CN217387119U - 一种晶圆真空吸取装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆真空吸取装置，包括圆板和框体，所述圆板的顶部开设有滑孔，所述滑孔的内壁滑动连接有移动块，所述圆板的底部焊接有壳体，所述壳体的表面安装有调节组件，所述移动块的表面分别安装有导向组件和吸取组件，所述框体的表面安装有吸气组件，调节组件包括驱动电机，所述驱动电机的一侧通过螺栓与壳体的底部固定连接。本实用新型解决了现有的真空吸取器只能吸取一种尺寸的晶圆，如果晶圆的尺寸过大，则晶圆容易因为受力不均出现翘起，测试过程中容易出现破损，而如果晶圆的尺寸过小，则晶圆的两端无法同时有效覆盖两个真空孔，导致真空吸取器的吸附能力较弱，测试过程中，晶圆容易翘起甚至滑落的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空吸取器技术领域，具体为一种晶圆真空吸取装置。
背景技术
在集成电路生产工艺中，晶圆在进行切割及封装之前，一般都需要使用探针台对晶圆的质量进行测试，为了将晶圆固定至探针台的测试腔内，需要在探针台的测试腔内安装一个用于吸取晶圆的晶圆真空吸取器，但是现有的真空吸取器只能吸取一种尺寸的晶圆，如果晶圆的尺寸过大，则晶圆容易因为受力不均出现翘起，测试过程中容易出现破损，而如果晶圆的尺寸过小，则晶圆的两端无法同时有效覆盖两个真空孔，导致真空吸取器的吸附能力较弱，测试过程中，晶圆容易翘起甚至滑落。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆真空吸取装置，具备便于真空吸取不同大小晶圆和可调节的优点，解决了现有的真空吸取器只能吸取一种尺寸的晶圆，如果晶圆的尺寸过大，则晶圆容易因为受力不均出现翘起，测试过程中容易出现破损，而如果晶圆的尺寸过小，则晶圆的两端无法同时有效覆盖两个真空孔，导致真空吸取器的吸附能力较弱，测试过程中，晶圆容易翘起甚至滑落的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆真空吸取装置，包括圆板和框体，所述圆板的顶部开设有滑孔，所述滑孔的内壁滑动连接有移动块，所述圆板的底部焊接有壳体，所述壳体的表面安装有调节组件，所述移动块的表面分别安装有导向组件和吸取组件，所述框体的表面安装有吸气组件。
优选的，所述调节组件包括驱动电机，所述驱动电机的一侧通过螺栓与壳体的底部固定连接，所述驱动电机的转轴贯穿壳体并固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹套设有移动板，所述移动板的表面通过转轴转动连接有活动板，所述活动板的一端贯穿壳体并通过转轴与移动块的底部转动连接。
优选的，所述导向组件包括导向方杆，所述导向方杆的一端与滑孔的内壁焊接，所述导向方杆的另一端焊接有限位板，所述移动块滑动套设在导向方杆的表面。
优选的，所述吸取组件包括框体，所述框体的底部与移动块的顶部固定连接，所述框体的顶部开设有吸气孔。
优选的，所述吸气组件包括软管，所述软管的一端连通有伸缩环管，所述伸缩环管的表面连通有短管，所述短管的顶部与框体的底部连通，所述软管的表面安装有调节阀。
优选的，所述框体的顶部粘接有橡胶垫，所述吸气孔的形状为圆形。
优选的，所述螺纹杆的顶部通过轴承与壳体内腔的顶部转动连接，所述壳体的表面开设有与活动板相适配的方孔。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型通过圆板、滑孔、移动块、壳体、调节组件、导向组件、吸取组件和吸气组件进行配合，具备便于真空吸取不同大小晶圆和可调节的优点，解决了现有的真空吸取器只能吸取一种尺寸的晶圆，如果晶圆的尺寸过大，则晶圆容易因为受力不均出现翘起，测试过程中容易出现破损，而如果晶圆的尺寸过小，则晶圆的两端无法同时有效覆盖两个真空孔，导致真空吸取器的吸附能力较弱，测试过程中，晶圆容易翘起甚至滑落的问题。
2、本实用新型通过设置驱动电机、螺纹杆、移动板和活动板，实现对移动块位置的调节，进而带动多个吸取组件进行移动，从而根据需要吸取的晶圆对装置吸取直径进行调节，通过设置导向方杆和限位板，对移动块的移动轨迹进行导向限位，从而使吸取组件保持水平，通过设置框体和吸气孔，将吸气组件外接真空泵，从而将晶圆进行真空吸取。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型仰视立体示意图；
图3为本实用新型吸取组件和导向组件立体放大示意图；
图4为本实用新型吸气组件和调节组件立体放大示意图。
图中：1圆板、2滑孔、3移动块、4壳体、5调节组件、51驱动电机、52螺纹杆、53移动板、54活动板、6导向组件、61导向方杆、62限位板、7吸取组件、71框体、72吸气孔、8吸气组件、81软管、82伸缩环管、83短管、84调节阀、9橡胶垫。
具体实施方式
请参阅图1-图4，一种晶圆真空吸取装置，包括圆板1和框体71，圆板1的顶部开设有滑孔2，滑孔2的内壁滑动连接有移动块3，圆板1的底部焊接有壳体4，壳体4的表面安装有调节组件5，移动块3的表面分别安装有导向组件6和吸取组件7，框体71的表面安装有吸气组件8；
调节组件5包括驱动电机51，驱动电机51的一侧通过螺栓与壳体4的底部固定连接，驱动电机51的转轴贯穿壳体4并固定连接有螺纹杆52，螺纹杆52的表面螺纹套设有移动板53，移动板53的表面通过转轴转动连接有活动板54，活动板54的一端贯穿壳体4并通过转轴与移动块3的底部转动连接，通过设置驱动电机51、螺纹杆52、移动板53和活动板54，实现对移动块3位置的调节，进而带动多个吸取组件7进行移动，从而根据需要吸取的晶圆对装置吸取直径进行调节；
导向组件6包括导向方杆61，导向方杆61的一端与滑孔2的内壁焊接，导向方杆61的另一端焊接有限位板62，移动块3滑动套设在导向方杆61的表面，通过设置导向方杆61和限位板62，对移动块3的移动轨迹进行导向限位，从而使吸取组件7保持水平；
吸取组件7包括框体71，框体71的底部与移动块3的顶部固定连接，框体71的顶部开设有吸气孔72，通过设置框体71和吸气孔72，将吸气组件8外接真空泵，从而将晶圆进行真空吸取；
