CN116057293A - 加压流体供给系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种加压流体供给系统(10)，在来自流体供给源(16)的加压流体的供给恢复为正常时，能够良好地再次开始向支承部件(14)供给加压流体。加压流体供给系统(10)具备：流体供给路径(12)，其用于对使用加压流体支承部件(18)的支承部件(14)供给来自流体供给源(16)的加压流体；电磁阀(32)，其设置于流体供给路径上；压力传感器(30A)，其设置于流体供给源与电磁阀之间的流体供给路径上，检测加压流体的压力；流量传感器(30B)，其设置于电磁阀与支承部件之间的流体供给路径上，检测加压流体的流量；以及控制部(40)，其控制电磁阀的开闭。

Description

加压流体供给系统

技术领域

本发明涉及加压流体供给系统。

背景技术

在日本特开2018-109429号公报中公开了一种静压轴承装置，该静压轴承装置具备：旋转体，其包含主轴；以及轴承主体部，其以包围主轴的方式配置于主轴的半径方向外侧。

发明内容

若从流体供给源向静压轴承的加压流体的供给中断，则主轴有可能受损。考虑通过在供给加压流体的流体供给路径上设置电磁阀、传感器等来采取对策。然而，在仅将电磁阀、传感器等设置于流体供给路径的情况下，在来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常时，无法良好地再次开始向静压轴承的加压流体的供给。

本发明的目的在于提供一种在来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常时能够良好地再次开始向支承部件供给加压流体的加压流体供给系统。

本发明的一方式的加压流体供给系统具备：流体供给路径，其用于对使用加压流体支承部件的支承部件供给来自流体供给源的所述加压流体；电磁阀，其设置于所述流体供给路径上；压力传感器，其设置于所述流体供给源与所述电磁阀之间的所述流体供给路径上，检测所述加压流体的压力；流量传感器，其设置于所述电磁阀与所述支承部件之间的所述流体供给路径上，检测所述加压流体的流量；以及控制部，其控制所述电磁阀的开闭。

根据本发明，能够提供一种在来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常时能够良好地再次开始向支承部件供给加压流体的加压流体供给系统。

附图说明

图1是表示第一实施方式的加压流体供给系统的框图。

图2A～图2F是表示压力传感器、流量传感器以及电磁阀的配置的例子的图。

图3是表示第一实施方式的加压流体供给系统的动作的例子的流程图。

图4是表示第二实施方式的加压流体供给系统的框图。

图5是表示第二实施方式的加压流体供给系统的动作的流程图。

图6A和图6B是表示第三实施方式的加压流体供给系统的框图。

图7是表示评价结果的图表。

具体实施方式

以下，列举优选的实施方式，参照附图对本发明的加压流体供给系统进行详细说明。

[第一实施方式]

使用图1～图3对第一实施方式的加压流体供给系统进行说明。

如图1所示，在本实施方式的加压流体供给系统10中具备流体供给路径12。流体供给路径12能够对后述的支承部件14供给来自流体供给源16的加压流体。在此，以加压流体为加压气体的情况为例进行说明，但并不限定于此。加压流体也可以是加压液体。作为液体，可举出水、油等，但并不限定于此。支承部件14能够使用加压流体来支承后述的部件18。流体供给路径12的长度例如为2～3m左右，但并不限定于此。流体供给路径12的内径例如为4.5mm左右，但并不限定于此。流体供给路径12由配管13构成。

流体供给源16例如具备未图示的压缩机、未图示的调节器等。流体供给源16能够经由流体供给路径12向支承部件14供给加压流体。

支承部件14能够使用从流体供给源16供给的加压流体对部件18进行支承。更具体而言，支承部件14能够使用从流体供给源16供给的加压流体将部件18支承为能够旋转或者能够滑动。支承部件14例如是静压轴承，但并不限定于此。部件18例如是轴，但并不限定于此。在此，以在机床20的主轴22具备支承部件14和部件18的情况为例进行说明，但并不限定于此。

在主轴22具备壳体24。在壳体24形成有与流体供给路径12连通的供气通路26。加压流体能够经由供气通路26向支承部件14、即静压轴承供给。即，加压流体能够经由供气通路26向静压轴承供给。此外，主轴22还具备这些构成要素以外的构成要素，但在此省略说明。

