CN115920582B - 一种芯片先进封测废气治理工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明属于芯片存储先进封测生产过程中刷胶、固化、模封、焊接、擦拭等工艺所产生的VOCs废气的净化治理技术领域，具体的说是一种芯片先进封测废气治理工艺，包括第一风管和两个一级活性炭吸附设备，所述第一风管为三通管。本发明通过设有一用一备的两级活性炭吸附设备和离心风机，可以保证工艺设备全年24小时连续运行，保证芯片存储先进封测生产要求；通过在活性炭吸附前端设置过滤器，可以减少颗粒物对活性炭造成堵塞；通过将活性炭吸附设计成多通道，可以减小该工艺设备的风阻，提高吸附效率；通过将过滤器与活性炭吸附设计成一体设备，可以减少本废气治理工艺设备的占地面积。
Description
技术领域
本发明属于芯片存储先进封测生产过程中刷胶、固化、模封、焊接、擦拭等工艺所产生的VOCs废气的净化治理技术领域，特别涉及一种芯片先进封测废气治理工艺。
背景技术
目前芯片先进封测生产过程中不可避免的会产生废气、废水、废渣等。之前为推进行业产业的发展而忽略其所产生的废气污染问题，随着国家对大气污染问题的重视，并出台更高要求的排放标准。对于芯片存储先进封测生产过程中刷胶、固化、模封、焊接、擦拭等工艺所产生的大风量、低浓度的VOCs废气也必须经净化处理达标后才允许排放。
由于芯片存储先进封测生产线全年24小时连续运行，为减少该废气逸散对大气环境的污染，影响员工以及周围居民身心健康，使用的废气治理工艺设备应该24运行，但是现有的芯片先进封测废气治理工艺设备在使用过程中，需要停机将设备中的活性炭等耗材进行更换，不能保证设备24小时连续使用，无法满足生产需求，另外，现有的芯片先进封测废气治理工艺设备在使用过程中，大多只有一种使用模式，不能够根据具体的废气有害物质含量以及排放标准进行模式切换，使用灵活性较低。
因此，发明一种芯片先进封测废气治理工艺来解决上述问题很有必要。
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种芯片先进封测废气治理工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种芯片先进封测废气治理工艺，包括第一风管和两个一级活性炭吸附设备，所述第一风管为三通管，所述第一风管的两个出风口处分别通过阀门A和阀门B与两个一级活性炭吸附设备连接，两个所述一级活性炭吸附设备远离第一风管的一端分别通过阀门C和阀门D共同连通有第二风管，且第二风管的横截面形状为工字形，所述第二风管的出风口处分别通过阀门E和阀门F连通有两个二级活性炭吸附设备，两个所述二级活性炭吸附设备分别通过阀门G和阀门H连通有第三风管，且第三风管与第二风管的参数相同，所述第三风管远离二级活性炭设备的一端分别通过阀门I和阀门J固定连通有离心风机，且两个离心风机分别通过管道与第三风管连通，两个所述离心风机之间设置有塔架，所述塔架的内部安装有烟囱，两个所述离心风机的出风口分别通过阀门K和阀门L与烟囱连通。
进一步的，两个所述一级活性炭吸附设备和两个二级活性炭吸附设备均包括设置在壳体内的前端过滤段和活性炭吸附段；
所述前端过滤段包括开设在一级活性炭吸附设备和二级活性炭吸附设备壳体两侧上的安装导槽，所述安装导槽的内部安装有过滤器。
进一步的，所述活性炭吸附段包括设置在设备壳体内部的四个用于填装活性炭的安装通道，四个所述安装通道包括两个设置在设备靠中间位置的两个通道A和两个位于通道A外侧的通道B，所述设备壳体的顶部一端设置有多个与安装通道配合使用的填料口，所述壳体的底部一端设置有两对卸料斗，两对所述卸料斗与多个填料口的均通过安装在壳体上的密封板进行启闭，所述密封板均采用活节螺栓和三角手拧螺母紧固，所述卸料斗的低点处设置有防止设备内积水的排水口。
进一步的，所述壳体内部的顶部一端设置有能够根据废气排放要求对活性炭吸附段进行适应性调整的切换机构；
