CN116278395A - 能够测量液滴的喷墨打印设备 - Google Patents

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Abstract

本发明的实施例提供一种可以检查液滴的喷出状态并提前判断头单元的异常的能够测量液滴的喷墨打印设备。根据本发明的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：工艺台，提供工艺基板的处理空间；头单元，向所述工艺基板喷出液滴；第一夹具，夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；以及液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态。

Description

能够测量液滴的喷墨打印设备
技术领域
本发明涉及一种能够测量液滴的喷墨打印设备。
背景技术
显示器制造工艺包括用于在基板(透明玻璃)上形成用于发光的元件的多个处理工艺。例如，处理工艺可以包括涂层、曝光、蒸镀、清洗、蚀刻等。各个处理工艺可以通过配置于显示器制造工厂的制造设备来依次执行。另外，作为处理工艺，介绍有向基板喷出液滴(墨水)而形成膜或者图案的喷墨打印技法。
另一方面，喷墨打印工艺通过向基板喷出液滴(墨水)来执行，当在喷出液滴的头单元的喷嘴中残留有液滴或者异物时，液滴的喷出位置可能产生误差。
发明内容
因此，本发明的实施例提供一种可以检查液滴的喷出状态并提前判断头单元的异常的能够测量液滴的喷墨打印设备。
本发明的解决课题不限于以上提及的，本领域技术人员可以从下面的记载中明确地理解未提及的其它解决课题。
根据本发明的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：工艺台，提供工艺基板的处理空间；导向部件，配置于所述工艺台的两侧；头单元，向所述工艺基板喷出液滴；第一夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；以及液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态。
根据本发明的实施例，可以是，所述工艺基板以及所述测量用基板构成为以利用通过设置于所述工艺台的空气排出口施加的气压浮起的状态通过所述第一夹具以及所述第二夹具沿着第一方向移动，所述头单元构成为随着设置于所述工艺台的上方的门架沿着与所述第一方向垂直的第二方向移动，并对所述工艺基板以及所述测量用基板喷出所述液滴。
根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部包括：影像检查单元，拍摄所述测量用基板上的液滴，并从拍摄到的图像检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。
根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部包括：超声波检查单元，朝向所述测量用基板上的液滴施加超声波发射信号，并接收从所述液滴反射的超声波反射信号，并且通过所述超声波反射信号检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。
根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部比较喷出到所述测量用基板上的液滴的位置和基准位置来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
根据本发明的实施例，可以是，当所述测量用基板上的液滴喷出状态不正常时，所述液滴检查部输出通知针对所述头单元发生异常的信号。
根据本发明的实施例的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：工艺台，提供工艺基板的处理空间；导向部件，配置于所述工艺台的两侧；头单元，向所述工艺基板喷出液滴；第一夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态；以及清洗单元，去除残留于所述测量用基板的液滴。
根据本发明的实施例，可以是，所述清洗单元与所述工艺台相邻配置，所述导向部件向所述清洗单元延伸。
