CN116027166B - 一种半导体测试治具 - Google Patents

Abstract

本发明适用于半导体测试技术领域，提供了一种半导体测试治具，包括：基座、检测探针以及用于放置待检测半导体的支撑台，所述支撑台位于所述基座上；至少一组用于存放半导体的收纳盒，所述收纳盒位于所述基座上，且收纳盒内还开设有容纳槽；用于移动半导体的搬运机构，所述搬运机构包括升降板、移动板、除尘组件以及吸附组件，所述升降板通过升降组件安装于基座上，移动板通过移动块滑动安装于升降板内，且升降板内安装有用于带动移动块运动的移动组件，该发明通过搬运机构的设置，避免了现有治具功能单一，在搬运半导体的过程中无法同时清除灰尘，使得半导体在测试前需要工作人员单独清灰，严重影响测试效率的问题。

Description

一种半导体测试治具

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，具体是一种半导体测试治具。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，其在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明以及大功率电源转换等领域都有应用，半导体芯片指在半导体片材上进行浸蚀和布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。在完成半导体芯片的大批生产后，为保证半导体芯片的品质，一般会选择部分产品进行抽检，其中主要检测有开路/短路测试等。

现有的半导体测试治具功能单一，在搬运半导体的过程中无法同时清除灰尘，使得半导体在测试前需要工作人员单独清灰，严重影响测试效率。因此，针对以上现状，迫切需要提供一种半导体测试治具，以克服当前实际应用中的不足。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体测试治具，旨在解决上述技术背景中的问题。

本发明是这样实现的，一种半导体测试治具，包括：

基座、检测探针以及用于放置待检测半导体的支撑台，所述支撑台位于所述基座上；

至少一组用于存放半导体的收纳盒，所述收纳盒位于所述基座上，且收纳盒内还开设有容纳槽；

用于移动半导体的搬运机构，所述搬运机构包括升降板、移动板、除尘组件以及吸附组件，所述升降板通过升降组件安装于基座上，移动板通过移动块滑动安装于升降板内，且升降板内安装有用于带动移动块运动的移动组件，所述检测探针固定安装于移动板上，所述吸附组件包括吸附板和吸盘，所述吸附板通过除尘组件安装于移动板上，吸盘在吸附板上设有多组，且吸附板上还安装有用于清理检测点灰尘的清理组件，所述升降板上还安装有用于控制清理组件工作状态的控制组件。

作为本发明进一步的方案：所述收纳盒在基座上设置有两组，且两组收纳盒内均设置有支撑组件。

作为本发明进一步的方案：所述支撑组件包括放置板和第二弹簧，所述放置板通过第二弹簧滑动安装于收纳盒内。

作为本发明进一步的方案：所述除尘组件包括：

至少一组支撑板，所述支撑板固定安装于移动板上；

第二滑板和第一滑板，所述支撑板与第二滑板之间以及第二滑板与第一滑板之间均通过活塞组件连接，且第二滑板与第一滑板内均设有导气槽；以及

至少一组喷嘴，所述喷嘴与第一滑板内的导气槽相连通。

作为本发明进一步的方案：用于第二滑板与第一滑板之间连接的活塞组件包括按压板和第三弹簧，所述第二滑板通过按压板滑动安装于第一滑板内，第三弹簧用于实现对按压板的弹性支撑。

作为本发明进一步的方案：所述喷嘴倾斜安装于第一滑板上。

作为本发明进一步的方案：所述除尘组件还包括喷气板和导管，所述喷气板固定安装于检测探针的底座上，且喷气板上设置有多组喷头，所述导管一端与喷气板相连通，导管另一端与第二滑板的导气槽相连通。

作为本发明进一步的方案：所述清理组件包括：

清理辊，所述清理辊通过转轴滑动安装于吸附板上，且转轴能够在吸附板上转动；以及

导轮，所述导轮固定安装于转轴上，且导轮与吸附板相切。

作为本发明进一步的方案：所述控制组件包括：

滑块，所述滑块通过导向杆滑动安装于升降板上，且导向杆与升降板之间通过立板连接；

第一弹簧，所述第一弹簧套设于导向杆上，用于所述滑块与立板之间的连接；以及

联动杆，所述联动杆一端与滑块固定连接，联动杆另一端与转轴转动连接。

作为本发明进一步的方案：所述升降组件包括螺纹杆和驱动电机，所述螺纹杆转动安装于基座上，且螺纹杆至少安装有一组，多组螺纹杆之间通过传动件连接，所述螺纹杆与所述升降板之间螺纹连接，所述驱动电机安装于基座内，且驱动电机的输出端与其中一组螺纹杆相连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

