.根据权利要求7所述的一种用于晶圆测试的工作台结构，其特征在于，所述测试托盘具有转动轴，所述转动轴用于与外部驱动件同轴连接，在所述外部驱动件的驱动作用下，所述测试托盘转动并带动所述中间组件和所述工作台转动。

10.一种晶圆测试中对晶圆夹持控制的方法，其特征在于，包括：

将待测试的目标晶圆放置于测试工作台的顶部，所述测试工作台为权利要求1-9中任一项所述的一种用于晶圆测试的工作台结构中的工作台；

针对第二运动组件，确定与所述目标晶圆的尺寸匹配的目标径向限位位置；

根据预先获取的转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线，确定达到所述目标径向限位位置所对应的目标转动参数；

根据所述目标转动参数控制所述转动件转动，使得k个所述第二运动组件对所述目标晶圆进行限位夹持。

11.根据权利要求10所述的一种晶圆测试中对晶圆夹持控制的方法，其特征在于，还包括：

根据所述目标晶圆的尺寸信息，确定所述工作台中第二运动组件的初始径向位置对应的位置区间；所述初始径向位置到工作台中心的距离大于所述目标晶圆的半径；

根据所述第二运动组件所处的实际位置和所述位置区间的关系，确定是否对所述第二运动组件进行位置调整；

在需要进行位置调整的情况下，根据预先获取的转动参数与径向限位位置移动信息的关系曲线，确定位置调整范围对应的调整转动参数；

根据所述调整转动参数控制所述转动件转动，使得所述第二运动组件处于所述初始径向位置；

其中，在所述第二运动组件处于所述初始径向位置的情况下，执行所述将待测试的目标晶圆放置于测试工作台的顶部的步骤。

12.一种晶圆测试的方法，其特征在于，包括：

针对多个不同尺寸的目标晶圆中的每个目标晶圆，采用权利要求10所述的一种晶圆测试中对晶圆夹持控制的方法进行限位夹持；

根据测试信息，将所述目标晶圆所在的工作台的位置调整至多个目标位置进行测试，得到对应的测试结果。

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