CN116031178A - 信号发送方法及装置 - Google Patents

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CN116031178A CN202211562135.8A CN202211562135A CN116031178A CN 116031178 A CN116031178 A CN 116031178A CN 202211562135 A CN202211562135 A CN 202211562135A CN 116031178 A CN116031178 A CN 116031178A
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郭晨日
胡斌
范东方
刘永亮
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Abstract

本发明提供了一种信号发送方法及装置，属于半导体制造技术领域。信号发送方法，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；接收所述加工设备的物料监测信号，所述物料监测信号包括附属设备的搬送信号和主设备的上下料信号；根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。本发明的技术方案能够发出加工设备的搬送信号。

Description

信号发送方法及装置
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种信号发送方法及装置。
背景技术
现有半导体制程中，一般是在服务器硬件上部署设备自动化控制(EquipmentAutomation Programming，EAP)应用，由EAP应用控制加工设备上所有晶圆盒的自动化加工。
相关技术中，一个加工设备对应一个EAP应用和制造执行系统的一个进程，加工设备将搬送信号发送给EAP应用，由EAP应用发送给制造执行系统的进程，从而实现物料的自动化搬送。但有些加工设备的主设备不能发送搬送信号，需要针对这些加工设备设计一种实现物料的自动化搬送的方案。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种信号发送方法及装置，能够发出加工设备的搬送信号。
为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：
一种信号发送方法，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：
获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；
接收所述加工设备的物料监测信号，所述物料监测信号包括附属设备的搬送信号和主设备的上下料信号；
根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。
一些实施例中，所述预设条件包括以下任一项：
接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；
接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。
一些实施例中，在接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线的情况下，向MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：
根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；
将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。
一些实施例中，所述搬送信号包括：
晶圆盒的标识；
所述附属设备的标识。
一些实施例中，在接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线的情况下，向MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：
生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
一些实施例中，所述上下料信号包括：
承载晶圆盒的上料口标识；
晶圆盒的标识；
所述主设备的标识。
本发明实施例还提供了一种信号发送装置，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：
获取模块，用于获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；
接收模块，用于接收所述加工设备的物料监测信号，所述物料监测信号包括附属设备的搬送信号和主设备的上下料信号；
发送模块，分别与获取模块和接收模块相交互，用于根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。
一些实施例中，所述预设条件包括以下任一项：
接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；
接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。
一些实施例中，在接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线的情况下，所述发送模块具体用于根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。
一些实施例中，在接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线的情况下，所述发送模块具体用于生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
本发明实施例还提供了一种信号发送装置，应用于设备自动化控制EAP装置，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序；所述处理器执行所述程序时实现如上所述的信号发送方法。
本发明的有益效果是：
本实施例中，由EAP装置根据加工设备的通讯状态和物料监测信号向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，这样在加工设备的主设备不能发出搬送信号的情况下，通过EAP装置能够实现向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，进而有助于实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。本实施例不需要对加工设备和MES系统进行改造，降低了对人力和资源的消耗，能够快速满足生产需求，降低MES开发压力和MES开发Bug的发生率。
附图说明
图1表示本发明实施例的应用场景示意图；
图2表示本发明实施例信号发送方法的流程示意图；
图3表示本发明实施例信号发送装置的结构示意图；
图4表示本发明实施例信号发送装置的组成示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
图1表示本发明实施例的应用场景示意图，其中，EAP装置即设备自动化控制装置，能够实现对生产线上机台的实时监控；MES即制造执行系统(manufacturing executionsystem)，是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。它为操作人员/管理人员提供计划的执行、跟踪以及所有资源(人、设备、物料、客户需求等)的当前状态信息；加工设备可以对晶圆进行加工，加工方式包括但不限于高低温退火，刻蚀，清洗等。
其中，EAP装置与MES客户端之间可以通过Highway101协议进行通信；EAP装置与加工设备之间可以通过SECS/GEM(Semiconductor Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model，半导体设备通信标准/通用设备模型)协议进行通信。
为了实现生产工艺的自动化控制，加工设备向EAP装置发送搬送信号，由EAP装置将搬送信号转发给MES系统，实现物料的自动化搬送；但现有技术中，一些加工设备无法发出搬送信号，针对这些加工设备，需要设计一种实现物料的自动化搬送的方案。
本发明提供一种信号发送方法及装置，能够发出加工设备的搬送信号。
本发明实施例提供一种信号发送方法，应用于设备自动化控制EAP装置，如图2所示，包括：
步骤101：获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；
步骤102：接收所述加工设备的物料监测信号；
步骤103：根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。
本实施例中，由EAP装置根据加工设备的通讯状态和物料监测信号向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，这样在加工设备的主设备不能发出搬送信号的情况下，通过EAP装置能够实现向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，进而有助于实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。本实施例不需要对加工设备和MES系统进行改造，降低了对人力和资源的消耗，能够快速满足生产需求，降低MES开发压力和MES开发Bug的发生率。
本实施例中，EAP装置可以建立多个实例(Instance)，每个实例对应一加工设备，能够实现对应的加工设备的SECS信号的监控。另外，EAP装置还可以获取并显示加工设备的通讯状态，包括主设备的通讯状态和附属设备的通讯状态。其中，主设备与附属设备一一对应，在主设备不能发出搬送信号的情况下，附属设备能够代替对应的主设备发出搬送信号。比如在主设备不具有搬送功能的情况下，附属设备能够执行物料的搬送，并发出对应的搬送信号。其中，物料可以为晶圆盒。
一些实施例中，所述预设条件包括以下任一项：
接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；
接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。
本实施例中，EAP装置在接收到附属设备发送的搬送信号后，判断主设备的通讯状态，如果主设备的通讯状态为下线，则此时主设备不是处于工作状态，EAP装置向MES系统发送主设备的搬送信号是不合理的，因此，此种情况下，EAP装置不会向MES系统发送主设备的搬送信号；如果主设备的通讯状态为上线，则此时的主设备处于工作状态，EAP装置向MES系统发送主设备的搬送信号，以便通知MES系统主设备的最新工作状态，实现主设备和附属设备的协调运行。