所述切换机构包括固定连接在两个通道A和两个通道B靠近进风口一端的第一挡板，且两个通道B一侧的挡板远离通道A的一侧均与设备壳体的侧壁固定连接，所述安装通道远离挡板的一侧设置有两个第二挡板，两个所述第二挡板分别设置在两个通道A和两个通道B之间，并与两个通道A和通道B固定连接，四个所述第一挡板靠近进风口的一侧转动连接有三对对开的启闭板A，且三对启闭板分别设置在四个第一挡板之间，两个所述通道A远离第一档案的一侧设置有一对对开的启闭板B，且一对启闭板B分别转动连接在两个第二挡板远离安装通道的一侧，一对所述启闭板B和三对对启闭板A相对的一侧均铰接有连接杆，两个所述通道A之间设置有切换板，所述切换板的两端分别与其中两对连接杆铰接，所述切换板的顶部一端固定连接有拨板，所述一级活性炭吸附设备和二级活性炭吸附设备壳体的顶部一端均设置有与拨板配合使用的活动槽。
进一步的，两个所述第二挡板的顶部一端均滑动连接有推杆，两个所述推杆远离第二挡板的一端分别与另外两对连接杆铰接，两个所述第二挡板远离第一挡板的一侧均固定连接有引导杆，且引导杆由一个圆杆和设置在圆杆一端的圆盘组成，两个所述引导杆的外部共同活动套接有同一个与启闭板B配合使用的推板，所述推板远离启闭板B的一侧固定连接有两个弹簧，两个所述弹簧分别活动套接在两个引导杆外部，两个所述推杆与推板之间均转动连接有连动杆，两个所述连动杆均通过两个与第二封板固定连接的托板转动连接在第二挡板的一侧，两个所述联动杆的两端分别与两个推杆和推板的两端转动连接，两个所述推杆远离连接杆的一端和推板的两端均固定连接有圆销，所述连动杆的两端均设置有与圆销配合使用的滑槽。
进一步的，所述启闭板A和启闭板B均通过阻尼铰链与第一挡板和第二挡板进行连接，所述切换板的横截面形状为中间宽两边窄的方形，所述活动槽设置在与切换板中间较宽部分相对的位置，且活动槽的宽度小于切换板中间的宽度。
进一步的，所述安装导槽的内部至少可以安装两层过滤器，所述过滤器是G4初效过滤器或F7中效过滤器。
进一步的，所述一级活性炭吸附设备和二级活性炭吸附设备的底部一端均设置有多个支腿，且一级活性炭吸附设备和二级活性炭吸附设备与支腿之间均采用螺栓连接。
进一步的，所述一级活性炭吸附设备和二级活性炭吸附设备的顶部一端均设计有能够防止设备顶部积水的倾斜度。
本发明的技术效果和优点：
1、本发明通过设有一用一备的两级活性炭吸附设备和离心风机，可以保证工艺设备全年24小时连续运行，保证芯片存储先进封测生产要求；通过在活性炭吸附前端设置过滤器，可以减少颗粒物对活性炭造成堵塞；通过将活性炭吸附设计成多通道，可以减小该工艺设备的风阻，提高吸附效率；通过将过滤器与活性炭吸附设计成一体设备，可以减少本废气治理工艺设备的占地面积。
2、本发明通过设有切换机构，使得活性炭吸附设备可以根据具体的废气处理情况进行模式切换，提高了活性炭吸附设备的适用性和使用灵活性，增加了工艺设备整体的实用性。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书和附图中所指出的结构来实现和获得。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本发明实施例的主视图；
图2示出了本发明实施例的一级活性炭吸附设备示意图；
图3示出了本发明实施例的活性炭吸附设备部分结构剖视平面图；
图4示出了本发明实施例的活性炭吸附设备左剖平面图；
图5示出了本发明实施例的活性炭吸附设备气体净化过程图1；
图6示出了本发明实施例的活性炭吸附设备气体净化过程图2；
图7示出了本发明实施例的活性炭吸附设备中部分结构俯视平面图；
图8示出了本发明实施例的A部结构放大示意图；
