CN116354047A - 真空传递装置及真空系统 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种真空传递装置及真空系统，真空传递装置包括：真空腔；真空导轨，固定设置在真空腔内；样品导轨，滑动设置在真空导轨上，用于引导样品架。

Description

真空传递装置及真空系统

技术领域

本公开涉及真空设备技术领域，特别涉及一种真空传递装置及真空系统。

背景技术

真空运输腔道是真空互联与运输系统的重要组成部分，能够用于连接样品从进样、生长、处理、到表征等各个模块，可以手动控制或者程序化自动控制样品传输装置在真空运输腔道中沿不同路径运行，实现不同设备的互联互通，产生良好的协同效应，为促进材料研究提供了更为丰富的手段。传统技术中，将样品送入真空运输腔道主要是通过将样品放置于样品架上，手动送入真空运输腔道中，这会使样品长时间暴露在大气下，易造成样品变性。

发明内容

本公开提供了一种真空传递装置，包括：真空腔；真空导轨，固定设置在真空腔内；样品导轨，滑动设置在真空导轨上，用于引导样品架。

本公开提供了一种真空系统，包括：传递腔；如本公开的一些实施例中任意一项的真空传递装置，真空传递装置与真空腔真空密封连接。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出根据本公开一些实施例的真空系统的结构示意图；

图2示出根据本公开一些实施例的真空系统的侧视图；

图3示出根据本公开一些实施例的真空系统的截面图；

图4示出根据本公开一些实施例的真空传递装置的结构示意图；

图5示出根据本公开一些实施例的真空传递装置的分解图；

图6示出根据本公开一些实施例的真空传递装置的主视图；

图7示出根据本公开一些实施例的图6的A-A截面图；

图8示出根据本公开一些实施例的框架组件的结构示意图；

图9示出根据本公开一些实施例的框架组件的仰视图；

图10示出根据本公开一些实施例的连接组件的结构示意图；

图11示出根据本公开一些实施例的框架组件和连接组件的配合状态示意图；

图12示出根据本公开一些实施例的锁钩与锁定结构的配合状态的局部放大图。

在上述附图中，各附图标记分别表示：

1000真空系统

200手套箱

201密封圈

300传递腔

301真空密封圈

400样品架

100真空传递装置

10真空腔

11开口

12腔门

20真空导轨

21第一真空导轨主体

22第二真空导轨主体

221凹槽

30样品导轨

31样品导轨主体

32a、32b样品导轨滑轮

33a传动磁体

40驱动组件

41驱动组件主体

42驱动磁体

43a、43b驱动滑轮

44定位销

45压柄

50驱动滑轨

51定位孔

60框架组件

61框架主体

611容纳腔

612开口

613容纳口

614锁定组件

6141锁钩

6141a第一锁定斜面

6142限位件

6143导向轮

6144轴承

6145轴承安装件

62第一滑动组件

621a、621b底部滑轨

621c、621d侧面滑轨

63限位板

70连接组件

71连接主体

72第二滑动组件

721a、721b、721c、721d侧面滑轮

721e、721f、721g、721h顶部滑轮

73锁定结构

73a第二锁定斜面

74限位组件

741调节座

742调节栓

具体实施方式

下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。

在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

图1示出根据本公开一些实施例的真空系统1000的结构示意图。图2示出根据本公开一些实施例的真空系统1000的侧视图。图3示出根据本公开一些实施例的真空系统1000的截面图。

如图1-图3所示，真空系统1000可以包括手套箱200、传递腔300以及真空传递装置100。真空传递装置100至少部分地设置在手套箱200内，且与传递腔300真空密封连接。手套箱200能够通过气体净化系统不断对手套箱200内的气体进行净化(例如除去水、氧)，始终保持高洁净和高纯度的惰性气体环境，从而避免样品架400上的样品暴露在大气中，影响样品的性质。

如图1-图3所示，在本公开的一些实施例中，真空传递装置100和手套箱200出口的连接处设置有密封圈201，通过螺丝将密封圈201压紧，使得真空传递装置100和手套箱200之间密封连接，以维持手套箱200内的惰性气氛。真空传递装置100和传递腔300之间设置有真空密封圈301，通过螺丝连接真空传递装置100和传递腔300，并将真空传递装置100和传递腔300之间的真空密封圈301锁紧，以保证真空传递装置100和传递腔300之间的真空环境。在本公开的一些实施例中，真空传递装置100和手套箱200之间、真空传递装置100和传递腔300均为可拆卸连接，拆卸设备操作简易，方便检修和更换部件，延长设备使用寿命。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的一些实施例中示出真空传递装置100设置在手套箱200内，但这仅是示例性的，真空传递装置100也可以设置在其他能够隔绝大气的结构内。在本公开的一些实施例中以手套箱200为例，对真空系统1000以及真空传递装置100进行说明。

