CN116379920B - 一种晶硅成品方棒检测设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶硅成品方棒检测设备,包括:检测架,所述检测架内壁顶端设有夹取装置,所述检测架的内壁上设有若干相机,所述相机通过调节装置与检测架连接,所述夹取装置、相机和调节装置均与控制器电连接;通过调节装置件相加调整至合适位置后,然后启动夹取装置将处于检测工位的方棒夹取提升至指定高度,然后启动相机对方棒的四周进行拍摄,并将拍摄数据上传至数据库进行对比,通过相机进行测量可以节省操作工的单根测量时间、降低晶棒搬运碰撞风险、提高工作效率、产品合格率,降低运营成本。
Description
技术领域
本发明涉及方棒检测技术领域,更具体地说,本发明涉及一种晶硅成品方棒检测设备。
背景技术
晶硅成品方棒是生产硅片的原材料,一般用于制造半导体器件、太阳能电池等,在加工前需要对晶方棒的几何量进行检测,操作工通过现有的测量装置在对晶方棒的测量过程中,存在单根测量时间长、晶棒搬运存碰撞风险高、工作效率低的问题;因此,有必要提出一种晶硅成品方棒检测设备,以至少部分地解决现有技术中存在的问题。
发明内容
在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念,这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征,更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
为至少部分地解决上述问题,本发明提供了一种晶硅成品方棒检测设备,包括:
检测架,所述检测架内壁顶端设有夹取装置,所述检测架的内壁上设有若干相机,所述相机通过调节装置与检测架连接,所述夹取装置、相机和调节装置均与控制器电连接。
优选的,所述夹取装置包括:液压杆,若干所述液压杆顶端与检测架的内壁顶端连接,所述液压杆的另一端与夹取块顶端连接,所述夹取块与检测架内壁顶端平行设置,所述液压杆与控制器电连接;
夹取槽,所述夹取槽设于夹取块底端,所述夹取槽的内壁上设有夹取电机,所述夹取槽的内壁上滑动连接有两个滑动块,所述滑动块远离夹取块一侧设有夹块,所述夹取电机与控制器电连接;
双向螺杆,所述双向螺杆的一端与夹取电机连接,所述双向螺杆的另一端与夹取槽的内壁转动连接,所述双向螺杆穿过滑动块,所述双向螺杆与滑动块通过螺纹连接。
优选的,所述调节装置包括:
调节槽,所述调节槽设于检测架的内壁上,所述调节槽的内壁上设有伺服电机,所述伺服电机与控制器电连接;
螺纹杆,所述螺纹杆的一端与伺服电机连接,所述螺纹杆的另一端与调节槽的内壁转动连接;
调节块,所述调节块通过螺纹套接于螺纹杆上,所述调节块的一端与调节槽的内壁滑动连接,所述调节块的另一端与相机连接。
优选的,还包括:输送装置,所述输送装置穿过检测架,所述输送装置位于夹取装置的正下方,所述输送装置与控制器电连接。
优选的,若干所述相机位于夹取装置的四周。
优选的,所述检测架的侧壁上设有若干玻璃窗。
优选的,所述夹块上设有定位装置,所述定位装置包括:
展开槽,所述展开槽设于夹块上,所述展开槽的内壁上设有气囊槽,所述展开槽的上方设有第一传动腔,所述第一传动腔的上方设有第二传动腔;
展开电机,所述展开电机设于第二传动腔的内壁上,所述展开电机与控制器电连接;第一转轴,所述第一转轴的一端与展开电机连接,所述第一转轴的另一端与第二传动腔的内壁转动连接,所述第一转轴上套接有第一带轮;
转动螺杆,所述转动螺杆穿过第一传动腔,所述转动螺杆上套接有第二带轮,所述第二带轮位于第一传动腔内,所述第一带轮和第二带轮之间通过第一皮带连接,所述转动螺杆的两端均通过螺纹连接于螺纹槽内,所述螺纹槽设于展开板上,所述展开板滑动连接于展开槽内,所述展开板上设有第一气囊,所述转动螺杆两端螺纹方向相反;
第二气囊,所述第二气囊设于气囊槽内,所述第二气囊通过连接管与第一气囊连接;
第一感应器,所述第一感应器设于展开板上,所述第一感应器与控制器电连接。
优选的,所述定位装置还包括:
第三传动腔,所述第三传动腔设于夹块,所述第三传动腔位于第二传动腔的一侧;