在流体供给源16与支承部件14之间的流体供给路径12上具备电磁阀32。电磁阀32例如为常闭的电磁阀，但并不限定于此。

在流体供给源16与电磁阀32之间的流体供给路径12上具备传感器30A(压力传感器30A)。压力传感器30A能够检测从流体供给源16供给的加压流体的压力。

在电磁阀32与支承部件14之间的流体供给路径12上具备传感器30B(流量传感器30B)。流量传感器30B能够检测加压流体的流量。一般在对传感器进行说明时，使用附图标记30，在对各个传感器进行说明时，使用附图标记30A、30B。

加压流体供给系统10还具备控制装置34。控制装置34具备运算部36和存储部38。运算部36例如能够由CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)等处理器构成，但并不限定于此。运算部36具备控制部40和判定部42。控制部40和判定部42能够通过由运算部36执行存储于存储部38的程序来实现。

存储部38例如具备未图示的易失性存储器和未图示的非易失性存储器。作为易失性存储器，例如可列举RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等。作为非易失性存储器，例如可列举ROM(Read Only Memory：只读存储器)、闪存等。程序、数据等能够存储于存储部38。能够将表示与压力传感器30A检测出的压力相关的正常压力范围的数据、以及表示与流量传感器30B检测出的流量相关的正常流量范围的数据预先存储于存储部38。

控制部40负责控制装置34整体的控制。控制部40能够进行电磁阀32的开闭控制。

判定部42能够判定由压力传感器30A检测出的压力是否在正常范围内(正常压力范围内)。判定部42能够判定由流量传感器30B检测出的流量是否在正常范围内(正常流量范围内)。在判定部42判定为由任意一个传感器30检测出的检测值在正常范围外的情况下，控制部40关闭电磁阀32。在关闭电磁阀32之后，在由位于电磁阀32的上游侧的传感器30检测出的检测值在正常范围内的情况下，控制部40打开电磁阀32。即，在由位于电磁阀32的上游侧的传感器30检测出的检测值在正常范围外的情况下，控制部40不打开电磁阀32。这是为了不使不良情况的影响波及到电磁阀32的下游侧。在关闭电磁阀32之后，即使由位于电磁阀32的下游侧的传感器30检测出的检测值在正常范围外，在由位于电磁阀32的上游侧的传感器30检测出的检测值在正常范围内的情况下，控制部40也能够打开电磁阀32。但是，即使在从打开电磁阀32起经过了预定时间之后，在由位于电磁阀32的下游侧的传感器30检测出的检测值仍在正常范围外的情况下，控制部40再次关闭电磁阀32。

在本实施方式中，使压力传感器30A位于流体供给源16与电磁阀32之间，使流量传感器30B位于电磁阀32与支承部件14之间。即，在本实施方式中，从上游侧朝向下游侧，以压力传感器30A、电磁阀32、流量传感器30B的顺序配置这些构成要素。在本实施方式中，以这样的顺序配置这些构成要素是基于以下的理由。

图2A～图2F是表示压力传感器、流量传感器以及电磁阀的配置的例子的图。

在图2A所示的例子、即比较例1中，从上游侧朝向下游侧，按照流量传感器30B、压力传感器30A、电磁阀32的顺序配置有这些构成要素。如上所述，在由任意一个传感器30检测出的检测值由于某些情况而在正常范围外的情况下，电磁阀32关闭。当电磁阀32关闭时，加压流体的流动被关闭的电磁阀32切断。因此，在图2A所示的例子中，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，由流量传感器30B检测的流量也不会在正常流量范围内。如上所述，在由位于电磁阀32的上游侧的传感器30检测出的检测值在正常范围外的情况下，控制部40不打开电磁阀32。在图2A所示的例子中，2个传感器30位于电磁阀32的上游侧，但在由2个传感器30检测的检测值中的至少任一个为正常范围外的情况下，控制部40不打开电磁阀32。因此，在图2A所示的例子中，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，电磁阀32也不打开，无法良好地再次开始向支承部件14供给加压流体。

在图2B所示的例子、即比较例2中，从上游侧朝向下游侧，按照流量传感器30B、电磁阀32、压力传感器30A的顺序配置有这些构成要素。如上所述，在由任意一个传感器30检测出的检测值由于某些情况而在正常范围外的情况下，电磁阀32关闭。当电磁阀32关闭时，加压流体的流动被关闭的电磁阀32切断。因此，在图2B所示的例子中，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，由流量传感器30B检测的流量也不会在正常流量范围内。另外，由压力传感器30A检测的压力也不在正常压力范围内。如上所述，在由位于电磁阀32的上游侧的传感器30检测出的检测值在正常范围外的情况下，控制部40不打开电磁阀32。因此，在图2B所示的例子中，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，电磁阀32也不打开，无法良好地再次开始向支承部件14供给加压流体。