图4示出根据本公开一些实施例的真空传递装置100的结构示意图。图5示出根据本公开一些实施例的真空传递装置100的分解图。图6示出根据本公开一些实施例的真空传递装置100的主视图。图7示出根据本公开一些实施例的图6的A-A截面图。

如图4-图7所示，真空传递装置100可以包括真空腔10、真空导轨20以及样品导轨30。真空导轨20固定设置在真空腔10内，样品导轨30滑动设置在真空导轨20上，能够用于引导样品架400。真空腔10可以包括开口11和腔门12。开口11和腔门12相配合，腔门12打开时，真空腔10内与手套箱200连通，处于惰性气氛，可以将样品架400从手套箱200送入真空腔10。腔门12关闭时真空腔10处于密闭状态，在达到真空环境时可以向传递腔300传递样品架400。

如图5和图6所示，样品导轨30可以包括样品导轨主体31、至少一组样品导轨滑轮(例如,样品导轨滑轮32a、样品导轨滑轮32b)以及至少一个传动磁体(例如，传动磁体33a)。至少一组样品导轨滑轮(例如,样品导轨滑轮32a、样品导轨滑轮32b)设置在样品导轨主体31两侧。至少一个传动磁体33a能够用于接收磁驱动。样品导轨主体31的截面可以呈“凹”字型，能够用于与连接主体71相配合，并于框架主体61对接。

本领域技术人员可以理解，虽然如图5和图6中示出的样品导轨滑轮(例如,样品导轨滑轮32a、样品导轨滑轮32b)的数量为两组，但是样品导轨滑轮的数量也可以大于两组。类似地，本领域技术人员可以理解，虽然如图5和图6中示出的传动磁体(例如，传动磁体33a)的数量为一，但是传动磁体的数量也可以大于一。

如图5-图7所示，在本公开的一些实施例中，真空导轨20可以包括第一真空导轨主体21和第二真空导轨主体22。第一真空导轨主体21和第二真空导轨主体22相对的侧面上包括凹槽(例如，凹槽221)，凹槽(例如，凹槽221)能够用于与至少一组样品导轨滑轮(例如,样品导轨滑轮32a、样品导轨滑轮32b)配合，使得样品导轨主体31能够在第一真空导轨主体21和第二真空导轨主体22上滑动，从而与框架组件60的滑轨对接，使得连接组件70以及与连接组件70连接的样品架400可以从真空腔10进入传递腔300。

如图4-图7所示，在本公开的一些实施例中，真空传递装置100还可以包括滑动设置在真空腔10上的驱动组件40。驱动组件40可以包括驱动组件主体41和至少一个驱动磁体42。驱动磁体42可以设置在驱动组件主体41上，能够用于与传动磁体33a磁耦合，以驱动样品导轨30滑动。驱动组件主体41呈“C”字型，驱动磁体42设置在驱动组件主体41底部。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的一些实施例中驱动磁体42的数量为一，但是驱动磁体的数量也可以大于一。

如图4-图6所示，在本公开的一些实施例中，真空传递装置100还可以包括固定设置在真空腔10上的驱动滑轨50。驱动组件40还可以包括至少一组驱动滑轮(例如，驱动滑轮43a、驱动滑轮43b)。至少一组驱动滑轮(例如，驱动滑轮43a、驱动滑轮43b)设置在驱动组件主体41上，且与驱动滑轨50滑动配合。驱动滑轮(例如，驱动滑轮43a、驱动滑轮43b)设置在“C”字型驱动组件主体41内侧，驱动滑轨50穿过“C”字型驱动组件主体41，与驱动滑轮(例如，驱动滑轮43a、驱动滑轮43b)滑动配合，使驱动组件主体41能够在驱动滑轨50上滑动，从而带动样品导轨30在真空导轨20上滑动，与框架组件60的滑轨对接，使得连接组件70以及与连接组件70连接的样品架400可以从真空腔10进入传递腔300。