一些情况下，EAP装置未接收到附属设备发送的搬送信号，但接收到主设备发送的上下料信号，上下料信号为主设备检测到加载晶圆盒后发送，即代表了主设备搬送了晶圆盒，EAP装置判断附属设备的通讯状态，此时，如果附属设备的通讯状态为下线，则附属设备不是处于工作状态，EAP装置向MES系统发送主设备的搬送信号是不合理的；如果附属设备的通讯状态为上线，则附属设备处于工作状态，EAP装置此时可以向MES系统发送主设备的搬送信号，以便通知MES系统主设备的最新工作状态，实现主设备和附属设备的协调运行。
一些实施例中，在接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线的情况下，向MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：
根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。
一些实施例中，附属设备发送的搬送信号包括：晶圆盒的标识；所述附属设备的标识。但是MES系统是不能识别附属设备的标识的，因此，需要将附属设备的标识转换为主设备的标识，在EAP装置里预先存储有附属设备和主设备之间的对应关系，根据附属设备的标识确定与附属设备对应的主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
本实施例能够实现将附属设备的搬送信号实时通过主设备标识发送给上游MES系统，实现主设备和附属设备的协调运行，从而实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。
一些实施例中，在接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线的情况下，向MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：
生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
一些实施例中，主设备发送的上下料信号包括：承载晶圆盒的上料口标识；晶圆盒的标识；所述主设备的标识。EAP装置可以生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，并将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
本实施例能够实现将不能发出搬送信号的主设备的上下料信号转换为搬送信号发送给上游MES系统，实现主设备和附属设备的协调运行，从而实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。
一具体示例中，主设备可以发出E37信号(上下料信号)，附属设备可以发出E87信号(搬送信号)，通过本实施例的技术方案，可以实现EAP装置将E37信号和E87信号转换为主设备的搬送信号发送给MES系统。
本发明实施例还提供了一种信号发送装置，应用于设备自动化控制EAP装置，如图3所示，包括：
获取模块21，用于获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；
接收模块22，用于接收所述加工设备的物料监测信号；
发送模块23，分别与获取模块21和接收模块22相交互，用于根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。
本实施例中，由EAP装置根据加工设备的通讯状态和物料监测信号向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，这样在加工设备的主设备不能发出搬送信号的情况下，通过EAP装置能够实现向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，进而有助于实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。本实施例不需要对加工设备和MES系统进行改造，降低了对人力和资源的消耗，能够快速满足生产需求，降低MES开发压力和MES开发Bug的发生率。
本实施例中，EAP装置可以建立多个实例(Instance)，每个实例对应一加工设备，能够实现对应的加工设备的SECS信号的监控。另外，EAP装置还可以获取并显示加工设备的通讯状态，包括主设备的通讯状态和附属设备的通讯状态。其中，主设备与附属设备一一对应，在主设备不能发出搬送信号的情况下，附属设备能够代替对应的主设备发出搬送信号。
一些实施例中，所述预设条件包括以下任一项：
接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；
接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。
本实施例中，EAP装置在接收到附属设备发送的搬送信号后，判断主设备的通讯状态，如果主设备的通讯状态为下线，则此时主设备不是处于工作状态，EAP装置向MES系统发送主设备的搬送信号是不合理的，因此，此种情况下，EAP装置不会向MES系统发送主设备的搬送信号；如果主设备的通讯状态为上线，则此时的主设备处于工作状态，EAP装置向MES系统发送主设备的搬送信号，以便通知MES系统主设备的最新工作状态，实现主设备和附属设备的协调运行。
一些情况下，EAP装置未接收到附属设备发送的搬送信号，但接收到主设备发送的上下料信号，上下料信号为主设备检测到加载晶圆盒后发送，即代表了主设备搬送了晶圆盒，EAP装置判断附属设备的通讯状态，此时，如果附属设备的通讯状态为下线，则附属设备不是处于工作状态，EAP装置向MES系统发送主设备的搬送信号是不合理的；如果附属设备的通讯状态为上线，则附属设备处于工作状态，EAP装置此时可以向MES系统发送主设备的搬送信号，以便通知MES系统主设备的最新工作状态，实现主设备和附属设备的协调运行。
一些实施例中，在接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线的情况下，所述发送模块23具体用于根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。
一些实施例中，附属设备发送的搬送信号包括：晶圆盒的标识；所述附属设备的标识。但是MES系统是不能识别附属设备的标识的，因此，需要将附属设备的标识转换为主设备的标识，在EAP装置里预先存储有附属设备和主设备之间的对应关系，根据附属设备的标识确定与附属设备对应的主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
本实施例能够实现将附属设备的搬送信号实时通过主设备标识发送给上游MES系统，实现主设备和附属设备的协调运行，从而实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。
一些实施例中，在接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线的情况下，所述发送模块23具体用于生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
一些实施例中，主设备发送的上下料信号包括：承载晶圆盒的上料口标识；晶圆盒的标识；所述主设备的标识。EAP装置可以生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，并将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
本实施例能够实现将不能发出搬送信号的主设备的上下料信号转换为搬送信号发送给上游MES系统，实现主设备和附属设备的协调运行，从而实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。
本发明实施例还提供了一种信号发送装置，应用于设备自动化控制EAP装置，如图4所示，包括存储器31、处理器32及存储在所述存储器31上并可在所述处理器32上运行的计算机程序；所述处理器32执行所述程序时实现如上所述的信号发送方法。
一些实施例中，处理器32用于获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；接收所述加工设备的物料监测信号；根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。
本实施例中，由EAP装置根据加工设备的通讯状态和物料监测信号向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，这样在加工设备的主设备不能发出搬送信号的情况下，通过EAP装置能够实现向MES客户端发送针对主设备的物料搬送信号，进而有助于实现设备的自动化搬送，提高设备的自动化连续生产。本实施例不需要对加工设备和MES系统进行改造，降低了对人力和资源的消耗，能够快速满足生产需求，降低MES开发压力和MES开发Bug的发生率。
一些实施例中，所述预设条件包括以下任一项：
接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；
接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。
一些实施例中，处理器32用于根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。
一些实施例中，所述搬送信号包括：
晶圆盒的标识；
所述附属设备的标识。
一些实施例中，处理器32用于生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
一些实施例中，所述上下料信号包括：
承载晶圆盒的上料口标识；
晶圆盒的标识；
所述主设备的标识。
本申请实施例另提供了一种计算机程序/程序产品，所述计算机程序/程序产品被存储在存储介质中，所述计算机程序/程序产品被至少一个处理器执行以实现上述信号发送方法实施例的各个过程，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外，需要指出的是，本申请实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能，还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能，例如，可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法，并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外，参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。
通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以计算机软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质(如ROM/RAM、磁碟、光盘)中，包括若干指令用以使得一台终端(可以是手机，计算机，服务器，空调器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述的方法。
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