第三带轮,所述第三带轮套接于第一转轴上;
第二转轴,所述第二转轴的两端均转动连接于第三传动腔内,所述第二转轴上套接有第四带轮和卷线轮,所述第三带轮和第四带轮之间通过第二皮带连接;
定位槽,所述定位槽设于夹块上,所述定位槽位于气囊槽的一侧,所述定位槽内滑动连接有移动块,所述移动块上设有第二感应器,所述第一感应器与控制器电连接,所述移动块与定位槽的内壁之间设有回位弹簧;
连接绳,所述连接绳的一端与移动块连接,所述连接绳的另一端伸入第三传动腔内与卷线轮连接。
优选的,所述气囊槽的内壁上设有调压装置,所述调压装置与第二气囊连接,所述调压装置包括:
气管,所述气管设于气囊槽的内壁上,所述气管的内壁上设有固定杆,所述固定杆设有固定块;
限位杆,若干所述限位杆设于第二气囊上,所述限位杆上滑动连接有滑动板,所述滑动板上设有密封塞,所述密封塞伸入排气孔,所述排气孔设于第二气囊上,所述限位杆上套接有限位弹簧,所述限位弹簧位于滑动板与第二气囊之间;
调节电机,所述调节电机设于固定杆上,所述调节电机与控制器电连接;
调节螺杆,所述调节螺杆的一端与调节电机连接,所述调节螺杆的中部转动穿过固定块,所述调节螺杆上通过螺纹套接有两个调节块,相邻两个所述调节块位于固定块的两侧,所述调节块滑动连接于固定杆上,所述调节螺杆两端螺纹方向相反;
连接套,所述连接套滑动套接于所述调节螺杆上,所述连接套位于固定块与调节块之间;
铰接杆,所述铰接杆的一端与滑动板底端铰接,所述铰接杆的另一端与连接套铰接;
调节弹簧,所述调节弹簧套接于调节螺杆上,所述调节弹簧位于滑动块与连接套之间;
固定套,若干所述固定套套接于调节螺杆上,所述固定套位于连接套与固定块之间。
优选的,所述第一气囊和第二气囊的外壁上设有防滑层。
相比现有技术,本发明至少包括以下有益效果:
本发明所述的一种晶硅成品方棒检测设备通过调节装置件相加调整至合适位置后,然后启动夹取装置将处于检测工位的方棒夹取提升至指定高度,然后启动相机对方棒的四周进行拍摄,并将拍摄数据上传至数据库进行对比,通过相机进行测量可以节省操作工的单根测量时间、降低晶棒搬运碰撞风险、提高工作效率、产品合格率,降低运营成本。
本发明所述的是一种晶硅成品方棒检测设备,本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现,部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明一种晶硅成品方棒检测设备的结构示意图;
图2为本发明一种晶硅成品方棒检测设备的夹取装置的结构示意图;
图3为本发明一种晶硅成品方棒检测设备的调节装置的结构示意图;
图4为本发明一种晶硅成品方棒检测设备的定位装置的结构示意图;
图5为本发明一种晶硅成品方棒检测设备的定位装置的侧面示意图;
图6为本发明一种晶硅成品方棒检测设备的定位装置的俯视示意图;
图7为本发明一种晶硅成品方棒检测设备的调压装置的结构示意图。
附图标记说明:1、检测架;2、输送装置;3、夹取装置;4、相机;5、液压杆;6、夹取块;7、夹取槽;8、夹取电机;9、双向螺杆;10、夹块;11、滑动块;12、伺服电机;13、调节槽;14、调节块;15、调节装置;16、螺纹杆;17、展开槽;18、第二传动腔;19、展开电机;20、第一带轮;21、第一转轴;22、第三带轮;23、第一皮带;24、第二带轮;25、转动螺杆;26、螺纹槽;27、展开板;28、第一感应器;29、气囊槽;30、第二气囊;31、第一气囊;32、防滑层;33、第二皮带;34、第四带轮;35、第二转轴;36、卷线轮;37、连接绳;38、定位槽;39、移动块;40、第二感应器;41、气管;42、固定杆;43、调节电机;44、固定块;45、调节螺杆;46、调节块;47、连接套;48、固定套;49、调节弹簧;50、铰接杆;51、滑动板;52、密封塞;53、限位杆;54、限位弹簧;55、第三传动腔;56、回位弹簧。
具体实施方式
下面结合附图以及实施例对本发明做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解,本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