如图4-图7所示，在本公开的一些实施例中，驱动组件40还可以包括定位销44和压柄45。压柄45与驱动组件主体41转动连接，且与定位销44连接，能够用于锁定或释放定位销44。压柄45能够推动驱动组件主体41沿驱动滑轨50滑动。

如图4所示，在本公开的一些实施例中，驱动滑轨50可以包括多个定位孔(例如，定位孔51)，开设在驱动滑轨上，能够用于锁定定位销44。定位销44能够穿过驱动组件主体41与定位孔51配合，定位驱动组件主体41的起始位置或到达位置，并能够锁定或松开驱动组件主体41。通过手套箱200装载样品时，定位销44与定位孔51配合将驱动组件主体41锁定在起始位置。

样品装载完毕后，压下压柄45，抬起定位销44，松开驱动组件主体41，并通过推动压柄45将驱动组件主体41向传递腔300推动。推动至到达位置的定位孔(图中未示出)时，抬起压柄45，定位销44将驱动组件主体41锁定在到达位置的定位孔处，以确保样品导轨30与框架组件60的滑轨对接，从而将连接组件70以及与连接组件70连接的样品架400送入传递腔300。

本公开的一些实施例中所称的起始位置为样品架400装载样品的位置，到达位置为样品导轨30与框架组件60对接的位置。本领域技术人员可以理解，虽然图4中仅能看到用于定位起始位置的定位孔51，但是驱动滑轨50上还开设有图中未示出的用于定位到达位置的定位孔、或位于中间位置的定位孔。

图8示出根据本公开一些实施例的框架组件60的结构示意图。图9示出根据本公开一些实施例的框架组件60的仰视图。

如图8和图9所示，在本公开的一些实施例中，真空传递装置100还可以包括框架组件60。框架组件60设置在传递腔300中，可以包括框架主体61和第一滑动组件62。框架主体61可以包括容纳腔611。第一滑动组件62设置在框架主体61上且至少部分位于容纳腔611内。

在本公开的一些实施例中，真空传递装置100还可以包括连接组件70。图10示出根据本公开一些实施例的连接组件70的结构示意图。

如图10所示，连接组件70与样品架400可拆卸地连接，能够用于带动样品架400在样品导轨30上滑动。连接组件70可以包括连接主体71和第二滑动组件72。连接主体71能够用于滑动设置在样品导轨30上或可拆卸地至少部分容纳在容纳腔611内，第二滑动组件72设置在连接主体71上，用于使所述连接主体在所述样品导轨上滑动。而且，第二滑动组件72可以与第一滑动组件62滑动配合，能够用于使连接主体71从样品导轨30进入容纳腔611或从容纳腔611内退出至样品导轨30上，以带动样品架400进入或退出传递腔300。

如图8-图10所示，在本公开的一些实施例中，第一滑动组件62可以包括一个或多个滑轨，设置在容纳腔611的内壁上。样品导轨30可以用于沿真空导轨20滑动，以与第一滑动组件62的一个或多个滑轨对接。

第二滑动组件72可以包括一组或多组滑轮或滑块，设置在连接主体71上，可以与样品导轨30配合，用于使连接主体71在样品导轨30上滑动，也可以与第一滑动组件62的一个或多个滑轨相配合，用于使连接主体71进入或退出容纳腔611。

如图8-图10所示，在本公开的一些实施例中，框架主体61可以包括设置在容纳腔611底部的开口612。一个或多个滑轨包括设置在容纳腔611底部内壁上且位于开口612两侧的多个底部滑轨(例如，底部滑轨621a、底部滑轨621b)。一组或多组滑轮或滑块包括设置在连接主体71侧面的多组侧面滑轮(例如，侧面滑轮721a、侧面滑轮721b、侧面滑轮721c、侧面滑轮721d)，能够用于与多个底部滑轨(例如，底部滑轨621a、底部滑轨621b)配合。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的图8-图10中仅示出两条底部滑轨，但底部滑轨的数量也可以小于或大于两条。

如图8-图10所示，在本公开的一些实施例中，一个或多个滑轨还包括设置在容纳腔侧壁上且位于开口两侧的多个侧面滑轨(例如，侧面滑轨621c、侧面滑轨621d)。一组或多组滑轮或滑块包括设置在连接主体顶部的多组顶部滑轮(例如，顶部滑轮721e、顶部滑轮721f、顶部滑轮721g、顶部滑轮721h)，能够用于与多个侧面滑轨(例如，侧面滑轨621c、侧面滑轨621d)配合。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的图8-图10中仅示出两条侧面滑轨，但侧面滑轨的数量也可以小于或大于两条。