根据本发明的实施例，可以是，若所述液滴喷出到所述测量用基板，则所述第二夹具将所述测量用基板传送到所述液滴检查部，若完成对所述测量用基板上的液滴的检查，则所述第二夹具将所述测量用基板传送到所述清洗单元。
根据本发明的实施例，可以是，所述清洗单元包括：清洗液喷出部，将清洗液喷出到所述测量用基板而去除所述测量用基板上的液滴。
根据本发明的实施例，可以是，所述清洗单元包括：清洗用刮水器，通过物理接触去除所述测量用基板上的液滴。
可以是，根据本发明的实施例的能够测量液滴的喷墨打印设备包括：装载部，投入以及搬出工艺基板；工艺处理部，对所述工艺基板执行工艺处理；维护部，与所述工艺处理部相邻配置，并执行用于工艺处理的器具的维护；门架，设置于所述工艺处理部以及所述维护部的上方；以及头单元，构成为能够随着所述门架移动，并喷出用于对所述工艺基板进行处理的液体，所述工艺处理部包括：工艺台，提供所述工艺基板的处理空间；导向部件，配置于所述工艺台的两侧；第一夹具，构成为能够沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；第二夹具，构成为能够沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态；以及清洗单元，去除残留于所述测量用基板的液滴。
根据本发明的实施例，可以是，所述工艺台从下方被施加气压而使得所述工艺台浮起，所述第一夹具以及所述第二夹具构成为沿着所述工艺台在第一方向上移动，所述头单元构成为随着所述门架沿着与所述第一方向垂直的第二方向移动，并对所述工艺基板以及所述测量用基板喷出所述液滴。
根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部包括：影像检查单元，拍摄所述测量用基板上的液滴，并从拍摄到的图像检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。
根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部比较喷出到所述测量用基板上的液滴的位置和基准位置来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
根据本发明的实施例，可以是，所述液滴检查部比较所述液滴的形状和基准形状来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
根据本发明的实施例，可以是，当所述测量用基板上的液滴喷出状态正常时，设定成所述第一夹具将所述工艺基板传送到所述头单元的下方，所述头单元向所述工艺基板喷出液滴，当所述测量用基板上的液滴喷出状态不正常时，设定成所述头单元移动到所述维护部。
根据本发明的实施例，可以是，所述维护部包括：喷嘴检查单元，检查所述头单元的各喷嘴；以及喷嘴清洗单元，去除残留于所述喷嘴的异物。
根据本发明，向通过第二夹具夹持的测量用基板喷出液滴，并使用液滴检查部来检查喷出到测量用基板的液滴，从而可以提前判断头单元的异常而采取措施。
本发明的效果不限于以上提及的，本领域技术人员可以从下面的记载中明确地理解未提及的其它效果。
附图说明
图1示出根据本发明的实施例的喷墨打印设备的概要结构。
图2是根据本发明的实施例的喷墨打印设备的工作流程图。
图3是示出根据本发明的实施例的头单元的检查过程的流程图。
图4以及图5示出根据本发明的实施例的液滴检查部的概要结构。
图6a以及图6b示出液滴喷出到正常位置的情况和发生喷出位置异常情况的例子。
图7a以及图7b示出喷出具有正常形状的液滴的情况和喷出非正常的液滴的情况的例子。
图8示出根据本发明的实施例的设置有清洗单元的喷墨打印设备的概要结构。
图9至图11示出根据本发明的实施例的使用了清洗单元的测量用基板的清洗方法。
图12以及图13示出根据本发明的实施例的喷墨打印处理系统的概要结构。
(附图标记说明)
10：喷墨打印设备
11：装载部
12：工艺处理部
13：维护部
100：工艺台
200：头单元
250：门架
300：头单元
305：导向部件
310：第一夹具
320：第二夹具
400：液滴检查部
410：影像检查单元
420：超声波检查单元
500：清洗单元
510：清洗液喷出部
520：清洗用刮水器
700：维护台
800：喷嘴检查单元
900：喷嘴清洗单元
IG：测量用基板
PG：工艺基板
具体实施方式
