CN115999856A - 一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种钙钛矿涂膜组件，包括外壳、防护罩和防护罩上设置的用于对基板滴液的滴液组件，防护罩设置在外壳的顶部，防护罩的顶部转动设置有保护盖，保护盖的中心开设有滴液孔；外壳的顶部中心设置有用于放置基板的承载组件，承载组件内部设置有用于吸附基板的吸附组件，承载组件内滑动嵌设有用于驱动基板向承载组件旋转中心移动并使基板中心与承载组件中心对应的滑动组件，吸附组件的输出端设置有封堵机构。在使用时通过滑动机构驱动基板相对承载托盘中心移动，使得基板中心与承载托盘中心对应，避免由于人员放置的基板中心不与承载托盘中心对应，从而导致在旋涂时产生气流旋涡使得基板上的钙钛矿涂膜旋涂不均的问题。

Description

一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机

技术领域

本发明涉及涂膜设备技术领域，具体是一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机。

背景技术

近年来，钙钛矿电池由于制备费用低、高效率、带隙可调、吸收系数高等优势得到了极大的关注，短短几年内光电转换效率从3.8％提高到23.7％，目前钙钛矿电池存在稳定性不好和大面积制备技术等难题，在实验室高效率制备的技术通常采用旋涂方法。

中国专利公开号CN209935096U公开了公开一种旋涂机，包括动力箱、真空箱、托盘箱以及滴胶装置；所述动力箱内固定安装有旋转电机，所述旋转电机输出轴固定安装有第一转轴，所述真空箱固定安装在所述动力箱上，所述第一转轴远离所述旋转电机的一端可拆卸安装第二转轴，所述第二转轴远离所述第二转轴的一端固定安装有真空托盘。

上述设备在实际使用中，人员在对待旋涂工件进行旋涂时，由于人员通过肉眼观察手动放置，而放置的待旋涂工件与旋转台的中心不可能完全同心同轴，所以在启动旋转台时进行旋涂时，工件随旋转台旋转容易产生气流旋涡，从而导致对涂膜工作造成影响。

因此，有必要提供一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机，以解决上述背景技术中提出的基板中心不能与旋转中心自动对应的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种钙钛矿涂膜组件,包括外壳、防护罩和防护罩上设置的用于对基板滴液的滴液组件，所述防护罩设置在外壳的顶部，所述防护罩的顶部转动设置有保护盖，所述保护盖的中心开设有滴液孔；所述外壳的顶部中心设置有用于放置基板的承载组件，所述承载组件内部设置有用于吸附基板的吸附组件，所述承载组件内滑动嵌设有用于驱动基板向承载组件旋转中心移动并使基板中心与承载组件中心对应的滑动组件，所述吸附组件的输出端设置有封堵机构。

作为本发明进一步的方案：所述承载组件包括承载托盘和安装座,；所述安装座固定连接在外壳的顶部中心，所述承载托盘的外侧壁套设有连接套，所述承载托盘的底端贯穿安装座的顶部，所述连接套与安装座螺纹连接，所述承载托盘远离连接套的端部内壁呈十字形开设有第一滑腔，所述第一滑腔与吸附组件相连通。

作为本发明进一步的方案：所述吸附组件包括第一真空通道和第二真空通道；所述安装座的内壁和外壳之间为真空腔室，所述外壳内设置有与真空腔室连通的真空泵，所述外壳内设置有用于驱动承载托盘转动的电机，所述第二真空通道的顶部贯穿承载托盘顶部，所述第二真空通道的中部与第一滑腔相连通，所述第二真空通道通过第一真空通道与真空腔室相连通。

作为本发明进一步的方案：，所述滑动机构包括第一滑杆；所述第一滑杆滑动嵌设在第一滑腔内，所述第一滑杆的内部滑动嵌设有第二滑杆，所述第二滑杆远离吸附组件的一端固定连接有用于驱动基板移动的推动机构，所述第二滑杆的外侧壁套设有第二弹簧，所述第一滑杆远离第二滑杆的一端和第一滑腔靠近吸附组件的一端之间设置有第三弹簧。