在本公开的一些实施例中，包括侧面滑轮721a、侧面滑轮721c的第一组侧面滑轮与底部滑轨621a滑动接触，包括侧面滑轮721b、侧面滑轮721d的第二组侧面滑轮与底部滑轨621b滑动接触，使得连接主体71能够滑动进入和/或退出容纳腔611。包括顶部滑轮221e、顶部滑轮221g的第一组顶部滑轮与侧面滑轨621c滑动接触，包括顶部滑轮721f、顶部滑轮721h的第二组顶部滑轮与侧面滑轨621d滑动接触，能够使得连接主体71能够滑动进入和/或退出容纳腔611，并且在滑动进入和/或退出容纳腔611的过程中对连接主体71进行导向，防止其侧翻或滑脱。

在本公开的另一些实施例中，第一滑动组件也可以包括一组或多组滑轮或滑块，设置在容纳腔内，第二滑动组件也可以包括一个或多个滑轨，设置在连接主体上，能够与一组或多组滑轮或滑块相配合，使得连接主体能够进入容纳腔。虽然这种结构在图中并未示出，但是本领域技术人员可以通过与图示实施例类似的方式，采用这种结构。

如图8-图10所示，在本公开的一些实施例中，框架主体61可以包括“凹”字型结构，连接主体71可以包括与“凹”字型结构配合的“几”字型结构。连接主体71上可以开设有凹槽，能够减轻连接主体71自身重量，而且可以为其他结构留出空间。连接主体71的“几”字型向外延处既能够与框架主体61“凹”字型的向内延伸处嵌合，也能够与样品导轨主体31“凹”字型的向内延伸处嵌合，使得连接主体71能够顺利从真空腔10内转移入传递腔300中，且被更牢固地可拆卸固定在框架主体61的容纳腔611内。

如图8-图10所示，在本公开的一些实施例中，连接组件70还可以包括锁定结构73。锁定结构73设置在连接主体71上，框架组件60还可以包括与容纳腔611连通的容纳口613以及设置在容纳口613端的锁定组件614。锁定组件614能够用于与锁定结构73相配合，以将连接主体71锁定在容纳腔611内。

图11示出根据本公开一些实施例的框架组件60和连接组件70的配合状态示意图。图12示出根据本公开一些实施例的锁钩6141与锁定结构73的配合状态的局部放大图。

如图8-图12所示，在本公开的一些实施例中，锁定组件614可以包括锁钩6141。锁钩6141可以转动设置在框架主体61上。锁钩6141包括设置在末端的第一锁定斜面6141a。锁定组件614还可以包括轴承6144以及轴承安装件6145。轴承6144通过轴承安装件6145设置在框架主体61顶部。锁钩6141整体呈“L”状，一端通过轴承6144转动设置在框架主体61的顶部，使锁钩6141的末端能够通过转动部分延伸到容纳口613。

本领域技术人员可以理解，虽然图中示出的锁钩6141呈“L”状，但是锁钩6141也可以呈其他形状，例如，“C”字型状等。

如图8-图12所示，在本公开的一些实施例中，锁定结构73包括设置在末端的第二锁定斜面73a。第二锁定斜面73a与第一锁定斜面6141a相配合。连接主体71滑动进入框架主体61的容纳腔611内后，将第一锁定斜面6141a和第二锁定斜面73a相贴合，使锁钩6141和锁定结构73相互卡合，使得连接主体71在进入容纳腔611后能够可拆卸地停留在容纳腔611内，防止滑出。由于第一锁定斜面6141a和第二锁定斜面73a相贴合，在连接组件70用于竖直连接样品架400的情况下，第一锁定斜面6141a和第二锁定斜面73a之间由于重力的存在，会增加第一锁定斜面6141a和第二锁定斜面73a之间的摩擦力，从而使锁钩6141和锁定结构73的卡合更加稳固。

连接主体71需要滑动退出容纳腔611时，将锁钩6141稍微拉起，使得第一锁定斜面6141a和第二锁定斜面73a分离，即可使连接主体71脱离框架主体61滑出。

如图8-图12所示，在本公开的一些实施例中，锁定组件614还可以包括限位件6142。限位件6142与锁钩6141固定连接且能够用于与框架主体61抵接，以进行限位。例如，锁钩6141的连接端转动设置在框架主体61顶部，限位件6142与锁钩6141的上部固定连接，且穿过锁钩6141的上部与框架主体61顶面抵接，避免锁钩6141向容纳腔611或容纳口613内伸入部分过多或过少而使连接主体71与框架主体61在生产或实验过程中出现操作困难或者滑脱，造成损失。