在图2C所示的例子、即比较例3中，从上游侧朝向下游侧，按照电磁阀32、压力传感器30A、流量传感器30B的顺序配置有这些构成要素。如上所述，在由任意一个传感器30检测出的检测值由于某些情况而在正常范围外的情况下，电磁阀32关闭。当电磁阀32关闭时，加压流体的流动被关闭的电磁阀32切断。由于向压力传感器30A的加压流体的供给被电磁阀32切断，因此在图2C所示的例子中，无法通过压力传感器30A检测出从流体供给源16供给的加压流体的压力是否恢复为正常。因此，在图2C所示的例子中，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，也无法良好地再次开始向支承部件14供给加压流体。

在图2D所示的例子、即比较例4中，从上游侧朝向下游侧，按照电磁阀32、流量传感器30B、压力传感器30A的顺序配置有这些构成要素。如上所述，在由任意一个传感器30检测出的检测值由于某些情况而在正常范围外的情况下，电磁阀32关闭。当电磁阀32关闭时，加压流体的流动被关闭的电磁阀32切断。由于向压力传感器30A的加压流体的供给被电磁阀32切断，因此在图2D所示的例子中，无法通过压力传感器30A检测出从流体供给源16供给的加压流体的压力是否恢复为正常。因此，在图2D所示的例子中，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，也无法良好地再次开始向支承部件14供给加压流体。

在图2E所示的例子、即比较例5中，从上游侧朝向下游侧，按照压力传感器30A、流量传感器30B、电磁阀32的顺序配置有这些构成要素。如上所述，在由任意一个传感器30检测出的检测值由于某些情况而在正常范围外的情况下，电磁阀32关闭。当电磁阀32关闭时，加压流体的流动被关闭的电磁阀32切断。因此，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，由流量传感器30B检测的流量也不会在正常流量范围内。如上所述，在由位于电磁阀32的上游侧的传感器30检测出的检测值在正常范围外的情况下，控制部40不打开电磁阀32。在图2E所示的例子中，2个传感器30位于电磁阀32的上游侧，但在由2个传感器30检测的检测值中的至少任一个为正常范围外的情况下，控制部40不打开电磁阀32。因此，在图2E所示的例子中，在电磁阀32关闭后，即使来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，电磁阀32也不打开，无法良好地再次开始向支承部件14供给加压流体。

在图2F所示的例子、即本实施方式中，从上游侧朝向下游侧，按照压力传感器30A、电磁阀32、流量传感器30B的顺序配置有这些构成要素。如上所述，在由任意一个传感器30检测出的检测值由于某些情况而在正常范围外的情况下，电磁阀32关闭。由于压力传感器30A位于流体供给源16与电磁阀32之间，因此在图2F所示的例子中，能够通过压力传感器30A检测来自流体供给源16的加压流体的供给是否恢复为正常。在来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常的情况下，由压力传感器30A检测的压力在正常压力范围内。在图2F所示的例子中，位于电磁阀32的上游侧的传感器30仅为压力传感器30A。即，在图2F所示的例子中，尽管来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，但检测值在正常范围外的传感器30不存在于电磁阀32的上游侧。因此，在图2F所示的例子中，在电磁阀32关闭后，来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常的情况下，电磁阀32打开。当电磁阀32打开时，由流量传感器30B检测的加压流体的流量在正常流量范围内。这样，在图2F所示的例子、即本实施方式中，在电磁阀32关闭后，来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常的情况下，电磁阀32打开，能够良好地再次开始向支承部件14供给加压流体。

图3是表示本实施方式的加压流体供给系统的动作的例子的流程图。

在步骤S1中，判定部42判定由压力传感器30A检测出的压力是否在正常压力范围内。在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围内的情况下(在步骤S1中为“是”)，转移到步骤S2。在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外的情况下(在步骤S1中为“否”)，转移到步骤S3。

在步骤S2中，判定部42判定由流量传感器30B检测出的流量是否在正常流量范围内。在由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的情况下(在步骤S2中为“是”)，反复进行步骤S1以后的处理。在由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况下(在步骤S2中为“否”)，转移到步骤S3。