图中：1、第一风管；2、一级活性炭吸附设备；3、阀门A；4、阀门B；5、阀门C；6、阀门D；7、第二风管；8、阀门E；9、阀门F；10、二级活性炭吸附设备；11、阀门G；12、阀门H；13、第三风管；14、阀门I；15、阀门J；16、离心风机；17、塔架；18、烟囱；19、阀门K；20、阀门L；21、前端过滤段；211、安装导槽；212、过滤器；22、活性炭吸附段；221、安装通道；2211、通道A；2212、通道B；222、卸料斗；223、密封板；224、活节螺栓；225、三角手拧螺母；226、排水口；23、切换机构；231、第一挡板；232、第二挡板；233、启闭板A；234、启闭板B；235、连接杆；236、切换板；237、拨板；238、活动槽；239、推杆；240、引导杆；241、推板；242、弹簧；243、连动杆；244、圆销；245、滑槽。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了一种芯片先进封测废气治理工艺，如图1-图8所示，包括第一风管1和两个一级活性炭吸附设备2，第一风管1为三通管，第一风管1的两个出风口处分别通过阀门A和阀门B4与两个一级活性炭吸附设备2连接，两个一级活性炭吸附设备2远离第一风管1的一端分别通过阀门C5和阀门D6共同连通有第二风管7，且第二风管7的横截面形状为工字形，第二风管7的出风口处分别通过阀门E8和阀门F9连通有两个二级活性炭吸附设备10，两个二级活性炭吸附设备10分别通过阀门G11和阀门H连通有第三风管13，且第三风管13与第二风管7的参数相同，第三风管13远离二级活性炭设备的一端分别通过阀门I14和阀门J固定连通有离心风机16，且两个离心风机16分别通过管道与第三风管13连通，两个离心风机16之间设置有塔架17，塔架17的内部安装有烟囱18，两个离心风机16的出风口分别通过阀门K19和阀门L20与烟囱18连通；
两个一级活性炭吸附设备2和两个二级活性炭吸附设备10均包括设置在壳体内的前端过滤段21和活性炭吸附段22；
前端过滤段21包括开设在一级活性炭吸附设备2和二级活性炭吸附设备10壳体两侧上的安装导槽211，安装导槽211的内部安装有过滤器212；
活性炭吸附段22包括设置在设备壳体内部的四个用于填装活性炭的安装通道221，四个安装通道221包括两个设置在设备靠中间位置的两个通道A2211和两个位于通道A2211外侧的通道B2212，设备壳体的顶部一端设置有多个与安装通道221配合使用的填料口，壳体的底部一端设置有两对卸料斗222，两对卸料斗222与多个填料口的均通过安装在壳体上的密封板223进行启闭，密封板223均采用活节螺栓224和三角手拧螺母225紧固，卸料斗222的低点处设置有防止设备内积水的排水口226；
安装导槽211的内部至少可以安装两层过滤器212，过滤器212是G4初效过滤器212或F7中效过滤器212；
一级活性炭吸附设备2和二级活性炭吸附设备10的底部一端均设置有多个支腿，且一级活性炭吸附设备2和二级活性炭吸附设备10与支腿之间均采用螺栓连接；
一级活性炭吸附设备2和二级活性炭吸附设备10的顶部一端均设计有能够防止设备顶部积水的倾斜度；
使用该设备前，需要先将第一风管1的进风口与废气收集设备的出风口连通；
使用时，离心风机16开启，与此同时阀门A、阀门C5、阀门E8、阀门G11、阀门I14、阀门K19打开，废气在离心风机16的作用下经第一风管11、阀门A进入到一级活性炭吸附设备2，经过设备中的过滤器212过滤去除废气中的颗粒物，然后进入到设备的活性炭吸附段22进行吸附净化，利用活性炭的多孔结构使其具有很大比表面积，废气与大表面积的多孔性活性炭相接触，废气中的污染物被吸附在活性炭固体表面，从而达到净化的目的；经一级活性炭吸附设备2后未被吸附的废气经阀门C5、第二风管7、阀门E8进入到二级活性炭吸附设备10中被进一步的吸附净化，使废气净化至满足国家排放标准，再经阀门G11、阀门I14、第三风管13、离心风机16、阀门K19、烟囱18引高排放；
在上述使用中，两个一级活性炭吸附设备2和两个二级活性炭吸附设备10中的其中一个均为备用设备，当其中一个一级活性炭吸附设备2吸附一定的污染物的量后无法继续吸附，需要更换设备中的活性炭，此时阀门B4、阀门D6打开，阀门A、阀门C5关闭，废气切换至另一个备用的一级活性炭吸附设备2，经备用的一级活性炭吸附设备2进行吸附净化，然后进行一级活性炭吸附设备2中的活性炭更换，而不影响芯片封测生产线的生产；同理，二级活性炭吸附设备10的活性炭更换同样如此操作；两个离心风也互为备用，当出现故障时，通过切换阀门I14、阀门K19、阀门J和阀门L20的打开或关闭保证该工艺设备24小时连续、稳定运行，进而保证对废气的高效净化；