以下，参照所附附图来详细说明本发明的实施例，以使得本发明所属技术领域中具有通常知识的人能够容易地实施。本发明可以以各种不同方式实现，但不限于在此说明的实施例。
为了清楚地说明本发明而省略了与说明无关的部分，贯穿说明书整体针对相同或类似的构成要件标注相同的附图标记。
另外，在各实施例中，针对具有相同结构的构成要件使用相同的附图标记来仅说明代表性实施例，在其余的其它实施例中仅说明与代表性实施例不同的结构。
在说明书整体中，当表述某部分与其它部分“连接(或者结合)时，其不仅是“直接连接(或者结合)”的情况，还包括隔着其它部件“间接连接(或者结合)的情况。另外，当表述某部分“包括”某构成要件时，只要没有特别相反的记载，其意指还包括其它构成要件而不是排除其它构成要件。
只要没有不同地定义，包括技术或科学性术语在内的在此使用的所有术语与本发明所属技术领域中具有通常知识的人一般所理解的含义具有相同的含义。与通常所使用的词典中定义的术语相同的术语应解释为与相关技术文脉上所具有的含义一致的含义，只要在本申请中没有明确地定义，不能理想或过渡性地解释为形式性含义。
以下，针对根据本发明的能够测量液滴的喷墨打印设备以及喷墨打印处理系统进行说明。当为根据本发明的通常的喷墨打印系统时，当检测到喷墨异常时或者周期性地喷出液滴时，将头单元传送到另外空间(维护区)，使头单元向测试用膜上喷出液滴，从而执行检查。
然而，当如此在与工艺处理空间分开的另外空间中进行检查时，存在由于温度、湿度、气流等工艺条件的差异而难以执行准确的检查的问题。尤其，最近喷墨打印工艺要求微米单位的精度，即使是微小的工艺环境的差异，也能影响整体的工艺精度。因此，根据本发明的实施例提供能够在与工艺处理空间相同的环境下检查头单元的液滴的喷出状态的方法。
图1示出根据本发明的实施例的喷墨打印设备10的概要结构。根据本发明的能够检查液滴的喷墨打印设备10包括：工艺台100，提供工艺基板PG的处理空间；导向部件305，配置于工艺台100的两侧；头单元200，向工艺基板PG喷出液滴；第一夹具310，构成为能够沿着导向部件305移动，并夹持工艺基板PG的侧部；第二夹具320，构成为能够沿着导向部件305移动，并夹持被喷出用于检查头单元200的液滴的测量用基板IG；以及液滴检查部400，检查喷出到测量用基板IG的液滴的喷出状态。另外，根据测量用基板IG上的液滴的喷出状态而控制头单元200的控制器(未图示)可以设置于喷墨打印设备10。
根据本发明，构成为工艺基板PG以及测量用基板IG以利用通过设置于工艺台100的空气排出口施加的气压来浮起的状态，通过第一夹具310以及第二夹具320沿着第一方向(X方向)移动，头单元200随着设置于工艺台100的上方的门架250沿着与第一方向(X方向)垂直的第二方向(Y方向)移动，并对工艺基板PG以及测量用基板IG喷出液滴。
工艺台100提供为一定的面积，并提供用于对工艺基板PG进行处理的空间。构成为第一夹具310以及第二夹具320沿着设置于工艺台100的两侧面的导向部件305移动。在图1、图8、图12、图13中示出为第一夹具310和第二夹具320沿着相同的导向部件305移动，但可以为了第一夹具310和第二夹具320的移动而提供独立的导向部件(第一导向部件、第二导向部件)。
另一方面，可以是，空气通过在工艺台100形成的多个空气排出口排出，工艺基板PG以及测量用基板IG以通过气压浮起的状态通过第一夹具310以及第二夹具320传送。第一夹具310以及第二夹具320可以通过真空吸附方式将工艺基板PG以及测量用基板IG以吸附状态沿着第一方向(X方向)移动。
头单元200作为将药液供应到基板上的装置，可以包括保管药液的保管部和喷出药液的多个喷嘴。头单元200可以随着门架250沿着与第一方向(X方向)垂直的第二方向(Y方向)移动。
液滴检查部400构成为检查喷出到测量用基板IG上的液滴的喷出状态。液滴检查部400可以设置于在工艺台100的上方设置的门架450，并可以在上方拍摄测量用基板IG来检查液滴的喷出状态(喷出位置)。
另一方面，根据一实施例，液滴检查部400可以由施加超声波信号的超声波传感器构成而通过超声波信号来确认各液滴的形状。液滴检查部400可以将与测量用基板IG上的液滴有关的信息提供到控制器。
控制器可以控制喷墨打印设备10的整体工作，尤其根据测量用基板IG上的液滴喷出状态，尤其控制头单元200的工作。例如，若判断为测量用基板IG上的液滴不正常，则控制器可以输出提醒以使得中断头单元200的工作而执行维护。若判断为测量用基板IG上的液滴正常，则可以控制成投入工艺基板PG，并使得头单元200将用于工艺处理的药液喷出到工艺基板PG。