Claims (10)

1.一种信号发送方法，其特征在于，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：
获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；
接收所述加工设备的物料监测信号，所述物料监测信号包括附属设备的搬送信号和主设备的上下料信号；
根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。
2.根据权利要求1所述的信号发送方法，其特征在于，所述预设条件包括以下任一项：
接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；
接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。
3.根据权利要求2所述的信号发送方法，其特征在于，在接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：
根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；
将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。
4.根据权利要求3所述的信号发送方法，其特征在于，所述搬送信号包括：
晶圆盒的标识；
所述附属设备的标识。
5.根据权利要求2所述的信号发送方法，其特征在于，在接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：
生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。
6.根据权利要求5所述的信号发送方法，其特征在于，所述上下料信号包括：
承载晶圆盒的上料口标识；
晶圆盒的标识；
所述主设备的标识。
7.一种信号发送装置，其特征在于，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：
获取模块，用于获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；
接收模块，用于接收所述加工设备的物料监测信号，所述物料监测信号包括附属设备的搬送信号和主设备的上下料信号；
发送模块，分别与获取模块和接收模块相交互，用于根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。
8.根据权利要求7所述的信号发送装置，其特征在于，所述预设条件包括以下任一项：
接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；
接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。
9.根据权利要求8所述的信号发送装置，其特征在于，
在接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线的情况下，所述发送模块具体用于
根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端；
在接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线的情况下，所述发送模块具体用于生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述MES客户端。
10.一种信号发送装置，其特征在于，应用于设备自动化控制EAP装置，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序；所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1-6中任一项所述的信号发送方法。
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