本发明通过设有一用一备的两级活性炭吸附设备和离心风机16，可以保证工艺设备全年24小时连续运行，保证芯片存储先进封测生产要求；通过在活性炭吸附前端设置过滤器212，可以减少颗粒物对活性炭造成堵塞；通过将活性炭吸附设计成多通道，可以减小该工艺设备的风阻，提高吸附效率；通过将过滤器212与活性炭吸附设计成一体设备，可以减少本废气治理工艺设备的占地面积。
如图1-图8所示，壳体内部的顶部一端设置有能够根据废气排放要求对活性炭吸附段22进行适应性调整的切换机构23；
切换机构23包括固定连接在两个通道A2211和两个通道B2212靠近进风口一端的第一挡板231，且两个通道B2212一侧的挡板远离通道A2211的一侧均与设备壳体的侧壁固定连接，安装通道221远离挡板的一侧设置有两个第二挡板232，两个第二挡板232分别设置在两个通道A2211和两个通道B2212之间，并与两个通道A2211和通道B2212固定连接，四个第一挡板231靠近进风口的一侧转动连接有三对对开的启闭板A233，且三对启闭板分别设置在四个第一挡板231之间，两个通道A2211远离第一档案的一侧设置有一对对开的启闭板B234，且一对启闭板B234分别转动连接在两个第二挡板232远离安装通道221的一侧，一对启闭板B234和三对对启闭板A233相对的一侧均铰接有连接杆235，两个通道A2211之间设置有切换板236，切换板236的两端分别与其中两对连接杆235铰接，切换板236的顶部一端固定连接有拨板237，一级活性炭吸附设备2和二级活性炭吸附设备10壳体的顶部一端均设置有与拨板237配合使用的活动槽238；
两个第二挡板232的顶部一端均滑动连接有推杆239，两个推杆239远离第二挡板232的一端分别与另外两对连接杆235铰接，两个第二挡板232远离第一挡板231的一侧均固定连接有引导杆240，且引导杆240由一个圆杆和设置在圆杆一端的圆盘组成，两个引导杆240的外部共同活动套接有同一个与启闭板B234配合使用的推板241，推板241远离启闭板B234的一侧固定连接有两个弹簧242，两个弹簧242分别活动套接在两个引导杆240外部，两个推杆239与推板241之间均转动连接有连动杆243，两个连动杆243均通过两个与第二封板固定连接的托板转动连接在第二挡板232的一侧，两个联动杆的两端分别与两个推杆239和推板241的两端转动连接，两个推杆239远离连接杆235的一端和推板241的两端均固定连接有圆销244，连动杆243的两端均设置有与圆销244配合使用的滑槽245；
启闭板A233和启闭板B234均通过阻尼铰链与第一挡板231和第二挡板232进行连接，切换板236的横截面形状为中间宽两边窄的方形，活动槽238设置在与切换板236中间较宽部分相对的位置，且活动槽238的宽度小于切换板236中间的宽度；
在上述使用该工艺设备前，可以先根据具体的废气排放标准，以及废气中有害物质的具体含量，使用切换机构23将活性炭吸附设备切换至对应的过滤模式；
当对废气的排放标准较高或废气中有害物质含量较高时，可以通过拨板237推动切换板236向设备进风口的方向推动，使得切换板236通过其中一对连接板推动两个通过A之间的启闭板A233翻转打开，以使得切换板236通过另一对连接板带动两个启闭板B234关闭，将连接两个通道A2211之间靠近出风口的一端封闭，启闭板B234在关闭的同时，解除对推板241的抵触作用，此时，推板241在两个弹簧242的伸展复位作用下向靠近第二挡板232的方向移动，与关闭的两个启闭板B234抵触，推板241移动的同时带动两个连动杆243转动，使得两个连动杆243在转动的过程中带动两个推杆239向靠近出风口的一侧移动，以使得两个推杆239分别通过一对连接杆235带动另外两对启闭板A233关闭，使得两对启闭板A233将两个通道A2211与两个通道B2212之间的进风通道封闭，至此，即可完成过滤模式的切换，切换完成的活性炭吸附设备内部结构以及各过滤通道间废气的流向如说明书附图6所示，通过上述操作进行切换后的活性炭吸附设备在使用过程中，废气从两个通道A2211之间进入，经过两个通道A2211中活性炭进行吸附后，再经过两个通道B2212中的活性炭进行二级吸附，即使用两级活性炭吸附设备，就可以实现对废气中有害物质的四次吸附，将废气中有害物质吸附的更加彻底；