图2是根据本发明的实施例的喷墨打印设备10的工作方法的流程图。根据本发明的喷墨打印设备10的工作方法包括：执行对头单元200执行检查的步骤(S210)；判断头单元200是否有异常的步骤(S220)；当头单元200没有异常时执行喷墨打印工艺的步骤(S230)；以及当头单元200具有异常时对头单元200执行维护的步骤(S235)。若完成对头单元200的维护，则可以进行执行工艺处理的步骤。另外，若完成对头单元200的维护，则也可以再次执行对头单元执行检查的步骤(S210)。
图3是示出根据本发明的实施例的头单元200的检查过程的流程图。对头单元200执行检查的步骤(S210)包括：将测量用基板IG移动到头单元200的下方的步骤(S310)；向测量用基板IG喷出液滴的步骤(S320)；以及检查测量用基板IG上的液滴的步骤(S330)。
图4以及图5示出根据本发明的实施例的液滴检查部400的概要结构。
根据本发明的一实施例，液滴检查部400包括：影像检查单元410，拍摄测量用基板IG上的液滴，并从拍摄到的图像检查液滴的喷出位置或者液滴的形状。如图4所示，可以是，在位于工艺台100的上方的门架450设置影像检查单元410，基于通过影像检查单元410拍摄到的液滴D的影像来检查液滴D的喷出位置或者液滴D的形状。在此，影像检查单元410可以比较喷出到测量用基板IG上的液滴D的位置和基准位置来输出与头单元200中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。另外，影像检查单元410可以比较液滴D的形状和基准形状来输出与头单元200中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
根据本发明的一实施例，液滴检查部400包括超声波检查单元420，该超声波检查单元420朝向测量用基板IG上的液滴D施加超声波发射信号，接收从液滴D反射的超声波反射信号，通过超声波反射信号来检查液滴D的形状。如图5所示，可以是，在位于工艺台100的上方的门架450设置包括超声波发射器422以及超声波接收器424的超声波检查单元420，通过对从液滴D以及测量用基板IG反射的超声波信号的分析来检查液滴D的喷出位置或者液滴D的形状。在此，超声波检查单元420可以比较喷出到测量用基板IG上的液滴D的位置和基准位置来输出与头单元200中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。另外，超声波检查单元420可以比较液滴D的形状和基准形状来输出与头单元200中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
例如，当如图6a所示那样所有液滴D喷出到基准位置时，液滴检查部400可以判断为头单元200没有异常。相反，当如图6b所示那样喷出有液滴D的位置从基准位置P偏离时，可以判断为头单元200存在异常。尤其，当如图6b所示那样头单元200的喷嘴N1、N2、N3、N4中特定喷嘴N2的喷出位置偏离基准位置P时，可以判断为该喷嘴N2存在异常。
根据本发明的实施例，当测量用基板IG上的液滴喷出状态不正常时，液滴检查部400可以输出通知针对头单元200发生异常的信号。例如，液滴检查部400可以向喷墨打印设备10的管理装置PC传递通知头单元200发生异常的异常消息(例如：头不良内容、喷嘴不良信息)，并可以通过异常消息执行更换或检查头单元200之类的措施。
另外，可以执行针对液滴的形状的检查。例如，当如图7a所示那样所有液滴D与基准形状一致时，液滴检查部400可以判断为头单元200没有异常。相反，当如图7b所示那样液滴D的形状与基准形状不一致时，可以判断为头单元200存在异常。尤其，当如图7b所示那样通过头单元200的喷嘴N1、N2、N3、N4中的特定喷嘴N2喷出的液滴D的形状与基准形状不一致时，可以判断为该喷嘴N2存在异常。若完成对液滴D的检查，则可以更换测量用基板IG。另一方面，测量用基板IG也可以由与工艺基板PG相同材料的玻璃构成，但可以使用如膜那样能够检查液滴的任何形态的物质。
图8示出根据本发明的实施例的设置有清洗单元的喷墨打印设备的概要结构。根据本发明的喷墨打印设备10可以还包括：清洗单元500，在向测量用基板IG喷出液滴并执行检查之后，去除残留于测量用基板IG的液滴。