取料时，移动组件将带动移动板向装有未检测半导体的收纳盒的一侧移动，并配合升降组件带动吸附板向收纳盒一侧移动，通过吸盘实现半导体的吸附，吸附完成后，升降组件通过与移动组件相配合的方式，能够将待检测的半导体搬运至支撑台上，升降组件通过带动检测探针向支撑台一侧移动，并使得检测探针与半导体接触的方式，能够实现半导体的检测工作，检测完成后，升降组件通过与移动组件相配合的方式，能够将检测后的半导体从支撑台上移出；通过搬运机构的设置，避免了现有治具功能单一，在搬运半导体的过程中无法同时清除灰尘，使得半导体在测试前需要工作人员单独清灰，严重影响测试效率的问题。

附图说明

图1为本发明中的半导体测试治具的主视图。

图2为本发明中的搬运机构的结构示意图。

图3为本发明实施例中除尘组件的局部结构示意图。

图4为本发明实施例中第一滑板和第二滑板的剖视结构示意图。

图5为图4中A处的放大结构示意图。

图6为本发明实施例中吸附组件的结构示意图。

附图中：1-基座，2-螺纹杆，3-收纳盒，4-容纳槽，5-升降板，6-导向杆，7-第一弹簧，8-第一滑板，9-第二滑板，10-吸附板，11-滑块，12-移动板，13-检测探针，14-吸盘，15-放置板，16-第二弹簧，17-支撑台，18-传动件，19-驱动电机，20-喷气板，21-导管，22-联动杆，23-支撑板，24-清理辊，25-喷嘴，26-移动块，27-转轴，28-导轮，29-第三弹簧，30-按压板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。以下结合具体实施例对本发明的具体实现进行详细描述。

请参阅图1-图6，本发明实施例提供的一种半导体测试治具，所述半导体测试治具包括：

基座1、检测探针13以及用于放置待检测半导体的支撑台17，所述支撑台17位于所述基座1上；

至少一组用于存放半导体的收纳盒3，所述收纳盒3位于所述基座1上，且收纳盒3内还开设有容纳槽4；

用于移动半导体的搬运机构，所述搬运机构包括升降板5、移动板12、除尘组件以及吸附组件，所述升降板5通过升降组件安装于基座1上，移动板12通过移动块26滑动安装于升降板5内，且升降板5内安装有用于带动移动块26运动的移动组件，所述检测探针13固定安装于移动板12上，所述吸附组件包括吸附板10和吸盘14，所述吸附板10通过除尘组件安装于移动板12上，吸盘14在吸附板10上设有多组，且吸附板10上还安装有用于清理检测点灰尘的清理组件，所述升降板5上还安装有用于控制清理组件工作状态的控制组件。

在本发明的实施例中，取料时，移动组件将带动移动板12向装有未检测半导体的收纳盒3的一侧移动，并配合升降组件带动吸附板10向收纳盒3一侧移动，通过吸盘14实现半导体的吸附，吸附完成后，升降组件通过与移动组件相配合的方式，能够将待检测的半导体搬运至支撑台17上，升降组件通过带动检测探针13向支撑台17一侧移动，并使得检测探针13与半导体接触的方式，能够实现半导体的检测工作，检测完成后，升降组件通过与移动组件相配合的方式，能够将检测后的半导体从支撑台17上移出；其中所述移动组件可以包括移动螺纹杆和电机，且移动螺纹杆转动安装于升降板5内部，并与移动块26螺纹连接，电机通过带动移动螺纹杆转动的方式，能够带动移动块26在升降板5内移动，从而改变移动板12的工作位置，除尘组件通过在搬运过程中对半导体进行清灰的方式，能够提高检测精度，同时能够提高检测效率；相比现有技术，本发明通过搬运机构的设置，避免了现有治具功能单一，在搬运半导体的过程中无法同时清除灰尘，使得半导体在测试前需要工作人员单独清灰，严重影响测试效率的问题。

在本发明的一个实施例中，请参阅图1，所述收纳盒3在基座1上设置有两组，且两组收纳盒3内均设置有支撑组件；

所述支撑组件包括放置板15和第二弹簧16，所述放置板15通过第二弹簧16滑动安装于收纳盒3内。

在本实施例中，两组所述收纳盒3分别位于支撑台17两侧，其中一组收纳盒3用于放置待检测的半导体，另一组收纳盒3用于放置检测后的半导体；可根据半导体的实际重量选用不同硬度的第二弹簧16，第二弹簧16通过对放置板15进行弹性支撑的方式，能够使得处于顶部的半导体始终能够与收纳盒3顶部保持同一高度，方便吸盘14对半导体进行吸附。