如图8-图12所示，在本公开的一些实施例中，锁定组件614还可以包括设置在锁钩6141末端的导向轮6143，能够用于与连接主体71的顶面滑动配合。例如，在连接主体71滑动进入或滑动退出容纳腔611的过程中，导向轮6143能够与连接主体71的顶面滑动配合，使得锁钩6141不会影响连接主体71的运动。并且在连接主体71滑动进入容纳腔611并且就位后，导向轮6143可以与连接主体71的顶面脱离配合，第一锁定斜面6141a和第二锁定斜面73a能够及时卡合。

如图8-图12所示，在本公开的一些实施例中，框架组件60还可以包括设置在框架主体61上与容纳口613端相对的端部的限位板63，能够用于对连接组件70进行限位。限位板63设置在框架主体61远离锁钩6141的一端，能够防止连接组件70滑出框架主体61。

本领域技术人员可以理解，虽然本公开的图中示出了安装在框架主体61上的限位板63，但是限位板63也可以与框架主体61一体成型。而且，虽然图中示出了单个限位板63，本领域技术人员可以采用多个限位板63。

如图8-图12所示，在本公开的一些实施例中，连接组件70还可以包括设置在连接主体71端部的限位组件74，能够用于与限位板63抵接，以对连接组件70进行限位。

如图8-图12所示，在本公开的一些实施例中，限位组件74可以包括调节座741和调节栓742。调节座741设置在连接主体71端部，调节栓742穿设在调节座741上，能够用于与限位板63抵接并调节连接主体71与限位板63的距离。

在本公开的一些实施例中，在传送样品时，首先在手套箱200内将样品装载至样品架400上，将样品架400连接在连接组件70上。然后，通过按压压柄45使得定位销44脱离定位孔(例如，起始定位孔)，推动压杆45使驱动组件主体41沿驱动滑轨50滑动，以带动样品导轨30在真空导轨20上滑动，从起始位置滑动至到达位置。在到达位置处，样品导轨30与传递腔300内的框架组件60的滑轨对接，形成连接组件70可以滑动的连续轨道。通过推动连接组件70在对接的轨道上滑动，可以将连接组件70滑入框架组件60，从而带动样品架400通过框架组件60滑入传递腔300。然后，可以关闭腔门12，提高真空腔10和传递腔300内的真空度，通过框架组件60和连接组件70，进行样品的进一步传递。

根据本公开一些实施例的真空传递装置能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的真空传递装置能够解决常规技术中需要手动将样品架送入真空运输腔中，使样品长时间暴露在大气下，易造成样品变性等问题，能够实现提高样品转运效率，避免样品长时间暴露大气、避免因样品变性带来实验失败或产品不合格等问题的技术效果。

根据本公开一些实施例的真空系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的真空系统能够解决常规技术中样品转运复杂，样品可能长时间暴露在大气下，样品易变性等问题，能够实现保证样品转运操作简单、避免暴露大气、样品不易变性的技术效果。

需要指出的是，以上仅为本公开的示例性实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (18)

1.一种真空传递装置，其特征在于，包括：

真空腔；

真空导轨，固定设置在所述真空腔内；

样品导轨，滑动设置在所述真空导轨上，用于引导样品架。

2.根据权利要求1所述的真空传递装置，其特征在于，所述样品导轨包括：

样品导轨主体；

至少一组样品导轨滑轮，设置在所述样品导轨主体两侧；

至少一个传动磁体，用于接收磁驱动。

3.根据权利要求2所述的真空传递装置，其特征在于，所述真空导轨包括：

第一真空导轨主体；

第二真空导轨主体，

所述第一真空导轨主体和所述第二真空导轨主体相对的侧面上包括凹槽，用于与所述至少一组样品导轨滑轮配合，使得所述样品导轨主体能够在所述第一真空导轨主体和所述第二真空导轨主体上滑动。