根据本发明的实施例的喷墨打印设备10可以包括：工艺台100，提供工艺基板PG的处理空间；头单元200，向工艺基板PG喷出液滴D；第一夹具310，夹持工艺基板PG的侧部；第二夹具320，夹持被喷出用于检查头单元200的液滴D的测量用基板IG；导向部件305，配置于工艺台100的两侧并提供第一夹具310以及第二夹具320的移动路径；液滴检查部400，检查喷出到测量用基板IG的液滴D的喷出状态；以及清洗单元500，去除测量用基板IG上的液滴D。
若完成对液滴D的检查，则可以更换测量用基板IG，但也可以清洗测量用基板IG而去除液滴D后重新使用测量用基板IG。根据本发明，可以通过使用清洗单元500来去除喷出到测量用基板IG的液滴D而重新使用测量用基板IG。另一方面，为了有效地去除喷出到测量用基板IG的液滴D，可以对测量用基板IG的表面进行疏水涂层处理。
根据本发明，可以是，如图8所示，清洗单元500与工艺台100相邻配置，导向部件305向清洗单元500延伸。
夹持测量用基板IG的第二夹具320以夹持测量用基板IG的状态移动到头单元200，使得液滴喷出到测量用基板IG。之后，第二夹具320可以若被喷出液滴D则将测量用基板IG传送到液滴检查部400，若完成对测量用基板IG上的液滴的检查则将测量用基板IG传送到清洗单元500。
若测量用基板IG传送到清洗单元500，则可以通过清洗单元500去除残留于测量用基板IG的液滴D以及异物。测量用基板IG的清洗可以与工艺基板PG的处理无关地执行，或在不执行工艺的期间执行。若完成对测量用基板IG的清洗，则测量用基板IG可以留在清洗单元500等待或移动到单独的等待位置。
根据本发明的一实施例，清洗单元500可以包括：清洗液喷出部510，将清洗液C喷出到测量用基板IG而去除测量用基板IG上的液滴D。如图9所示，清洗液喷出部510可以通过将清洗液C喷出到测量用基板IG上来去除残留的液滴D。在此，清洗液喷出部510可以在水平方向(Y方向)上移动的同时喷出清洗液C来清洗测量用基板IG。另一方面，为了干燥残留的清洗液C，在清洗单元500也可以设置喷射高温或常温空气的吹风机形态的干燥装置。
根据本发明的一实施例，清洗单元500可以包括：清洗用刮水器520，通过物理接触去除测量用基板IG上的液滴D。如图10所示，清洗用刮水器520可以沿着水平方向(Y方向)在测量用基板IG上移动的同时去除残留的液滴D。清洗用刮水器520可以由用于擦拭液滴D的布材料的吸水纸或者毛刷构成。
另一方面，可以将清洗液喷出部510和清洗用刮水器520一起设置来去除残留于测量用基板IG上的液滴D。如图11所示，清洗液喷出部510和清洗用刮水器520可以一起在水平方向(Y方向)上移动，在此，可以是，清洗液喷出部510喷出清洗液C的同时清洗用刮水器520擦拭残留的清洗液C和液滴D的残留物。
图12以及图13示出根据本发明的实施例的喷墨打印设备10的概要结构。根据本发明，喷墨打印设备10不仅是工艺处理，可以包括用于针对工艺处理所需的装置(例如：头单元200)执行维护的维护部13。例如，若在工艺处理之前，向测量用基板IG喷出液滴D来进行检查的结果，判断为头单元200存在异常，则可以在不拆卸头单元200的情况下，将头单元200移动到维护部13来执行维护。当头单元200的喷嘴存在堵塞时，可以通过清洁该喷嘴来消除堵塞后，将头单元200重新移动到工艺处理部12而执行工艺处理。图12示出头单元200位于工艺处理部12的情况，图13示出头单元200为了维护而位于维护部13的情况。
根据本发明的实施例的喷墨打印设备10包括：装载部11，投入以及搬出工艺基板PG；工艺处理部12，对工艺基板PG执行工艺处理；维护部13，与工艺处理部12相邻配置；门架250，设置于工艺处理部12以及维护部13的上方；以及头单元200，构成为能够沿着门架250移动，并喷出用于处理工艺基板PG的液体。根据本发明，所述工艺处理部12包括：工艺台100，提供工艺基板PG的处理空间；第一夹具310，构成为能够沿着工艺台100移动，并夹持工艺基板PG的侧部；第二夹具320，构成为能够沿着工艺台100移动并夹持被喷出用于检查头单元200的液滴的测量用基板IG；导向部件305，配置于工艺台100的两侧并提供第一夹具310以及第二夹具320的移动路径；液滴检查部400，检查喷出到测量用基板IG的所述液滴的喷出状态；以及清洗单元500，去除残留于测量用基板IG的液滴D。