作为本发明进一步的方案：所述推动机构包括U形块；所述U形块固定连接在滑动机构远离吸附组件的一端，所述U形块上滑动设置有T形块，所述T形块和U形块之间设置有第一弹簧，所述T形块的底部滑动配合有梯形板，所述梯形板远离T形块的一端固定连接在承载托盘的外侧壁。

作为本发明进一步的方案：所述封堵机构包括封堵柱；所述封堵柱滑动嵌设在第二真空通道的顶部，所述封堵柱靠近第一滑腔的端部设置有固定柱，并且封堵柱可以在固定柱上滑动，所述固定柱的两端固定连接在第二真空通道上，所述固定柱的外侧壁套设有第四弹簧。

作为本发明进一步的方案：所述承载托盘内开设有与第二真空通道连通的第二滑腔，并且第二滑腔对应封堵柱的位置，所述第二滑腔内滑动设置有限位柱，所述限位柱远离第二真空通道的一端与第二滑腔之间设置有锥形弹簧，所述第二滑腔远离限位柱的一端设置有用于驱动限位柱相对封堵柱移动限位的驱动机构，所述第一滑腔与第二真空通道的连接处固定设置有对封堵柱向下滑动后限位的卡扣，所述卡扣的顶端与第一滑杆的端部通过拉绳传动连接。

作为本发明进一步的方案：所述驱动机构包括软管；所述软管滑动嵌设在承载托盘内，所述软管靠近限位柱的一端与第二滑腔连通，所述软管远离第二滑腔的一端固定连接有空心杆，所述空心杆远离软管的一端固定连接有固定架，所述固定架的底端固定连接在第一滑杆上，所述空心杆滑动嵌设在承载托盘的内壁，所述空心杆和软管连接处设置有单向阀组件。

作为本发明进一步的方案：所述单向阀组件包括凸形活塞和第五弹簧；所述空心杆为中空设置，所述凸形活塞滑动设置在空心杆和软管的连接处，所述凸形活塞远离软管的一端伸入空心杆内，并且在空心杆内可以滑动，所述第五弹簧固定设置在空心杆和凸形活塞之间。

一种自动涂膜机，包括上述任意一项所述的钙钛矿涂膜组件，所述滴液组件包括支撑杆；所述支撑杆装配在防护罩的顶部，所述支撑杆上活动设置有放置架，所述放置架远离支撑杆的一端活动装配有试管。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过滑动机构、推动机构、封堵机构和限位机构的配合使用，在使用时启动真空泵，通过真空通道的作用，使得第一滑杆相对第二真空通道滑动，通过第二滑杆带动T形块驱动基板相对承载托盘中心移动，使得基板中心与承载托盘中心对应，避免由于人员放置的基板中心不与承载托盘中心对应，从而导致在旋涂时容易产生气流旋涡，使得基板上的钙钛矿涂膜旋涂不均的问题，在第一滑杆移动的同时通过固定架带动空心杆向承载托盘内滑动挤压软管，使得限位柱向封堵柱移动并伸入封堵柱内完成对封堵柱的限位，通过在封堵柱的顶部设置通孔，对限位柱内的气压进行排出，避免限位柱气压无法排出导致空心杆无法移动，另外在第一滑杆移动的同时，拉绳则从拉紧状态变为松弛状态，使得卡扣从而形变状态复位，当第一滑杆不在移动时，由于软管内气压稳定限位柱在锥形弹簧的作用下离开封堵柱，同时在真空泵的作用下封堵柱向下移动与卡扣配合并被卡扣限位，从而完成对基板的吸附，即可启动电机通过承载托盘带动基板旋转进行涂膜，在离心力的作用下，T形块在第二滑杆的作用下与基板的侧边分离，避免基板上多余的液体甩到T形块上，当涂膜完成后，关闭真空泵后上述机构可实现自动复位，无需人员进行复位。

