CN116367972A - 机器人以及基板形状异常检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。

Description

机器人以及基板形状异常检查方法

技术领域

本发明主要涉及机器人，该机器人用于运送半导体晶片、印刷电路板等基板，详细而言，涉及在保持运送对象的基板之前检测该基板的形状异常的结构。

背景技术

至今为止，从基板的保管装置、基板处理装置等取出基板进行运送的基板运送用的机器人被众所周知。专利文献1公开了作为该种机器人的晶片运送装置。

专利文献1的晶片运送装置包括姿势检测部和致动器，该姿势检测部检测手的姿势。该晶片运送装置的结构如下，即，通过根据用姿势检测部所检测的手的姿势信息，控制致动器的伸缩程度，来调整手的姿势。

专利文献1：日本特开2004-128021号公报

发明内容

近年来，由于晶片的薄型化等理由，在基板很容易产生作为形状异常的一种的翘曲。但是，在所述专利文献1中，姿势检测部只是检测手的姿势的检测部，不能检测被手保持之前的基板的翘曲。当在基板产生翘曲时，机器人在保持该基板的动作的过程中恐怕会使基板损坏。

鉴于上述内容，本发明的目的在于，在通过机器人取出基板并且保持基板之前准确地检测运送对象的基板的形状异常的有无。

本发明所要解决的课题如上所述，接下来对用于解决该课题的手段和其效果进行说明。

根据本发明的第一方面，提供以下结构的机器人。即，用于运送基板的机器人包括臂部、手部、基板检测部和基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据没有由所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。

根据本发明的第二方面，提供以下的基板形状异常检查方法。即，该基板形状异常检查方法通过运送所述基板的机器人，来检查该基板的形状异常的有无。所述机器人包括臂部、手部和基板检测部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。根据所述基板检测部所检测出的、没有由所述手部保持的状态的所述基板的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。

因此，能够在从基板保管装置等中取出基板之前，检查基板的形状异常的有无。所以能够避免在手部移动时因基板的形状异常而使手部与基板侧意外接触的情况。其结果是能够防止基板的损坏等。

(发明的效果)

根据本发明，能够在通过机器人取出基板并且保持基板之前准确地检测运送对象的基板的形状异常的有无。

附图说明

图1是示出了本发明的一个实施方式所涉及的机器人的整体结构的立体图。

图2是示出了倾斜机构的一个例子的立体图。

图3是示出了倾斜机构的一个例子的剖面图。

图4是示出了机器人检查基板的姿势的样子的图。

图5是示出了机器人手相对于基板上下移动的样子的放大图。

图6是示出了基板的翘曲带来的检测厚度的变化的说明图。

图7是对为了检测基板的翘曲的有无而使映射传感器的检测轴的朝向不同的样子进行概念性说明的图。

图8是对变形例中的基板的翘曲的有无的检查进行说明的平面图。

具体实施方式

其次，参照附图，对所公开的实施方式进行说明。图1是示出了本发明的一个实施方式所涉及的机器人100的整体结构的立体图。

图1所示的机器人100例如被设置在半导体晶片、印刷电路板等基板W的制造工厂、仓库等。机器人100用于在基板处理装置与后述的基板保管装置7之间运送基板W。不过，机器人100也可以例如用于在处理基板W的多个基板处理装置之间运送基板W。基板W也可以是基板的原材料、加工中的半成品、加工后的成品中的任意之一。基板W的形状在本实施方式中是圆板状，但并不限于此。

该机器人100主要包括基座1、机器人臂(臂部)2、机器人手(手部)3和机器人控制部(基板形状异常检查部)9。

基座1被固定在工厂的地板等。但是，并不限于此，基座1也可以被固定在例如包括所述基板处理装置的基板处理设备的壳体。并且，基座1也可以被固定到在基板处理装置(或设备)与基板保管装置7之间运行的省略图示的移动台车等。

如图1所示，机器人臂2经由能够在上下方向移动的升降轴11安装在基座1。机器人臂2能够相对于升降轴11旋转。

机器人臂2由水平多关节式机器人臂构成。机器人臂2包括第一臂21和第二臂22。

第一臂21作为在水平的直线状延伸的细长部件构成。第一臂21的长度方向的一端被安装在升降轴11的上端部。第一臂21被以升降轴11的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。在第一臂21的长度方向的另一端安装有第二臂22。