设置成当测量用基板IG上的液滴喷出状态正常时，第一夹具310将工艺基板PG传送到头单元200的下方，头单元200向工艺基板PG喷出液滴，当测量用基板IG上的液滴喷出状态不正常时，头单元200移动到维护部13。
根据本发明，维护部13可以包括：喷嘴检查单元800，检查头单元200的各喷嘴；以及喷嘴清洗单元900，去除残留于喷嘴的异物。喷嘴检查单元800可以包括一个或两个以上的相机，并可以检查头单元200的各喷嘴中是否存在异物。喷嘴清洗单元900可以包括用于清洗头单元200的喷嘴的吸水纸或者毛刷，并可以使用吸水纸或者毛刷去除存在于喷嘴的内部或者周边的异物。另外，头单元200可以一次性地向维护台700的容器喷射高压液来去除内部的异物。
若完成对头单元200的维护，则头单元200可以重新随着门架250移动到工艺处理部12，向工艺基板PG喷出液体。另一方面，即使在完成对头单元200的维护的情况下，也可以向测量用基板IG喷出液体来执行复查。
本实施例以及本说明书中所附的附图只不过是清楚地表示包括在本发明中的技术构思的一部分，显而易见本领域技术人员能够在包括在本发明的说明书以及附图中的技术构思的范围内容易地类推的变形例和具体实施例均包括在本发明的权利范围内。
因此，本发明的构思不应局限于所说明的实施例来确定，不仅是所附的权利要求书，与该权利要求书等同或具有等价变形的所有构思均属于本发明构思的范畴。

Claims (20)

1.一种能够测量液滴的喷墨打印设备，包括：
工艺台，提供工艺基板的处理空间；
导向部件，配置于所述工艺台的两侧；
头单元，向所述工艺基板喷出液滴；
第一夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；
第二夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；以及
液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态。
2.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述工艺基板以及所述测量用基板构成为以利用通过设置于所述工艺台的空气排出口施加的气压浮起的状态通过所述第一夹具以及所述第二夹具沿着第一方向移动，
所述头单元构成为随着设置于所述工艺台的上方的门架沿着与所述第一方向垂直的第二方向移动，并对所述工艺基板以及所述测量用基板喷出所述液滴。
3.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述液滴检查部包括：
影像检查单元，拍摄所述测量用基板上的液滴，并从拍摄到的图像检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。
4.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述液滴检查部包括：
超声波检查单元，朝向所述测量用基板上的液滴施加超声波发射信号，并接收从所述液滴反射的超声波反射信号，并且通过所述超声波反射信号检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。
5.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述液滴检查部比较喷出到所述测量用基板上的液滴的位置和基准位置来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
6.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述液滴检查部比较所述液滴的形状和基准形状来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
7.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
当所述测量用基板上的液滴喷出状态正常时，所述第一夹具将所述工艺基板传送到所述头单元的下方，所述头单元向所述工艺基板喷出液滴。
8.根据权利要求1所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
当所述测量用基板上的液滴喷出状态不正常时，所述液滴检查部输出通知针对所述头单元发生异常的信号。