附图说明

图1为本发明的正面三维立体结构示意图。

图2为本发明中中部剖视的结构示意图。

图3为本发明中承载托盘中部剖面的结构示意图。

图4为本发明中承载托盘三维立体结构示意图。

图5为本发明中试管与放置架配合示意图。

图6为本发明中滑动机构立体三维结构示意图。

图7为本发明中滑动机构中部剖面示意图。

图8为本发明中图2中A处的结构示意图。

图9为本发明中推动机构的结构示意图。

图10为本发明中T形块与第二滑杆的连接示意图。

图11为本发明中T形块中部剖视的结构示意图。

图12为本发明中封堵机构的结构示意图。

图13为本发明中图2中B处的结构示意图。

图14为本发明中限位机构的结构示意图。

图15为本发明中图13中C处的结构示意图。

图中：1、外壳；2、防护罩；3、试管；4、放置架；5、支撑杆；6、封堵柱；7、T形块；71、U形块；72、第一弹簧；73、梯形板；8、第一滑杆；81、第二滑杆；82、第二弹簧；83、第三弹簧；84、卡扣；9、空心杆；91、固定架；92、软管；93、锥形弹簧；94、限位柱；95、单向阀组件；10、固定柱；11、承载托盘；12、连接套；13、安装座；14、真空泵；15、电机；16、第一真空通道；161、第二真空通道；17、第四弹簧。

具体实施方式

请参阅图1-4，本发明实施例中，一种钙钛矿涂膜组件，包括外壳1、防护罩2和防护罩2上设置的用于对基板滴液的滴液组件，防护罩2设置在外壳1的顶部，防护罩2的顶部转动设置有保护盖，保护盖的中心开设有滴液孔；外壳1的顶部中心设置有用于放置基板的承载组件，承载组件内部设置有用于吸附基板的吸附组件，承载组件内滑动嵌设有用于驱动基板向承载组件旋转中心移动并使基板中心与承载组件中心对应的滑动组件，吸附组件的输出端设置有封堵机构。承载组件包括承载托盘11和安装座13。

进一步的，安装座13固定连接在外壳1的顶部中心，承载托盘11的外侧壁套设有连接套12，承载托盘11的底端贯穿安装座13的顶部，连接套12与安装座13螺纹连接，承载托盘11远离连接套12的端部内壁呈十字形开设有第一滑腔，第一滑腔与吸附组件相连通。吸附组件包括第一真空通道16和第二真空通道161；安装座13的内壁和外壳1之间为真空腔室，外壳1内设置有与真空腔室连通的真空泵14，外壳1内设置有用于驱动承载托盘11转动的电机15，第二真空通道161的顶部贯穿承载托盘11顶部，第二真空通道161的中部与第一滑腔相连通，第二真空通道161通过第一真空通道16与真空腔室相连通。

需要说明的是：保护盖为透明材质，从而方便人员观察，具体参阅图3所示第二真空通道161为三段式结构设置，包括顶部、中部、底部，顶部为输出端且将基板吸附在承载托盘11上，中部为设置封堵机构并且与第一滑腔连通，底部与第一真空通道16相连通；参阅图4所示承载托盘11的顶部设置有弧形块并且呈WiFi形阵列设置在承载托盘11的顶部，承载托盘11的顶部中心设置有用于对第二真空通道161输出端进行遮挡的圆筒，并且圆筒侧壁上阵列设置有开口，圆筒的高度同弧形块的高度相同，当真空泵14启动通过第一真空通道16和第二真空通道161可以对基板和弧形块之间进行抽真空，从而使得基板在弧形块的支撑下吸附在承载托盘11上。