第二臂22作为在水平的直线状延伸的细长部件构成。第二臂22的长度方向的一端被安装在第一臂21的前端。第二臂22被以与升降轴11平行的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。在第二臂22的长度方向的另一端安装有机器人手3。

升降轴11、第一臂21以及第二臂22的每一个由无图示的适当的致动器驱动。该致动器例如能够是电动马达。

在位于升降轴11与第一臂21之间、第一臂21与第二臂22之间以及第二臂22与机器人手3之间的臂关节部安装有检测第一臂21、第二臂22以及机器人手3的每一个的旋转位置的省略图示的编码器。并且，在机器人100的适当位置还设置有检测高度方向的第一臂21的位置变化(即，升降轴11的升降量)的编码器。

机器人控制部9根据包含由各个编码器所检测出的第一臂21、第二臂22或机器人手3的旋转位置或高度位置的位置信息，来控制对升降轴11、第一臂21、第二臂22以及机器人手3的每一个进行驱动的电动马达的动作。需要说明的是，在以下的说明中，当称为由编码器所检测出的“位置信息”时，意思是指表示机器人100的姿势的、由每一个编码器所检测出的位置信息的组合。

如图1所示，机器人手3包括手腕部31和手本体部32。

手腕部31经由倾斜机构4安装在第二臂22的前端。手腕部31被以与升降轴11平行的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。不过，能够通过倾斜机构4使手腕部31的旋转轴相对于与升降轴11平行的直线倾斜。后面将说明倾斜机构4的详细结构。手腕部31通过无图示的适当的致动器被旋转驱动。该致动器例如能够是电动马达。在手腕部31连接有手本体部32。手腕部31以及手本体部32也可以形成为一体。

手本体部32是为了保持基板W而发挥作用的部分。手本体部32由形成为Y字形状(或U字形状)的板状的部件构成。手本体部32成为与连接在手腕部31的一侧相反的一侧(换言之，前端侧)分成两个叉的形状。在以下的说明中，有时将分支的各个部分称为第一手指部32a以及第二手指部32b。

第一手指部32a以及第二手指部32b形成为彼此对称。如图4以及图5所示，在第一手指部32a以及第二手指部32b的前端部分之间形成有适当的间隔。因此，能够在不使机器人手3与基板W接触的情况下，使基板W的边缘部位于第一手指部32a以及第二手指部32b的每一个的前端部分之间。

在本实施方式的手本体部32的前端侧以及基端侧分别设置有用于保持基板W的多个引导部33。每个引导部33例如由橡胶等制成。引导部33设置为从板状的手本体部32向上侧突出。如图1所示，引导部33例如在第一手指部32a以及第二手指部32b的每一个各设置一个，在手本体部32的基端侧设置两个。

如图1所示，引导部33接触到载置在机器人手3上的基板W的周缘附近的下表面，保持基板W。引导部33能够通过从直径方向外侧接触到基板W的边缘，来限制载置在机器人手3上的基板W不会在水平方向偏离。

机器人手3保持基板W的结构并不限于上述结构。机器人手3例如也可以通过用负压吸附基板W的上表面或下表面的结构等来保持基板W。例如，也可以使机器人手3包括周知的伯努利吸盘，来非接触保持基板W。

倾斜机构4被安装在第二臂22的前端侧(与连接在第一臂21的一侧相反的一侧)。

如图2所示，倾斜机构4包括下板部41和上板部42。下板部41固定在第二臂22的上表面。机器人手3的手腕部31被上板部42可旋转地支撑着。在下板部41与上板部42之间配置有高度调整机构5。倾斜机构4使用该高度调整机构5，调整上板部42的相对于下板部41的倾斜角度以及倾斜方向。

如图2所示，该高度调整机构5例如包括3个支撑部51、52、53，该3个支撑部51、52、53被设置在下板部41以及上板部42之间的不同位置。为了便于说明，在图3中支撑部51、52、53被描绘为直线排列，实际上，如图2所示，从平面来看，支撑部51、52、53被配置为形成三角形。

三个中的两个支撑部51、52包括外螺纹56、内螺纹57和球面轴承58。外螺纹56的螺纹轴以轴线朝向上下方向可旋转地被下板部41支撑着。该螺纹轴能够通过省略图示的致动器(例如，电动马达)，来在两个支撑部51、52独立旋转。内螺纹57被拧到外螺纹56的螺纹轴。当使螺纹轴旋转时，内螺纹57在上下方向移动。通过该螺纹进给，能够变更支撑部51、52支撑上板部42的高度。在内螺纹57与上板部42之间配置有球面轴承58。