在步骤S3中，控制部40关闭电磁阀32。之后，转移到步骤S4。

在步骤S4中，判定部42判定由压力传感器30A检测出的压力是否在正常压力范围内。在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围内的情况下(在步骤S4中为“是”)，转移到步骤S5。在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外的情况下(在步骤S4中为“否”)，反复进行步骤S4。

在步骤S5中，控制部40打开电磁阀32。之后，转移到步骤S6。

在步骤S6中，判定部42判定由流量传感器30B检测出的流量是否在正常流量范围内。在由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的情况下(在步骤S6中为“是”)，反复进行步骤S1以后的处理。即使在从电磁阀32打开起经过了预定时间之后，在由流量传感器30B检测出的流量仍在正常流量范围外的情况下(在步骤S6中为“否”)，转移到步骤S7。

在步骤S7中，控制部40关闭电磁阀32。这样，图3所示的处理完成。

这样，根据本实施方式，在流体供给源16与电磁阀32之间的流体供给路径12上设置有压力传感器30A，在电磁阀32与支承部件14之间的流体供给路径12上设置有流量传感器30B。在由任一传感器30检测出的检测值因某些情况而在正常范围外的情况下，电磁阀32关闭。由于压力传感器30A位于流体供给源16与电磁阀32之间，因此在本实施方式中，能够通过压力传感器30A检测来自流体供给源16的加压流体的供给是否恢复为正常。在来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常的情况下，由压力传感器30A检测的压力在正常压力范围内。在本实施方式中，位于电磁阀32的上游侧的传感器30仅为压力传感器30A。即，在本实施方式中，尽管来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常，但检测值在正常范围外的传感器30不存在于电磁阀32的上游侧。因此，在本实施方式中，在电磁阀32关闭之后，在来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常的情况下，电磁阀32打开。当电磁阀32打开时，由流量传感器30B检测的加压流体的流量在正常流量范围内。这样，在本实施方式中，在电磁阀32关闭后，在来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常的情况下，电磁阀32打开，能够良好地再次开始向支承部件14供给加压流体。这样，根据本实施方式，能够提供在来自流体供给源16的加压流体的供给恢复为正常时能够良好地再次开始向支承部件14供给加压流体的加压流体供给系统10。

[第二实施方式]

使用图4以及图5对第二实施方式的加压流体供给系统进行说明。对与图1～图3所示的第一实施方式的加压流体供给系统相同的构成要素标注相同的附图标记并省略或简化说明。图4是表示本实施方式的加压流体供给系统的框图。

本实施方式的加压流体供给系统10能够基于由压力传感器30A检测出的压力和由流量传感器30B检测出的流量来进行异常内容的判定。

判定部42能够基于由压力传感器30A检测出的压力和由流量传感器30B检测出的流量来进行后述那样的判定。

控制装置34能够与显示部46连接。显示控制部44能够将由压力传感器30A检测出的压力显示于显示部46的显示画面。另外，显示控制部44能够将由压力传感器30A检测出的压力是否在正常压力范围内显示于显示部46的显示画面。另外，显示控制部44能够将由流量传感器30B检测出的流量显示于显示部46的显示画面。另外，显示控制部44能够将由流量传感器30B检测出的流量是否在正常流量范围内显示于显示部46的显示画面。显示部46例如可由液晶显示器等构成，但并不限定于此。

控制装置34能够与操作部48连接。操作部48例如能够由键盘、鼠标等构成，但并不限定于此。也可以由显示部46的画面所具备的未图示的触摸面板构成操作部48。用户能够经由操作部48对控制装置34进行操作输入。

在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围内、且由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的情况下，判定部42能够判定为加压流体供给系统10正常。在这样的情况下，显示控制部44不在显示部46的显示画面上显示消息。

可能产生由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围内，而由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况。作为由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围内而由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的主要原因，能够列举出在支承部件14(静压轴承)产生了堵塞等。因此，在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围内，而由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况下，判定部42能够判定为支承部件14中产生了异常。在这种情况下，显示控制部44在显示部46的显示画面上显示表示在支承部件14中产生了异常的消息。

可能产生由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外，而由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的情况。作为由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外，而由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的主要原因，可举出在流体供给路径12中产生了加压流体的泄漏等。因此，在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外，而由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的情况下，判定部42能够判定为加压流体向支承部件14的供给发生了异常。在这样的情况下，显示控制部44在显示部46的显示画面上显示表示加压流体向支承部件14的供给产生了异常的消息。