具体使用时，在没有进行旋涂之前，滑动机构伸出承载托盘11，封堵组件将第二真空通道161的输出端封堵；当需要进行钙钛矿涂膜工作时，将基板放置在弧形块上，此时关上保护盖，调节滴液组件通过滴液孔移动到靠近基板的位置，此时因为人员手动放置基板，并且人员通过目测并不能准确使得基板放置后其中心无法与承载托盘11的中心同轴，所以在启动真空泵14时，由于封堵组件将第二真空通道161的顶部输出端封堵，所以滑动机构滑动在气压差的作用下首先相对基板移动，从而使得滑动机构会驱动基板移动至与承载托盘11同轴同心的位置，随后封堵组件向下移动使得真空泵14通过第二真空通道161顶部抽取基板和承载托盘11之间的空气，使得基板通过弧形块最终会吸附在承载托盘11上，吸附完后启动电机15,电机15转动通过输出轴带动承载托盘11高速旋转，使得基板高速旋转，随后通过地液组件将钙钛矿液体滴落在基板上，通过基板的高速旋转使得液体充分在基板均匀散开，完成钙钛矿涂膜。

如图6-8所示，滑动机构包括第一滑杆8；第一滑杆8滑动嵌设在第一滑腔内，第一滑杆8的内部滑动嵌设有第二滑杆81，第二滑杆81远离吸附组件的一端固定连接有用于驱动基板移动的推动机构，第二滑杆81的外侧壁套设有第二弹簧82，第一滑杆8远离第二滑杆81的一端和第一滑腔靠近吸附组件的一端之间设置有第三弹簧83。

进一步的，如图9-11所示，推动机构包括U形块71；U形块71固定连接在滑动机构远离吸附组件的一端，U形块71上滑动设置有T形块7，在T形块7远离的基板的状态下，T形块7的高度低于基板的高度，避免在旋涂时基板上多余的液体被甩到T形块7上，T形块7和U形块71之间设置有第一弹簧72，T形块7的底部滑动配合有梯形板73，梯形板73远离T形块7的一端固定连接在承载托盘11的外侧壁，梯形板73伸入U形块71内的一端和T形块7底部配合的端部为斜面设置，当T形块7相对梯形板73移动时，通过斜面可以使得T形块7在U形块71内向上移动至与基板等高的位置，从而更好的推动基板移动。

需要说明的是：第二滑杆81可以在第一滑杆8内滑动，并且第二滑杆81上开设有滑槽，第一滑杆8的端部设置有与滑槽适配的滑块，从而使得第二滑杆81无法在第一滑杆8上进行转动。

具体使用时，在没有进行钙钛矿涂膜时，第一滑杆8在第三弹簧83的作用下远离第二真空通道161的一端伸出承载托盘11，第二滑杆81则在第二弹簧82的作用下收缩在第一滑杆8内，T形块7在第一弹簧72的作用下其底部与梯形板73的斜面配合，封堵组件将第二真空通道161顶部封堵；在对基板进行钙钛矿涂膜时，将基板放置在弧形块上，启动真空泵14，由于封堵组件将第二真空通道161的顶端开口封堵，第一滑杆8和第二真空通道161又是连通状态，所以真空泵14在抽真空时，第一滑杆8会先相对第二真空通道161进行滑动，第三弹簧83则会被第一滑杆8压缩，第二滑杆81则随第一滑杆8移动，第二滑杆81移动使得U形块71向基板移动，从而使得T形块7和梯形板73配合滑动向上达到与基板等高的位置，第一弹簧72被受力压缩，使得U形块71与基板进行配合并驱动基板移动至与承载托盘11同轴同心的状态，当第一滑杆8无法移动且基板已经与承载托盘11处于同心同轴的状态时，封堵组件在真空泵14的持续作用下会在第二真空通道161内向下移动，封堵组件向下移动使得第二真空通道161的开口不在被封堵，所以真空泵14会对基板与承载托盘11之间的弧形块内空间进行抽真空，最终使得基板吸附在弧形块上，随即启动电机15通过承载托盘11带动基板旋转，在离心力的作用下，第二滑杆81会向远离第一滑杆8的方向滑动，第二弹簧82则受力压缩，第二滑杆81移动使得U形块71向远离基板的方向移动，从而使得T形块7再次与梯形板73的斜面配合，并在第一弹簧72复位的作用下T形块7向下移动至低于基板的高度，从而基板在进行涂膜时，避免基板上多余的钙钛矿液体会被甩到T形块7上，且当T形块7与基板侧边接触进而附着在基板的侧边上，造成不必要的影响，当完成对基板的涂膜工作时，关闭电机15使得承载托盘11停止旋转，关闭真空泵14使得基板不再被吸附在弧形块上，第二滑杆81则在第二弹簧82复位的作用下恢复初始状态，第一滑杆8则在第三弹簧83复位的作用下向远离第二真空通道161的方向移动恢复初始状态，T形块7和U形块71同时也恢复初始状态，而封堵组件复位到初始状态，避免人员在非正常操作下，液体通过第二真空通道161进入到真空泵14内给真空泵14造成破坏。