在本发明的一个实施例中，请参阅图1-图5，所述除尘组件包括：

至少一组支撑板23，所述支撑板23固定安装于移动板12上；

第二滑板9和第一滑板8，所述支撑板23与第二滑板9之间以及第二滑板9与第一滑板8之间均通过活塞组件连接，且第二滑板9与第一滑板8内均设有导气槽；以及

至少一组喷嘴25，所述喷嘴25与第一滑板8内的导气槽相连通；

用于第二滑板9与第一滑板8之间连接的活塞组件包括按压板30和第三弹簧29，所述第二滑板9通过按压板30滑动安装于第一滑板8内，第三弹簧29用于实现对按压板30的弹性支撑；

所述喷嘴25倾斜安装于第一滑板8上；将喷嘴25倾斜安装于第一滑板8上，使得两组第一滑板8上的喷嘴25的喷气方向保持一致，便于将半导体上的灰尘向同一方向吹动，能够提高除尘效果；

所述除尘组件还包括喷气板20和导管21，所述喷气板20固定安装于检测探针13的底座上，且喷气板20上设置有多组喷头，所述导管21一端与喷气板20相连通，导管21另一端与第二滑板9的导气槽相连通。

在本实施例中，所述支撑板23可以设置有两组，安装于第一滑板8内的第三弹簧29的硬度小于安装于第二滑板9内的第三弹簧29的硬度，当第一滑板8按压到容纳槽4内或者当第一滑板8按压到支撑台17内时，使得第二滑板9首先收缩到第一滑板8内，然后支撑板23才会收纳到第二滑板9内，实现分级收缩；在进行取料时，除尘组件将被移动至其中一组收纳盒3的上方，升降组件通过带动移动板12向收纳盒3一侧移动的方式，能够使得第一滑板8进入到容纳槽4内，同时移动板12持续向收纳盒3一侧移动，使得第二滑板9被按压到第一滑板8内，并配合按压板30，能够将导气槽内的气体通过喷嘴25喷出，从而将半导体表面的灰尘吹除，当进行检测时，除尘组件将处于支撑台17上方，升降组件将带动移动板12持续按压，使得第二滑板9进入到第一滑板8内，支撑板23进入到第二滑板9内，使得第二滑板9的导气槽内的气体能够进入到移动板12内，并通过移动板12喷出，实现对检测点位置的清灰，提高检测精度。

在本发明的一个实施例中，请参阅图1、图2和图6，所述清理组件包括：

清理辊24，所述清理辊24通过转轴27滑动安装于吸附板10上，且转轴27能够在吸附板10上转动；以及

导轮28，所述导轮28固定安装于转轴27上，且导轮28与吸附板10相切；

所述控制组件包括：

滑块11，所述滑块11通过导向杆6滑动安装于升降板5上，且导向杆6与升降板5之间通过立板连接；

第一弹簧7，所述第一弹簧7套设于导向杆6上，用于所述滑块11与立板之间的连接；以及

联动杆22，所述联动杆22一端与滑块11固定连接，联动杆22另一端与转轴27转动连接。

在本实施例中，移动组件带动移动板12在升降板5上向第一弹簧7一侧移动，并配合第一弹簧7的弹性支撑作用，能够推动转轴27在吸附板10内移动，同时在导轮28的驱动作用下，能够使得移动的转轴27发生自转，从而带动清理辊24转动，转动清理辊24能够实现对半导体上检测点处灰尘的清理，移动组件带动移动板12远离第一弹簧7，并配合第一弹簧7的拉力作用，同样能够带动转轴27在吸附板10内移动，以及转轴27带动清理辊24转动，进而搬运过程中实现对检测点位置的清灰处理，有效避免治具功能单一的问题；其中所述清理辊24上设置有软质刷毛，能够提高清灰效果。

在本发明的一个实施例中，请参阅图1，所述升降组件包括螺纹杆2和驱动电机19，所述螺纹杆2转动安装于基座1上，且螺纹杆2至少安装有一组，多组螺纹杆2之间通过传动件18连接，所述螺纹杆2与所述升降板5之间螺纹连接，所述驱动电机19安装于基座1内，且驱动电机19的输出端与其中一组螺纹杆2相连接。

在本实施例中，驱动电机19通过与传动件18的配合设置，能够带动多组螺纹杆2同时转动，转动的螺纹杆2能带动升降板5在其长度方向上移动，从而实现对移动板12工作高度的调节；其中所述传动件18可以设置有多组，且传动件18可以采用带轮与传动带的组合结构。

综上所述，本发明的工作原理是：

取料时，移动组件将带动移动板12向装有未检测半导体的收纳盒3的一侧移动，并配合升降组件带动吸附板10向收纳盒3一侧移动，通过吸盘14实现半导体的吸附，吸附完成后，升降组件通过与移动组件相配合的方式，能够将待检测的半导体搬运至支撑台17上，升降组件通过带动检测探针13向支撑台17一侧移动，并使得检测探针13与半导体接触的方式，能够实现半导体的检测工作，检测完成后，升降组件通过与移动组件相配合的方式，能够将检测后的半导体从支撑台17上移出；