可能产生由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外、且由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况。在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外且由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况下，难以确定不良部位。因此，在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外、且由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况下，判定部42能够如以下那样进行判定。即，在这样的情况下，判定部42能够判定为加压流体向支承部件14的供给和支承部件14中的至少任一方发生了异常。在这样的情况下，显示控制部44在显示部46的显示画面上显示表示加压流体向支承部件14的供给或者支承部件14中发生了异常的消息。

图5是表示本实施方式的加压流体供给系统的动作的流程图。

在步骤S11中，判定部42判定由压力传感器30A检测出的压力是否在正常压力范围内。在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围内的情况下(在步骤S11中为“是”)，转移到步骤S12。在由压力传感器30A检测出的压力在正常压力范围外的情况下(在步骤S11中为“否”)，转移到步骤S13。

在步骤S12中，判定部42判定由流量传感器30B检测出的流量是否在正常流量范围内。在由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的情况下(在步骤S12中为“是”)，转移到步骤S14。在由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况下(在步骤S12中为“否”)，转移到步骤S15。

在步骤S13中，判定部42判定由流量传感器30B检测出的流量是否在正常流量范围内。在由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围内的情况下(在步骤S13中为“是”)，转移到步骤S16。在由流量传感器30B检测出的流量在正常流量范围外的情况下(在步骤S13中为“否”)，转移到步骤S17。

在步骤S14中，判定部42判定为加压流体供给系统10正常。之后，转移到步骤S18。

在步骤S15中，判定部42判定为支承部件14发生了异常。之后，转移到步骤S19。

在步骤S16中，判定部42判定为加压流体向支承部件14的供给发生了异常。之后，转移到步骤S20。

在步骤S17中，判定部42判定为加压流体向支承部件14的供给和支承部件14中的至少任一方发生了异常。之后，转移到步骤S21。

在步骤S18中，显示控制部44不在显示部46的显示画面上显示消息。

在步骤S19中，显示控制部44在显示部46的显示画面上显示表示支承部件14发生了异常的消息。更具体而言，显示控制部44例如将“轴承部发生了问题”这样的消息显示于显示部46的显示画面。

在步骤S20中，显示控制部44在显示部46的显示画面上显示加压流体向支承部件14的供给发生了异常的消息。更具体而言，显示控制部44例如将“向轴承部的空气供给产生了问题”这样的消息显示于显示部46的显示画面。

在步骤S21中，显示控制部44将加压流体向支承部件14的供给和支承部件14中的至少任一方产生了异常的消息显示于显示部46的显示画面。更具体而言，显示控制部44例如在显示部46的显示画面上显示“向轴承部的空气供给或者轴承部产生了问题”这样的消息。这样，图5所示的处理完成。

这样，根据本实施方式，基于由压力传感器30A检测出的压力和由流量传感器30B检测出的流量来判定异常内容。根据本实施方式，通过将表示异常内容的消息显示于显示部46，能够使用户掌握异常内容。

[第三实施方式]

使用图6A～图7对第三实施方式的加压流体供给系统进行说明。对与图1～图5所示的第一或第二实施方式的加压流体供给系统相同的构成要素标注相同的附图标记并省略或简化说明。图6A以及图6B是表示本实施方式的加压流体供给系统的框图。图6A表示从流体供给源16向流体供给路径12正常地供给加压流体的状态。图6B表示从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断的状态。图6A以及图6B的箭头概念性地表示加压流体的流动。

本实施方式的加压流体供给系统10中，在电磁阀32与流量传感器30B之间的流体供给路径12上具备贮存加压流体的储罐28。

储罐28的容积被设定为相对于构成流体供给路径12的配管13的内侧的容积足够大。储罐28的容积例如为5升左右，但并不限定于此。储罐28例如具备开口29A和开口29B。在图6A所示的例子中，储罐28的一个开口29A经由配管13与电磁阀32连接，储罐28的另一个开口29B经由配管13与流量传感器30B连接。一般在对开口进行说明时，使用附图标记29，在对各个开口进行说明时，使用附图标记29A、29B。