如图8、图12所示，封堵机构包括封堵柱6；封堵柱6滑动嵌设在第二真空通道161的输出端，封堵柱6靠近第一滑腔的端部设置有固定柱10，并且封堵柱6可以在固定柱10上滑动，固定柱10的两端固定连接在第二真空通道161上，固定柱10的外侧壁套设有第四弹簧17。承载托盘11内开设有与第二真空通道161连通的第二滑腔，并且第二滑腔对封堵柱6的位置，第二滑腔内滑动设置有限位柱94，限位柱94远离第二真空通道161的一端与第二滑腔之间设置有锥形弹簧93，第二滑腔远离限位柱94的一端设置有用于驱动限位柱94相对封堵柱6移动并对封堵柱6限位的驱动机构，第一滑腔与第二真空通道161的连接处固定设置有对封堵柱6向下滑动后限位的卡扣84，卡扣84的顶端与第一滑杆8的端部通过拉绳传动连接。

需要说明的是：卡扣84的材质可以为弹簧钢材质，在第一滑杆8的作用下通过拉绳可以产生弹性形变并且可以复位，没有进行旋涂工作的初始状态下，第一滑杆8在第三弹簧83的作用下伸出承载托盘11，而第一滑杆8通过拉紧拉绳使得卡扣84顶端被拉动从而产生形变，此时卡扣84的顶端凸出部分与第二真空通道161分离，当进行旋涂时第一滑杆8滑动收缩在承载托盘11内，即第一滑杆8伸出承载托盘11的距离最小，此时拉绳处于松弛状态，卡扣84复位后其顶端凸出部分伸入第二真空通道161内，当封堵柱6向下滑动时侧壁与卡扣84的凸出部分配合并完成对封堵柱6的限位，避免封堵柱6在第四弹簧17的作用往复运动。

进一步的，如图8-9、图13-15所示，驱动机构包括软管92；软管92滑动嵌设在承载托盘11内，软管92为可伸缩的波纹软管，更好利用其性质完成对限位柱94的驱动，软管92靠近限位柱94的一端与第二滑腔连通，软管92远离第二滑腔的一端固定连接有空心杆9，空心杆9远离软管92的一端固定连接有固定架91，固定架91的底端固定连接在第一滑杆8上，空心杆9滑动嵌设在承载托盘11的内壁，空心杆9和软管92连接处设置有单向阀组件95。单向阀组件95包括凸形活塞和第五弹簧；空心杆9为中空设置，凸形活塞滑动设置在空心杆9和软管92的连接处，凸形活塞远离软管92的一端伸入空心杆9内，并且在空心杆9内可以滑动，第五弹簧固定设置在空心杆9和凸形活塞之间。