在剩余的支撑部53配置有球面轴承58。该支撑部53不具有因螺纹进给所产生的支撑高度变更功能。

通过驱动电动马达，在多个支撑部51、52独立变更上板部42相对于下板部41的高度，能够变更上板部42相对于下板部41的倾斜角度以及倾斜方向。其结果是能够调整机器人手3相对于第二臂22的姿势(倾斜角度以及倾斜方向)。需要说明的是，高度调整机构5(乃至倾斜机构4)并不限于该结构。

如图1所示，在手本体部32的前端侧设置有映射传感器(基板检测部)6。能够通过映射传感器6非接触进行基板W的有无的确认(映射)。在本实施方式中，映射传感器6例由由具有投光部61和受光部62的透射式传感器构成。需要说明的是，并不限于此，映射传感器6也可以例如由反射式传感器等构成。

如图1以及图4等所示，投光部61被设置在第一手指部32a的前端侧。受光部62被设置在第二手指部32b的前端侧。投光部61朝向受光部62照射检测光。作为检测光，例如，能够是红外光，但并不限于此。

受光部62用无线或有线与机器人控制部9连接着。受光部62将表示检测光的受光的有无的电信号输出到机器人控制部9。当在投光部61与受光部62之间没有物体(例如，基板W)时，由于来自投光部61的检测光到达受光部62，因此受光部62输出有受光的电信号。当在投光部61与受光部62之间有物体时，由于来自投光部61的检测光被基板W遮挡，因此受光部62输出没有受光的电信号。

当在基板保管装置7中，基板W的配置位置间隔适当间隔在上下方向排列配置有多个时，机器人控制部9在使机器人手3的前端部接近了该配置位置的附近的状态下，跨越多个配置位置使该机器人手3在上下方向移动(映射动作)。此时，当假设在所述配置位置有基板W时，从平面来看的机器人手3的位置成为如下位置，即，机器人手3没有接触到该基板W且能够通过映射传感器6检测该基板W的位置。能够根据使机器人手3在上下方向移动时映射传感器6的输出的时间序列数据，来获得各个配置位置中的基板W的有无。

但是，并不限于此，例如，还能够根据使机器人手3在上下方向移动时机器人手3的各个位置中的映射传感器6的输出，来获得由编码器所检测出的各个位置信息中的基板W的有无。此时，使通过映射传感器6的输出所得到的基板W的有无信息与由编码器所检测出的位置信息相关联。

只要受光部62能够检测投光部61的光，在机器人臂3中配置投光部61以及受光部62的位置任意。例如，也可以将投光部61内藏在第一手指部32a，将受光部62内藏在第二手指部32b。

如图1所示，机器人控制部9与基座1被分别设置。不过，机器人控制部9也可以配置在基座1的外部。机器人控制部9作为周知的计算机构成，包括微控制器、CPU、MPU、PLC、DSP、ASIC或者FPGA等运算处理部、ROM、RAM、HDD等存储部和可与外部装置通信的通信部。在存储部存储有运算处理部所执行的程序、各种设定阈值、运送对象的基板W的厚度、尺寸等形状数据等。通信部构成为能够将各种传感器(例如，映射传感器6、编码器)的检测结果发送给外部装置，且能够从外部装置接收关于基板W的信息等。

接着，参照图4到图6等对通过本实施方式的机器人100的基板W的形状异常的有无的检查进行详细说明。为了使各个部的结构较容易理解，在附图中，有时会省略一部分的结构。以下，关于被基板保管装置7所保管的基板W，用检测作为形状异常的一个例子的翘曲的例子进行说明。基板W的形状异常除了基板W的翘曲之外，还能够想到很多。例如，由于异物附着在基板W上而使形状发生变化是形状异常的一种。由于在基板W的表面意外形成膜而使该基板W的厚度增加也是形状异常的一种。