当对废气的排放标准不高或废气中有害物质含量不高时，可以通过拨板237推动切换板236向设备出风口的方向推动，使得切换板236通过其中一对连接板推动两个通过A之间的启闭板B234翻转打开，以使得切换板236通过另一对连接板带动两个启闭板A233关闭，将连接两个通道A2211之间靠近进风口的一端封闭，启闭板B234在打开的同时，通过对推板241的抵触作用挤压两个弹簧242并推动推板241向远离第二挡板232的方向移动，上述推板241移动的同时带动两个连动杆243转动，使得两个连动杆243在转动的过程中带动两个推杆239向靠近进风口的一侧移动，以使得两个推杆239分别通过一对连接杆235推动另外两对启闭板A233开启，使得两对启闭板A233将两个通道A2211与两个通道B2212之间的进风通道打开，至此，即可再次完成过滤模式的切换，切换完成的活性炭吸附设备内部结构以及各过滤通道间废气的流向如说明书附图7所示，通过上述操作进行切换后的活性炭吸附设备在使用过程中，废气从两个通道A2211与两个通道B2212之间同时进入，经过两个通道A2211和两个通道B2212中的活性炭进行吸附后直接排出，即使用两级活性炭吸附设备，实现对废气中有害物质的两次吸附，以适应废气中有害物质较少的使用情况；
本发明通过设有切换机构23，使得活性炭吸附设备可以根据具体的废气处理情况进行模式切换，提高了活性炭吸附设备的适用性和使用灵活性，增加了工艺设备整体的实用性。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (4)
1.一种芯片先进封测废气治理工艺，包括第一风管(1)和两个一级活性炭吸附设备(2)，其特征在于：所述第一风管(1)为三通管，所述第一风管(1)的两个出风口处分别通过阀门A(3)和阀门B(4)与两个一级活性炭吸附设备(2)连接，两个所述一级活性炭吸附设备(2)远离第一风管(1)的一端分别通过阀门C(5)和阀门D(6)共同连通有第二风管(7)，且第二风管(7)的横截面形状为工字形，所述第二风管(7)的出风口处分别通过阀门E(8)和阀门F(9)连通有两个二级活性炭吸附设备(10)，两个所述二级活性炭吸附设备(10)分别通过阀门G(11)和阀门H(12)连通有第三风管(13)，且第三风管(13)与第二风管(7)的参数相同，所述第三风管(13)远离二级活性炭设备的一端分别通过阀门I(14)和阀门J(15)固定连通有离心风机(16)，且两个离心风机(16)分别通过管道与第三风管(13)连通，两个所述离心风机(16)之间设置有塔架(17)，所述塔架(17)的内部安装有烟囱(18)，两个所述离心风机(16)的出风口分别通过阀门K(19)和阀门L(20)与烟囱(18)连通；
两个所述一级活性炭吸附设备(2)和两个二级活性炭吸附设备(10)均包括设置在壳体内的前端过滤段(21)和活性炭吸附段(22)；
所述前端过滤段(21)包括开设在一级活性炭吸附设备(2)和二级活性炭吸附设备(10)壳体两侧上的安装导槽(211)，所述安装导槽(211)的内部安装有过滤器(212)；
所述活性炭吸附段(22)包括设置在设备壳体内部的四个用于填装活性炭的安装通道(221)，四个所述安装通道(221)包括两个设置在设备靠中间位置的两个通道A(2211)和两个位于通道A(2211)外侧的通道B(2212)，所述设备壳体的顶部一端设置有多个与安装通道(221)配合使用的填料口，所述壳体的底部一端设置有两对卸料斗(222)，两对所述卸料斗(222)与多个填料口均通过安装在壳体上的密封板(223)进行启闭，所述密封板(223)均采用活节螺栓(224)和三角手拧螺母(225)紧固，所述卸料斗(222)的低点处设置有防止设备内积水的排水口(226)；