如图1-图7所示,本发明提供了一种晶硅成品方棒检测设备,包括:
检测架1,所述检测架1内壁顶端设有夹取装置3,所述检测架1的内壁上设有若干相机4,所述相机4通过调节装置15与检测架1连接,所述夹取装置3、相机4和调节装置15均与控制器电连接。
上述技术方案的工作原理及有益效果:在实际使用过程中,通过调节装置15件相加4调整至合适位置后,然后启动夹取装置3将处于检测工位的方棒夹取提升至指定高度,然后启动相机对方棒的四周进行拍摄,并将拍摄数据上传至数据库进行对比,通过相机4进行测量可以节省操作工的单根测量时间、降低晶棒搬运碰撞风险、提高工作效率、产品合格率,降低运营成本。
在一个实施例中,所述夹取装置3包括:液压杆5,若干所述液压杆5顶端与检测架1的内壁顶端连接,所述液压杆5的另一端与夹取块6顶端连接,所述夹取块6与检测架1内壁顶端平行设置,所述液压杆5与控制器电连接;
夹取槽7,所述夹取槽7设于夹取块6底端,所述夹取槽7的内壁上设有夹取电机8,所述夹取槽7的内壁上滑动连接有两个滑动块11,所述滑动块11远离夹取块6一侧设有夹块10,所述夹取电机8与控制器电连接;
双向螺杆9,所述双向螺杆9的一端与夹取电机8连接,所述双向螺杆9的另一端与夹取槽7的内壁转动连接,所述双向螺杆9穿过滑动块11,所述双向螺杆9与滑动块11通过螺纹连接。
上述技术方案的工作原理及有益效果:在实际使用过程中,启动液压杆5,使得液压杆5带动夹取块6下移一定高度后,然后启动夹取电机8,夹取电机8带动双向螺杆9转动,双向螺杆9带动滑动块11移动,滑动块11移动过程中使得相邻两个夹块10将方棒夹紧固定,然后启动液压杆5上升进行测量。
在一个实施例中,所述调节装置15包括:
调节槽13,所述调节槽13设于检测架1的内壁上,所述调节槽13的内壁上设有伺服电机12,所述伺服电机12与控制器电连接;
螺纹杆16,所述螺纹杆16的一端与伺服电机12连接,所述螺纹杆16的另一端与调节槽13的内壁转动连接;
调节块14,所述调节块14通过螺纹套接于螺纹杆16上,所述调节块14的一端与调节槽13的内壁滑动连接,所述调节块14的另一端与相机4连接;
若干所述相机4位于夹取装置3的四周。
上述技术方案的工作原理及有益效果:在实际使用过程中,在需要对相机位置进行调节时,启动伺服电机12,伺服电机12通过调节块14和螺纹杆16带动相机4进行移动,使得相机4可以处于最佳拍摄位置。
在一个实施例中,还包括:输送装置2,所述输送装置2穿过检测架1,所述输送装置2位于夹取装置3的正下方,所述输送装置2与控制器电连接。
上述技术方案的工作原理及有益效果:设有的输送装置2对方棒进行输送,降低晶棒搬运碰撞风险。
在一个实施例中,所述检测架1的侧壁上设有若干玻璃窗。
上述技术方案的工作原理及有益效果:设有的玻璃方便工作人员对检测过程进行监测,同时具有一定的防尘作用。
在一个实施例中,所述夹块10上设有定位装置,所述定位装置包括:
展开槽17,所述展开槽17设于夹块10上,所述展开槽17的内壁上设有气囊槽29,所述展开槽17的上方设有第一传动腔,所述第一传动腔的上方设有第二传动腔18;
展开电机19,所述展开电机19设于第二传动腔18的内壁上,所述展开电机19与控制器电连接;第一转轴21,所述第一转轴21的一端与展开电机19连接,所述第一转轴21的另一端与第二传动腔18的内壁转动连接,所述第一转轴21上套接有第一带轮20;
转动螺杆25,所述转动螺杆25穿过第一传动腔,所述转动螺杆25上套接有第二带轮24,所述第二带轮24位于第一传动腔内,所述第一带轮20和第二带轮24之间通过第一皮带23连接,所述转动螺杆25的两端均通过螺纹连接于螺纹槽26内,所述螺纹槽26设于展开板27上,所述展开板27滑动连接于展开槽17内,所述展开板27上设有第一气囊31,所述转动螺杆25两端螺纹方向相反;
第二气囊30,所述第二气囊30设于气囊槽29内,所述第二气囊30通过连接管与第一气囊31连接;
第一感应器28,所述第一感应器28设于展开板27上,所述第一感应器28与控制器电连接;