吸气组件8包括软管81，软管81的一端连通有伸缩环管82，伸缩环管82的表面连通有短管83，短管83的顶部与框体71的底部连通，软管81的表面安装有调节阀84，通过设置软管81、伸缩环管82、短管83和调节阀84，将软管81外接真空泵，在吸取组件7的作用下将晶圆进行吸取，同时可对调节阀84进行调节，根据晶圆的大小调节吸取的流速，避免吸力过大造成小晶圆的损坏，或吸力小无法吸取大晶圆；
框体71的顶部粘接有橡胶垫9，吸气孔72的形状为圆形，通过设置橡胶垫9，提高晶圆与吸取组件7的密封效果，提升吸取的成功率；
螺纹杆52的顶部通过轴承与壳体4内腔的顶部转动连接，壳体4的表面开设有与活动板54相适配的方孔，通过设置轴承，对螺纹杆52进行固定，使其在转动时更加的稳定。
使用时，将装置通过导线外接电源和控制器，将软管81外接真空泵，根据需要吸取晶圆的大小对多个吸取组件7的位置进行调节，调节吸取的直径范围，控制驱动电机51的运行使螺纹杆52进行转动，进而带动移动板53进行移动，活动板54在移动板53的作用下带动移动块3和吸取组件7进行移动，通过导向方杆61和限位板62的作用下，对移动块3的移动轨迹进行导向限位，使多个吸取组件7保持水平，从而对吸取直径进行调节，控制真空泵的运行对软管81、伸缩环管82、短管83和框体71内进行吸气，晶圆与橡胶垫9的表面接触，从而将框体71内形成负压，将晶圆进行真空吸取固定，通过多个吸取组件7分散真空吸附力，使晶圆受力均匀。
综上所述：该晶圆真空吸取装置，通过圆板1、滑孔2、移动块3、壳体4、调节组件5、导向组件6、吸取组件7和吸气组件8进行配合，解决了现有的真空吸取器只能吸取一种尺寸的晶圆，如果晶圆的尺寸过大，则晶圆容易因为受力不均出现翘起，测试过程中容易出现破损，而如果晶圆的尺寸过小，则晶圆的两端无法同时有效覆盖两个真空孔，导致真空吸取器的吸附能力较弱，测试过程中，晶圆容易翘起甚至滑落的问题。
Claims (7)
1.一种晶圆真空吸取装置，包括圆板(1)和框体(71)，其特征在于：所述圆板(1)的顶部开设有滑孔(2)，所述滑孔(2)的内壁滑动连接有移动块(3)，所述圆板(1)的底部焊接有壳体(4)，所述壳体(4)的表面安装有调节组件(5)，所述移动块(3)的表面分别安装有导向组件(6)和吸取组件(7)，所述框体(71)的表面安装有吸气组件(8)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆真空吸取装置，其特征在于：所述调节组件(5)包括驱动电机(51)，所述驱动电机(51)的一侧通过螺栓与壳体(4)的底部固定连接，所述驱动电机(51)的转轴贯穿壳体(4)并固定连接有螺纹杆(52)，所述螺纹杆(52)的表面螺纹套设有移动板(53)，所述移动板(53)的表面通过转轴转动连接有活动板(54)，所述活动板(54)的一端贯穿壳体(4)并通过转轴与移动块(3)的底部转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆真空吸取装置，其特征在于：所述导向组件(6)包括导向方杆(61)，所述导向方杆(61)的一端与滑孔(2)的内壁焊接，所述导向方杆(61)的另一端焊接有限位板(62)，所述移动块(3)滑动套设在导向方杆(61)的表面。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆真空吸取装置，其特征在于：所述吸取组件(7)包括框体(71)，所述框体(71)的底部与移动块(3)的顶部固定连接，所述框体(71)的顶部开设有吸气孔(72)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆真空吸取装置，其特征在于：所述吸气组件(8)包括软管(81)，所述软管(81)的一端连通有伸缩环管(82)，所述伸缩环管(82)的表面连通有短管(83)，所述短管(83)的顶部与框体(71)的底部连通，所述软管(81)的表面安装有调节阀(84)。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆真空吸取装置，其特征在于：所述框体(71)的顶部粘接有橡胶垫(9)，所述吸气孔(72)的形状为圆形。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆真空吸取装置，其特征在于：所述螺纹杆(52)的顶部通过轴承与壳体(4)内腔的顶部转动连接，所述壳体(4)的表面开设有与活动板(54)相适配的方孔。
Priority Applications (1)
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| CN202123345647.2U CN217387119U (zh) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 一种晶圆真空吸取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN217387119U true CN217387119U (zh) | 2022-09-06 |
Family
ID=83094049
Family Applications (1)
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| CN202123345647.2U Active CN217387119U (zh) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 一种晶圆真空吸取装置 |
Country Status (1)
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2021
- 2021-12-28 CN CN202123345647.2U patent/CN217387119U/zh active Active
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