在来自流体供给源16的加压流体被正常地供给到流体供给路径12时，如图6A所示，加压流体在流体供给路径12中流动。

在从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断时，由传感器30检测的检测值成为正常范围外，通过控制部40关闭电磁阀32。当电磁阀32关闭时，如图6B所示，贮存在储罐28内的加压流体不向流体供给源16侧流动。因此，根据本实施方式，在从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断时，贮存在储罐28内的加压流体能够经由配管13充分地供给至支承部件14。

在图6B所示的例子、即本实施方式中，从上游侧朝向下游侧，按照压力传感器30A、电磁阀32、储罐28、流量传感器30B的顺序配置有这些构成要素。在从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断时，贮存在储罐28内的加压流体经由配管13充分地供给到支承部件14，由流量传感器30B检测流量。

图7是表示评价结果的图表。图7的横轴表示从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断起的时间。图7的纵轴表示向支承部件14供给的加压流体的压力。图7中的实施例1示出了第一实施方式的情况，即，在电磁阀32与支承部件14之间的流体供给路径12上不具备储罐28的情况。图7中的实施例2示出了本实施方式的情况、即在电磁阀32与支承部件14之间的流体供给路径12上具备储罐28的情况。

从图7可知，在实施例2、即本实施方式的情况下，在从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断之后，向支承部件14供给的加压流体的压力在极长时间内持续维持得足够高。

这样，根据本实施方式，在电磁阀32与支承部件14之间具备储罐28，在从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断的情况下，电磁阀32关闭。因此，根据本实施方式，在来自流体供给源16的加压流体的供给中断时，贮存在储罐28内的加压流体经由配管13长时间持续供给至支承部件14。因此，根据本实施方式，能够充分地防止用于支承部件18的加压流体的急剧的压力降低，能够充分地延长加压流体过度降低之前的时间上的宽限。由于能够充分延长加压流体过度降低之前的时间上的宽限，因此根据本实施方式，能够在加压流体过度降低之前，使部件18的旋转、滑动等更可靠地停止。因此，根据本实施方式，即使从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断，也能够可靠地防止使用加压流体支承的部件18的损伤。

[变形实施方式]

以上说明了本发明的优选实施方式，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够进行各种改变。

例如，在第三实施方式中，以在储罐28具备2个开口29A、29B的情况为例进行了说明，但并不限定于此。储罐28所具备的开口29也可以仅为1个。在这样的情况下，只要将从配管13分支出的未图示的分支管与储罐28所具备的1个开口29连接即可。在从配管13分支的分支管与储罐28连接的情况下，也可以说在流体供给路径12上设置有储罐28。即使在从配管13分支的分支管与储罐28连接的情况下，在从流体供给源16向流体供给路径12的加压流体的供给中断时，贮存于储罐28中的加压流体也长时间持续向支承部件14供给。因此，在这样的结构中，也能够充分地延长加压流体过度降低之前的时间上的宽限。

另外，在上述实施方式中，以主轴22具备支承部件14、部件18等的情况为例进行了说明，但并不限定于此。支承部件14、即静压轴承也可以设置于未图示的直动机构。部件18也可以是构成该直动机构的一部分的轴。该直动机构例如能够设置于平衡装置，但并不限定于此。该平衡装置例如用于减轻作用于未图示的滑块的重力。

总结上述实施方式如下。

一种加压流体供给系统(10)，具备：流体供给路径(12)，其用于对使用加压流体支承部件(18)的支承部件(14)供给来自流体供给源(16)的所述加压流体；电磁阀(32)，其设置于所述流体供给路径上；压力传感器(30A)，其设置于所述流体供给源与所述电磁阀之间的所述流体供给路径上，检测所述加压流体的压力；流量传感器(30B)，其设置于所述电磁阀与所述支承部件之间的所述流体供给路径上，检测所述加压流体的流量；以及控制部(40)，其控制所述电磁阀的开闭。根据这样的结构，由于压力传感器位于流体供给源与电磁阀之间，因此能够通过压力传感器检测来自流体供给源的加压流体的供给是否恢复为正常。在来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常的情况下，由压力传感器检测的压力在正常压力范围内。位于电磁阀的上游侧的传感器仅为压力传感器。即，在这样的结构中，尽管来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常，但检测值在正常范围外的传感器不存在于电磁阀的上游侧。因此，在这样的结构中，在电磁阀关闭后，在来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常的情况下，电磁阀打开。当电磁阀打开时，由流量传感器检测出的加压流体的流量在正常流量范围内。这样，在这样的结构中，在电磁阀关闭之后，在来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常的情况下，电磁阀打开，能够良好地再次开始向支承部件供给加压流体。这样，根据这样的结构，能够提供在来自流体供给源的加压流体的供给恢复为正常时能够良好地再次开始向支承部件供给加压流体的加压流体供给系统。

