CN209935096U - 一种旋涂机 - Google Patents
一种旋涂机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209935096U CN209935096U CN201920738675.4U CN201920738675U CN209935096U CN 209935096 U CN209935096 U CN 209935096U CN 201920738675 U CN201920738675 U CN 201920738675U CN 209935096 U CN209935096 U CN 209935096U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rotating shaft
- vacuum
- box
- tray
- glue
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 title description 4
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种旋涂机,涉及旋涂机技术领域,包括动力箱、真空箱、托盘箱以及滴胶装置;所述动力箱内固定安装有旋转电机,所述旋转电机输出轴固定安装有第一转轴,所述真空箱固定安装在所述动力箱上,所述第一转轴远离所述旋转电机的一端可拆卸安装第二转轴,所述第二转轴远离所述第二转轴的一端固定安装有真空托盘。在本实用新型中,通过设置有真空箱,若多余的胶液由于吸力过大,被吸入会累积在真空箱内,避免直接进入真空泵,导致真空泵受损;通过设置第一转轴和第二转轴可拆卸拆装,方便将第二转轴拆卸下来,清洗第二转轴内的空腔,避免堵塞,影响真空吸盘工作;通过设置有玻璃外罩,防止工作过程中,胶液被甩出托盘箱。
Description
技术领域
本实用新型涉及旋涂机技术领域,特别涉及一种旋涂机。
背景技术
匀胶机的原理是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。数厂家均采用真空吸盘固定样品进行旋涂,但经常会因为种种原因导致甩片并使胶料被真空泵吸入,从而损害真空泵;吸力较大,容易将多余胶液吸入气孔,长此以往,容易造成气孔堵塞,使机器不能正常工作,且维修不便。
实用新型内容
有鉴于现有技术的缺陷,本实用新型所要解决的技术问题是提供一种旋涂机,旨在可拆卸清洗气孔,避免堵塞。
为实现上述目的,本实用新型提供一种旋涂机,包括动力箱、真空箱、托盘箱以及滴胶装置;所述动力箱内固定安装有旋转电机,所述旋转电机输出轴固定安装有第一转轴,所述第一转轴上安装有第一轴承,所述第一轴承镶嵌安装于所述动力箱顶壁,所述真空箱固定安装在所述动力箱上,所述第一转轴延伸至所述真空箱内,所述第一转轴远离所述旋转电机的一端可拆卸安装第二转轴,所述第二转轴上安装有第二轴承,所述第二轴承镶嵌安装于所述真空箱顶壁,所属第二转轴通过所述第二轴承延伸至所述托盘箱内,且所述第二转轴远离所述第二转轴的一端固定安装有真空托盘;所述第二转轴沿着轴线开设有空腔,所述第二转轴靠近所述第一转轴且位于所述真空箱内的侧壁上开设有通孔,所述空腔通过所述通孔和所述真空箱内腔贯通;所述托盘箱开口朝上,且所述托盘箱上设置有玻璃外罩,所述滴胶装置设置有所述托盘箱上,且滴胶口位于所述真空托盘正中心上。
在该技术方案中,通过设置有真空箱,若多余的胶液由于吸力过大,被吸入会累积在真空箱内,避免直接进入真空泵,导致真空泵受损;通过设置第一转轴和第二转轴可拆卸拆装,方便将第二转轴拆卸下来,清洗第二转轴内的空腔,避免堵塞,影响真空吸盘工作;通过设置有玻璃外罩,防止工作过程中,胶液被甩出托盘箱。
在一具体实施例中,所述第一转轴远离所述电机的一端沿着轴线开设有螺纹孔,所述第二转轴靠近所述第一转轴的一端固定安装有螺纹柱,所述螺纹柱和所述螺纹孔相匹配;所述第一转轴和所述第二转轴通过所述螺纹柱和所述螺纹孔啮合可拆卸安装。基于此,方便安装拆卸第二转轴。
在一具体实施例中,所述真空箱顶壁在所述第二转轴贯穿孔位置设置有第一轴封;所述真空箱底部在所述第一转轴贯穿孔位置设置有第二轴封。基于此,保证真空箱的密封性。
在一具体实施例中,所述滴胶装置包括存胶箱、滴胶管以及气动胶泵,所述气动胶泵连接所述存胶箱和所述滴胶管,所述滴胶管上设置有用于控制滴胶的控制开关。
在一具体实施例中,所述动力箱侧壁上开设有透气孔,所述透气孔用于所述旋转电机散热。基于此,起到散热的作用,避免动力箱温度过高。
在一具体实施例中,所述真空箱上开设有真空吸嘴接口,所述真空吸嘴接口和真空泵相连接。
在一具体实施例中,所述玻璃外罩上设置有把手。基于此,方便打开或关闭玻璃外罩。
本实用新型的有益效果是:在本实用新型中,通过设置有真空箱,若多余的胶液由于吸力过大,被吸入会累积在真空箱内,避免直接进入真空泵,导致真空泵受损;通过设置第一转轴和第二转轴可拆卸拆装,方便将第二转轴拆卸下来,清洗第二转轴内的空腔,避免堵塞,影响真空吸盘工作;通过设置有玻璃外罩,防止工作过程中,胶液被甩出托盘箱。
附图说明
图1是本实用新型一具体实施方式中的一种旋涂机的结构示意图.