图4所示的基板保管装置7用于保管基板W。在基板保管装置7，多个(例如，100个以上)基板以在上下方向(基板保管装置7的高度方向)等间隔排列的状态被保管着。

在基板保管装置7中，通常，基板W被以水平姿势保管着。但是，由于隔板的变形、异物的存在等一些原因，有时基板W被以不是水平的姿势保管在基板保管装置7中。并且，也能够想到发生了基板W的形状异常的情况。本实施方式的机器人100能够在从基板保管装置7中取出基板W进行运送之前，检查作为基板W的形状异常的一个例子的翘曲的有无。

基板W的翘曲有可能在三维方向产生，在本实施方式中，能够检查当沿着机器人手3插入基板保管装置7的方向(以下，称为手插入方向)水平观看基板W时的、基板W的翘曲。

具体而言，如图4所示，机器人控制部9在以水平保持机器人手3的手本体部32的状态下，使其移动，以使检查对象的基板W的一部分位于第一手指部32a以及第二手指部32b之间。此时，映射传感器6的检测光朝向与基板W的适当姿势平行。

然后，机器人控制部9通过使升降轴11在上下方向移动，来使机器人手3在保持水平姿势的同时，在上下方向移动。其结果是通过映射传感器6进行上下方向的扫描。如图5所示，例如，机器人手3从检查对象的基板W的下方朝向上方或从上方朝向下方移动。优选当使此时的机器人手3的移动速度一定时，能够容易地计算后述的检测厚度TH1。

当基板W的一部分相对地通过机器人手3的第一手指部32a以及第二手指部32b之间时，从投光部61照射的光线被基板W遮挡。其结果是受光部62的输出信号例如如图5的图形那样变化。

机器人控制部9通过对基于来自受光部62的输出的时间序列数据进行分析，来在机器人手3上下移动期间，求出来自投光部61的光线被检查对象的基板W遮挡的遮挡时间t0。换言之，该遮挡时间t0也可以称为通过映射传感器6检测出基板W的检测时间。机器人控制部9将机器人手3在所求出的遮挡时间t0内在上下方向所移动的距离作为检查对象的基板W的检测厚度TH1算出。该检测厚度TH1是基板W被检测出的高度的最大值与最小值的差。需要说明的是，还能够根据使机器人手3在上下方向移动时的、机器人手3的各个位置的映射传感器6的输出以及由编码器所检测出的各个位置信息，来算出检查对象的基板W的检测厚度TH1。

如图6所示，当基板W相对于机器人手3被水平配置着且没有在基板W产生翘曲时，遮挡来自投光部61的光线的距离仅是基板W的实际厚度TH。另一方面，当基板W相对于机器人手3倾斜时或者在基板W产生翘曲时，遮挡来自投光部61的光线的距离大于基板W的实际厚度TH。

由此，机器人控制部9通过将如上述那样算出的基板W的检测厚度TH1和通过存储部所存储的基板W的实际厚度TH进行比较，来判断检查对象的基板W是否是水平姿势并且没有翘曲，或者不是那样。

判断的方法各种各样，例如，能够想到将检查对象的基板W的检测厚度TH1与实际厚度TH的差分和规定的容许阈值进行比较的方法。机器人控制部9在差分超过了容许阈值时，判断为在检查对象的基板W产生了倾斜或者翘曲。

基板W的的实际厚度TH既可以事前根据基板W的设计数据以及制造数据等算出，也可以使用通过测量多个基板W的厚度所求出的平均厚度。并且，也可以是机器人控制部9事前经由通信部，从外部装置接收基板W的实际厚度TH，将其存储在存储部中。

当在检查对象的基板W产生了倾斜或者翘曲时，机器人控制部9通过使机器人手3从水平适当倾斜，来使映射传感器6的检测光的朝向向以手插入方向为基准时的翻滚方向倾斜。然后，机器人控制部9再次使机器人手3在上下方向移动，再次求出检测厚度TH1。检测厚度TH1的取得是使检测光在翻滚方向的倾斜的朝向以及大小适当不同，多次进行的。图7概念性地示出了使映射传感器6的检测光的朝向为不同的各种朝向，来取得检测厚度TH1的样子。

如图7所示，当在基板W即使有倾斜，但没有翘曲时，如果使映射传感器6的检测光的朝向相对于基板W的倾斜角度θ平行，则检测厚度TH1相对于实际厚度TH也几乎一致。另一方面，当在基板W有翘曲时，即使使映射传感器6的检测光实质上沿着基板W，检测厚度TH1也相对于实际厚度TH大了弯曲的量。