需要说明的是：封堵柱6为下端圆盘上端为圆柱的结构，固定柱10滑动设置在封堵柱6的圆盘结构上，封堵柱6上的圆柱结构顶部设置有用于在封堵柱6向下移动后对限位柱94进行阻挡的阻挡杆，参阅图8所示限位柱94上开设有通气槽，通气槽靠近封堵柱6的一端贯穿限位柱94外环，且通气槽贯穿限位柱94的位置与限位柱94靠近封堵柱6的一端存在一定距离，当在空心杆9挤压软管92时，软管92内的气体进入通气槽内，由于初始状态下限位柱94收缩在第二滑腔内，所以在气压推动的作用下，使得限位柱94向封堵柱6移动，当限位柱94移动出第二滑腔且通气槽露出第二滑腔，此时限位柱94的端部与封堵柱6上开设的限位槽配合对封堵柱6进行限位，而封堵柱6上开设有使得限位槽和限位柱94外部相连通的通孔，另外限位槽的尺寸大于限位柱94的尺寸，这样使得限位柱94在伸入限位槽时，空心杆9持续挤压软管92气体则从通气槽向限位槽排出，最后通过通孔排到承载托盘11和基板之间，当空心杆9不在挤压软管92，此时由于气压稳定，锥形弹簧93复位时限位柱94收缩在第二滑腔内；当封堵柱6向下移动时通过阻挡杆可以对限位柱94进行阻挡，避免在真空泵14的持续作用下，限位柱94伸入第二真空通道161内通过通气槽造成无法将基板吸附在弧形块上的问题。

具体使用时，没有进行涂膜之前，封堵柱6在第四弹簧17的作用下将第二真空通道161的顶部封堵，限位柱94未与封堵柱6配合，软管92处于拉伸状态，凸形活塞在第五弹簧的作用下伸入空心杆9内；在使用时，启动真空泵14通过第一真空通道16和第二真空通道161使得第一滑杆8相对固定柱10移动，从而使得固定架91向承载托盘11移动，固定架91移动使得空心杆9相对封堵柱6移动，从而使得软管92被压缩使得其内部空气向限位柱94移动，由于气压差的原因使得限位柱94在第二滑腔内向封堵柱6移动并伸入限位槽内对封堵柱6的位置限位，限位槽上设置有连通的通孔，此时限位柱94的通气槽与通孔相连通，从而可以使得限位柱94内的气压从通孔进入弧形块内，当滑动机构中第一滑杆8移动使得推动机构将基板完成对心之后，第一滑杆8不再移动，同时通过固定架91使得空心杆9不再移动，所以软管92和限位柱94内的气压处于相对稳定的状态，由于此前限位柱94移动时锥形弹簧93被拉伸，所以此时锥形弹簧93复位带动限位柱94向软管92的方向移动收缩在第二滑腔内与封堵柱6分离，在真空泵14的持续作用下，当限位柱94不再对封堵柱6进行限位后，封堵柱6则会在固定柱10上向下移动，使得第四弹簧17被压缩，封堵柱6顶端的阻挡杆向下移动，并对限位柱94进行一个阻挡，避免在真空泵14的作用下限位柱94伸入第二真空通道161内，使得真空泵14无法将基板吸附，封堵柱6在移动后与卡扣84配合并被限位，从而保证真空泵14的可以持续吸附基板；当旋涂完成后，关闭真空泵14，首先解除了对基板的吸附，同时第三弹簧83复位推动第一滑杆8向承载托盘11外移动，第一滑杆8移动拉紧拉绳，拉绳拉动卡扣84产生形变，卡扣84产生形变使得封堵柱6不再被卡扣84限位，从而封堵柱6在第四弹簧17复位的作用下，向上移动将第二真空通道161的顶部再次封堵，此外，在第一滑杆8向承载托盘11外移动时，通过固定架91使得空心杆9随第一滑杆8向承载托盘11外移动，空心杆9移动使得软管92被拉伸，由于限位柱94收缩在第二滑腔内，随着软管92被拉伸内部产生负压，则会使得凸形活塞在第五弹簧的作用下与空心杆9的内壁分离，从而使得外部空气从而空心杆9的内进入到软管92内，当气压稳定之后，在第五弹簧的作用下使得凸形活塞伸入空心杆9内，将软管92和空心杆9连接处封堵，随后即可将基板取下即可。