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:
如图1所示,在本实用新型第一实施例中,提供一种旋涂机,包括动力箱100、真空箱200、托盘箱300以及滴胶装置;所述动力箱100内固定安装有旋转电机101,所述旋转电机101输出轴固定安装有第一转轴102,所述第一转轴102上安装有第一轴承104,所述第一轴承104镶嵌安装于所述动力箱100顶壁,所述真空箱200固定安装在所述动力箱100上,所述第一转轴102延伸至所述真空箱200内,所述第一转轴102远离所述旋转电机101的一端可拆卸安装第二转轴201,所述第二转轴201上安装有第二轴承205,所述第二轴承205镶嵌安装于所述真空箱200顶壁,所属第二转轴201通过所述第二轴承205延伸至所述托盘箱300内,且所述第二转轴201远离所述第二转轴201的一端固定安装有真空托盘301;所述第二转轴201沿着轴线开设有空腔202,所述第二转轴201靠近所述第一转轴102且位于所述真空箱200内的侧壁上开设有通孔204,所述空腔202通过所述通孔204和所述真空箱200内腔贯通;所述托盘箱300开口朝上,且所述托盘箱300上设置有玻璃外罩302,所述滴胶装置设置有所述托盘箱300上,且滴胶口位于所述真空托盘301正中心上。
在本实施例中,所述第一转轴102远离所述电机的一端沿着轴线开设有螺纹孔103,所述第二转轴201靠近所述第一转轴102的一端固定安装有螺纹柱203,所述螺纹柱203和所述螺纹孔103相匹配;所述第一转轴102和所述第二转轴201通过所述螺纹柱203和所述螺纹孔103啮合可拆卸安装。
在本实施例中,所述真空箱200顶壁在所述第二转轴201贯穿孔位置设置有第一轴封206;所述真空箱200底部在所述第一转轴102贯穿孔位置设置有第二轴封207。
在本实施例中,所述滴胶装置包括存胶箱401、滴胶管402以及气动胶泵403,所述气动胶泵403连接所述存胶箱401和所述滴胶管402,所述滴胶管402上设置有用于控制滴胶的控制开关404。
在本实施例中,所述动力箱100侧壁上开设有透气孔105,所述透气孔105用于所述旋转电机101散热。
在本实施例中,所述真空箱200上开设有真空吸嘴接口,所述真空吸嘴接口和真空泵相连接。
在本实施例中,所述玻璃外罩上设置有把手303。
以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解,本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思作出诸多修改和变化。因此,凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案,皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (7)
1.一种旋涂机,其特征在于,包括动力箱、真空箱、托盘箱以及滴胶装置;所述动力箱内固定安装有旋转电机,所述旋转电机输出轴固定安装有第一转轴,所述第一转轴上安装有第一轴承,所述第一轴承镶嵌安装于所述动力箱顶壁,所述真空箱固定安装在所述动力箱上,所述第一转轴延伸至所述真空箱内,所述第一转轴远离所述旋转电机的一端可拆卸安装第二转轴,所述第二转轴上安装有第二轴承,所述第二轴承镶嵌安装于所述真空箱顶壁,所属第二转轴通过所述第二轴承延伸至所述托盘箱内,且所述第二转轴远离所述第二转轴的一端固定安装有真空托盘;所述第二转轴沿着轴线开设有空腔,所述第二转轴靠近所述第一转轴且位于所述真空箱内的侧壁上开设有通孔,所述空腔通过所述通孔和所述真空箱内腔贯通;所述托盘箱开口朝上,且所述托盘箱上设置有玻璃外罩,所述滴胶装置设置有所述托盘箱上,且滴胶口位于所述真空托盘正中心上。
2.如权利要求1所述一种旋涂机,其特征在于,所述第一转轴远离所述电机的一端沿着轴线开设有螺纹孔,所述第二转轴靠近所述第一转轴的一端固定安装有螺纹柱,所述螺纹柱和所述螺纹孔相匹配;所述第一转轴和所述第二转轴通过所述螺纹柱和所述螺纹孔啮合可拆卸安装。
3.如权利要求1所述的一种旋涂机,其特征在于,所述真空箱顶壁在所述第二转轴贯穿孔位置设置有第一轴封;所述真空箱底部在所述第一转轴贯穿孔位置设置有第二轴封。
4.如权利要求1所述的一种旋涂机,其特征在于,所述滴胶装置包括存胶箱、滴胶管以及气动胶泵,所述气动胶泵连接所述存胶箱和所述滴胶管,所述滴胶管上设置有用于控制滴胶的控制开关。
5.如权利要求1所述的一种旋涂机,其特征在于,所述动力箱侧壁上开设有透气孔,所述透气孔用于所述旋转电机散热。
6.如权利要求1所述的一种旋涂机,其特征在于,所述真空箱上开设有真空吸嘴接口,所述真空吸嘴接口和真空泵相连接。
7.如权利要求1所述的一种旋涂机,其特征在于,所述玻璃外罩上设置有把手。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920738675.4U CN209935096U (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种旋涂机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920738675.4U CN209935096U (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种旋涂机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN209935096U true CN209935096U (zh) | 2020-01-14 |
Family