9.一种能够测量液滴的喷墨打印设备，包括：
工艺台，提供工艺基板的处理空间；
导向部件，配置于所述工艺台的两侧；
头单元，向所述工艺基板喷出液滴；
第一夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；
第二夹具，构成为沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；
液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态；以及
清洗单元，去除残留于所述测量用基板的液滴。
10.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述清洗单元与所述工艺台相邻配置，
所述导向部件向所述清洗单元延伸。
11.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
若所述液滴喷出到所述测量用基板，则所述第二夹具将所述测量用基板传送到所述液滴检查部，
若完成对所述测量用基板上的液滴的检查，则所述第二夹具将所述测量用基板传送到所述清洗单元。
12.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述清洗单元包括：
清洗液喷出部，将清洗液喷出到所述测量用基板而去除所述测量用基板上的液滴。
13.根据权利要求9所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述清洗单元包括：
清洗用刮水器，通过物理接触去除所述测量用基板上的液滴。
14.一种能够测量液滴的喷墨打印设备，包括：
装载部，投入以及搬出工艺基板；
工艺处理部，对所述工艺基板执行工艺处理；
维护部，与所述工艺处理部相邻配置，并执行用于工艺处理的器具的维护；
门架，设置于所述工艺处理部以及所述维护部的上方；以及
头单元，构成为能够随着所述门架移动，并喷出用于对所述工艺基板进行处理的液体，
所述工艺处理部包括：
工艺台，提供所述工艺基板的处理空间；
导向部件，配置于所述工艺台的两侧；
第一夹具，构成为能够沿着所述导向部件移动，并夹持所述工艺基板的侧部；
第二夹具，构成为能够沿着所述导向部件移动，并夹持被喷出用于检查所述头单元的液滴的测量用基板；
液滴检查部，检查喷出到所述测量用基板的所述液滴的喷出状态；以及
清洗单元，去除残留于所述测量用基板的液滴。
15.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述工艺台从下方被施加气压而使得所述工艺台浮起，
所述第一夹具以及所述第二夹具构成为沿着所述工艺台在第一方向上移动，
所述头单元构成为随着所述门架沿着与所述第一方向垂直的第二方向移动，并对所述工艺基板以及所述测量用基板喷出所述液滴。
16.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述液滴检查部包括：
影像检查单元，拍摄所述测量用基板上的液滴，并从拍摄到的图像检查所述液滴的喷出位置或者所述液滴的形状。
17.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述液滴检查部比较喷出到所述测量用基板上的液滴的位置和基准位置来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
18.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述液滴检查部比较所述液滴的形状和基准形状来输出与所述头单元中发生喷出不良的喷嘴有关的信息。
19.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
当所述测量用基板上的液滴喷出状态正常时，设定成所述第一夹具将所述工艺基板传送到所述头单元的下方，所述头单元向所述工艺基板喷出液滴，
当所述测量用基板上的液滴喷出状态不正常时，设定成所述头单元移动到所述维护部。
20.根据权利要求14所述的能够测量液滴的喷墨打印设备，其中，
所述维护部包括：
喷嘴检查单元，检查所述头单元的各喷嘴；以及
喷嘴清洗单元，去除残留于所述喷嘴的异物。
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