如图1、图5所示，一种自动涂膜机，包括上述任意一项的钙钛矿涂膜组件，滴液组件包括支撑杆5；支撑杆5装配在防护罩2的顶部，支撑杆5上活动设置有放置架4，放置架4远离支撑杆5的一端活动装配有试管3，支撑杆5上位于放置架4的底部设置有用于调节放置架4高度的转动环。

具体使用时，试管3与滴液孔的尺寸适配，滴液孔的设置使得试管3的中心与基板的中心保持同轴，从而使得试管3在进行滴液时，涂膜液体在滴落时落在基板的中心位置，保证涂膜的就均匀，放置架4可以在支撑杆5上转动，在没有进行钙钛矿涂膜时，保护盖为打开状态，放置架4由于保护盖打开的原因先转动到一侧；当进行钙钛矿涂膜工作时，将基板放置在承载组件上，关上保护盖，旋转放置架4至与滴液孔对应的位置，试管3随放置架4转动到滴液孔的位置，随后旋转转动环使得放置架4在支撑杆5上向下移动，使得试管3向下移动并穿过滴液孔伸入防护罩2内，临近基板即停止旋转转动环，启动真空泵14通过滑动组件、推动组件和封堵组件的配合，使得基板的中心与承载组件旋转中心对应，并且吸附在承载组件上，启动电机15带动基板转动，随后即可通过试管3将钙钛矿液体滴落在基板上，进行自动涂膜工作，方便使用。

综上所述，使用时启动真空泵14，通过真空通道的作用，使得第一滑杆8相对第二真空通道161滑动，通过第二滑杆81带动T形块7向基板移动并驱动基板移动至与承载托盘11同轴同心的位置，避免由于人员放置的位置不在正中心，当进行旋涂时，容易产生气流旋涡导致基板上的钙钛矿涂膜旋涂不均，在第一滑杆8移动的同时通过固定架91带动空心杆9向承载托盘11内滑动挤压软管92，使得限位柱94向封堵柱6移动并伸入封堵柱6内完成对封堵柱6的限位，通过在封堵柱6的顶部设置通孔，对限位柱94内的气压进行排出，避免限位柱94气压无法排出导致空心杆9无法移动，另外在第一滑杆8移动的同时，拉绳则从拉紧状态变为松弛状态，使得卡扣84从而形变状态复位，当第一滑杆8不在移动时，由于软管92内气压稳定限位柱94在锥形弹簧93的作用下离开封堵柱6，同时在真空泵14的作用下封堵柱6向下移动与卡扣84配合并被卡扣84限位，从而完成对基板的吸附，即可启动电机15通过承载托盘11带动基板旋转进行涂膜，在离心力的作用下，T形块7在第二滑杆81的作用下与基板的侧边分离，避免基板上多余的液体甩到T形块7上，当涂膜完成后，关闭真空泵14后上述机构可实现自动复位，无需人员进行复位。

Claims (10)

1.一种钙钛矿涂膜组件，包括外壳、防护罩和防护罩上设置的用于对基板滴液的滴液组件，所述防护罩设置在外壳的顶部，所述防护罩的顶部转动设置有保护盖，所述保护盖的中心开设有滴液孔；其特征在于，所述外壳的顶部中心设置有用于放置基板的承载组件，所述承载组件内部设置有用于吸附基板的吸附组件，所述承载组件内滑动嵌设有用于驱动基板向承载组件旋转中心移动并使基板中心与承载组件中心对应的滑动组件，所述吸附组件的输出端设置有封堵机构。