ID=69133749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201920738675.4U Expired - Fee Related CN209935096U (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种旋涂机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN209935096U (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111842016A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-30 | 上海工程技术大学 | 一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置 |
CN112547436A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-26 | 北京中科开迪软件有限公司 | 一种用于光盘生产的胶水供给设备 |
CN113655167A (zh) * | 2020-05-12 | 2021-11-16 | 国家烟草质量监督检验中心 | 一种滤片自动涂液装置测定卷烟主流烟气中氨含量的方法 |
CN114211671A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-03-22 | 西南大学 | 匀胶机防渗漏吸盘 |
CN115999856A (zh) * | 2023-01-28 | 2023-04-25 | 深圳市丰源升科技有限公司 | 一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机 |
-
2019
- 2019-05-22 CN CN201920738675.4U patent/CN209935096U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113655167A (zh) * | 2020-05-12 | 2021-11-16 | 国家烟草质量监督检验中心 | 一种滤片自动涂液装置测定卷烟主流烟气中氨含量的方法 |
CN111842016A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-30 | 上海工程技术大学 | 一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置 |
CN112547436A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-26 | 北京中科开迪软件有限公司 | 一种用于光盘生产的胶水供给设备 |
CN114211671A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-03-22 | 西南大学 | 匀胶机防渗漏吸盘 |
CN115999856A (zh) * | 2023-01-28 | 2023-04-25 | 深圳市丰源升科技有限公司 | 一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机 |
CN115999856B (zh) * | 2023-01-28 | 2023-09-22 | 深圳市丰源升科技有限公司 | 一种钙钛矿涂膜组件及自动涂膜机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN209935096U (zh) | 一种旋涂机 | |
CN103489814B (zh) | 全自动兆声波半导体晶圆清洗设备 | |
CN111214840A (zh) | 泡泡机 | |
CN103456605B (zh) | 全自动半导体封装微尘清洗设备 | |
CN213670217U (zh) | 一种塑胶摄像机半球罩外表面加硬处理装置 | |
CN203553111U (zh) | 全自动兆声波半导体晶圆清洗设备 | |
WO2023103483A1 (zh) | 匣钵外表面除尘设备 | |
CN214022274U (zh) | 一种镜头生产用镀膜前清洁装置 | |
CN207747656U (zh) | 一种美术画笔清洗装置 | |
CN207680438U (zh) | 一种防浆料挂壁的油漆生产装置 | |
CN214625007U (zh) | 一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置 | |
CN219483095U (zh) | 一种晶圆保护胶涂覆机构及晶圆加工装置 | |
CN210463837U (zh) | 一种无死角真空干燥箱 | |
CN209745035U (zh) | 一种冷却塔 | |
CN208730033U (zh) | 一种扁平电缆原料搅拌装置 | |
CN214234698U (zh) | 一种新型喷涂柜 | |
CN202824004U (zh) | 基板清洗装置 | |
CN213000944U (zh) | 一种多工位式的光学镜片生产的匀胶机 | |
CN113926756A (zh) | 一种轴承工件套圈清洗处理设备及其处理方法 | |
CN210997870U (zh) | 一种用于生产平面镜的双面抛光机 | |
CN210146575U (zh) | 一种家用小电器零配件生产用清洗装置 | |
CN209491093U (zh) | 一种高密度互连印刷电路板的清洁装置 | |
TWI408013B (zh) | 易於導流之元件清洗機 | |
CN206701435U (zh) | 一种粉末分散装置 | |
CN213700416U (zh) | 一种微型电机生产用机壳喷涂装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200114 |