所述定位装置还包括:
第三传动腔55,所述第三传动腔55设于夹块10,所述第三传动腔55位于第二传动腔18的一侧;
第三带轮22,所述第三带轮22套接于第一转轴21上;
第二转轴35,所述第二转轴35的两端均转动连接于第三传动腔55内,所述第二转轴35上套接有第四带轮35和卷线轮36,所述第三带轮22和第四带轮34之间通过第二皮带33连接;
定位槽38,所述定位槽38设于夹块10上,所述定位槽38位于气囊槽29的一侧,所述定位槽38内滑动连接有移动块39,所述移动块39上设有第二感应器40,所述第一感应器40与控制器电连接,所述移动块39与定位槽38的内壁之间设有回位弹簧56;
连接绳37,所述连接绳37的一端与移动块39连接,所述连接绳37的另一端伸入第三传动腔55内与卷线轮36连接。
上述技术方案的工作原理:在实际使用过程中,在夹取装置的夹块10向下移动对方棒进行夹取过程中,夹块10底端在接触到方棒底端的同一水平时,启动夹取装置3,使得夹块10靠近方棒,在夹块10快要接触方棒时夹块停止运动,启动展开电机19,展开电机19通过第一转轴21带动第一带轮20转动,第一带轮20通过第一皮带23带动第二带轮24转动,第二带轮24通过转动螺杆25和螺纹使得相邻两个展开板27往相反方向运动,使得第一感应器28向方棒边缘位置移动,在第一感应器28没有感应到方棒时,展开电机19停止运动;同时,在展开板27移动过程中,第一转轴21通过第三带轮22和第二皮带33带动第四带轮34转动,第四带轮34通过第二转轴35带动卷线轮36转动,卷线轮36通过连接绳37带动移动块39向回位弹簧56压缩方向运动,使得移动块39带动第二感应器40移动,在展开板27停止运动时,第二感应器40的位置刚好为方棒一侧的几何中心,然后通过气泵(图中未示出)向第二气泵30充入气体,第二气泵30会发生膨胀从气囊槽29中弹出,然后通过展开板27接触方棒,同时气体会经过连接管进入第一气囊31,使得第一气囊31膨胀接触方棒,从而完成对方棒的夹紧固定。
上述技术方案的有益效果:通过展开板27相两侧运动,增加夹块10与方棒一侧的接触面积,从而降低所需的压力,避免夹取过程中夹取压力过大在方棒上留下夹持痕迹,方便后续加工;同时,设有的第二感应器40处于方棒一个侧面的中心,在夹取装置3带动方棒上升时,帮助方棒的一侧的几何中心对准相机4,使得相机4正对硅棒几何中心进行拍摄,避免相机4拍摄时与方棒存在错位导致后续比对出现错位,提高拍摄精准度。
在一个实施例中,所述气囊槽29的内壁上设有调压装置,所述调压装置与第二气囊30连接,所述调压装置包括:
气管41,所述气管41设于气囊槽29的内壁上,所述气管41的内壁上设有固定杆42,所述固定杆41设有固定块44;
限位杆53,若干所述限位杆53设于第二气囊30上,所述限位杆53上滑动连接有滑动板51,所述滑动板51上设有密封塞52,所述密封塞52伸入排气孔,所述排气孔设于第二气囊30上,所述限位杆53上套接有限位弹簧54,所述限位弹簧54位于滑动板51与第二气囊30之间;
调节电机43,所述调节电机43设于固定杆42上,所述调节电机43与控制器电连接;
调节螺杆45,所述调节螺杆45的一端与调节电机45连接,所述调节螺杆45的中部转动穿过固定块44,所述调节螺杆45上通过螺纹套接有两个调节块46,相邻两个所述调节块46位于固定块44的两侧,所述调节块46滑动连接于固定杆42上,所述调节螺杆45两端螺纹方向相反;
连接套47,所述连接套47滑动套接于所述调节螺杆45上,所述连接套47位于固定块44与调节块46之间;
铰接杆50,所述铰接杆50的一端与滑动板51底端铰接,所述铰接杆50的另一端与连接套47铰接;
调节弹簧49,所述调节弹簧49套接于调节螺杆45上,所述调节弹簧49位于滑动块46与连接套47之间;
固定套48,若干所述固定套48套接于调节螺杆45上,所述固定套48位于连接套47与固定块44之间。