在本实施方式中，与映射传感器6的检测光的朝向无关，映射传感器6的扫描方向在上下方向一定。与在上下方向切断倾斜的板的剖面大于在上下方向切断水平的板的剖面的理由一样，即使在基板W没有翘曲，只是倾斜时，由于倾斜的影响，检测厚度TH1也比实际厚度TH稍大一些。此时，能够根据倾斜角度θ等，进行检测厚度TH1的补正。

当取得多个检测厚度TH1时，机器人控制部9求出检测厚度TH1与实际厚度TH的差的最小值。如果该最小值在规定的翘曲阈值以下，则机器人控制部9判断为基板W仅在翻滚方向倾斜着，没有产生翘曲。如果最小值超过翘曲阈值，则机器人控制部9判断为在基板W产生了翘曲。

当判断为在基板W产生了翘曲时，机器人控制部9进行适当的控制。作为控制的例子，能够想到或者从运送的对象中将该基板W除外，或者停止动作。这样一来，由于机器人手3没有进入产生了翘曲的基板W，因此能够防止因基板W与机器人手3的接触而使基板W损坏等情况。

如上所述，本实施方式的机器人100用于运送基板W。机器人100包括机器人臂2、机器人手3、映射传感器6和机器人控制部9。机器人手3被设置在机器人臂2，保持且运送基板W。映射传感器6非接触检测基板W的有无。机器人控制部9根据没有由机器人手3保持的状态的基板W被映射传感器6所检测出的高度，来检查基板W的翘曲的有无。

因此，能够在从基板保持装置7等中取出基板W之前，检查基板W的翘曲的有无。所以，能够避开在机器人手3移动时，因基板W的翘曲而使机器人手3与基板W意外接触的情况。其结果是能够防止基板W的损坏等。

并且，在本实施方式的机器人100中，映射传感器6被设置在机器人手3，以通过检测光检测基板W的存在。机器人控制部9使映射传感器6的检测光的朝向不同而多次进行如下处理，即，根据使机器人手3在上下方向移动时来自映射传感器6的输出，来求出基板W被检测出的高度的最大值和最小值，获得作为上限值与下限值的差的检测厚度TH1的处理。根据检测厚度TH1与作为基板W的实际的厚度的实际厚度TH的差的最小值，来检查基板W的翘曲的有无。

因此，能够用简单的结构容易且正确地检查基板W的形状异常。

并且，本实施方式的机器人100包括倾斜机构4，该倾斜机构4能够使机器人手3的姿势向任意方向倾斜。

因此，能够用较高的自由度调整映射传感器6的朝向。

其次，对所述实施方式的变形例进行说明。图8是对变形例中的基板W的翘曲的有无的检查进行说明的平面图。需要说明的是，在本变形例的说明中，在附图中，对与所述实施方式相同或类似的部件标注相同的符号，有时会省略说明。

本变形例的机器人100除了映射传感器6之外，还包括测距仪6x。该测距仪6x与映射传感器6一起构成基板检测部。测距仪6x用于检测当在与所述手插入方向垂直的方向水平观看基板W时的基板W的翘曲。

测距仪6x例如由激光位移计、超声波距离传感器等构成。如图8所示，测距仪6x例如被设置在手本体部32的第二手指部32b的上表面。测距仪6x非接触检测从该测距仪6x到基板W的下表面为止的上下方向的距离。测距仪6x用无线或有线与机器人控制部9连接着，将在测量位置中所测量的到基板W为止的距离发送给机器人控制部9。

机器人控制部9将机器人手3插入由基板保管装置7所支撑的基板W的下方。因此，成为基板W相对于测距仪6x在上下方向对着的状态。不过，在该状态下，基板W没有被引导部33保持。机器人控制部9通过在该状态下沿着手插入方向使机器人手3在水平方向移动，来在至少3处测量从测距仪6x到检查对象的基板W为止的距离。

机器人控制部9根据在基板W的至少3处由测距仪6x所测量的该基板W的高度的差，来判断基板W是否产生了翘曲。该判断例如能够通过调查3点是否在同一直线形状上的几何计算来实现。