在进行取料时，除尘组件将被移动至其中一组收纳盒3的上方，升降组件通过带动移动板12向收纳盒3一侧移动的方式，能够使得第一滑板8进入到容纳槽4内，同时移动板12持续向收纳盒3一侧移动，使得第二滑板9被按压到第一滑板8内，并配合按压板30，能够将导气槽内的气体通过喷嘴25喷出，从而将半导体表面的灰尘吹除，当进行检测时，除尘组件将处于支撑台17上方，升降组件将带动移动板12持续按压，使得第二滑板9进入到第一滑板8内，支撑板23进入到第二滑板9内，使得第二滑板9的导气槽内的气体能够进入到移动板12内，并通过移动板12喷出，实现对检测点位置的清灰，提高检测精度；

移动组件带动移动板12在升降板5上向第一弹簧7一侧移动，并配合第一弹簧7的弹性支撑作用，能够推动转轴27在吸附板10内移动，同时在导轮28的驱动作用下，能够使得移动的转轴27发生自转，从而带动清理辊24转动，转动清理辊24能够实现对半导体上检测点处灰尘的清理，移动组件带动移动板12远离第一弹簧7，并配合第一弹簧7的拉力作用，同样能够带动转轴27在吸附板10内移动，以及转轴27带动清理辊24转动，进而搬运过程中实现对检测点位置的清灰处理，有效避免治具功能单一的问题；其中所述清理辊24上设置有软质刷毛，能够提高清灰效果。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种半导体测试治具，包括基座、检测探针以及用于放置待检测半导体的支撑台，所述支撑台位于所述基座上，其特征在于，还包括：

至少一组用于存放半导体的收纳盒，所述收纳盒位于所述基座上，且收纳盒内还开设有容纳槽；

用于移动半导体的搬运机构，所述搬运机构包括升降板、移动板、除尘组件以及吸附组件，所述升降板通过升降组件安装于基座上，移动板通过移动块滑动安装于升降板内，且升降板内安装有用于带动移动块运动的移动组件，所述检测探针固定安装于移动板上，所述吸附组件包括吸附板和吸盘，所述吸附板通过除尘组件安装于移动板上，吸盘在吸附板上设有多组，且吸附板上还安装有用于清理检测点灰尘的清理组件，所述升降板上还安装有用于控制清理组件工作状态的控制组件；

所述除尘组件包括：

至少一组支撑板，所述支撑板固定安装于移动板上；

第二滑板和第一滑板，所述支撑板与第二滑板之间以及第二滑板与第一滑板之间均通过活塞组件连接，且第二滑板与第一滑板内均设有导气槽；以及

至少一组喷嘴，所述喷嘴与第一滑板内的导气槽相连通；

用于第二滑板与第一滑板之间连接的活塞组件包括按压板和第三弹簧，所述第二滑板通过按压板滑动安装于第二滑板内，第三弹簧用于实现对按压板的弹性支撑；

当第一滑板按压到容纳槽内或者当第一滑板按压到支撑台内时，使得第二滑板首先收缩到第一滑板内，然后支撑板才会收纳到第二滑板内，实现分级收缩；

所述喷嘴倾斜安装于第一滑板上；

所述除尘组件还包括喷气板和导管，所述喷气板固定安装于检测探针的底座上，且喷气板上设置有多组喷头，所述导管一端与喷气板相连通，导管另一端与第二滑板的导气槽相连通；

所述清理组件包括：

清理辊，所述清理辊通过转轴滑动安装于吸附板上，且转轴能够在吸附板上转动；以及

导轮，所述导轮固定安装于转轴上，且导轮与吸附板相切；

所述控制组件包括：

滑块，所述滑块通过导向杆滑动安装于升降板上，且导向杆与升降板之间通过立板连接；

第一弹簧，所述第一弹簧套设于升降板上，用于所述滑块与立板之间的连接；以及

联动杆，所述联动杆一端与滑块固定连接，联动杆另一端与转轴转动连接。

2.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述收纳盒在基座上设置有两组，且两组收纳盒内均设置有支撑组件。

3.根据权利要求2所述的半导体测试治具，其特征在于，所述支撑组件包括放置板和第二弹簧，所述放置板通过第二弹簧滑动安装于收纳盒内。

4.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述升降组件包括螺纹杆和驱动电机，所述螺纹杆转动安装于基座上，且螺纹杆至少安装有一组，多组螺纹杆之间通过传动件连接，所述螺纹杆与所述升降板之间螺纹连接，所述驱动电机安装于基座内，且驱动电机的输出端与其中一组螺纹杆相连接。

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