2.根据权利要求1所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述承载组件包括承载托盘和安装座,；所述安装座固定连接在外壳的顶部中心，所述承载托盘的外侧壁套设有连接套，所述承载托盘的底端贯穿安装座的顶部，所述连接套与安装座螺纹连接，所述承载托盘远离连接套的端部内壁呈十字形开设有第一滑腔，所述第一滑腔与吸附组件相连通。

3.根据权利要求2所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述吸附组件包括第一真空通道和第二真空通道；所述安装座的内壁和外壳之间为真空腔室，所述外壳内设置有与真空腔室连通的真空泵，所述外壳内设置有用于驱动承载托盘转动的电机，所述第二真空通道的顶部贯穿承载托盘顶部，所述第二真空通道的中部与第一滑腔相连通，所述第二真空通道通过第一真空通道与真空腔室相连通。

4.根据权利要求3所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述滑动机构包括第一滑杆；所述第一滑杆滑动嵌设在第一滑腔内，所述第一滑杆的内部滑动嵌设有第二滑杆，所述第二滑杆远离吸附组件的一端固定连接有用于驱动基板移动的推动机构，所述第二滑杆的外侧壁套设有第二弹簧，所述第一滑杆远离第二滑杆的一端和第一滑腔靠近吸附组件的一端之间设置有第三弹簧。

5.根据权利要求4所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述推动机构包括U形块；所述U形块固定连接在滑动机构远离吸附组件的一端，所述U形块上滑动设置有T形块，所述T形块和U形块之间设置有第一弹簧，所述T形块的底部滑动配合有梯形板，所述梯形板远离T形块的一端固定连接在承载托盘的外侧壁。

6.根据权利要求4所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述封堵机构包括封堵柱；所述封堵柱滑动嵌设在第二真空通道的顶部，所述封堵柱靠近第一滑腔的端部设置有固定柱，并且封堵柱可以在固定柱上滑动，所述固定柱的两端固定连接在第二真空通道上，所述固定柱的外侧壁套设有第四弹簧。

7.根据权利要求5所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述承载托盘内开设有与第二真空通道连通的第二滑腔，并且第二滑腔对应封堵柱的位置，所述第二滑腔内滑动设置有限位柱，所述限位柱远离第二真空通道的一端与第二滑腔之间设置有锥形弹簧，所述第二滑腔远离限位柱的一端设置有用于驱动限位柱相对封堵柱移动限位的驱动机构，所述第一滑腔与第二真空通道的连接处固定设置有对封堵柱向下滑动后限位的卡扣，所述卡扣的顶端与第一滑杆的端部通过拉绳传动连接。

8.根据权利要求7所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述驱动机构包括软管；所述软管滑动嵌设在承载托盘内，所述软管靠近限位柱的一端与第二滑腔连通，所述软管远离第二滑腔的一端固定连接有空心杆，所述空心杆远离软管的一端固定连接有固定架，所述固定架的底端固定连接在第一滑杆上，所述空心杆滑动嵌设在承载托盘的内壁，所述空心杆和软管连接处设置有单向阀组件。

9.根据权利要求8所述的一种钙钛矿涂膜组件，其特征在于，所述单向阀组件包括凸形活塞和第五弹簧；所述空心杆为中空设置，所述凸形活塞滑动设置在空心杆和软管的连接处，所述凸形活塞远离软管的一端伸入空心杆内，并且在空心杆内可以滑动，所述第五弹簧固定设置在空心杆和凸形活塞之间。

10.一种自动涂膜机，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的钙钛矿涂膜组件，所述滴液组件包括支撑杆；所述支撑杆装配在防护罩的顶部，所述支撑杆上活动设置有放置架，所述放置架远离支撑杆的一端活动装配有试管。

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