也可以是，还具备判定部(42)，该判定部基于由所述压力传感器检测出的所述加压流体的所述压力和由所述流量传感器检测出的所述加压流体的所述流量来判定是否产生了异常，在由所述判定部判定为产生了异常的情况下，所述控制部关闭所述电磁阀。

也可以在所述加压流体的所述压力在正常压力范围内且所述加压流体的所述流量在正常流量范围外的情况下，所述判定部判定为所述支承部件中发生了异常。根据这样的结构，能够掌握异常内容。

也可以在所述加压流体的所述压力在正常压力范围外且所述加压流体的所述流量在正常流量范围内的情况下，所述判定部判定为所述加压流体向所述支承部件的供给发生了异常。根据这样的结构，能够掌握异常内容。

也可以在所述加压流体的所述压力在正常压力范围外且所述加压流体的所述流量在正常流量范围外的情况下，所述判定部判定为所述加压流体向所述支承部件的供给和所述支承部件中的至少任一方发生了异常。根据这样的结构，能够掌握异常内容。

还可以具备储罐(28)，该储罐(28)设置于所述电磁阀与所述支承部件之间的所述流体供给路径上，贮存所述加压流体。根据这样的结构，在来自流体供给源的加压流体的供给中断时，电磁阀关闭，贮存在储罐内的加压流体经由配管长时间持续供给到支承部件。因此，根据这样的结构，能够充分地防止为了支承部件而使用的加压流体的急剧的压力降低，能够充分地延长到加压流体过度地降低之前的时间上的宽限。由于能够充分延长加压流体过度降低之前的时间上的宽限，因此根据这样的结构，能够在加压流体过度降低之前，使部件的旋转、滑动等更可靠地停止。因此，根据这样的结构，即使从流体供给源向流体供给路径的加压流体的供给中断，也能够可靠地防止使用加压流体支承的部件的损伤。

所述支承部件也可以是使用所述加压流体将所述部件支承为能够旋转或者能够滑动的静压轴承。

Claims (7)

1.一种加压流体供给系统(10)，其特征在于，具备：

流体供给路径(12)，其用于对使用加压流体支承部件(18)的支承部件(14)供给来自流体供给源(16)的所述加压流体；

电磁阀(32)，其设置于所述流体供给路径上；

压力传感器(30A)，其设置于所述流体供给源与所述电磁阀之间的所述流体供给路径上，检测所述加压流体的压力；

流量传感器(30B)，其设置于所述电磁阀与所述支承部件之间的所述流体供给路径上，检测所述加压流体的流量；以及

控制部(40)，其控制所述电磁阀的开闭。

2.根据权利要求1所述的加压流体供给系统，其特征在于，

所述加压流体供给系统还具备：判定部(42)，其基于由所述压力传感器检测出的所述加压流体的所述压力和由所述流量传感器检测出的所述加压流体的所述流量来判定是否发生了异常，

在由所述判定部判定为发生了异常的情况下，所述控制部关闭所述电磁阀。

3.根据权利要求2所述的加压流体供给系统，其特征在于，

在所述加压流体的所述压力在正常压力范围内且所述加压流体的所述流量在正常流量范围外的情况下，所述判定部判定为所述支承部件发生了异常。

4.根据权利要求2或3所述的加压流体供给系统，其特征在于，

在所述加压流体的所述压力在正常压力范围外且所述加压流体的所述流量在正常流量范围内的情况下，所述判定部判定为所述加压流体向所述支承部件的供给发生了异常。

5.根据权利要求2～4中的任一项所述的加压流体供给系统，其特征在于，

在所述加压流体的所述压力在正常压力范围外且所述加压流体的所述流量在正常流量范围外的情况下，所述判定部判定为所述加压流体向所述支承部件的供给和所述支承部件中的至少任一方发生了异常。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的加压流体供给系统，其特征在于，

所述加压流体供给系统还具备：储罐(28)，其设置于所述电磁阀与所述支承部件之间的所述流体供给路径上，并贮存所述加压流体。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的加压流体供给系统，其特征在于，

所述支承部件是使用所述加压流体将所述部件支承为能够旋转或者能够滑动的静压轴承。

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