4.根据权利要求2所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：

驱动组件，滑动设置在所述真空腔上；

所述驱动组件包括：

驱动组件主体；

至少一个驱动磁体，设置在所述驱动组件主体上，用于与所述至少一个传动磁体磁耦合，以驱动所述样品导轨滑动。

5.根据权利要求4所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：

驱动滑轨，固定设置在所述真空腔上；

所述驱动组件还包括：至少一组驱动滑轮，设置在所述驱动组件主体上，且与所述驱动滑轨滑动配合。

6.根据权利要求5所述的真空传递装置，其特征在于，所述驱动组件还包括：

定位销；

压柄，与所述驱动组件主体转动连接，且与所述定位销连接，用于锁定或释放所述定位销和/或用于推动所述驱动组件主体在所述驱动滑轨上滑动。

7.根据权利要求6所述的真空传递装置，其特征在于，所述驱动滑轨包括：

多个定位孔，开设在所述驱动滑轨上，用于锁定所述定位销。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：

连接组件，与所述样品架固定连接，用于带动所述样品架在所述样品导轨上滑动，包括：

连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在所述容纳腔内；

第二滑动组件，设置在所述连接主体上，用于使所述连接主体在所述样品导轨上滑动。

9.根据权利要求8所述的真空传递装置，其特征在于，

框架组件，包括：

框架主体，包括容纳腔；

第一滑动组件，设置在所述框架主体上且至少部分位于所述容纳腔内，所述第一滑动组件，包括一个或多个滑轨，设置在所述容纳腔的内壁上，其中所述样品导轨用于沿所述真空导轨滑动以与所述一个或多个滑轨对接；

所述第二滑动组件，包括：

一组或多组滑轮或滑块，设置在所述连接主体上，与所述样品导轨配合，用于使所述连接主体在所述样品导轨上滑动，并且与所述一个或多个滑轨相配合，用于使所述连接主体进入或退出所述容纳腔。

10.根据权利要求9所述的真空传递装置，其特征在于，所述框架主体包括设置在所述容纳腔底部的开口；

所述一个或多个滑轨包括设置在所述容纳腔底部内壁上且位于开口两侧的多个底部滑轨；以及

所述一组或多组滑轮或滑块包括设置在所述连接主体侧面的多组侧面滑轮或侧面滑块，用于与所述多个底部滑轨配合。

11.根据权利要求10所述的真空传递装置，其特征在于，所述一个或多个滑轨还包括设置在所述容纳腔侧壁上且位于开口两侧的多个侧面滑轨；

所述一组或多组滑轮或滑块包括设置在所述连接主体顶部的多组顶部滑轮或顶部滑块，用于与所述多个侧面滑轨配合。

12.根据权利要求9所述的真空传递装置，其特征在于，所述框架主体包括“凹”字型结构，所述连接主体包括与“凹”字型结构配合的“几”字型结构。

13.根据权利要求9所述的真空传递装置，其特征在于，

所述连接组件还包括锁定结构，设置在所述连接主体上，

所述框架组件还包括与所述容纳腔连通的容纳口以及设置在容纳口端的锁定组件，用于与所述锁定结构相配合，以将连接主体锁定在所述容纳腔内。

14.根据权利要求13所述的真空传递装置，其特征在于，所述锁定组件包括：

锁钩，转动设置在所述框架主体上，

所述锁钩包括设置在末端的第一锁定斜面，

所述锁定结构包括设置在末端的第二锁定斜面，所述第二锁定斜面与所述第一锁定斜面相配合。

15.根据权利要求14所述的真空传递装置，其特征在于，所述锁定组件还包括：

限位件，与所述锁钩固定连接且用于与所述框架主体抵接，以进行限位，所述锁钩的连接端转动设置在所述框架主体的顶部，所述限位件与所述锁钩的上部固定连接，且用于与所述框架主体顶面抵接。

16.根据权利要求15所述的真空传递装置，其特征在于，所述锁定组件还包括设置在所述锁钩末端的导向轮，用于与所述连接主体的顶面滑动配合。

17.根据权利要求13所述的真空传递装置，其特征在于，

所述框架组件还包括设置在所述框架主体上与所述容纳口端相对的端部的限位板，用于对连接组件进行限位，所述连接组件还包括设置在所述连接主体端部的限位组件，用于与所述限位板抵接，以对所述连接组件进行限位。

18.一种真空系统，其特征在于，包括：

手套箱；

传递腔；

如权利要求1-17中任意一项所述的真空传递装置，所述真空传递装置至少部分地设置在所述手套箱内并与所述手套箱真空密封连接，且与所述传递腔真空密封连接。

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