所述壳体内部的顶部一端设置有能够根据废气排放要求对活性炭吸附段(22)进行适应性调整的切换机构(23)；
所述切换机构(23)包括固定连接在两个通道A(2211)和两个通道B(2212)靠近进风口一端的第一挡板(231)，且两个通道B(2212)一侧的挡板远离通道A(2211)的一侧均与设备壳体的侧壁固定连接，所述安装通道(221)远离挡板的一侧设置有两个第二挡板(232)，两个所述第二挡板(232)分别设置在两个通道A(2211)和两个通道B(2212)之间，并与两个通道A(2211)和通道B(2212)固定连接，四个所述第一挡板(231)靠近进风口的一侧转动连接有三对对开的启闭板A(233)，且三对启闭板分别设置在四个第一挡板(231)之间，两个所述通道A(2211)远离第一档板的一侧设置有一对对开的启闭板B(234)，且一对启闭板B(234)分别转动连接在两个第二挡板(232)远离安装通道(221)的一侧，一对所述启闭板B(234)和三对启闭板A(233)相对的一侧均铰接有连接杆(235)，两个所述通道A(2211)之间设置有切换板(236)，所述切换板(236)的两端分别与其中两对连接杆(235)铰接，所述切换板(236)的顶部一端固定连接有拨板(237)，所述一级活性炭吸附设备(2)和二级活性炭吸附设备(10)壳体的顶部一端均设置有与拨板(237)配合使用的活动槽(238)；
两个所述第二挡板(232)的顶部一端均滑动连接有推杆(239)，两个所述推杆(239)远离第二挡板(232)的一端分别与另外两对连接杆(235)铰接，两个所述第二挡板(232)远离第一挡板(231)的一侧均固定连接有引导杆(240)，且引导杆(240)由一个圆杆和设置在圆杆一端的圆盘组成，两个所述引导杆(240)的外部共同活动套接有同一个与启闭板B(234)配合使用的推板(241)，所述推板(241)远离启闭板B(234)的一侧固定连接有两个弹簧(242)，两个所述弹簧(242)分别活动套接在两个引导杆(240)外部，两个所述推杆(239)与推板(241)之间均转动连接有连动杆(243)，两个所述连动杆(243)均通过两个与第二档板固定连接的托板转动连接在第二挡板(232)的一侧，两个所述连动杆的两端分别与两个推杆(239)和推板(241)的两端转动连接，两个所述推杆(239)远离连接杆(235)的一端和推板(241)的两端均固定连接有圆销(244)，所述连动杆(243)的两端均设置有与圆销(244)配合使用的滑槽(245)；
所述启闭板A(233)和启闭板B(234)均通过阻尼铰链与第一挡板(231)和第二挡板(232)进行连接，所述切换板(236)的横截面形状为中间宽两边窄的方形，所述活动槽(238)设置在与切换板(236)中间较宽部分相对的位置，且活动槽(238)的宽度小于切换板(236)中间的宽度。
2.根据权利要求1所述的一种芯片先进封测废气治理工艺，其特征在于：所述安装导槽(211)的内部至少可以安装两层过滤器(212)，所述过滤器(212)是G4初效过滤器(212)或F7中效过滤器(212)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片先进封测废气治理工艺，其特征在于：所述一级活性炭吸附设备(2)和二级活性炭吸附设备(10)的底部一端均设置有多个支腿，且一级活性炭吸附设备(2)和二级活性炭吸附设备(10)与支腿之间均采用螺栓连接。
4.根据权利要求1所述的一种芯片先进封测废气治理工艺，其特征在于：所述一级活性炭吸附设备(2)和二级活性炭吸附设备(10)的顶部一端均设计有能够防止设备顶部积水的倾斜度。
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