上述技术方案的工作原理及有益效果:在实际使用过程中,当气囊中的气体压力过大时,气体会推动密封塞52使得密封塞52带动滑动板51向限位弹簧54伸出方向运动,使得气囊中的气体通过排气孔排出,避免气囊中的气体压力过大使得气囊对方棒的压力过大导致方棒表面出现挤压痕迹;同时滑动板通过铰接板50带动连接套47在调节螺杆45上滑动,在滑动过程中挤压调节弹簧49,可以通过调节电机43带动调节螺杆45转动,使得调节螺杆通过螺纹带动调节块46移动,使得调节弹簧49的初始形变量发生改变,从而可以根据所要夹取的硅棒重量调节气囊对方棒所施加的最大压力。
在一个实施例中,所述第一气囊31和第二气囊30的外壁上设有防滑层32。
上述技术方案的工作原理及有益效果:设有的防滑层30可以增大摩擦力,减少夹取时所需要的压力。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
尽管本发明的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本发明的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本发明并不限于特定的细节与这里示出与描述的图例。
Claims (8)
1.一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,包括:
检测架(1),所述检测架(1)内壁顶端设有夹取装置(3),所述检测架(1)的内壁上设有若干相机(4),所述相机(4)通过调节装置(15)与检测架(1)连接,所述夹取装置(3)、相机(4)和调节装置(15)均与控制器电连接;
所述夹取装置(3)包括:液压杆(5),若干所述液压杆(5)顶端与检测架(1)的内壁顶端连接,所述液压杆(5)的另一端与夹取块(6)顶端连接,所述夹取块(6)与检测架(1)内壁顶端平行设置,所述液压杆(5)与控制器电连接;
夹取槽(7),所述夹取槽(7)设于夹取块(6)底端,所述夹取槽(7)的内壁上设有夹取电机(8),所述夹取槽(7)的内壁上滑动连接有两个滑动块(11),所述滑动块(11)远离夹取块(6)一侧设有夹块(10),所述夹取电机(8)与控制器电连接;
双向螺杆(9),所述双向螺杆(9)的一端与夹取电机(8)连接,所述双向螺杆(9)的另一端与夹取槽(7)的内壁转动连接,所述双向螺杆(9)穿过滑动块(11),所述双向螺杆(9)与滑动块(11)通过螺纹连接;
所述夹块(10)上设有定位装置,所述定位装置包括:
展开槽(17),所述展开槽(17)设于夹块(10)上,所述展开槽(17)的内壁上设有气囊槽(29),所述展开槽(17)的上方设有第一传动腔,所述第一传动腔的上方设有第二传动腔(18);
展开电机(19),所述展开电机(19)设于第二传动腔(18)的内壁上,所述展开电机(19)与控制器电连接;第一转轴(21),所述第一转轴(21)的一端与展开电机(19)连接,所述第一转轴(21)的另一端与第二传动腔(18)的内壁转动连接,所述第一转轴(21)上套接有第一带轮(20);
转动螺杆(25),所述转动螺杆(25)穿过第一传动腔,所述转动螺杆(25)上套接有第二带轮(24),所述第二带轮(24)位于第一传动腔内,所述第一带轮(20)和第二带轮(24)之间通过第一皮带(23)连接,所述转动螺杆(25)的两端均通过螺纹连接于螺纹槽(26)内,所述螺纹槽(26)设于展开板(27)上,所述展开板(27)滑动连接于展开槽(17)内,所述展开板(27)上设有第一气囊(31),所述转动螺杆(25)两端螺纹方向相反;
第二气囊(30),所述第二气囊(30)设于气囊槽(29)内,所述第二气囊(30)通过连接管与第一气囊(31)连接;
第一感应器(28),所述第一感应器(28)设于展开板(27)上,所述第一感应器(28)与控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,
所述调节装置(15)包括:
调节槽(13),所述调节槽(13)设于检测架(1)的内壁上,所述调节槽(13)的内壁上设有伺服电机(12),所述伺服电机(12)与控制器电连接;
螺纹杆(16),所述螺纹杆(16)的一端与伺服电机(12)连接,所述螺纹杆(16)的另一端与调节槽(13)的内壁转动连接;