假设不存在基板W时，测距仪6x测量到通常不能取的值。因此，可以说测距仪6x实质上是能够检测基板W的有无的传感器。

在所述实施方式中，能够通过映射传感器6来检查沿着手插入方向观看时基板W的翘曲。在本变形例中，除了上述内容之外，还能够通过测距仪6x检查在与手插入方向垂直的方向水平观看时的基板W的翘曲的有无。因此，在本变形例中，能够三维检查基板W的翘曲的有无。

如上所述，在本变形例的机器人100中，测距仪6x被设置在手本体部32，以测量在上下方向的与基板W的距离。机器人控制部9根据在基板W的多处由测距仪6x所测量的距离的每一个，来检查基板W的翘曲的有无。

因此，能够用简单的结构容易且准确地检查基板W的翘曲的有无。

以上，说明了本发明的优选实施方式以及变形例，所述结构例如能够如下变更。

机器人100也可以保持收纳基板W的托盘等间接地运送基板W，来代替直接保持基板W进行运送。

机器人手3的手本体部32也可以与倾斜机构4的上板部42形成为一体。

倾斜机构4既可以配置在基座1与升降轴11之间，也可以配置在升降轴11与第一臂21之间，还可以配置在第一臂21与第二臂22之间。

无论基板W的翘曲的有无如何，机器人控制部9都能够根据映射传感器6以及测距仪6x的输出，来算出基板W的倾斜角度。

在图8所示的变形例中，能够省略映射传感器6。此时，也能够通过沿着手插入方向水平扫描测距仪6x，来检查在与手插入方向垂直的方向水平观看时的基板W的翘曲的有无。并且，也可以在水平面内使机器人手3适当移动的同时，在从平面来看排列为矩阵状的例如9处测量基板W的高度。此时，能够仅用测距仪6x三维检查基板W的翘曲的有无。

上述的基板W的翘曲的有无的检查也可以通过另外设置的检查装置进行，来代替机器人控制部9。

在本说明书中公开的要素的功能能够使用电路或处理电路执行，该电路或处理电路包含为执行所公开的功能而构成或程序化的通用处理器、专用处理器、集成电路、ASIC(Application Specific Integrated Circuits)、常规电路以及/或者它们的组合。处理器由于包含晶体管和其它电路，因此被看作处理电路或电路。在本发明中，电路、单元或部件是执行所列举的功能的硬件或者为了执行所列举的功能而被程序化的硬件。硬件既可以是在本说明书中所公开的硬件，或者，也可以是为了执行所列举的功能而被程序化或构成的其它已知的硬件。当硬件是被认为是电路的一种的处理器时，电路、部件或单元是硬件与软件的组合，软件被用于硬件以及/或者处理器的结构。

如果考虑上述指教，很明显本发明能够具有很多变更方式以及变形方式。因此，应该理解本发明在所附有的权利要求的范围内，能够使用本说明书所记载的内容之外的方法实施。

Claims (5)

1.一种机器人，其用于运送基板，其特征在于：

所述机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部，所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板，所述基板检测部非接触检测所述基板的有无，所述基板形状异常检查部根据没有由所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。

2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于：

所述基板检测部包括映射传感器，该映射传感器被设置在所述手部，以通过检测光检测所述基板的存在的有无，

所述基板形状异常检查部使所述映射传感器的检测光的朝向不同而多次进行处理，该处理是根据使所述手部在上下方向移动时来自所述映射传感器的输出，来求出所述基板被检测出的高度的最大值和最小值，获得作为所述最大值与所述最小值的差的检测厚度的处理，

根据所述检测厚度与作为所述基板的实际的厚度的实际厚度的差的最小值，来检查所述基板的形状异常的有无。

3.根据权利要求1或2所述的机器人，其特征在于：

所述机器人包括倾斜机构，该倾斜机构能够使所述手部的姿势向任意方向倾斜。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的机器人，其特征在于:

所述基板检测部包括测距仪，该测距仪被设置在所述手部，以测量在上下方向的与所述基板的距离，

所述基板形状异常检查部根据在所述基板的多处由所述测距仪所测量的所述距离的每一个，来检查所述基板的形状异常的有无。

5.一种基板形状异常检查方法，是通过运送所述基板的机器人来检查该基板的形状异常的有无的基板形状异常检查方法，该机器人包括臂部、手部以及基板检测部，该手部被设置在所述臂部，保持且运送基板，该基板检测部非接触检测所述基板的有无，其特征在于:

根据所述基板检测部所检测出的、没有被所述手部保持的状态的所述基板的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。

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