调节块(14),所述调节块(14)通过螺纹套接于螺纹杆(16)上,所述调节块(14)的一端与调节槽(13)的内壁滑动连接,所述调节块(14)的另一端与相机(4)连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,
还包括:输送装置(2),所述输送装置(2)穿过检测架(1),所述输送装置(2)位于夹取装置(3)的正下方,所述输送装置(2)与控制器电连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,
若干所述相机(4)位于夹取装置(3)的四周。
5.根据权利要求1所述的一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,
所述检测架(1)的侧壁上设有若干玻璃窗。
6.根据权利要求1所述的一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,
所述定位装置还包括:
第三传动腔(55),所述第三传动腔(55)设于夹块(10),所述第三传动腔(55)位于第二传动腔(18)的一侧;
第三带轮(22),所述第三带轮(22)套接于第一转轴(21)上;
第二转轴(35),所述第二转轴(35)的两端均转动连接于第三传动腔(55)内,所述第二转轴(35)上套接有第四带轮(35)和卷线轮(36),所述第三带轮(22)和第四带轮(34)之间通过第二皮带(33)连接;
定位槽(38),所述定位槽(38)设于夹块(10)上,所述定位槽(38)位于气囊槽(29)的一侧,所述定位槽(38)内滑动连接有移动块(39),所述移动块(39)上设有第二感应器(40),所述第一感应器(40)与控制器电连接,所述移动块(39)与定位槽(38)的内壁之间设有回位弹簧(56);
连接绳(37),所述连接绳(37)的一端与移动块(39)连接,所述连接绳(37)的另一端伸入第三传动腔(55)内与卷线轮(36)连接。
7.根据权利要求1所述的一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,
所述气囊槽(29)的内壁上设有调压装置,所述调压装置与第二气囊(30)连接,所述调压装置包括:
气管(41),所述气管(41)设于气囊槽(29)的内壁上,所述气管(41)的内壁上设有固定杆(42),所述固定杆(41)设有固定块(44);
限位杆(53),若干所述限位杆(53)设于第二气囊(30)上,所述限位杆(53)上滑动连接有滑动板(51),所述滑动板(51)上设有密封塞(52),所述密封塞(52)伸入排气孔,所述排气孔设于第二气囊(30)上,所述限位杆(53)上套接有限位弹簧(54),所述限位弹簧(54)位于滑动板(51)与第二气囊(30)之间;
调节电机(43),所述调节电机(43)设于固定杆(42)上,所述调节电机(43)与控制器电连接;
调节螺杆(45),所述调节螺杆(45)的一端与调节电机(45)连接,所述调节螺杆(45)的中部转动穿过固定块(44),所述调节螺杆(45)上通过螺纹套接有两个调节块(46),相邻两个所述调节块(46)位于固定块(44)的两侧,所述调节块(46)滑动连接于固定杆(42)上,所述调节螺杆(45)两端螺纹方向相反;
连接套(47),所述连接套(47)滑动套接于所述调节螺杆(45)上,所述连接套(47)位于固定块(44)与调节块(46)之间;
铰接杆(50),所述铰接杆(50)的一端与滑动板(51)底端铰接,所述铰接杆(50)的另一端与连接套(47)铰接;
调节弹簧(49),所述调节弹簧(49)套接于调节螺杆(45)上,所述调节弹簧(49)位于滑动块(46)与连接套(47)之间;
固定套(48),若干所述固定套(48)套接于调节螺杆(45)上,所述固定套(48)位于连接套(47)与固定块(44)之间。
8.根据权利要求6所述的一种晶硅成品方棒检测设备,其特征在于,
所述第一气囊(31)和第二气囊(30)的外壁上设有防滑层(32)。
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